JP2006071343A - コンタクトプローブおよびソケット - Google Patents

Abstract

【課題】 通電試験等の際に、プランジャの先端部を摺動させることにより、プランジャの先端部に付着した半田等の付着物を落とすことができるコンタクトプローブおよびソケットを提供する。
【解決手段】 両端部に開口部９ａ、９ｂが形成された筒状の胴体部２と、一方の開口部９ａ側に配置され、被検査対象の端子に当接される第１プランジャ１と、他方の開口部９ｂに配置された第２プランジャ７と、第１プランジャ１と第２プランジャ７とに対し互いに離間させる方向に付勢可能なばね部材６と、第１プランジャ１の先端部を端子上で胴体部２の中心軸線Ｏに対して交差する方向に摺動可能に支持する支持機構５とを備える。
【選択図】 図１

Description

本発明はコンタクトプローブおよびソケットに関し、特に付着した半田を脱落させることができるコンタクトプローブおよびソケットに関する。

従来から、ＩＣ（Integrated Circuit；集積回路）や電気回路などに設置された半田にコンタクトプローブを接触させることによってこれらの回路の検査のために通電試験が行なわれている。

コンタクトプローブは、例えば、中空の筒状本体と、筒状本体の両端部に滑動可能に装着された一対の可動プランジャと、可動プランジャ間に可動プランジャを押圧するように配置されたばね部材とから構成されている。特開２００４−１７９０６６号公報に記載されたコンタクトプローブにおいては、ばね部材が、可動プランジャの端部に偏心して作用して、可動プランジャに偏荷重をかけるように構成されている。このように構成されたコンタクトプローブにおいては、可動プランジャの先端部を筒状本体に常に接触させた状態で、可動プランジャの先端部を被検査回路に設置された半田に接触させるため、通電試験時に可動プランジャの先端部を安定させることができ、通電試験を安定的に行なうことができる。また、特開２００１−２５５３４０号公報においては、一方の可動プランジャには、穴部が形成されており、他方のプランジャには、この穴部内に挿入され摺動可能とされた軸部が形成されている。このように構成されたコンタクトプローブにおいては、穴部に軸部が挿入されることにより、通電試験時に生じる振動が可動プランジャに伝達され難く、接触不良や被検査対象の磨耗を抑制することができる。
特開２００４−１７９０６６号公報 特開２００１−２２５３４０号公報

しかしながら、上記コンタクトプローブを用いて通電試験を行なった場合には、被検査回路に設置された半田が転写等し、付着物が可動プランジャの先端部に付着して、接触不良等の通電試験に不具合が生じるという問題があった。このように半田等が付着したコンタクトプローブは通電性が悪くなることから、圧縮空気を吹き付けるなどの定期的なクリーニングを行なって付着した半田を除去する必要がある。しかしながら、コンタクトプローブを定期的にクリーンニングすることは非常に煩雑である。

上記の事情に鑑みて、本発明の目的は、通電試験等の際に、プランジャの先端部を摺動させることにより、プランジャの先端部に付着した半田等の付着物を落とすことができるコンタクトプローブおよびソケットを提供する。

本発明に係るコンタクトプローブは、１つの局面では、両端部に開口部が形成された筒状の胴体部と、一方の開口部側に配置され、被検査対象の端子に当接される第１プランジャと、他方の開口部に配置された第２プランジャと、第１プランジャと第２プランジャとに対し互いに離間させる方向に付勢可能なばね部材と、第１プランジャの先端部を端子上で胴体部の中心軸線に対して交差する方向に摺動可能に支持する支持機構とを備える。

上記支持機構は、好ましくは、第１プランジャに設けられ胴体部の中心軸線と交差する方向に傾斜する第１傾斜面と、第２プランジャに設けられ第１傾斜面と対向する第２傾斜面とを含む。上記第１プランジャの先端部は、好ましくは、胴体部の中心軸線から離間した位置に配置され、支持機構は、第１プランジャの先端部を端子上で回転可能に支持する。本発明に係るコンタクトプローブは、１つの局面では、両端部に開口部が形成された筒状の胴体部と、一方の開口部側に配置され、被検査対象の端子に当接される第１プランジャと、他方の開口部に配置された第２プランジャと、第１プランジャと第２プランジャとに対し互いに離間させる方向に付勢可能なばね部材と、プランジャの先端部には、複数の分割先端部が形成され、隣接する分割先端部の間隔は、胴体部側から先端部側に向かうに従って漸次大きくされている。上記分割先端部は、好ましくは、複数の傾斜面と、該傾斜面間の交線とを含む。上記分割先端部の端面を傾斜面で構成することが好ましい。本発明に係るソケットは、一の局面では、上記コンタクトプローブを備える。本発明に係るソケットは、一の局面では、貫通孔が複数形成された胴体部と、各貫通孔の一方の開口部側に配置され、被検査対象物の端子に当接される複数の第１プランジャと、各貫通孔の他方の開口部側に配置された複数の第２プランジャと、第１プランジャと第２プランジャとに対し、互いに離間させる方向に付勢可能なばね部材と、複数の第１プランジャの先端部を端子上で胴体部の中心軸線に対して交差する方向に摺動可能に支持する支持機構とを備え、第１プランジャの先端部が端子に接触した後に摺動する方向をベクトルで表したときに、ベクトル方向の和が０となるように第１プランジャを設置している。

