JP2010038612A - コンタクトプローブ - Google Patents

Abstract

【課題】コンタクトピンとプロービング対象体、およびコンタクトピンとスリーブとを安定して接触させるようにする。
【解決手段】スリーブと、プロービングポイントに接触させられる突起１４が先端部１１の端面１１ａに複数形成され、かつ後端部がスリーブ内に摺動自在に挿入されたコンタクトピン４とを有するコンタクトプローブであって、先端部１１の端面１１ａは、平面視形状が円形に形成され、各突起１４は、端面１１ａの外縁部に頂部Ｐが位置すると共に稜線Ｂが頂部Ｐから端面１１ａの中心部に向けて延びる形状に形成されると共に、互いの形状が不均一に形成されている。
【選択図】図３

Description

本発明は、例えばプリント配線基板に形成された配線パターンなどのプロービング対象体に接触させられる突起が先端部に形成されたコンタクトピンを有するコンタクトプローブに関するものである。

この種のコンタクトプローブとして、下記の特許文献１に開示されたコンタクトプローブ（プローブピン）が知られている。このコンタクトプローブは、金属のスリーブと、内挿する圧縮コイル状のばねと、スリーブの端部に摺動自在に緩嵌されるコンタクトピンとから構成されている。また、コンタクトピンは、その先端が放射状に刃部を設けた王冠状のクラウンとして形成されている。具体的にその構成について図１９〜図２１を参照して説明する。コンタクトプローブ１０１は、スリーブ１０２の内部にばね１０３が収容され、さらにコンタクトピン１０４の一方の端部（同図中の右端部）が摺動部１０５として大径に形成されてスリーブ１０２の内部に緩嵌されて構成されている。また、コンタクトピン１０４の他方の端部（同図中の左端部）も大径に形成されて、王冠状のクラウン１０６として構成されている。

このクラウン１０６について詳細に説明する。クラウン１０６は、通常、図１９〜図２１に示すように、コンタクトピン１０４の他方の端部を円柱体に形成して構成され、その端面１０６ａに、端面１０６ａの外縁部に頂部Ｐが位置し、かつ頂部Ｐから延びる稜線Ｂが端面１０６ａの中心Ｏに至る同一形状の刃部（突起）１０７が等角度間隔で複数（本例では４つ）放射状に形成されている。

上記のような形状のクラウン１０６を備えたコンタクトピン１０４では、刃部（突起）１０７が複数形成されているため、他方の端部の形状が１本の針状に形成されたコンタクトピンと比較して、図２２に示すように、プロービング対象体としてのプロービングポイント（同図では一例として基板１１０に実装された電子部品１１１におけるリード１１１ａの半田付け箇所）Ｃの中心からコンタクトピン１０４の中心が多少ずれたとしても、複数の突起１０７のうちのいずれかがプロービングポイントＣに接触する。このため、このコンタクトピン１０４をコンタクトプローブ１０１に使用することにより、コンタクトプローブ１０１のプロービングポイントＣに対する位置決めを高精度で行わなくて済むため、コンタクトプローブ１０１についての移動制御の簡易化と、プロービング時間の短縮化とを図ることができる。
特開平５−２６４５８８号公報（第３頁、第１図（ｂ））

ところが、上記のコンタクトプローブ１０１には、以下の問題点が存在する。すなわち、このコンタクトプローブ１０１では、上記したように、同一形状の刃部（突起）１０７が、平面視円形の端面１０６ａに等角度間隔で形成されている。この構成により、図２３に示すように、目標とするプロービングポイントＣに対してコンタクトピン１０４が正確に位置決めされた状態でプロービングされたときには、すべての刃部（突起）１０７がプロービングポイントＣに対してほぼ同時に接触する。このため、コンタクトピン１０４からプロービングポイントＣに加わる圧力がすべての刃部（突起）１０７に均等に分散されて、１つの刃部（突起）１０７当たりの接触圧が大幅に低下し、接触状態が不安定になるという問題点が存在している。また、プロービングポイントＣと各刃部（突起）１０７との均一な接触に起因して、コンタクトピン１０４に自らの軸線方向と平行な方向の圧力が加わるため、コンタクトピン１０４はスリーブ１０２内にスリーブ１０２の軸線方向と平行に押し込まれる。つまり、コンタクトピン１０４はスリーブ１０２内にスリーブ１０２に対して真っ直ぐな状態で押し込まれる。このため、コンタクトピン１０４がスリーブ１０２内にスリーブ１０２に対して斜めになった状態で押し込まれるときと比較して、コンタクトピン１０４とスリーブ１０２との接触状態が不安定になって電気的な導通状態が不安定となるという問題点も存在している。

