JP2006086180A5 - - Google Patents
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- 第1の基板を基板搬送装置の第1の基板保持部に保持する工程と、前記基板搬送装置の第2の基板保持部の高さよりも反応炉内の基板載置部に載置された第2の基板の高さが高くなるように、前記基板搬送装置と前記基板載置部との鉛直方向の相対位置を変える工程と、前記第2の基板保持部を第2の基板の下方に挿入するように、前記基板搬送装置と前記基板載置部との水平方向の相対位置を変える工程と、第2の基板が前記第2の基板保持部に保持されるように、前記基板搬送装置と前記基板載置部との鉛直方向の相対位置を変える工程と、前記第2の保持部に保持された第2の基板を前記基板載置部から引き出すように、前記基板搬送装置と前記基板載置部との水平方向の相対位置を変える工程と、前記基板載置部の高さが前記第2の基板保持部に保持する第2の基板の上面から前記第1の基板保持部に保持する第1の基板の下面までの範囲内になるように、前記基板搬送装置と前記基板載置部との鉛直方向の相対位置を変える工程と、第1の基板を保持した前記第1の基板保持部を前記基板載置部の上方に挿入するように、前記基板搬送装置と前記基板載置部との水平方向の相対位置を変える工程と、第1の基板が前記基板載置部に載置されるように、前記基板搬送装置と前記基板載置部との鉛直方向の相対位置を変える工程と、前記第1の基板保持部を前記基板載置部から引き出すように、前記基板搬送装置と前記基板載置部との水平方向の相対位置を変える工程と、前記基板載置部に載置された第1の基板を前記反応炉内で処理する処理工程とを有し、前記基板搬送装置は、第1の基板を2つ以上の前記反応炉内の前記基板載置部へ交互に搬送し、前記基板載置部それぞれから第2の基板を前記基板保持部へ戻す際に次に処理する第1の基板と入れ替える工程と、を有することを特徴とする基板の処理方法。
Priority Applications (1)
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JP2004266631A JP4086826B2 (ja) | 2004-09-14 | 2004-09-14 | 基板の処理方法 |
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JP2004266631A JP4086826B2 (ja) | 2004-09-14 | 2004-09-14 | 基板の処理方法 |
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