JP2006071855A - 光学装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 1本のパルスレーザ光を2本のパルスレーザ光に分岐させ、分岐されて得られた2本のパルスレーザ光の一方を他方に対して遅延させて出射させる光学装置の汎用性を向上させる。
【解決手段】 光源1がPBS4に対してP偏光である主パルスレーザ光Lを出射する。1/4波長板2に主パルスレーザ光Lが入射する。保持機構3は1/4波長板2を回転させ得る。これにより、1/4波長板2から出射する主パルスレーザ光のS偏光成分とP偏光成分の強度比を変化させ得る。PBS4が1/4波長板2を通過した主パルスレーザ光LをS偏光たる第1のパルスレーザ光LSとP偏光たる第2のパルスレーザ光LPとに分岐させる。第2のパルスレーザ光LPは遅延光路A−B−C−Dを経由するので、第2のパルスレーザ光LPの試料面Pへの到達時点が、第1のパルスレーザ光LPの試料面Pへの到達時点よりも遅延する。
【選択図】 図1
【解決手段】 光源1がPBS4に対してP偏光である主パルスレーザ光Lを出射する。1/4波長板2に主パルスレーザ光Lが入射する。保持機構3は1/4波長板2を回転させ得る。これにより、1/4波長板2から出射する主パルスレーザ光のS偏光成分とP偏光成分の強度比を変化させ得る。PBS4が1/4波長板2を通過した主パルスレーザ光LをS偏光たる第1のパルスレーザ光LSとP偏光たる第2のパルスレーザ光LPとに分岐させる。第2のパルスレーザ光LPは遅延光路A−B−C−Dを経由するので、第2のパルスレーザ光LPの試料面Pへの到達時点が、第1のパルスレーザ光LPの試料面Pへの到達時点よりも遅延する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、1本のパルスレーザ光を2本のパルスレーザ光に分岐させ、分岐させて得られた2本のパルスレーザ光を一方が他方に対して遅延する条件で出射させることのできる光学装置に関する。
特許文献1に、1本の主パルスレーザ光を第1及び第2のパルスレーザ光に分岐させる分岐用部分反射鏡と、分岐されて得られた第1及び第2のパルスレーザ光の光路を合成する合成用部分反射鏡とを備え、第1のパルスレーザ光が分岐用部分反射鏡から合成用部分反射鏡までに経由する第1の光路の光路長を、第2のパルスレーザ光が分岐用部分反射鏡から合成用部分反射鏡までに経由する第2の光路の光路長よりも長く設計した光学装置が開示されている。合成用部分反射鏡によって光路を合成された第1及び第2のパルスレーザ光が入射する位置に、アニール対象物が配置される。
この光学装置によれば、第1の光路の光路長を第2の光路の光路長よりも長く設計しているので、第1のパルスレーザ光がアニール対象物表面へ到達する時点を、第2のパルスレーザ光がアニール対象物表面へ到達する時点よりも遅延させることができる。その遅延時間が第1のパルスレーザ光のパルス幅と等しくなるような構成とすることにより、アニール対象物表面において、主パルスレーザ光のパルス幅の2倍のパルス幅をもつパルスレーザ光が得られる。このようにして、パルスレーザ光のパルス幅を伸長させることにより、アニールの加工品質を向上させ得ることが示されている。
上記光学装置は、特定のアニール処理の専用装置として用いるには充分であるが、分岐されて得られる第1及び第2のパルスレーザ光の強度比等の条件を柔軟に変更することができないため、その汎用性を向上させることに関して改善の余地がある。
本発明の目的は、1本のパルスレーザ光を2本のパルスレーザ光に分岐させ、分岐させて得られた2本のパルスレーザ光を一方が他方に対して遅延する条件で出射させることのできる光学装置の汎用性を向上させることにある。また、本発明の目的は、アニールの加工品質を向上させ得る技術を提供することにある。
