JP2006078310A - 半導体センサ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 小型化を達成し得る半導体センサ装置を提供する。
【解決手段】 ピエゾ抵抗効果を有する感圧素子Ra,Rb,Rc,Rdによってブリッジ回路を構成するとともに、薄肉のダイアフラム部を有する半導体センサ4の電圧変化によって、被測定媒体の圧力と温度とを検出する圧力温度検出装置(半導体センサ装置)Aに関して、半導体センサ4に定電流を供給するための定電流供給回路51と、半導体センサ4からの前記圧力に関する出力電圧を増幅するとともに温度補正可能とする圧力検出回路52と、半導体センサ4からの前記温度に関する出力電圧を増幅するとともに温度補正可能とする温度検出回路53と、を一体に備えた出力調整用IC(集積回路)5aを有している。
【選択図】 図5
【解決手段】 ピエゾ抵抗効果を有する感圧素子Ra,Rb,Rc,Rdによってブリッジ回路を構成するとともに、薄肉のダイアフラム部を有する半導体センサ4の電圧変化によって、被測定媒体の圧力と温度とを検出する圧力温度検出装置(半導体センサ装置)Aに関して、半導体センサ4に定電流を供給するための定電流供給回路51と、半導体センサ4からの前記圧力に関する出力電圧を増幅するとともに温度補正可能とする圧力検出回路52と、半導体センサ4からの前記温度に関する出力電圧を増幅するとともに温度補正可能とする温度検出回路53と、を一体に備えた出力調整用IC(集積回路)5aを有している。
【選択図】 図5
Description
本発明は、半導体センサを用いて被測定媒体の圧力と温度を検出する半導体センサ装置に関するものである。
従来、圧力と温度を検出する半導体センサ装置にあっては、例えば下記特許文献1に記載されているものが知られている。この半導体センサ装置は、半導体基板上にピエゾ抵抗効果を有する感圧素子(半導体素子)を形成し、この感圧素子を用いてブリッジ回路を構成するとともに薄肉のダイアフラム部を有する半導体センサと、前記半導体センサを支持するベース板とで被測定媒体である流体の圧力及び温度を検出する流体検出体を構成し、この流体検出体を圧力導入部上に配設し、前記圧力導入部から伝達される前記流体の圧力及び温度を検出するものである。前記流体検出体は、前記ブリッジ回路の中間電圧を圧力に関する第1の検出信号として検出するとともに、前記ブリッジ回路の両端電圧を温度に関する第2の検出信号として検出し、これら各検出信号は、増幅回路を有する出力調整用ICを介して外部に出力されるようになっている。
特開2002−372474号公報
ところで、特許文献1に記載された半導体センサ装置は、前記出力調整用ICの他に、前記ブリッジ回路に定電流を供給するための供給回路を含む多くの電子部品が回路基板に実装されるものであり、構成回路部品の実装面積が大きくなることから前記回路基板が大型化し、結果的に前記半導体センサ装置を小型化することができないといった問題点を有している。
そこで本発明は、前述の課題に対して対処するため、小型化を達成し得る半導体センサ装置の提供を目的とするものである。
本発明は、前述した課題を解決するため、請求項1に記載の半導体センサ装置の通り、前記半導体センサに定電流を供給するための定電流供給回路と、前記半導体センサからの前記圧力に関する出力電圧を増幅するとともに温度補正可能とする圧力検出回路と、前記半導体センサからの前記温度に関する出力電圧を増幅するとともに温度補正可能とする温度検出回路と、を一体に備えた集積回路を有してなるものである。
また、請求項2に記載の半導体センサ装置は、請求項1に記載の半導体センサ装置において、前記集積回路は、前記定電流供給回路の定電流量を調整する電流量調整部を有してなるものである。
また、請求項3に記載の半導体センサ装置は、請求項2に記載の半導体センサ装置において、前記電流量調整部は、0.5mAから3.5mAの定電流量の調整範囲を有してなるものである。
本発明は、初期の目的を達成でき、小型化を達成し得る半導体センサ装置を提供できる。
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づき説明する。