本発明によれば、通電試験時にプランジャの先端部を胴体部の中心軸線に対して交差する方向に摺動させることにより付着した半田を落とすことができる。

以下、図１から図１２を用いて、本発明の実施の形態について説明する。

（実施の形態１）
図１は、本実施の形態１に係るコンタクトプローブの側面図であり、この図１に示されるように、コンタクトプローブ５０は、両端部が開口させられた筒状の胴体部２と、胴体部２の両端部に前進後退可能に配置されたプランジャ（第１プランジャ）１およびプランジャ（第２プランジャ）７と、プランジャ１とプランジャ７とを互いに離間させるように胴体部２内に配置されたばね部材６と、プランジャ１の先端部を胴体部２の中心軸線Ｏに対して交差する方向に摺動可能に支持する支持機構５とを備える。胴体部２内には、プランジャ１、７とばね部材６とを収納する断面略円形状の収納空間８が形成されており、胴体部２の両端部には、収納空間８より縮径して開口された開口部９ａ、９ｂが形成されている。

プランジャ１は、略円柱形状に形成された大径部４と、大径部４の先端部に形成され、大径部４より縮径して形成された断面略円形状の軸部３と、大径部４の胴体部２側の端部に形成された段部２２とを備えている。大径部４の径は、収納空間８の径より小さく、開口部９ａの径より大きく形成されている。大径部４は、収納空間８内において、前後動可能であると共に、中心軸線Ｏに対して交差する方向にも変位可能とされている。軸部３は、大径部４の先端部に形成された傾斜部３ａと、傾斜部３ａの先端部に形成された水平部３ｂと、水平部３ｂの先端部に形成された突出部３ｃとを備えている。軸部３の径は、開口部９ａの径より小さく形成されている。傾斜部３ａは、胴体部２の中心軸線Ｏに対して交差する方向に延在しており、開口部９ａに配置されている。また、傾斜部３ａは、傾斜部３ａの中心と、大径部４の中心とがずれるように、大径部４の接続されている。このため、傾斜部３ａと大径部４との段差部１６においては、傾斜部３ａの外周縁部と大径部４の外周縁部とが近接している薄肉部１６ｂと、離間している厚肉部１６ａとが形成されている。水平部３ｂは、中心軸線Ｏと略平行に延在している。なお、軸部３の形状は、上記のような形状に限られず、プランジャ１の先端部が中心軸線Ｏから離間する位置に配置されるような形状であればよい。例えば、軸部３が全体的に中心軸線Ｏからずれるように湾曲して形成されてもよい。

段部２２の胴体部２側の端部には、凹部１５が形成されている。凹部１５の底面には、中心軸線Ｏに対して傾斜する傾斜面（第１傾斜面）１５ａが形成されている。また、傾斜面１５ａの傾斜方向は、傾斜部３ａが傾斜する方向と略同一の方向に傾斜している。突出部３ｃは、先端部の外周縁部から先端部の中央部に向かうに従って、外方に向けて漸次膨出するように湾曲して形成されている。