本発明の一観点によれば、自己に入射する光の、相互に直交する第1の偏光成分及び第2の偏光成分の強度比を変化させることができる強度比可変装置と、前記強度比可変装置に、主パルスレーザ光を入射させる光源と、前記強度比可変装置を通過した主パルスレーザ光を、前記第1の偏光成分からなる第1のパルスレーザ光と、前記第2の偏光成分からなる第2のパルスレーザ光とに分岐させた後、該第1及び第2のパルスレーザ光が共通の光路を伝播するように、該第1及び第2のパルスレーザ光の一方の光路を他方の光路に重ね合せる伝播光学系であって、前記第1のパルスレーザ光が前記共通の光路上における仮想点に到達する時点と、前記第2のパルスレーザ光が該仮想点に到達する時点とを異ならせる伝播光学系とを備えた光学装置が提供される。
主パルスレーザ光の第1及び第2の偏光成分の強度比を変化させることにより、第1及び第2のパルスレーザ光の強度比を変化させることができる。これにより、光学装置の汎用性を向上させることができる。
図1に、実施例による光学装置の概略図を示す。光源1が、主パルスレーザ光Lを出射する。光源1から出射された主パルスレーザ光Lが入射する位置に、1/4波長板2が配置されている。1/4波長板2は、保持機構3によって保持されている。保持機構3は、主パルスレーザ光Lの光軸に平行な軸を回転中心として1/4波長板2を回転させ、所望の位置で固定することができる。1/4波長板2を通過した主パルスレーザ光Lが入射する位置に、偏光ビームスプリッタ(PBS;Polarized Beam Splitter)4が配置されている。
光源1から出射される主パルスレーザ光Lは、PBS4に対してP偏光である。いま、1/4波長板2が、その速相軸(fast axis)及び遅相軸(slow axis)を主パルスレーザ光Lの偏光方向に対して45°傾けた状態で固定されているとする。このとき、P偏光である主パルスレーザ光Lが、1/4波長板2によって円偏光に変換される。円偏光に変換された主パルスレーザ光Lが、PBS4に入射する。
PBS4は、主パルスレーザ光Lが入射する分岐点Dを画定し、分岐点Dに入射した光を、そのS偏光成分を反射させ、P偏光成分を透過させることにより、S偏光成分とP偏光成分とに分岐させる。円偏光である主パルスレーザ光Lは、相互に強度の等しいS偏光成分とP偏光成分とからなる。このため、円偏光である主パルスレーザ光Lは、分岐点Dにおいて、相互に光強度の等しい第1のパルスレーザ光(S偏光)LSと、第2のパルスレーザ光(P偏光)LPとに分岐される。
S偏光である第1のパルスレーザ光LSの、分岐点Dからの出射光軸(以下、第1の出射光軸という。)SOUT1は、分岐点Dへの主パルスレーザ光Lの入射光軸SIN1と直交する。第1のパルスレーザ光LSは、第1の出射光軸SOUT1に沿って伝播して、試料面P上の入射点Nに入射する。一方、P偏光である第2のパルスレーザ光LPの、分岐点Dからの出射光軸(以下、第2の出射光軸という。)SOUT2は、分岐点Dへの主パルスレーザ光Lの入射光軸SIN1を延長させた直線に一致する。
遅延光学系5に、第2のパルスレーザ光LPが入射する。遅延光学系5は、第1〜第3の反射鏡51、52、及び53を有する。分岐点Dから出射した第2のパルスレーザ光LPが、第1〜第3の反射鏡51、52、及び53をこの順に経由して、分岐点Dに再入射する。即ち、第1〜第3の反射鏡51、52、及び53における第2のパルスレーザ光LPの反射点をそれぞれA、B、及びCとしたとき、遅延光学系5は、PBS4と共に遅延光路D−A−B−C−Dを画定している。なお、点Cから点Dにわたって画定される第2のパルスレーザ光LPの光軸(以下、再入射光軸SIN2という。)は、上記第1の出射光軸SOUT1を延長させた直線に一致する。また、点Aから点Bにわたって画定される第2のパルスレーザ光LPの光軸は、再入射光軸SIN2と平行である。
可動ステージ6上に、第2及び第3の反射鏡52及び53が固定されている。可動ステージ6は、再入射光軸SIN2と平行な方向に移動することができる。これにより、再入射光軸SIN2の空間的位置を移動させることなく、遅延光路D−A−B−C−Dの全長を変化させることができる。即ち、可動ステージ6をPBS4に近づける程、遅延光路D−A−B−C−Dの全長を短くすることができ、PBS4から遠ざける程、遅延光路D−A−B−C−Dの全長を長くすることができる。