本発明は、かかる問題点を解決すべくなされたものであり、コンタクトピンとプロービング対象体、およびコンタクトピンとスリーブとを安定して接触させ得るコンタクトプローブを提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく請求項１記載のコンタクトプローブは、スリーブと、プロービング対象体に接触させられる突起が先端部の端面に複数形成され、かつ後端側が前記スリーブ内に摺動自在に挿入されたコンタクトピンとを有するコンタクトプローブであって、前記先端部の前記端面は、平面視形状が円形に形成され、前記各突起は、前記端面の外縁部に頂部が位置すると共に稜線が当該頂部から当該端面の中心部に向けて延びる形状に形成されると共に、互いの形状が不均一に形成されている。本願において「形状が不均一」とは、形状または大きさが均一ではないこと、つまり少なくとも１つの形状が他の形状と相違することだけでなく、大きさが相違することをも意味するものとする。したがって、相似形も不均一に含まれるものとする。

また、請求項２記載のコンタクトプローブは、請求項１記載のコンタクトプローブにおいて、前記各突起は、互いの頂部の高さが不均一に形成されている。本願において「高さが不均一」とは、高さが均一ではないこと、つまり少なくとも１つの高さが他の高さと相違することを意味するものとする。

また、請求項３記載のコンタクトプローブは、請求項１または２記載のコンタクトプローブにおいて、前記先端部の端面には、前記稜線の交点に副突起が形成されている。

また、請求項４記載のコンタクトプローブは、請求項１から３のいずれかに記載のコンタクトプローブにおいて、前記コンタクトピンは、一端側が前記先端部に連結されると共に他端側が前記スリーブ内に挿入された軸体部を備え、当該先端部が当該軸体部に対して偏心した状態で連結されている。

請求項１記載のコンタクトプローブでは、コンタクトピンの先端部の端面に、端面の外縁部に頂部が位置すると共に稜線がこの頂部から端面の中心部に向けて延びる形状に形成された複数の突起が、互いの形状が不均一な状態で形成されている。

したがって、このコンタクトプローブによれば、プロービングポイントに対するプロービング状態において、すべての突起がプロービングポイントに均一に接触するという事態を確実に回避することができるため、プロービングポイントと接触する突起の接触圧が分散されて大幅に低下することに起因する接触不良の発生を確実に防止して、コンタクトピンとプロービングポイントとを安定して接触させることができる。また、このコンタクトプローブによれば、プロービングポイントに対して各突起が均一には当接しないため、コンタクトピンがスリーブ内で斜めになった状態で押し込まれる結果、コンタクトピンとスリーブとの接触状態についても、不安定になる事態を回避でき、これにより、両者が確実に接触する状態に維持させることができる。

また、請求項２記載のコンタクトプローブによれば、互いの頂部の高さが不均一となるように各突起を形成したことにより、すべての突起がプロービングポイントに均一に接触するという事態を一層確実に回避することができ、接触不良の発生を一層確実に防止することができる。

また、請求項３記載のコンタクトプローブによれば、稜線の交点に副突起を形成したことにより、平面形状の小さいプロービングポイントに対して正確にプロービングされた場合においても、副突起がこのプロービングポイントに主として接触するため、接触状態が不安定になる事態を確実に回避することができる。

また、請求項４記載のコンタクトプローブによれば、一端側が先端部に連結されると共に他端側がスリーブ内に挿入された軸体部を備えてコンタクトピンを構成し、先端部を軸体部に対して偏心した状態で連結したことにより、常にコンタクトピンがスリーブ内で斜めになった状態で押し込まれるため、コンタクトピンをスリーブに対して一層確実に接触させることができる。