プランジャ７は、略円柱状に形成された大径部１７と、この大径部１７の先端部に形成された軸部１８と、大径部１７の胴体部２側の端部に形成された段部２１と、段部２１の胴体部２側の端部に形成された支持軸部１９とを備える。段部２１の径は、大径部１７の径より小さくされており、支持軸部１９の径は、段部２１の径より小さくされている。軸部１８は、略中心軸線Ｏ上に配置されており、軸部１８の先端部は、円錐形状に形成されている。また、軸部１８の径と開口部９ｂとの径は、略一致しており、軸部１８は、中心軸線Ｏに沿って摺動可能な一方で、中心軸線Ｏに対して交差する方向に変位し難くなっている。なお、軸部１８と大径部１７との間には、段差部２０が形成されている。軸部１８は、開口部９ｂ内に嵌挿されており、前後動可能とされている。大径部１７の径と、収納空間８の径とは、略一致しており、大径部１７は、中心軸線Ｏに沿って摺動可能な一方で、軸線方向に交差する方向に変位し難くなっている。支持軸部１９の先端部は、傾斜面１５ａに対応する傾斜面１９ａが形成され、支持軸部１９の径は、凹部１５の径より小さく形成されている。このため、支持軸部１９は、凹部１５内に挿入可能とされており、傾斜面１９ａは傾斜面１５ａ上を摺動することができる。なお、傾斜面１５ａ、１９ａと中心軸線Ｏとの成す角度は、傾斜部３ａと中心軸線Ｏとの成す角度や、傾斜面１９ａと傾斜面１５ａとが通常の状態において離間している距離等により設定される。支持機構５は、大径部４に形成された傾斜面１５ａと、支持軸部１９に形成された傾斜面１９ａと、ばね部材６とを備え、プランジャ１を中心軸線Ｏに対して交差する方向に摺動可能に支持する。

ばね部材６は、支持軸部１９の周囲に螺旋状に形成され、ばね部材６の両端部は、段部２２と段部２１とに固定されている。また、ばね部材６は、プランジャ１とプランジャ７とが互いに離間するように、プランジャ１とプランジャ７とに付勢力を及ぼす。なお、本実施の形態においては、プランジャ１とプランジャ７とを互いに離間させる方向に付勢力を及ぼす手段として、巻きばねが用いられているが板ばねであってもよく、弾性体として機能するものであればよい。このため、プランジャ１の段差部１６は、開口部９ａの開口縁部に当接されており、プランジャ７の段差部２０が開口部９ｂの開口縁部に当接されている。この際、大径部４の外周面のうち、厚肉部１６ａ側の外周面が、胴体部２の内周面に近接している。すなわち、大径部４の中心軸線は、胴体部２の中心軸線Ｏからずれた位置に配置されている。

上記のように構成されたコンタクトプローブ５０を用いて、ＩＣパッケージや電気回路などの通電検査を行なうには、例えば、ＩＣパッケージ等の外部端子に、プランジャ１の突出部３ｃを当接させる。突出部３ｃに外部端子が当接すると、プランジャ１は、ばね部材６の付勢力に反して、プランジャ７に近接するように変位する。プランジャ１がプランジャ７側に近接すると、傾斜部３ａは、中心軸線Ｏと交差するように傾斜するように形成されているため、傾斜部３ａの外周面のうち薄肉部１６ｂ側の外周面が、開口部３ａの内周面から離間するように変位する。

さらに、プランジャ１がプランジャ７側に近接すると、プランジャ１に形成された傾斜面１５ａとプランジャ７に形成された傾斜面１９ａとが当接する。この際、プランジャ７は、中心軸線Ｏに対して交差する方向に変位し難いため、プランジャ１が傾斜面１５ａ、１９ａに沿って変位する。傾斜面１５ａは、傾斜部３ａの傾斜方向と略同一の方向に傾斜するため、傾斜部３ａの外周面のうち、薄肉部１６ｂ側の外周面が開口部９ａの内周面に近接するように変位する一方で、大径部４の外周面のうち、段差部１６の厚肉部１６ａ側の外周面が胴体部２の内周面から離間するように変位する。すなわち、プランジャ１は、胴体部２内に引き込まれつつも、胴体部２の中心軸線Ｏに近接するように径方向に変位する。このようにプランジャ１が胴体部２の径方向に変位するため、プランジャ１の先端部も胴体部２の径方向に変位して、プランジャ１の突出部３ｃは、被検査対象物の外部端子とこすれる。

また、プランジャ１は、中心軸線Ｏ上からずれるように配置されているため、被検査対象の外部端子は、中心軸線Ｏ上から径方向にずれた位置で、突出部３ｃと接触する。さらに、プランジャ１の先端部は、外方に向けて湾曲するように形成されているため、外部端子は、湾曲した曲面上に当接する。このように湾曲する面に外部端子が当接することにより、プランジャ１の先端部は、外部端子から中心軸線Ｏと交差する方向に向けて応力を受ける。この外部端子から受ける応力は、中心軸線Ｏと平行な分力と、中心軸線Ｏに対して垂直に交わる方向の分力とにわけることができる。この中心軸線Ｏと垂直に交わる方向の分力は、胴体部２の径方向の分力と、径方向と直交する方向の分力とに分けることができる。このように、外部端子が突出部３ｃに接触した際、外部端子と突出部３ｃとの接触点は、中心軸線Ｏから径方向に離間しており、さらに、プランジャ１は、外部端子から径方向と直交する方向に分力を受けるため、プランジャ１には、中心軸線Ｏを中心とする回転モーメントが生じる。その上、傾斜面１５ａと傾斜面１９ａとが当接していない場合には、プランジャ１は、中心軸線Ｏを中心に回転可能である。このため、プランジャ１と外部端子とが接触した際には、プランジャ１は、中心軸線Ｏを中心として回転する。