図1において、半導体センサ装置としての圧力温度検出装置Aは、下ケース1と、上ケース2と、ベース板3と、半導体センサ4と、回路基板5と、接続用導体6と、シールド板7と、グロメット8とから主に構成されている。
下ケース1は、SUM等の金属材料からなり、一対の側壁部1aを有しており、この側壁部1aの上端側と下端側は共に開口している。側壁部1aは、下ケース1の中央部より上側に位置して、内部に回路基板5やシールド板7等を収納する空間を有する略六角形状の第1の収納部1bと、この収納部1bの下方に位置して、内部に半導体センサ4や接続用導体6、後述する絶縁部材の主要部等を収納する略円筒形状の第2の収納部1cとで構成されている。
この場合、第2の収納部1cの外形形状は第1の収納部1bの外形形状よりもやや小さめに設定されているため、下ケース1の側壁部1aは段差形状を有し、各収納部1b、1cの境界部1d近傍と第2の収納部1cの内壁面には絶縁部材1eがインサート成形されている。
絶縁部材1eは、PBT等の樹脂材料からなり、略円筒形状に形成され、その上端部には回路基板5の外縁底部を受けるための段差形状からなる受部1fが形成されている。また、絶縁部材1eの内部には接続用導体6の一部を支持し、且つ接続用導体6の他の一部をガイドするための支持体(ガイド部材)1gが図示しない連結片を介して絶縁部材1eと一体形成されている。
支持体1gは、絶縁部材1eの長手方向とは直交する方向に延びる第1の壁部1hと、絶縁部材1eの長手方向に沿うように延びる第2の壁部1iとを有する断面略「L」字形状に形成されている。そして、支持体1gは、第1の壁部1hの上面で第1の壁部1hに沿うように配設される接続用導体6箇所を支持し、第2の壁部1iの外壁面とこれに対向する絶縁部材1eの内壁面1j箇所との間に形成される間隙1kを通じて間隙1k内を通過する接続用導体6箇所をガイドしている。
なお、1mは、シールド板7の後述する遮蔽部の外縁底部を受けるための段差形状からなる受部であり、この受部1mは第1の収納部1bの内壁面に形成されている。また、1nは、下ケース1と被測定物(流体)が流動する搬送部材(図示せず)とを連結させるためのネジ部等の連結部であり、この連結部1nは第2の収納部1cの外周面に沿うように形成されている。
上ケース2は、PBT等の樹脂材料からなり、下ケース1の受部1mよりも上方となる下ケース1の第1の収納部1bの開口端部内に配設され、第1の収納部1bの開口端が加締められることで、上ケース2が下ケース1に対して配設固定され、この配設固定によって上ケース2の底部と受部1mと間にシールド板7が狭持されるようになっている。また、上ケース2は、電源供給及び信号出力を行うための後述する電気コードを外部に引き出すためコード引き出し部2aを備えている。
ベース板3は、コバール等の金属材料からなり、図2に示すように下ケース1における第2の収納部1cの底部に抵抗溶接等によって配設固定するためのフランジ部3aを有し、このフランジ部3aから一段低くなった位置には、半導体センサ4を配設するための載置部3bが設けられている。そして、載置部3bの略中央部には、半導体センサ4に前記被測定物の圧力及び温度を伝達するための孔部3cが設けられている。ベース板3は、第2の収納部1cの底部に抵抗溶接によって配設固定されることで、下ケース1の下端側開口を塞ぐ状態で下ケース1に配設されることになる。
なお、ベース板3におけるフランジ部3aは、第2の収納部1cの底部に抵抗溶接できる構成であれば図示した形状に限定されるものではない。
半導体センサ4は、シリコン等の半導体基板に薄肉部となるダイアフラム部を形成する半導体素子4aを貫通孔部4b1を備えたガラス台座4b上に配設し、半導体素子4aとガラス台座4bとを陽極接合法によって接合してなるものである。半導体センサ4は、前記ダイアフラム部に対応する箇所にボロン等の不純物を拡散処理することによって、ピエゾ抵抗効果を有する4つの感圧素子となる抵抗を形成し、これら抵抗をアルミ等の導電性材料を用いた配線パターンによって接続することでブリッジ回路が構成され、前記ブリッジ回路の中間電圧によって流体(被測定物)の圧力を検出し、前記ブリッジ回路の両端電圧によって流体の温度を検出するものである。
なお、半導体センサ4は、ガラス台座4bの裏面側にメタライズ層を形成すると共に、半田を介してベース板3の載置部3bと接合する。