以下、本発明に係るコンタクトプローブの最良の形態について、添付図面を参照して説明する。

最初に、本発明に係るコンタクトプローブ１の構成について、図面を参照して説明する。

図１に示すコンタクトプローブ１は、スリーブ２、ばね３およびコンタクトピン４を備えている。スリーブ２は、導電性を有する金属材料を用いて円筒体に形成されると共に、一端側に挿通孔２ａ（後述する中間部１３の外径よりも大径で、かつ後述する後端部（従来の摺動部に相当する）１２の外径よりも小径）が形成され、かつ他端側が閉塞されている。ばね３は、一例として導電性を有する金属製のコイルばねで構成されて、スリーブ２内に収容されている。コンタクトピン４は、本例では、図１に示すように、導電性を有する金属材料を用いて、先端部（同図中の左端部）１１、後端部（同図中の右端部）１２、および先端部１１と後端部１２とを連結する中間部１３（後端部１２と共に本発明における軸体部を構成する）とを備えている。また、先端部１１、後端部１２および中間部１３は、それぞれ円柱体に形成されると共に、先端部１１および後端部１２は中間部１３よりも大径に形成されて、互いの軸線が一致した状態で連結されている。また、コンタクトピン４は、中間部１３が挿通孔２ａに挿通され、かつ後端部１２がスリーブ２内に収容された状態でスリーブ２に装着されている。また、コンタクトピン４では、後端部１２の外径がスリーブ２の内径よりも若干小径に形成されることにより、後端部１２が、スリーブ２の内周面と電気的に接触した状態で、スリーブ２内を摺動可能となっている。なお、このスリーブ２には、測定用信号入出力用の図示しないケーブルが電気的に接続されて、このスリーブ２を介してコンタクトピン４から測定用信号の入出力が行われる。

スリーブ２の外部に位置するコンタクトピン４の先端部１１は、その端面（図１中の左端面であって、平面視形状が円形の端面）１１ａに複数（本例では４つ）の突起（刃部）１４が形成されることにより、王冠状のクラウンとして構成されている（以下、先端部１１を「クラウン１１」ともいう）。このクラウン１１について図１〜図５を参照して詳細に説明する。クラウン１１は、図１において破線で示すように、平面（先端部１１の軸線と直交する平面）に形成された先端部１１の端面１１ａ上に、図２に示すように、頂部Ｐａ，Ｐｂ，Ｐｃ，Ｐｄ（以下、特に区別しないときには「頂部Ｐ」ともいう）が端面１１ａの外縁部に位置すると共に、図２〜図４に示すように、稜線Ｂが頂部Ｐから端面１１ａの中心部（本例では一例として中心Ｏ）に向けて延びるように形成された突起１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ（以下、特に区別しないときには「突起１４」ともいう）が放射状に４つ形成されて構成されている。本例では、各突起１４は、図２に示すように、その平面形状がいずれも中心角が９０°の同一形状の扇形に形成されているが、扇形の弧状部分（端面１１ａの外縁部の一部）における各頂部Ｐａ，Ｐｂ，Ｐｃ，Ｐｄの位置がそれぞれが異なるように配置され、かつ、図５に示すように、各頂部Ｐａ，Ｐｂ，Ｐｃ，Ｐｄの端面１１ａからの高さＨａ，Ｈｂ，Ｈｃ，Ｈｄもそれぞれ異なるように規定されて（本例では一例として、Ｈｃ＞Ｈｂ＞Ｈｄ＞Ｈａ）、各突起１４の形状（本例では立体形状）が不均一に形成されている。

次に、図６，７を参照して、プロービング対象体としてのプロービングポイントＣへのコンタクトプローブ１のプロービング動作について説明する。なお、本例ではプロービングポイントＣの一例として、同図に示すように、基板１１０に実装された電子部品１１１におけるリード１１１ａの半田付け箇所（一般的に同図に示すように、半田がドーム状に盛り上がって形成される箇所）を挙げて説明する。