そして、通電試験等が終了するとプランジャ１の先端部が外部端子から退避すると共に、プランジャ１がばね部材６により押圧され、傾斜面１９ａに沿って変位して、中心軸線Ｏからずれた位置にまで変位する。

上記のように構成されたコンタクトプローブ５０においては、被検査対象の外部端子に接触した際に、プランジャ１が傾斜面１９ａに沿って変位するため、外部端子とプランジャ１の先端部とがこすれ、プランジャ１の先端部に半田等が付着している場合に、付着した半田を落とすことができる。このため、外部端子の半田がプランジャ１の先端部に付着することを抑制することができる。さらに、被検査対象の外部端子とプランジャ１とが接触した際、プランジャ１は、中心軸線Ｏを中心として僅かに回転するため、プランジャ１の先端部と外部端子とがこすれ、プランジャ１の先端部に半田が付着している場合においても、付着している半田を落とすことができる。このように、付着している半田を落とすことができるため、良好に通電試験を行なうことができる。

（実施の形態２）
図２を用いて、実施の形態２について説明する。

図２は、本実施の形態２に係るコンタクトプローブ６０の一部を断面視した側面図であり、この図２に示されるように、コンタクトプローブ６０の大径部４の外周面上には、中心軸線Ｏと交差する方向に延在する溝部３０が形成されている。なお、溝部３０は、先端部側から胴体部２側に向かって螺旋状に形成されてもよく、周方向に位置をずらして複数設けてもよい。

軸部３は、大径部の先端部に形成された水平部３ａと、水平部３ａの先端部に形成された傾斜部３ｂと、傾斜部３ｂの先端部に形成された水平部と３ｄと、水平部３ｄの先端部に形成された突出部３ｃとを備えている。水平部３ａ、３ｄは、中心軸線Ｏと平行に配置されている。なお、プランジャ１の形状は、上記のような形状にかぎられず、プランジャ１の先端部が中心軸線Ｏ上からずれた位置に配置されるような形状であればよい。

胴体部２の内周面には、大径部４に形成された溝部３０に嵌め込まれる突出部３１が形成されている。この突出部３１は胴体部２の内周面に複数設けられてもよい。段部２２の胴体部２側の端部には、凹部１５が形成されており、凹部１５の底面は、中心軸線Ｏと略垂直に交差する平坦面１５ｃとされている。支持軸部１９の胴体部２側の端部は、平坦面１５ｃに対応する平坦面１９ｃとされている。また、支持軸部１９の先端部側は、凹部１５内に回転自在に嵌め込まれている。支持機構５は、大径部４に形成された溝部３０と、胴体部２の内周面上に形成された突出部３１と、凹部１５内に形成された平坦面１５ｃと、支持軸部１９の先端部に形成された平坦面１９ｃとを備え、プランジャ１を中心軸線Ｏに関して回転可能に支持している。なお、本実施の形態２においては、大径部４に溝部３０が形成され、突出部３１が胴体部２の内表面に形成されているが、大径部４に突出部３１が形成され、胴体部２の内表面に溝部３０が形成されてもよい。

上記のように構成されたコンタクトプローブ６０を用いて、通電試験等を行なう場合には、被検査対象の外部端子に、プランジャ１の突出部３ｃを接触させる。この際、溝部３０に突出部３１が嵌め込まれているため、プランジャ１は、溝部３０の形状に沿って、胴体部２内に後退する。このため、プランジャ１の先端部は、外部端子上において、中心軸線Ｏを中心として回転する。そして、プランジャ１の先端部は、中心軸線Ｏから径方向に離間しているため、プランジャ１の先端部は、中心軸線Ｏを中心として、円状の軌跡を描きながら、外部端子の表面とこすれる。

上記のように構成されたコンタクトプローブ６０は、通電試験を行なう際に、プランジャ１の先端部が回転し易いため、プランジャ１の先端部が外部端子とこすれ、突出部３ｃに半田等が付着している場合においても、付着している半田等を落とすことができる。

