JP2006087708A - 超音波振動子 - Google Patents
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- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 38
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 42
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 33
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 25
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 23
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 22
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 17
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 14
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 14
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 5
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 claims description 4
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 claims description 4
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims description 4
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 4
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 claims description 4
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims description 4
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 claims description 4
- 229920006380 polyphenylene oxide Polymers 0.000 claims description 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims 1
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 13
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 10
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 10
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 10
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 2
- 229920006351 engineering plastic Polymers 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 238000004382 potting Methods 0.000 description 2
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 210000000988 bone and bone Anatomy 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 230000002496 gastric effect Effects 0.000 description 1
- 210000000056 organ Anatomy 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
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- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
【解決手段】 超音波を送受する超音波振動子エレメントが複数円筒状に配列され、該各超音波振動子エレメントを駆動させる駆動信号を送信するための各超音波振動子エレメントに対応するケーブルが内部に格納されている電子ラジアル型超音波振動子であって、このケーブル束が挿通された絶縁性部材の表面に導電体膜が形成され、グランド線が接続されている電子ラジアル型超音波振動子により、上記課題の解決を図る。
【選択図】 図1
Description
図3は、超音波振動子の製造工程(その1)を示す。同図において、超音波振動子10を形成するに際し、まず基板20、導電体21、電極22(22a,22b)、圧電素子23、音響整合層24(第1音響整合層24a,第2音響整合層24b)、導電樹脂25、溝(ダイシング溝)26から構成される構造体Aを作製する。それでは、構造体Aの作製について説明する。
図12と図13を用いて、さらに、円筒部材50について説明する。
図14は、円筒部材50が挿入されて位置決めがされた(図10参照)後、電極パッド51の外側部分(環の外周方向の電極パッド部分)と、振動子エレメント27の電極20aとをワイヤー90を用いて結線した状態を示す。
(付記3) 前記絶縁性部材の側面に孔を設け、該孔を通して、一端を前記ケーブル群に接続された前記グランド線の他端を、前記導電体膜に接着させることを特徴とする付記1に記載の電子ラジアル型超音波振動子。
(付記6) 前記絶縁性部材の前記略円筒形体部分の外部表面と内部表面とに、メッキにより導電体膜を形成させることを特徴とする付記5に記載の電子ラジアル型超音波振動子。
(付記8) 前記導電体膜は、複数の金属薄膜から構成されることを特徴とする付記1に記載の電子ラジアル型超音波振動子。
(付記10) 前記絶縁性部材は、エンジニアリング・プラスチックで構成されることを特徴とする付記1に記載の電子ラジアル型超音波振動子。
(付記13) 前記導電体膜の厚さは、20μmであることを特徴とする付記1に記載の電子ラジアル型超音波振動子。
(付記15) 超音波を送受する超音波振動子エレメントを複数配列したものである構造体を製造する構造体製造工程と、前記構造体を円筒状にする円筒加工工程と、前記円筒状にした構造体の開口部の内側に環状部材を設ける環状部材設置工程と、略円筒形体の一端に鍔が設けてある絶縁性部材の外部表面と内部表面とに、メッキにより導電体膜を形成させるメッキ工程と、前記絶縁性部材に複数のケーブルを挿通させ、該各ケーブルの一端を該絶縁性部材の前記鍔表面に設けた複数の電極パッドのそれぞれに接着させ、前記導電体膜を介して該ケーブル群にグランド線を接続するケーブル挿通工程と、前記ケーブル挿通工程により得られた前記絶縁性部材の前記鍔が、前記環状部材設置工程により得られた前記構造体の前記環状部材に接するまで、該絶縁性部材を該構造体に挿入する絶縁性部材挿入工程と、前記絶縁性部材挿入工程により挿入した前記絶縁性部材の前記鍔表面に設けた前記電極パッドと前記超音波振動子エレメントの電極とを導線で接続する接続工程と
からなることを特徴とする電子ラジアル型超音波振動子の製造方法。
(付記17) 前記絶縁性部材にはその側面に孔が設けられており、前記ケーブル挿通工程では、該孔を通して、一端を前記ケーブル群に接続された前記グランド線の他端を、前記導電体膜に接着させることを特徴とする付記15に記載の電子ラジアル型超音波振動子の製造方法。
2 挿入部
3 先端部
4 湾曲部
5 可撓管部
6 操作部
6a 湾曲操作ノブ
10 超音波振動子
11 音響レンズ
12 斜面部
13 観察用レンズカバー
14 鉗子出口
20 基板
20a 電極
21 導電体
22(22a,22b) 電極
23 圧電素子
24 音響整合層
24a 第1音響整合層
24b 第2音響整合層
25 導電樹脂
26 溝
27 振動子エレメント
30(30a,30b) 構造部材
40 バッキング材
41 導体(銅線)