まず、図６に示すように、コンタクトプローブ１の中心、つまりコンタクトピン４の軸線ＬがプロービングポイントＣの中心から多少ずれた状態で、プロービングポイントＣにコンタクトプローブ１がプロービングされたときには、プロービングポイントＣに接触させられるコンタクトピン４の先端部１１がクラウンに形成されているため、先端部１１の半径程度のずれであれば、複数の突起１４のうちのいずれか（同図では突起１４ｂ）がプロービングポイントＣに必ず接触する。このため、コンタクトプローブ１のプロービングポイントＣに対する位置決めを高精度で行う必要がないため、コンタクトプローブ１の移動制御の簡易化を図り、プロービングに要する時間を短縮することが可能となっている。また、このプロービング状態では、すべての突起１４がプロービングポイントＣに均一に接触するという事態が生じないため、プロービングポイントＣと接触する突起１４の接触圧が大幅に低下することに起因して発生する接触不良が確実に回避されている。また、このようにプロービングポイントＣに対して一部の突起１４だけが当接する状態のときには、コンタクトピン４がスリーブ２内で斜めになった状態で押し込まれる。したがって、コンタクトピン４とスリーブ２との接触状態についても、コンタクトピン４がスリーブ２内に真っ直ぐに押し込まれるときとは異なり、不安定になることはなく、両者が確実に接触する状態に維持される。

次に、図７に示すように、コンタクトプローブ１の中心、つまりコンタクトピン４の軸線ＬがプロービングポイントＣの中心に一致した状態で、プロービングポイントＣにコンタクトプローブ１がプロービングされたときには、頂部Ｐｃの最も高い突起１４ｃにおける頂部Ｐｃまたは稜線Ｂが最初にプロービングポイントＣと接触する。したがって、コンタクトピン４に加わる圧力により、その後に、コンタクトピン４がスリーブ２内で斜めになり、これによって突起１４ｃ以外の他の突起１４がプロービングポイントＣと接触した場合であっても、すべての突起１４がプロービングポイントＣに均一に接触するという状態には至らない。このため、このプロービング状態においても、プロービングポイントＣと接触する突起１４の接触圧が大幅に低下することに起因して発生する接触不良が確実に回避されると共に、コンタクトピン４がスリーブ２内で斜めになった状態で押し込まれることから、コンタクトピン４とスリーブ２との接触状態についても、不安定になることはなく、両者が確実に接触する状態に維持される。

このように、このコンタクトプローブ１では、コンタクトピン４の先端部１１の端面１１ａに、端面１１ａの外縁部に頂部Ｐが位置すると共に稜線Ｂがこの頂部Ｐから端面１１ａの中心部（上記の例では中心Ｏ）に向けて延びる形状に形成された複数（４つ）の突起１４が、互いの形状が不均一な状態で、具体的には各頂部Ｐの高さが不均一な状態で形成されている。したがって、このコンタクトプローブ１によれば、プロービングポイントＣに対するプロービング状態において、すべての突起１４がプロービングポイントＣに均一に接触するという事態を確実に回避することができるため、プロービングポイントＣと接触する突起１４の接触圧が大幅に低下することに起因する接触不良の発生を確実に防止して、コンタクトピン４とプロービングポイントＣとを安定して接触させることができる。また、このコンタクトプローブ１によれば、プロービングポイントＣに対して各突起１４が均一には当接しないため、コンタクトピン４がスリーブ２内で斜めになった状態で押し込まれる結果、コンタクトピン４とスリーブ２との接触状態についても、不安定になる事態を回避でき、これにより、両者が確実に接触する状態に維持させることができる（つまり、両者間の電気的な導通状態を安定した状態に維持することができる）。

なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、上記のコンタクトピン４では、各突起１４の稜線Ｂの交点を先端部１１の端面１１ａの中心Ｏに規定しているが、図８に示すコンタクトピン４Ａのように、各稜線Ｂの交点Ｄを端面１１ａの中心部ではあるが、中心Ｏ（真中）とは異なる位置（偏心位置）に規定して各突起１４を形成することもできる。以下、このコンタクトピン４Ａの構成について、図８〜図１１を参照して説明する。なお、コンタクトピン４と同一の構成については同一の符号を付して重複する説明を省略する。