（実施の形態３）
図３を用いて、本発明の実施の形態３について説明する。図３は、実施の形態３に係るコンタクトプローブの側面図であり、図３に示されるように、コンタクトプローブ７０のプランジャ１は、大径部４と、大径部４の先端部に形成された軸部３とを備えており、軸部３は、中心軸線Ｏに沿って、先端部側が少なくとも２以上分割されて複数の分割先端部２５が形成されている。分割先端部２５同士の間隔は、それぞれ、プランジャ１の先端部側に向かうにしたがって、漸次広がるように配置されている。このため、プランジャ１の先端部の径は、開口部９ａの径より大きく、胴体部２側に向かうに従って、漸次縮径されている。分割先端部２５の先端部には、外方に向けて突出する凸部２５ａが形成されており、各分割先端部２５は、軸部３の後端部側で一体化している。開口部９ａには、プランジャ１の軸部３が嵌挿されており、開口部９ａは、先端部側から胴体部２内側に向かうに従って、漸次拡径するようにテーパ状に形成されている。なお、図４に示されるように、大径部４に形成された溝部３０と、胴体部２の内周面上に形成された突出部３１と、凹部１５内に形成された平坦面１５ｃと、支持軸部１９の先端部に形成された平坦面１９ｃとを備え、プランジャ１を中心軸線Ｏに関して回転可能に支持する支持機構５を設けてもよい。

図５は、プランジャ１の先端部の正面図であり、この図５に示されるように、分割先端部２５は、プランジャ１の先端部を４等分することにより構成されている。このため、分割先端部２５の上端部は、上面視した際に、直交する２つの直線状の辺部と、この辺部の端部間を結ぶ円弧状の辺部とからなり、２つの直線状の辺部が交差してなる頂点部ａ１が９０°とされた扇型形状に形成されている。そして、分割先端部２５のうち、円弧状の辺部の中点から頂点部ａ１の部分が稜線部（交線）とされ、この稜線部の裾部に傾斜面２５ｃが形成されている。このように、分割先端部２５の先端部は、外方に突出する凸部２５ａが形成されている。なお、分割先端部２５の端部を凹部としてもよい。図６は、互いに離間する分割先端部２５を収束させた場合の正面図であり、分割先端部２５が収束すると、断面が円形状の軸部となる。図７は、分割先端部を収束させた場合におけるプランジャ１の側面図であり、この図７に示されるように、プランジャ１の先端部には、周方向に沿って凹凸部が形成されている。凹部は、隣接する分割先端部２５の傾斜面２５ｃにより構成されている。

なお、図８に示されるように、各分割先端部２５の先端部を１つの傾斜面（第３傾斜面）２５ｄを形成してもよい。傾斜面２５ｄは、いずれか一方の直線状の辺部と円弧状の辺部とが交差する頂点ａ２から、頂点ａ２と対向する直線状の辺部に向かうに従って、漸次外方に向けて突出するように傾斜している。すなわち、外径側から内径側に向かうに従って、漸次外方に向けて突出するように傾斜している。図９は、互いに離間する分割先端部２５を収束させた際におけるプランジャ１の先端部の正面図であり、この図９に示されるように、周方向に沿って、傾斜面２５ｄが繰り返される。図１０は、分割先端部２５を収束した状態におけるプランジャ１の先端部の側面図であり、この図１０に示されるように、傾斜面２５ｄと中心軸線Ｏとの交差角度θは、４５°程度とされている。なお、本実施の形態３においては、プランジャ１の先端部には、４つの分割先端部２５が形成されているが、これに限られず、２以上の分割先端部が形成されておればよく、また、各分割先端部２５が等分されている必要もない。

上記のように構成されたコンタクトプローブ７０を用いて、通電試験を行なう際には、被検査対象の外部端子にプランジャ１の先端部を接触させる。プランジャ１の先端部に外部端子が接触すると、プランジャ１は、ばね部材６の付勢力に抗して、胴体部２内に向けて変位する。これに伴って、プランジャ１の先端部側の外周面が、開口部９ａの内周縁部と漸次当接して、分割先端部２５同士の間隔が狭められる。そして、各分割先端部２５は、外部端子上にて、中心軸線Ｏに近接するように近接する。このため、各分割先端部２５は、外部端子とこすれ、分割先端部２５に半田等の付着物が付着している場合には、付着物が脱落する。また、プランジャ１の先端部には、凹凸部が複数形成されるため、プランジャ１の先端部と外部端子とは、複数の位置で接触する。

なお、支持機構５を設けられた場合には、分割先端部２５は外部端子上にて中心軸線Ｏに近接するように変位すると共に、中心軸線Ｏを中心として回転する。すなわち、分割先端部２５は、外部端子上にて渦巻き状の軌跡を描く。また、分割先端部２５の端面が１つの傾斜面２５ｄにより構成されている場合は、例えば、外部端子から応力Ｆを受けると、径方向と直交する方向にＦ×ｓｉｎθの応力が生じる。このため、中心軸線Ｏを中心とする回転モーメントが生じ、外部端子が傾斜面２５ｄに接触すると、プランジャ１が傾斜面２５ｄに沿って回転する。そして、通電試験が終了すると、プランジャ１がばね部材６により押圧されて、プランジャ１ａの先端部側が開口部９ａから外方に向けて突出し、分割先端部が互いに離間するように広がる。