遅延光学系5は、第2のパルスレーザ光LPを、その偏光方向をPBS4に対してP方向に保った状態で分岐点Dに再入射させる。このため、PBS4に再入射された第2のパルスレーザ光LPはPBS4を透過する。これにより、第2のパルスレーザ光LPの光路が上記第1の出射光軸SOUT1に重ね合わされる。第2のパルスレーザ光LPは、第1の出射光軸SOUT1を伝搬して試料面P上の入射点Nに入射する。
図2は、図1の試料面P上の入射点Nにおける光強度の時間変化を表すグラフである。横軸が時間を示し、縦軸が光強度を示す。第1のパルス波形21は、図1の第1のパルスレーザ光LSの入射点Nへの入射によって形成され、第2のパルス波形22は、図1の第2のパルスレーザ光LPの入射点Nへの入射によって形成される。
第1のパルス波形21のピーク強度PSと、第2のパルス波形22のピーク強度PPとは等しい。これは上述したように、図1の1/4波長板2が主パルスレーザ光Lを円偏光に変換する構成としたことにより、PBS4において主パルスレーザ光Lが強度に関して均等に第1及び第2のパルスレーザ光LS及びLPに2分割されるからである。また、第1のパルス波形22のパルス幅T1と、第2のパルス波形22のパルス幅T2とは、ともに図1の主パルスレーザ光Lのパルス幅に等しい。なお、本明細書においては、パルスレーザ光のパルス時間波形が立ち上がる時点から消滅する時点までの時間間隔をパルス幅と呼ぶことにする。
第2のパルス波形22の立ち上がり時刻t2、即ち図1の第2のパルスレーザ光LPの入射点Nへの到達時刻t2は、第1のパルス波形21の立ち上がり時刻t1、即ち図1の第1のパルスレーザ光LSの入射点Nへの到達時刻t1よりもTdだけ遅延する。これは図1において、第2のパルスレーザ光LPが入射点Nに到達するまでに経由する光路D−A−B−C−D−Nの光路長が、第1のパルスレーザ光LPが入射点Nに到達するまでに経由する光路D−Nの光路長よりも、遅延光路D−A−B−C−Dの光路長の分だけ長いからである。即ち、図1の第2のパルスレーザ光LPが遅延光路D−A−B−C−Dを伝播するのに要する時間だけ遅延時間Tdが生じる。
遅延時間Tdが、第1のパルス波形21のパルス幅T1よりも長いときに、第1のパルス波形21と第2のパルス波形22とが時間軸上で重ならない状態となる。いま、第1のパルス波形21のパルス幅T1が約50nsであるとする。光の伝播速度が約3×108m/sであるから、図1の遅延光路D−A−B−C−Dの光路長が15mよりも長いときに、遅延時間Tdが、第1のパルス波形21のパルス幅T1よりも長くなる。例えば、図1の遅延経路D−A−B−C−Dの長さを約18mに設定すると、遅延時間Tdを約60nsとすることができる。このとき、第1のパルス波形21の消滅時点から第2のパルス波形22の立ち上がり時点までの間の時間間隔であるパルス間隔T3が約10nsとなる。
なお、遅延時間Tdは、図1の可動ステージ6を移動させて遅延光路D−A−B−C−Dの光路長を変化させることにより調節できる。例えば、遅延時間Tdが第1のパルス波形21のパルス幅T1よりも短くなるような構成とすることにより、第1及び第2のパルス波形21及び22を時間軸上で部分的に重ね合わせることもできる。このように、遅延時間Tdを柔軟に調節できるため、光学装置の汎用性を向上させることができる。
図3に、図1の遅延光学系5の変形例を示す。折り返し反射鏡群54が、第1の反射鏡51と第2の反射鏡52との間の光路上に配置されている。折り返し反射鏡群54は、点Aから出射した第2のパルスレーザ光LPを、点Bに到達するまでの間に第2の出射光軸SOUT2と平行な方向に関して複数回折り返す。これにより、全長が例えば十数m〜数十m以上の遅延光路D−A−B−C−Dを画定するにあたっても、遅延光学系の大型化を防止できる。なお、遅延光路の一部を、例えば偏波面保存ファイバによって構成してもよい。光路A−Bの配置を柔軟に設計できるので、遅延光学系の大型化を防止できる。
図1に戻って説明を続ける。1/4波長板2を、保持機構3によって回転させることにより、1/4波長板2から出射する主パルスレーザ光LのP偏光成分とS偏光成分との強度比を変化させることができる。このため、PBS4における主パルスレーザ光Lの分割比を変化させることができ、第1及び第2のパルスレーザ光LS及びLPの強度比を変化させることができる。その結果、図2の第1のパルス波形21のピーク強度PSと、第2のパルス波形22のピーク強度PPとの比(PS:PP)を変化させることができる。詳細には、1/4波長板2を回転させることにより、図2のPS:PPを0:100〜50:50の範囲で変化させることができる。