回路基板5は、例えばガラスエポキシ系基材の表裏面に配線パターン(図示せず)を施した硬質回路基板からなり、その板面方向が支持部材3におけるフランジ部3a(載置部3b)の板面方向と略平行状態となるように下ケース1における絶縁部材1eの受部1f上に配設される(図1参照)。また、回路基板5は、半導体センサ4の出力電圧を増幅するための増幅機能や出力電圧を温度補正するための出力調整機能等を有する後で詳述する集積回路からなる出力調整用IC(電子部品)5aやノイズを除去するためのコンデンサ等の各種回路部品が前記配線パターンに半田を介して導通接続されている。また、本実施形態では出力調整用IC5aは回路基板5上に搭載されているが、出力調整用IC5aを回路基板5の裏面に搭載してもよい。
なお、図4は図1中、下ケース1の長手方向(矢印D方向)から圧力温度検出装置Aを見たときのベース板3と回路基板5との位置関係を示す図であり、本実施形態では回路基板5が受部1f上に配設されたとき、その略中央部となる第2の位置P2に出力調整用IC5aが位置しており、さらに出力調整用IC5aの下方であってベース板3の略中央部となる第1の位置P1に半導体センサ4が位置している状態となる。このことは、矢印D方向から出力調整用IC5aを見たとき出力調整用IC5aと半導体センサ4とが重なり合っていることを意味している。
また、回路基板5は、図1に示すように上ケース2のコード引き出し部2aにグロメット8を介して配設される電気コード9とリードピン付き貫通コンデンサ10を介し電気的に接続するリードピン11が前記配線パターンに導通接続されている。
接続用導体6は、薄くて反発力の小さい、例えばポリアミド系またはポリミイド系のFPC(フレキシブル・プリント・サーキット)からなり、ベース板3と回路基板5との間に配設される。接続用導体6には、例えば銅箔パターンからなる導電路(図示せず)が形成され、ベース板3側となる前記導電路の一端側と半導体センサ4に形成される電極パッド4cとは金等の導電材料からなるワイヤ12によって導通接続される。一方、回路基板5側となる前記導電路の他端側は、回路基板5の裏面に形成される前記配線パターンに導通接続される。なお、接続用導体6のうちベース板3側となる接続用導体6の下端面は半導体センサ4を取り巻く略リング状の円環部6aによって構成され、円環部6aはこの背後に位置する補強基板6bによって保持されている(図2参照)。
そして、接続用導体6は、前記導電路の一端側と電極パッド4cとの接続箇所から上方(絶縁部材1eの上端側)に引き回される際に、ケース体1における支持体1gの間隙1kによってガイドされる。さらに、間隙1kの前方に露出する接続用導体6箇所は、絶縁部材1e内で支持体1gの上面に沿うように折り返された後、略「S」字状に引き回されて前述したように前記導電路の他端側が回路基板5の前記配線パターンに導通接続される。このように接続用導体6は、その導体路両端が半導体センサ4、回路基板5に接続されることで、半導体センサ4からの出力電圧を回路基板5側に伝達するための役割を果たしている。
なお、13は、半導体センサ4、前記電極パッド並びにワイヤ12の腐食を防止するためのシリコンゲル等のゲル状部材であり、このゲル状部材13はワイヤ12を含む半導体センサ4を覆うようにベース板3上に配設される。
シールド板7は、SPTE等の金属材料からなり、ホルダ部7aと、遮蔽部7bとを有し、ホルダ部7aは遮蔽部7bに対して折り曲げ形成されている。ホルダ部7aは、遮蔽部7bに対して直交するように折り曲げられ、貫通コンデンサ10を配設するための孔が形成されると共に、この孔に各貫通コンデンサ10が半田を介し配設固定される(図3参照)。
グロメット8は、ニトリルゴム等の弾性部材からなり、電気コード9を上ケース2のコード引き出し部2aに取り付けるためのものである。グロメット8は、上ケース2のコード引き出し部2aの内壁に設けられる隆起部2bの上面に対してグロメット8の外縁底部が圧入により支持されることで上ケース2に配設固定される。また、グロメット8は、コード引き出し部2aにエポキシ等の充填部材14が充填されることによって、上ケース2との気密性が確保された状態で配設される。