上記のように構成されたコンタクトプローブ７０によれば、分割先端部２５に付着している半田等の付着物を除去することができ、通電試験を良好に行なうことができる。また、付着した付着物を通電試験時に除去することができるため、プランジャ１の先端部をクリーニングする必要性を軽減することができる。また、プランジャ１の先端部に形成された凹凸部により、外部端子とプランジャ１とが複数箇所で接触するため、良好に通電試験等を行なうことができる。なお、支持機構５が設けられた場合には、分割先端部２５は、外部端子上にて渦巻き状の軌跡を描きつつ、外部端子とこすれるため、良好にプランジャ１の先端部に付着した付着物を脱落させることができる。また、分割先端部２５の端面を１つの傾斜面２５ｄにより形成した場合には、プランジャ１を良好に回転させることができ、外部端子と分割先端部２５とをこすり合わせることにより付着物を良好に脱落させることができる。

（実施の形態４）
図１１を用いて、本発明の実施の形態４について説明する。図１１は、本実施の形態４に係るソケット１００の一部を断面視した側面図であり、この図１１に示されるように、ソケット１００は、貫通孔８１Ａ、８１Ｂが複数形成された胴体部８０と、各貫通孔８１Ａ、８１Ｂの一方の開口部９ａ側に配置され、被検査対象物の端子に当接される複数のプランジャ１Ａ、１Ｂと、各貫通孔８１Ａ、８１Ｂの他方の開口部９ｂ側に配置された複数プランジャ７Ａ、７Ｂと、プランジャ１Ａ、１Ｂとプランジャ７Ａ、７Ｂとに対し、互いに離間させる方向に付勢可能なばね部材６Ａ、６Ｂと、複数のプランジャ１Ａ、１Ｂの先端部を端子上で各貫通孔８１Ａ、８１Ｂの中心軸線Ｏａ、Ｏｂに対して交差する方向に摺動可能に支持する支持機構８５とを備える。すなわち、ソケット１００は、上記実施の形態１に係るコンタクトプローブと同様の構成とされた複数のコンタクトプローブ５０Ａ、５０Ｂを横方向に交互に複数設けることにより構成されている。各プランジャ１Ａの大径部４Ａには、凹部１５Ａが形成されており、この凹部１５Ａの底面は、各プランジャ１Ａの中心軸線Ｏａに対して交差する方向に傾斜する傾斜面１１５Ａが形成されている。プランジャ１Ａに隣接するプランジャ１Ｂには、凹部１５Ａが形成されており、凹部１５Ｂの底面には、傾斜面１１５Ｂが形成されている。

傾斜面１１５Ａと傾斜面１１５Ｂとは、プランジャ１Ａの中心軸線Ｏａと、プランジャ１Ａに隣接するプランジャ１Ｂの中心軸線Ｏｂとの中間を通る軸線Ｐを中心として、対称的に傾斜している。また、互いに隣接する支持軸部１９Ａ、１９Ｂに形成された傾斜面１１９Ａと傾斜面１１９Ｂとは、互いに軸線Ｐを中心として対称となるように傾斜している。支持機構８５は、傾斜面１１９Ａ、１１９Ｂと傾斜面１１５Ａ、１１５Ｂとから構成されている。なお、支持機構８５は、隣接するプランジャ１Ａとプランジャ１Ｂとを対称的に変位させるが、これに限られない。すなわち、被検査対象物に及ぼす応力の水平方向のベクトルの和を小さく抑えることができればよく、例えば、ソケット１００の中心軸線を中心に各プランジャを配置すると共に、各プランジャをソケット１００の中心軸線に関して対称的に変位させてもよい。

上記のように構成されたソケット１００を用いて、ＩＣパッケージ等の通電試験を行なう際には、各プランジャ１Ａ、１Ｂの先端部に外部端子を接触させる。傾斜面１１５Ａと傾斜面１１５Ｂとは、軸線Ｐを中心として対称的に配置されているため、各プランジャ１Ａ、１Ｂの先端部に外部端子を接触させると、プランジャ１Ａ、１Ｂの先端部は、互いに軸線Ｐを中心として対称的に近接または離間するように変位する。このため、プランジャ１Ａ、１Ｂが被検査対象物に及ぼす水平方向のベクトル和は互いに打ち消しあい、小さく抑えられる。