具体的に説明する。1/4波長板2の遅相軸又は進相軸が主パルスレーザ光Lの偏光方向と平行なときは、PBS4に対してP偏光である主パルスレーザ光Lの偏光状態が1/4波長板2によって変更されない。このため、P偏光である主パルスレーザ光LがPBS4に入射するので、第1のパルスレーザ光LSの強度はゼロとなり、図2のPS:PPが0:100となる。
1/4波長板2の遅相軸が主パルスレーザ光Lの偏光方向に対して45°傾いているときは、上述したようにPBS4に対してP偏光である主パルスレーザ光Lが1/4波長板2によって円偏光に変換され、円偏光である主パルスレーザ光LがPBS4に入射する。このとき図2のPS:PPが50:50となる。
1/4波長板2の遅相軸が主パルスレーザ光Lの偏光方向と交差し、かつ両者のなす角度が45°ではないときに、PBS4に対してP偏光である主パルスレーザ光Lが1/4波長板2によって楕円偏光に変換され、楕円偏光である主パルスレーザ光Lが1/4波長板2に入射する。このとき図2のPS:PPが、X:(100−X)となる。但し、0<X<50である。
1/2波長板を、1/4波長板2に代えて用いることもできる。この場合、保持機構3によって1/2波長板を回転させることにより、PBS4に対してP偏光である主パルスレーザ光Lを、直線偏光光に保ったまま、その偏光方向を回転させることができる。具体的には、1/2波長板の遅相軸を主パルスレーザ光Lの偏光方向に対して角度θ傾けると、1/2波長板から出射する主パルスレーザ光Lの偏光方向は角度2θ回転する。この結果、主パルスレーザ光Lの、PBS4に対するP偏光成分とS偏光成分との強度比を0:100〜100:0の範囲で変化させることができる。即ち、図2のPS:PPを、0:100〜100:0の範囲で変化させることができる。なお、1/2波長板や1/4波長板に限らず、1/3波長板等の他の波長板を用いてもよい。
電気光学素子(EOM;Electro-OpticModulator)を、1/4波長板2に代えて用いることもできる。この場合、保持機構3は省略される。EOMは、主パルスレーザ光Lが入射する電気光学結晶と、その電気光学結晶に電場を印加する電場印加器とを含んで構成される。電場印加器によって電気光学結晶に電場が印加されることにより、電気光学結晶に複屈折が生じる。これに基づいて、主パルスレーザ光Lの相互に直交する偏光成分に位相差を付与することが可能となるので、主パルスレーザ光Lの偏光状態を変化させることができる。これにより、主パルスレーザ光LのPBS4に対するS偏光成分とP偏光成分との強度比を、0:100〜100:0の範囲で変化させることができる。
ファラデー回転素子(faradayrotator)を、1/4波長板2に代えて用いることもできる。この場合も、保持機構3は省略される。ファラデー回転素子は、主パルスレーザ光Lが入射する透明誘電体と、その透明誘電体に磁場を印加する磁場印加器とを含んで構成される。ファラデー回転素子によれば、主パルスレーザ光Lの偏光状態を直線偏光に保ったまま、その偏光方向を回転させることができる。これにより、主パルスレーザ光LのPBS4に対するS偏光成分とP偏光成分との強度比を、0:100〜100:0の範囲で変化させることができる。
以上のようにして、第1及び第2のパルスレーザ光LS及びLPの強度比を変化させることができるので、光学装置の汎用性を向上させることができる。PBS4による主パルスレーザ光Lの分割比を変化させることにより、第1及び第2のパルスレーザ光LS及びLPの強度比を変化させるので、分割した後に第1及び第2のパルスレーザ光LS及びLPの一方の強度をアッテネータ等で減衰させる場合に比べると、パルスレーザ光のエネルギのロスを小さく抑えることができる。