50 円筒部材
51 電極パッド
52 鍔(つば)部分
53 円筒部分
60 FPC基板
61 半田
62 ケーブル
63 メッキ
70 GND
71 GND線
80 孔
90 ワイヤー
100 ポッティング樹脂
101,102,103a、103b 半田
104 導電性樹脂
105 銅箔
Claims (13)
- 超音波を送受する超音波振動子エレメントが複数円筒状に配列され、該各超音波振動子エレメントを駆動させる駆動信号を送信するための各超音波振動子エレメントに対応するケーブルが内部に格納されている電子ラジアル型超音波振動子であって、
前記ケーブル群が挿通された絶縁性部材の表面に導電体膜が形成され、グランド線が接続されている
ことを特徴とする電子ラジアル型超音波振動子。 - 前記グランド線は、前記導電体膜を介して該ケーブル群に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の電子ラジアル型超音波振動子。
- 前記絶縁性部材の側面に孔を設け、該孔を通して、一端を前記ケーブル群に接続された前記グランド線の他端を、前記導電体膜に接着させることを特徴とする請求項1に記載の電子ラジアル型超音波振動子。
- 前記絶縁性部材の前記鍔部分の表面には複数の電極パッドが設けてあり、該各電極パッドに対応する前記ケーブルが該電極パッドに接着され、かつ、前記超音波振動子エレメントの電極と前記電極パッドとが導線で接続されていることを特徴とする請求項1に記載の電子ラジアル型超音波振動子。
- 前記絶縁性部材は、略円筒形体の一端に鍔が設けてあることを特徴とする請求項1に記載の電子ラジアル型超音波振動子。
- 前記絶縁性部材の前記略円筒形体部分の外部表面と内部表面とに、メッキにより導電体膜を形成させることを特徴とする請求項5に記載の電子ラジアル型超音波振動子。
- 前記メッキは、湿式メッキであることを特徴とする請求項6に記載の電子ラジアル型超音波振動子。
- 前記導電体膜は、複数の金属薄膜から構成されることを特徴とする請求項1に記載の電子ラジアル型超音波振動子。
- 前記絶縁性部材は、ポリサルフォン、ポリエーテルイミド、ポリフェニレンオキサイド、またはエポキシ樹脂から構成されることを特徴とする請求項1に記載の電子ラジアル型超音波振動子。
- 前記導電体膜の厚さは、1〜50μmであることを特徴とする請求項1に記載の電子ラジアル型超音波振動子。
- 請求項1から10のうちいずれかに記載の電子ラジアル型超音波振動子を備える超音波内視鏡。
- 超音波を送受する超音波振動子エレメントを複数配列したものである構造体を製造する構造体製造工程と、
前記構造体を円筒状にする円筒加工工程と、
前記円筒状にした構造体の開口部の内側に環状部材を設ける環状部材設置工程と、
略円筒形体の一端に鍔が設けてある絶縁性部材の外部表面と内部表面とに、メッキにより導電体膜を形成させるメッキ工程と、
前記絶縁性部材に複数のケーブルを挿通させ、該各ケーブルの一端を該絶縁性部材の前記鍔表面に設けた複数の電極パッドのそれぞれに接着させ、前記導電体膜を介して該ケーブル群にグランド線を接続するケーブル挿通工程と、
前記ケーブル挿通工程により得られた前記絶縁性部材の前記鍔が、前記環状部材設置工程により得られた前記構造体の前記環状部材に接するまで、該絶縁性部材を該構造体に挿入する絶縁性部材挿入工程と、
前記絶縁性部材挿入工程により挿入した前記絶縁性部材の前記鍔表面に設けた前記電極パッドと前記超音波振動子エレメントの電極とを導線で接続する接続工程と
からなることを特徴とする電子ラジアル型超音波振動子の製造方法。 - 前記メッキ工程では、湿式メッキ法によりメッキを行うことを特徴とする請求項12に記載の電子ラジアル型超音波振動子の製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004277462A JP4377787B2 (ja) | 2004-09-24 | 2004-09-24 | 超音波振動子 |
US11/663,572 US20090204006A1 (en) | 2004-09-24 | 2005-09-20 | Ultrasonic transducer, ultrasonic transducer array and ultrasonic endoscope system |
PCT/JP2005/017315 WO2006033331A1 (ja) | 2004-09-24 | 2005-09-20 | 超音波振動子、超音波振動子アレイ、及び超音波内視鏡装置 |
EP05785930.8A EP1808130A4 (en) | 2004-09-24 | 2005-09-20 | Ultrasonic transducer, ultrasonic array and ultrasonic endoscope system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004277462A JP4377787B2 (ja) | 2004-09-24 | 2004-09-24 | 超音波振動子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006087708A true JP2006087708A (ja) | 2006-04-06 |
JP4377787B2 JP4377787B2 (ja) | 2009-12-02 |
Family
ID=36229217
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004277462A Expired - Fee Related JP4377787B2 (ja) | 2004-09-24 | 2004-09-24 | 超音波振動子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4377787B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006280407A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Fujinon Corp | 超音波内視鏡 |
JP2009247466A (ja) * | 2008-04-03 | 2009-10-29 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 超音波検査装置 |
JP2022044905A (ja) * | 2020-09-08 | 2022-03-18 | 富士フイルム株式会社 | 超音波気管支鏡 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5780857B2 (ja) | 2011-07-04 | 2015-09-16 | オリンパス株式会社 | 超音波ユニットおよび超音波内視鏡 |
-
2004
- 2004-09-24 JP JP2004277462A patent/JP4377787B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006280407A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Fujinon Corp | 超音波内視鏡 |
JP4725162B2 (ja) * | 2005-03-31 | 2011-07-13 | 富士フイルム株式会社 | 超音波内視鏡 |
JP2009247466A (ja) * | 2008-04-03 | 2009-10-29 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 超音波検査装置 |
JP2022044905A (ja) * | 2020-09-08 | 2022-03-18 | 富士フイルム株式会社 | 超音波気管支鏡 |
JP7317778B2 (ja) | 2020-09-08 | 2023-07-31 | 富士フイルム株式会社 | 超音波気管支鏡 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP4377787B2 (ja) | 2009-12-02 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060529 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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