上記のように構成されたソケット１００は、通電試験を行なう際に、各プランジャ１Ａ、１Ｂが被検査対称物に及ぼす水平方向のベクトル和は、小さく抑えられるため、被検査対象物が通電試験時に回転およびスライドすることが抑制することができ、良好に通電試験を行なうことができる。なお、上記ソケット１００においては、実施の形態１に係るコンタクトプローブを複数設けることにより構成されているため、上記実施の形態１と同様の作用・効果を得ることができる。

（実施の形態５）
図１２を用いて、本発明に係る実施の形態５について説明する。この図１２は、本実施の形態５に係るソケット２００の一部を断面視した側面図であり、この図１２に示されるように、ソケット２００は、各プランジャ１Ａ、１Ｂの先端部を外部端子上で各貫通孔８１の中心軸線Ｏａ、Ｏｂを中心に摺動可能に支持する支持機構９５とを備える。すなわち、ソケット２００は、実施の形態３に係るコンタクトプローブと同様に構成されたコンタクトプローブ６０Ａ、６０Ｂを横方向に交互に複数設けることにより構成されている。プランジャ１Ａ、１Ｂの軸部３Ａ、３Ｂには、複数の分割先端部２５Ａ、２５Ｂが構成されている。

プランジャ１Ａの先端部は、複数の分割先端部２５Ａ、２５Ｂが形成されており、大径部４Ａ、４Ｂには、溝部３０Ａ、３０Ｂが形成されている。プランジャ１Ａに形成された溝部３０Ａは、中心軸線Ｏａと交差するように形成されており、一の周方向、例えば上面視した際に右周り方向、に沿うに従って、軸部３Ａの先端部側から後端部側に向かうように螺旋状に形成されている。溝部３０Ｂは、他の周方向、例えば、上面視した際に左周り方向、に沿うに従って、軸部３Ｂの先端部側から後端部側に向かうように螺旋状に形成されている。すなわち、プランジャ１Ｂに形成された溝部３０Ｂは、溝部３０Ａと逆方向に向けて形成されている。プランジャ１Ａ、１Ｂに形成された分割先端部２５Ａ、２５Ｂは、先端部側に向かうに従って、分割先端部２５Ａ、２５Ｂ同士の間隔が広がるように構成されている。プランジャ１Ａ、１Ｂの後端部には、凹部１５Ａ、１５Ｂが形成されており、底面がそれぞれ平坦面１１５Ｃ、１１５Ｄとが形成されている。プランジャ２Ａ、２Ｂの支持軸部１９Ａ、１９Ｂのプランジャ１Ａ、１Ｂ側の端面には、平坦面１１５Ｃ、１１５Ｄに対応する平坦面１１９Ｃ、１１９Ｄが形成されている。各貫通孔８１の内周面には、溝部３０Ａ、３０Ｂに嵌め合わせられる突出部３１Ａ、３１Ｂが形成されている。

支持機構９５は、プランジャ１Ａ、１Ｂに形成された溝部３０Ａ、３０Ｂと、突出部３１Ａ、３１Ｂと、平坦面１１５Ｃ、１１５Ｄと、平坦面１１９Ｃ、１１９Ｄとを備える。

なお、分割先端部２５Ａ、２５Ｂの先端面を１つの傾斜面により構成する場合には、分割先端部２５Ａの先端部に形成された傾斜面と、分割先端部２５Ｂの先端部に形成された傾斜面とは、互いに、軸線Ｐを中心に対称的に傾斜するのが好ましい。すなわち、分割先端部２５Ａ、２５Ｂの先端部に形成された傾斜面は、好ましくは、それぞれプランジャ１Ａ、１Ｂの回転方向に向かうに従って、漸次外方に向けて傾斜するように形成されている。

上記のように構成されたソケット２００を用いて、通電試験等を行なう際には、プランジャ１Ａ、１Ｂの先端部を被検査対象の外部端子に接触させる。プランジャ１Ａ、１Ｂは、外部端子に接触すると、それぞれ溝部３０Ａ、３０Ｂに沿って回転する。この際、溝部３０Ａ、溝部３０Ｂは、互いに交差するように形成されているため、プランジャ１Ａと、プランジャ１Ｂとは、互い反対方向に回転する。すなわち、プランジャ１Ａ、プランジャ１Ｂは、軸線Ｐを中心に対称的に回転する。このため、プランジャ１Ａ、１Ｂが被検査対象物に及ぼす水平方向のベクトル和は互いに打ち消しあい、小さく抑えられる。

なお、分割先端部２５Ａ、２５Ｂの各先端部に、回転方向に向かうに従って、漸次外方に向けて傾斜する傾斜面がそれぞれ形成されている場合には、外部端子と、傾斜面とが接触することにより、良好にプランジャ１Ａ、１Ｂが互いに反対方向に回転する。