コンタクトピン４Ａの先端部２１は、その端面２１ａに複数（４つ）の突起１４が形成されることにより、王冠状のクラウンとして構成されている（以下、先端部２１を「クラウン２１」ともいう）。このクラウン２１について、図８〜図１１を参照して詳細に説明する。クラウン２１は、図９〜図１１において破線で示すように、平面（先端部２１の軸線と直交する平面）に形成された先端部２１の端面２１ａ上に、図８に示すように、頂部Ｐが端面２１ａの外縁部に位置すると共に、稜線Ｂが頂部Ｐから端面２１ａの中心部（本例では端面２１ａの中心Ｏから若干外れた偏心位置に規定された交点Ｄ）に向けて延びるように形成された突起１４が放射状に複数（一例として４つ）形成されて構成されている。本例でも各突起１４は、図８に示すように、その平面形状がいずれも扇形（一例として、突起１４ｂ，１４ｄについては扇形、突起１４ａ，１４ｃについては歪んだ扇形）に形成され、かつ各頂部Ｐａ，Ｐｂ，Ｐｃ，Ｐｄが扇形の領域の弧状部分における異なる位置にそれぞれ配置され、かつ図１１に示すように、各頂部Ｐａ，Ｐｂ，Ｐｃ，Ｐｄの端面２１ａからの高さＨａ，Ｈｂ，Ｈｃ，Ｈｄもそれぞれ異なるように規定されて（Ｈｂ＞Ｈｃ＞Ｈａ＞Ｈｄ）、各突起１４の形状（本例では立体形状）が不均一に形成されている。

このコンタクトピン４Ａを使用したコンタクトプローブ１によっても、先端部２１の端面２１ａに複数の突起１４が互いの形状が不均一な状態（具体的には各頂部Ｐの高さが不均一な状態）で形成されているため、コンタクトピン４を使用した上記のコンタクトプローブ１と同様にして、プロービングポイントＣに対するプロービング状態において、すべての突起１４がプロービングポイントＣに均一に接触するという事態を確実に回避することができるため、プロービングポイントＣと接触する突起１４の接触圧が大幅に低下することに起因する接触不良の発生を確実に防止することができる。また、このコンタクトピン４Ａを使用したコンタクトプローブ１によれば、プロービングポイントＣに対して各突起１４が均一には当接しないため、コンタクトピン４Ａがスリーブ２内で斜めになった状態で押し込まれる結果、コンタクトピン４Ａとスリーブ２との接触状態についても、不安定になる事態を回避でき、これにより、両者が確実に接触する状態を維持させることができる。

また、上記の各コンタクトピン４，４Ａでは、複数の突起１４のみでクラウンを構成しているが、突起１４以外の突起を配設することもできる。例えば、上記のコンタクトピン４における先端部１１の端面１１ａ上における各稜線Ｂの交点（中心Ｏ）に副突起を配設する構成を採用することもできる。この構成を備えたコンタクトピン４Ｂについて、図１２〜図１４を参照してその構成を説明する。なお、副突起以外の構成については、コンタクトピン４の構成と同一であるため、同一の構成については同一の符号を付して重複する説明を省略する。

コンタクトピン４Ｂの先端部３１は、その端面（平面視円形の端面）３１ａに複数（４つ）の突起（刃部）１４が形成されることにより、王冠状のクラウンとして構成されている（以下、先端部３１を「クラウン３１」ともいう）。このクラウン３１について、図１２〜図１４を参照して詳細に説明する。クラウン３１は、図１３，１４において破線で示すように、平面（先端部３１の軸線と直交する平面）に形成された先端部３１の端面３１ａ上に、図１２に示すように、各突起１４が放射状に形成されて構成されている。また、各突起１４の稜線Ｂの交点でもある端面３１ａの中心Ｏには、先端部３１の軸線方向に沿って突出する副突起３２が配設されている。この副突起３２は、その高さＨｅが最も低い突起１４ａの頂部Ｐａの高さＨａよりも低く規定され（Ｈｃ＞Ｈｂ＞Ｈｄ＞Ｈａ＞Ｈｅ）、かつ先端が尖鋭に形成されている。