以上の各部によって圧力温度検出装置Aが構成される。次に図5を用いて、圧力温度検出装置Aの回路構成について詳述する。図5は、半導体センサ4及び出力調整用IC5aの回路構成を示すものである。図中4は、半導体センサであり、半導体基板上に形成された4つの感圧素子Ra,Rb,Rc,Rdを有し、これら感圧素子Ra,Rb,Rc,Rdをブリッジ回路状に構成している。一方、出力調整用IC5aは、定電流供給回路51と、圧力検出回路52と、温度検出回路53とを一体に備えた集積回路からなる。
定電流供給回路51は、基準電圧発生部51aと、定電流供給部51bとを備えている。基準電圧発生部51aは、基準電圧を調整し半導体センサ4への定電流供給量を設定する電流量調整部51cを備えている。電流量調整部51cは、オペアンプからなる定電流供給部51bに与える基準電圧を設定するべく、抵抗値を可変可能な抵抗値可変手段が用いられる。なお、電流量調整部51cは、0.5mAから3.5mAの範囲の定電流量が得られるように、前記基準電圧が設定される。
圧力検出回路52は、半導体センサ4のブリッジ回路における中間電圧、即ち感圧素子Ra及び感圧素子Rbの中間電圧と、感圧素子Rc及び感圧素子Rdの中間電圧とをそれぞれ入力して圧力検出電圧出力特性を得る入力部52aと、入力部52aにて得られた前記圧力検出電圧特性において、ゲイン(傾き)調整,オフセット調整及び温度補正を行うべく調整値(デジタル値)を入力する調整値入力部52bと、調整値入力部52bから入力させる調整値及び補正値に基づいて前記圧力検出電圧特性を調整するとともに、この調整された前記圧力検出電圧特性を増幅して出力する出力部52cとから構成されている。
温度検出回路53は、半導体センサ4のブリッジ回路における両端電圧を入力して温度検出電圧出力特性を得る入力部53aと、入力部53aにて得られた前記圧力検出電圧特性において、ゲイン(傾き)調整,オフセット調整及び温度補正を行うべく調整値(デジタル値)を入力する調整値入力部53bと、調整値入力部53bから入力させる調整値及び補正値に基づいて前記圧力検出電圧特性を調整するとともに、この調整された前記圧力検出電圧特性を増幅して出力する出力部53cとから構成されている。
かかる圧力温度検出装置Aは、ピエゾ抵抗効果を有する感圧素子Ra,Rb,Rc,Rdによってブリッジ回路を構成するとともに、薄肉のダイアフラム部を有する半導体センサ4の電圧変化によって、被測定媒体の圧力と温度とを検出する半導体センサ装置であって、半導体センサ4に定電流を供給するための定電流供給回路51と、半導体センサ4からの前記圧力に関する出力電圧を増幅するとともに温度補正可能とする圧力検出回路52と、半導体センサ4からの前記温度に関する出力電圧を増幅するとともに温度補正可能とする温度検出回路53と、を一体に備えた集積回路を有してなるものである。従って、定電流供給回路51と圧力,温度検出回路52,53とを一体に備えた集積回路からなる出力調整用IC5aを備えることから、回路基板5の実装面積を小さくすることができることから、回路基板5を小型化することができ、圧力温度検出装置A自体を小型化することが可能となる。
また、出力調整用IC5aは、定電流供給回路51の定電流量を調整する電流量調整部51cを有してなり、また電流量調整部51cは、0.5mAから3.5mAの定電流量の調整範囲を有してなるものである。半導体センサ4のブリッジ回路の合成抵抗を略1kΩとすると、半導体センサ4の温度検出電圧Vaの大きさを0.5Vから3.5Vの範囲内で確保することが可能となることから、小型化可能で、かつ検出精度に優れた圧力温度検出装置Aを得ることができる。
なお、前述した実施形態における圧力温度検出回路Aは、ケース体1内においてベース板3が配設される第1の位置と出力調整用IC5aが配設される第2の位置とがケース体1の長手方向から見た場合に重なり合う位置関係をなす構成のものであったが、本発明は前述した実施形態で示した構造の圧力温度検出装置Aに限定されるものではない。
1 下ケース(ケース体)
2 上ケース
3 ベース板(支持部材)
4 半導体センサ
5 回路基板
5a 出力調整用IC(集積回路)
51 定電流供給部
51c 電流量調整部
52 圧力検出回路
53 温度検出回路
A 圧力温度検出装置(半導体センサ装置)
Ra,Rb,Rc,Rd 感圧素子