図4に、他の実施例による光学装置を示す。光源41が、主パルスレーザ光L0を出射する。光源41から出射される主パルスレーザ光L0は、図4の紙面に平行なX方向を偏光方向とする直線偏光光である。主パルスレーザ光L0が入射する位置に、部分反射鏡42が配置されている。保持機構43が部分反射鏡42を保持している。部分反射鏡42は、主パルスレーザ光L0が入射する分岐点Iを画定し、その分岐点Iにおいて主パルスレーザ光L0を、第1及び第2のパルスレーザ光L1及びL2に分岐させる。分岐されて得られた第1及び第2のパルスレーザ光L1及びL2は、主パルスレーザ光L0の偏波面と平行な偏波面をもつ直線偏光光である。
第1のパルスレーザ光L1は、第1〜第4の反射鏡441、442、443、及び444をこの順に経由し、その偏波面が主パルスレーザ光L0の偏波面と平行に保たれた状態でPBS46に入射する。PBS46は、第1のパルスレーザ光L1が入射する合成点Jを画定している。
遅延光学系44が、第1〜第4の反射鏡441、442、443、及び444によって構成されている。即ち、第1〜第4の反射鏡441、442、443、及び444上における第1のパルスレーザ光L1の反射点をそれぞれE、F、G、及びHとしたとき、遅延光学系44によって遅延光路E−F−G−Hが画定されている。点Eから点Fにわたって画定される光軸は、点Gから点Hにわたって画定される光軸と平行である。
可動ステージ45上に、第3及び第4の反射鏡442及び443が固定されている。可動ステージ45は、点Eから点Fにわたって画定される光軸に平行な方向に移動することができる。これにより、分岐点Iから点Eにわたって画定される光軸、及び点Hから合成点Jにわたって画定される光軸の空間的位置を変化させることなく、遅延光路E−F−G−Hの全長を変化させることができる。即ち、可動ステージ45を第1の反射鏡441に近づける程、遅延光路E−F−G−Hの全長を短くすることができ、第1の反射鏡441から遠ざける程、遅延光路E−F−G−Hの全長を長くすることができる。
第2のパルスレーザ光L2は、反射鏡47によって反射されて、1/2波長板48に入射する。1/2波長板48は、第2のパルスレーザ光L2の偏光方向を、90°旋回させる。これにより、第2のパルスレーザ光L2の偏光方向は、図4の紙面に垂直なY方向となる。なお、1/2波長板48に代えて、直線偏光光の偏光方向を90度変化させるペリスコープ(Periscope)を用いてもよい。
1/2波長板48を通過した第2のパルスレーザ光L2は、反射鏡49によって反射され、PBS46によって画定された合成点Jに入射する。第2のパルスレーザ光L2の合成点Jへの入射光軸SIN2は、第1のパルスレーザ光L1の合成点Jへの入射光軸SIN1と直交している。
PBS46は、第1のパルスレーザ光L1がPBS46に対してP偏光となり、第2のパルスレーザ光L2がPBS46に対してS偏光となるように配置されている。PBS46はP偏光を透過させるため、第1のパルスレーザ光L1の合成点Jからの出射光軸SOUTは、合成点Jへの第1のパルスレーザ光L1の入射光軸SIN1と同軸になる。また、PBS46はS偏光である第2のパルスレーザ光L2を反射させることにより、第2のパルスレーザ光L2の合成点Jからの出射光軸を、第1のパルスレーザ光L1の合成点Jからの出射光軸SOUTと一致させる。PBS46から出射した第1及び第2のパルスレーザ光L1及びL2は、ともに共通の出射光軸SOUTを伝播して、試料面P上の入射点Nに入射する。
この光学装置においても、第1のパルスレーザ光L1の入射点Nへの到達時点と、第2のパルスレーザ光L2の入射点Nへの到達時点を異ならせることができる。第1のパルスレーザ光L1が分岐点Iから合成点Jまでに経由する光路(以下、第1の光路という。)の光路長が、第2のパルスレーザ光L2が分岐点Iから合成点Jまでに経由する光路(以下、第2の光路という。)の光路長よりも長い場合に、第1のパルスレーザ光L1の入射点Nへの到達時点が、第2のパルスレーザ光L2の入射点Nへの到達時点よりも遅れる。一方、第1の光路の光路長が、第2の光路の光路長よりも短い場合に、第1のパルスレーザ光L1の入射点Nへの到達時点が、第2のパルスレーザ光L2の入射点Nへの到達時点よりも早くなる。