このコンタクトピン４Ｂを使用したコンタクトプローブ１でも、先端部３１の端面３１ａに複数の突起１４が互いの形状が不均一な状態で形成されているため、上記したコンタクトピン４を使用した構成と同様の作用効果を奏することができる。また、プロービングポイントＣに対して正確にプロービングされた場合において、プロービングポイントＣの平面形状が端面３１ａと比較して小さいときに、突起１４のみで構成されるコンタクトピン４では、各突起１４とプロービングポイントＣとの当接状態にあまり差が無い状態となることがあり、これに起因して接触状態が不安定になる事態が生じる場合もある。しかしながら、このコンタクトピン４Ｂを使用したコンタクトプローブ１によれば、平面形状の小さいプロービングポイントＣに対して正確にプロービングされた場合には、副突起３２がこのプロービングポイントＣに主として接触するため、接触状態が不安定になる事態を確実に回避することができる。

また、上記したコンタクトピン４Ａにも副突起３２を配設することもできる。コンタクトピン４Ａに副突起３２を配設したコンタクトピン４Ｃについて、図１５〜図１７を参照してその構成を説明する。なお、副突起３２以外の構成については、コンタクトピン４Ａの構成と同一であるため、同一の構成については同一の符号を付して重複する説明を省略する。

コンタクトピン４Ｃの先端部４１は、その端面（平面視円形の端面）４１ａに複数の突起（刃部）１４が形成されることにより、王冠状のクラウンとして構成されている（以下、先端部４１を「クラウン４１」ともいう）。このクラウン４１について、図１５〜図１７を参照して詳細に説明する。クラウン４１は、図１６，１７において破線で示すように、平面（先端部４１の軸線と直交する平面）に形成された先端部４１の端面４１ａ上に、図１５に示すように、各突起１４が放射状に形成されて構成されている。また、各突起１４の稜線Ｂの交点Ｄには、先端部４１の軸線方向に沿って突出する副突起３２が配設されている。この副突起３２は、その高さＨｅが最も低い突起１４ｄの頂部Ｐｄの高さＨｄよりも低く規定され（Ｈｂ＞Ｈｃ＞Ｈａ＞Ｈｄ＞Ｈｅ）、かつ先端が尖鋭に形成されている。

このコンタクトピン４Ｃを使用したコンタクトプローブ１でも、上記したコンタクトピン４Ａの作用効果に加えて、上記したコンタクトピン４Ｂと同様の副突起３２に基づく作用効果を奏することができる。

また、上記した各コンタクトピン４，４Ａ，４Ｂ，４Ｃでは、プロービングポイントＣに対して各突起１４が均一には当接しない構成とすることにより、コンタクトピン４，４Ａ，４Ｂ，４Ｃがスリーブ２内で斜めになった状態で押し込まれるようにして、コンタクトピン４，４Ａ，４Ｂ，４Ｃとスリーブ２とが確実に接触する構成としているが、この作用効果がより確実に奏されるように、図１８に示すように、中間部１３に対して先端部１１、２１，３１，４１（以下、「先端部１１等」ともいう）を偏心した状態（先端部１１等と中間部１３の各軸線同士がずれている状態）で連結する構成を採用することもできる。また、図示はしないが、中間部１３に対して後端部１２を偏心した状態で連結する構成とすることもできる。このように中間部１３に対して先端部１１等や後端部１２を偏心した状態で連結した構成では、先端部１１等がプロービングポイントＣと接触して圧力を受けた際に、偏心に起因して、常にコンタクトピン４，４Ａ，４Ｂ，４Ｃがスリーブ２内で斜めになった状態で押し込まれるため、コンタクトピン４，４Ａ，４Ｂ，４Ｃをスリーブ２に対して一層確実に接触させることができる。