2 上ケース
3 ベース板(支持部材)
4 半導体センサ
5 回路基板
5a 出力調整用IC(集積回路)
51 定電流供給部
51c 電流量調整部
52 圧力検出回路
53 温度検出回路
A 圧力温度検出装置(半導体センサ装置)
Ra,Rb,Rc,Rd 感圧素子
Claims (3)
- ピエゾ抵抗効果を有する感圧素子によってブリッジ回路を構成するとともに、薄肉のダイアフラム部を有する半導体センサを備え、前記半導体センサの電圧変化によって被測定媒体の圧力と温度とを検出する半導体センサ装置であって、
前記半導体センサに定電流を供給するための定電流供給回路と、前記半導体センサからの前記圧力に関する出力電圧を増幅するとともに温度補正可能とする圧力検出回路と、前記半導体センサからの前記温度に関する出力電圧を増幅するとともに温度補正可能とする温度検出回路と、を一体に備えた集積回路を有してなることを特徴する半導体センサ装置。 - 前記集積回路は、前記定電流供給回路の定電流量を調整する電流量調整部を有してなることを特徴とする請求項1に記載の半導体センサ装置。
- 前記電流量調整部は、0.5mAから3.5mAの定電流量の調整範囲を有してなることを特徴とする請求項2に記載の半導体センサ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004262000A JP2006078310A (ja) | 2004-09-09 | 2004-09-09 | 半導体センサ装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004262000A JP2006078310A (ja) | 2004-09-09 | 2004-09-09 | 半導体センサ装置 |
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---|---|---|---|
JP2004262000A Pending JP2006078310A (ja) | 2004-09-09 | 2004-09-09 | 半導体センサ装置 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7520170B2 (en) | 2007-07-10 | 2009-04-21 | Freescale Semiconductor, Inc. | Output correction circuit for three-axis accelerometer |
KR101697932B1 (ko) | 2016-05-11 | 2017-01-20 | 주식회사 루맥스에어로스페이스 | 단일 센서를 이용하여 온도측정과 압력측정이 가능한 반도체 센서장치 |
US11402275B2 (en) | 2016-08-05 | 2022-08-02 | Denso Corporation | Sensor apparatus |
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2004
- 2004-09-09 JP JP2004262000A patent/JP2006078310A/ja active Pending
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US7520170B2 (en) | 2007-07-10 | 2009-04-21 | Freescale Semiconductor, Inc. | Output correction circuit for three-axis accelerometer |
KR101697932B1 (ko) | 2016-05-11 | 2017-01-20 | 주식회사 루맥스에어로스페이스 | 단일 센서를 이용하여 온도측정과 압력측정이 가능한 반도체 센서장치 |
US11402275B2 (en) | 2016-08-05 | 2022-08-02 | Denso Corporation | Sensor apparatus |
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