可動ステージ45を移動させて、遅延光路E−F−G−Hの光路長を変化させることにより、第1の光路の光路長を、第2の光路の光路長よりも長い状態から第2の光路の光路長よりも短い状態にわたって連続的に変化させることができる。このため、第1のパルスレーザ光L1の入射点Nへの到達時点を、第2のパルスレーザ光L2の入射点Nへの到達時点に対して遅延させることもできるし、早めることもできる。第1及び第2のパルスレーザ光L1及びL2の入射点Nへの到達時点の時間差は、遅延光路E−F−G−Hの光路長によって調節できる。このため、光学装置の汎用性を向上させることができる。
図5(a)に、部分反射鏡42の平面図を示す。部分反射鏡42は平面視において長方形をなしており、その表面上の位置によって、図4の主パルスレーザ光L0に対する反射率と透過率の比が異なるように構成されている。表面上における反射率と透過率の比は、部分反射鏡42の長手方向に関して変化している。図4の保持機構43が、部分反射鏡42の表面上における主パルスレーザ光L0の入射位置が、その表面上で移動するように、部分反射鏡42を長手方向にスライドさせる。これにより、部分反射鏡42による主パルスレーザ光L0の分割比を変化させることができるため、第1及び第2のパルスレーザ光L1及びL2の強度比を調節することができる。このため、光学装置の汎用性を向上させることができる。
図5(b)に、部分反射鏡の変形例を示す。この部分反射鏡421は、平面視において円形をなしており、その表面上の位置によって、図4の主パルスレーザ光L0に対する反射率と透過率の比が異なる。表面上における反射率と透過率の比は、部分反射鏡421の周方向に関して変化している。図4の保持機構43が、部分反射鏡421の表面上における主パルスレーザ光L0の入射位置が、その表面上で移動するように、部分反射鏡421を回転させる。これにより、部分反射鏡421による主パルスレーザ光L0の分割比を変化させることができるため、第1及び第2のパルスレーザ光L1及びL2の強度比を調節することができる。
図6に、実施例によるPIV(ParticleImage Velocimetry)装置の概略図を示す。ダブルパルスレーザ出射装置61は、図1又は図4に示した光学装置によって構成されている。ダブルパルスレーザ出射装置61は、1発目のパルスレーザ光を出射した後、その1発目のパルスレーザ光のパルス幅よりも数ns程度長い遅延時間をおいて、2発目のパルスレーザ光を出射することができる。即ち、1発目のパルスレーザ光のパルス波形の消滅時点から2発目のパルスレーザ光のパルス波形の立ち上がり時点までのパルス間隔を数ns程度とすることができる。このパルス間隔を数ns程度に設定することは、図1又は図4の遅延光路の光路長を調整することにより容易に実現できる。
まず、ダブルパルスレーザ出射装置61が、1発目のパルスレーザ光を出射する。出射されたパルスレーザ光は、シリンドリカルレンズ等を含んで構成される整形光学系62によってシート状に整形される。シート状に整形されたパルスレーザ光(以下、パルスシート光という。)が、透明な筒状体63内に形成されたトレーサ粒子64の流動場に照射される。このパルスシート光がストロボとして機能し、シャッタの開かれたCCDカメラ65によって、パルスシート光のトレーサ粒子64からの散乱光が撮像される。なお、パルスレーザ光は必ずしもシート状に整形しなくてもよく、トレーサ粒子64の流動場のうちの測定したい領域を照射できるビームサイズを有していればよい。
次に、CCDカメラ65のシャッタが開かれた状態のまま、ダブルパルスレーザ出射装置61が2発目のパルスレーザ光を出射する。上記と同様にして、2発目のパルスレーザ光も整形光学系62によってパルスシート光に整形され、そのパルスシート光の、トレーサ粒子64からの散乱光がCCDカメラ65によって撮像される。CCDカメラ65においては、1発目のパルスシート光に対応する画像と2発目のパルスレーザ光に対応する画像とが多重露光される。そして、多重露光されて得られた画像データが、コンピュータ66に送出される。
コンピュータ66は、その画像データを解析することにより、1発目のパルスレーザ光の照射時点から2発目のパルスレーザ光の照射時点までの、各々のトレーサ粒子64の移動距離を求める。そして、求めた移動距離の各々を、1発目のパルスレーザ光と2発目のパルスレーザ光とのパルス間隔で割ることにより、各々のトレーサ粒子64の移動速度を求めることができる。