また、各突起１４の頂部Ｐの高さをすべて相違させることによって、プロービングポイントＣに対して各突起１４を確実に不均一に当接させるという好ましい構成を採用したコンタクトピン４，４Ａ，４Ｂ，４Ｃについて上記したが、少なくとも１つの突起１４の頂部Ｐの高さが他の突起１４の頂部Ｐの高さと相違する構成であればよく、この構成においても、プロービングポイントＣに対して各突起１４が均一に当接する事態を回避することができる。また、コンタクトピン４Ａ，４Ｃのように、各突起１４の交点Ｄを先端部２１の端面２１ａの中心Ｏから偏心させる構成としたときには、各突起１４の高さを同じに揃えたとしても、各突起の稜線Ｂの端面２１ａに対する角度が不均一になるため、プロービングポイントＣに対して各突起１４が不均一に当接すると考えられる。このため、図示はしないが、コンタクトピン４Ａ，４Ｃのように各突起１４の交点Ｄを先端部２１の端面２１ａの中心Ｏから偏心させ、かつ各突起１４の高さを揃えた構成を採用することもできる。

コンタクトプローブ１の構成を示す構成図である。 コンタクトピン４における先端部１１の正面図である。 先端部１１を右斜め上から見た斜視図である。 先端部１１を左斜め上から見た斜視図である。 先端部１１を真上から見た平面図である。 プロービングポイントＣに対してコンタクトピン４がずれてプロービングされた状態を示す説明図である。 プロービングポイントＣに対してコンタクトピン４が正確にプロービングされた状態を示す説明図である。 コンタクトピン４Ａにおける先端部２１の正面図である。 先端部２１を右斜め上から見た斜視図である。 先端部２１を左斜め上から見た斜視図である。 先端部２１を真上から見た平面図である。 コンタクトピン４Ｂにおける先端部３１の正面図である。 先端部３１を右斜め上から見た斜視図である。 先端部３１を真上から見た平面図である。 コンタクトピン４Ｃにおける先端部４１の正面図である。 先端部４１を右斜め上から見た斜視図である。 先端部４１を真上から見た平面図である。 中間部１３に対して先端部１１（２１，３１，４１）を偏心させて連結したコンタクトプローブ１の構成を示す構成図である。 従来のコンタクトプローブ１０１の構成を示す構成図である。 コンタクトピン１０４における先端部１０６の正面図である。 先端部１０６を右斜め上から見た斜視図である。 プロービングポイントＣに対してコンタクトピン１０４がずれてプロービングされた状態を示す説明図である。 プロービングポイントＣに対してコンタクトピン１０４が正確にプロービングされた状態を示す説明図である。

符号の説明

１ コンタクトプローブ
２ スリーブ
３ ばね
４，４Ａ，４Ｂ，４Ｃ コンタクトピン
１１，２１，３１，４１ 先端部
１１ａ，２１ａ，３１ａ，４１ａ 端面
１４ 突起
３２ 副突起
Ｂ 稜線
Ｐ 頂部

Claims (4)

1. スリーブと、
   プロービング対象体に接触させられる突起が先端部の端面に複数形成され、かつ後端側が前記スリーブ内に摺動自在に挿入されたコンタクトピンとを有するコンタクトプローブであって、
   前記先端部の前記端面は、平面視形状が円形に形成され、
   前記各突起は、前記端面の外縁部に頂部が位置すると共に稜線が当該頂部から当該端面の中心部に向けて延びる形状に形成されると共に、互いの形状が不均一に形成されているコンタクトプローブ。
2. 前記各突起は、互いの頂部の高さが不均一に形成されている請求項１記載のコンタクトプローブ。
3. 前記先端部の端面には、前記稜線の交点に副突起が形成されている請求項１または２記載のコンタクトプローブ。
4. 前記コンタクトピンは、一端側が前記先端部に連結されると共に他端側が前記スリーブ内に挿入された軸体部を備え、当該先端部が当該軸体部に対して偏心した状態で連結されている請求項１から３のいずれかに記載のコンタクトプローブ。

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