上記のように構成されたソケット１００は、通電試験を行なう際に、各プランジャ１Ａ、１Ｂが被検査対称物に及ぼす水平方向のベクトル和は、小さく抑えられるため、被検査対象物が通電試験時に回転およびスライドすることが抑制することができ、良好に通電試験を行なうことができる。ソケット２００は、上記実施の形態３に係るコンタクトプローブを備えているため、上記実施の形態３と同様の作用・効果を得ることができる。

以上のように本発明の実施の形態および実施例について説明を行なったが、各実施の形態および実施例の特徴を適宜組合せることも当初から予定されている。また、今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

本発明は、コンタクトプローブおよびソケットに好適である。

本発明の実施の形態１に係るコンタクトプローブの側面図である。 本発明の実施の形態２に係るコンタクトプローブの側面図である。 本発明の実施の形態３に係るコンタクトプローブの側面図である。 図３に示されたコンタクトプローブの変形例を示す側面図である。 プランジャの先端部の正面図である。 分割先端部を収束させた際におけるプランジャの正面図である。 図６に示すプランジャの側面図である。 プランジャの先端部の正面図である。 分割先端部を収束させた際におけるプランジャの正面図である。 図９に示されたプランジャの側面図である。 本発明に係る実施の形態４のソケットの側面図である。 本発明に係る実施の形態５のソケットの側面図である。

符号の説明

１、１Ａ、１Ｂ プランジャ（第１プランジャ）、２ 胴体部、３、１８ 軸部、５ 支持機構、６ ばね部材、７、７Ａ、７Ｂ プランジャ（第２プランジャ）、８ 収納空間、９ａ、９ｂ 開口部、１５ 凹部、１５ａ 傾斜面、１９ 支持軸部、１９ａ 傾斜面、１９ｃ 平坦面、５０ コンタクトプローブ、２００ ソケット。

Claims (8)

1. 両端部に開口部が形成された筒状の胴体部と、
   一方の前記開口部側に配置され、被検査対象の端子に当接される第１プランジャと、
   他方の前記開口部に配置された第２プランジャと、
   前記第１プランジャと前記第２プランジャとに対し互いに離間させる方向に付勢可能なばね部材と、
   前記第１プランジャの先端部を前記端子上で前記胴体部の中心軸線に対して交差する方向に摺動可能に支持する支持機構と、
   を備えるコンタクトプローブ。
2. 前記支持機構は、
   前記第１プランジャに設けられ前記胴体部の中心軸線と交差する方向に傾斜する第１傾斜面と、
   前記第２プランジャに設けられ前記第１傾斜面と対向する第２傾斜面と、
   を含む、請求項１に記載のコンタクトプローブ。
3. 前記第１プランジャの先端部は、前記胴体部の中心軸線から離間した位置に配置され、
   前記支持機構は、前記第１プランジャの先端部を前記端子上で回転可能に支持する、請求項１に記載のコンタクトプローブ。
4. 両端部に開口部が形成された筒状の胴体部と、
   一方の前記開口部側に配置され、被検査対象の端子に当接される第１プランジャと、
   他方の前記開口部に配置された第２プランジャと、
   前記第１プランジャと前記第２プランジャとに対し互いに離間させる方向に付勢可能なばね部材と、
   前記プランジャの先端部には、複数の分割先端部が形成され、隣接する前記分割先端部の間隔は、前記胴体部側から先端部側に向かうに従って、漸次大きくされたコンタクトプローブ。
5. 前記分割先端部は、複数の傾斜面と、該傾斜面間の交線とを含む、請求項４に記載のコンタクトプローブ。
6. 前記分割先端部の端面を傾斜面で構成した、請求項４に記載のコンタクトプローブ。
7. 請求項１から請求項６のいずれかに記載のコンタクトプローブを備えた、ソケット。
8. 貫通孔が複数形成された胴体部と、
   前記各貫通孔の一方の開口部側に配置され、被検査対象物の端子に当接される複数の第１プランジャと、
   前記各貫通孔の他方の開口部側に配置された複数の第２プランジャと、
   前記第１プランジャと前記第２プランジャとに対し、互いに離間させる方向に付勢可能なばね部材と、
   前記複数の第１プランジャの先端部を前記端子上で前記胴体部の中心軸線に対して交差する方向に摺動可能に支持する支持機構とを備え、
   前記第１プランジャの先端部が前記端子に接触した後に摺動する方向をベクトルで表したときに、前記ベクトル方向の和が０となるように前記第１プランジャを設置した、ソケット。

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