従来のPIV装置では、1台のレーザ発振器においてQスイッチ動作を2回繰り返すことにより、2発のパルスレーザ光を出射させていた。この場合、1発目のパルスレーザ光と2発目のパルスレーザ光とのパルス間隔を1μs以下に短縮することが困難であった。このため、トレーサ粒子64の流動速度を増大させた場合、1発目のパルスレーザ光に対応した画像と2発目のパルスレーザ光に対応した画像との間で、対応するトレーサ粒子64の相関がとれなくなり、トレーサ粒子64の移動速度を正確に求めることができない場合があった。
本実施例のPIV装置によれば、1発目のパルスレーザ光と2発目のパルスレーザ光とのパルス間隔を数ns以下に設定することができるので、従来に比べると、トレーサ粒子64の速度算出の時間分解能を高めることができ、トレーサ粒子64の移動速度をより正確に求めることができる。また、ダブルパルスレーザ出射装置61においては、1発目のパルスレーザ光と2発目のパルスレーザ光のパルス間隔を調整することができるので、トレーサ粒子64の速度算出の時間分解能を調整することができるという利点がある。
以上、実施例について説明したが、本発明はこれに限られない。例えば、図1又は図4に示した光学装置をアニール処理に適用することもできる。この場合、光源1は例えばエキシマレーザ発振器を用いて構成される。パルス幅が伸長された主パルスレーザ光Lをアモルファスシリコン膜に入射させるばかりでなく、主パルスレーザ光Lを分割して得られる時間的に不連続な第1及び第2のパルスレーザ光をアモルファスシリコン膜に入射させることによっても、アモルファスシリコン膜の多結晶化に有効な効果が得られることがある。第1及び第2のパルスレーザ光を調整することができるので、アニール処理の条件を柔軟に設定することができる。この他、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
1…光源、2…1/4波長板、3…保持機構、4…PBS(偏光光学素子)、5…遅延光学系(再入射光学系)、6…可動ステージ(光路長調節機構)、LS…第1のパルスレーザ光、LP…第2のパルスレーザ光、41…光源、42…部分反射鏡(分割器)、43…保持機構、44…遅延光学系、45…可動ステージ(光路長差調節機構)、46…PBS(重ね合わせ器)、48…1/2波長板(偏光方向変化器)、L1…第1のパルスレーザ光、L2…第2のパルスレーザ光、I…分岐点、J…合成点。
Claims (10)
- 自己に入射する光の、相互に直交する第1の偏光成分及び第2の偏光成分の強度比を変化させることができる強度比可変装置と、
前記強度比可変装置に、主パルスレーザ光を入射させる光源と、
前記強度比可変装置を通過した主パルスレーザ光を、前記第1の偏光成分からなる第1のパルスレーザ光と、前記第2の偏光成分からなる第2のパルスレーザ光とに分岐させた後、該第1及び第2のパルスレーザ光が共通の光路を伝播するように、該第1及び第2のパルスレーザ光の一方の光路を他方の光路に重ね合せる伝播光学系であって、前記第1のパルスレーザ光が前記共通の光路上における仮想点に到達する時点と、前記第2のパルスレーザ光が該仮想点に到達する時点とを異ならせる伝播光学系と
を備えた光学装置。 - 前記強度比可変装置が、
前記光源から出射された主パルスレーザ光が入射し、該主パルスレーザ光の入射光軸と交差する仮想平面に平行な遅相軸、及び該遅相軸に直交し前記仮想平面に平行な進相軸を有し、該主パルスレーザ光の前記遅相軸に平行な偏光成分と前記進相軸に平行な偏光成分との間に位相差を付与する波長板と、
前記波長板を、前記仮想平面に交差する軸を中心として回転できるように保持し、かつ所望の位置で固定することができる保持機構と
を含む請求項1に記載の光学装置。 - 前記伝播光学系が、
前記強度比可変装置を通過した主パルスレーザ光が入射する分岐点を画定し、該主パルスレーザ光の前記第1の偏光成分を前記第1のパルスレーザ光として該分岐点から第1の方向に出射させ、前記第2の偏光成分を前記第2のパルスレーザ光として該分岐点から前記第1の方向とは異なる第2の方向に出射させ、かつ該主パルスレーザ光の前記分岐点への入射方向とは異なる第3の方向から該分岐点に再び入射される前記第2のパルスレーザ光を、該分岐点から前記第1の方向に出射させることにより、該第2のパルスレーザ光の光路を前記第1のパルスレーザ光の光路に重ね合せる偏光光学素子と、
前記偏光光学素子によって前記分岐点から前記第2の方向に出射された前記第2のパルスレーザ光を、前記第3の方向から再び該分岐点に入射させる再入射光学系と
を含む請求項1又は2に記載の光学装置。 - 前記再入射光学系が、前記分岐点から前記第2の方向に出射した後、前記再入射光学系によって前記第3の方向から再び前記分岐点に入射されるまでに前記第2のパルスレーザ光が経由する光路の光路長を変化させることができる光路長調節機構を含む請求項3に記載の光学装置。
- 主パルスレーザ光を出射する光源と、
前記光源から出射された主パルスレーザ光が入射する分岐点を画定し、該分岐点において前記主パルスレーザ光を第1及び第2のパルスレーザ光に分割する分割器であって、前記主パルスレーザ光の分割比を変化させることにより、前記第1及び第2のパルスレーザ光の強度比を変化させることができる分割器と、
前記分割器によって分割されて得られた前記第1及び第2のパルスレーザ光を合成点に入射させる伝播光学系であって、前記第1のパルスレーザ光が前記分岐点から前記合成点までに経由する第1の光路と、前記第2のパルスレーザ光が前記分岐点から前記合成点までに経由する第2の光路との間に光路長差を付与する伝播光学系と、
前記合成点を画定し、前記第1及び第2のパルスレーザ光が共通の光路を伝播するように、該合成点において該第1及び第2のパルスレーザ光の光路を重ね合せる重ね合わせ器と
を備えた光学装置。 - 前記分割器が、
前記主パルスレーザ光の光軸と交差する表面を有し、該表面上の位置によって該主パルスレーザ光に対する反射率と透過率との比が異なる部分反射鏡と、
前記部分反射鏡の表面上における前記主パルスレーザ光の入射位置が、該表面上で移動するように、該部分反射鏡を回転させ又は移動させることができる保持機構と
を含む請求項5に記載の光学装置。 - 前記光源から出射される主パルスレーザ光が直線偏光光であり、
前記伝播光学系が、前記第1及び第2の光路の一方の光路上に配置され、自己に入射した直線偏光光の偏光方向を90度変化させる偏光方向変化器を含む請求項6に記載の光学装置。 - 前記伝播光学系が、前記第1及び第2の光路の少なくともいずれか一方の光路の光路長を変化させることにより、該第1の光路と第2の光路との光路長差を変化させることができる光路長差調節機構を含む請求項5〜7のいずれかに記載の光学装置。
- 主パルスレーザ光を出射する光源と、
前記光源から出射された主パルスレーザ光が入射する分岐点を画定し、該分岐点において前記主パルスレーザ光を第1及び第2のパルスレーザ光に分割する分割器と、
前記分割器によって分割されて得られた前記第1及び第2のパルスレーザ光を合成点に入射させる伝播光学系であって、前記第1のパルスレーザ光が前記分岐点から前記合成点までに経由する第1の光路、及び前記第2のパルスレーザ光が前記分岐点から前記合成点までに経由する第2の光路の少なくともいずれか一方の光路の光路長を変化させることにより、前記第1の光路の光路長が前記第2の光路の光路長よりも長い第1の状態、及び前記第1の光路の光路長が前記第2の光路の光路長よりも短い第2の状態の少なくとも2つの状態をとることができる伝播光学系と、
前記合成点を画定し、前記第1及び第2のパルスレーザ光が共通の光路を伝播するように、該合成点において該第1及び第2のパルスレーザ光の光路を重ね合せる重ね合わせ器と
を備えた光学装置。 - 表面がアモルファスシリコン膜からなるアニール対象物を準備する工程と、
請求項1〜9のいずれかに記載の光学装置から出射され、前記共通の光路を伝播する前記第1及び第2のパルスレーザ光を前記アニール対象物に入射させる工程と
を含むアニール方法。
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