JP2006066795A - 圧電体膜、圧電素子、圧電アクチュエーター、圧電ポンプ、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、薄膜圧電共振器、および電子機器 - Google Patents
圧電体膜、圧電素子、圧電アクチュエーター、圧電ポンプ、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、薄膜圧電共振器、および電子機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006066795A JP2006066795A JP2004250308A JP2004250308A JP2006066795A JP 2006066795 A JP2006066795 A JP 2006066795A JP 2004250308 A JP2004250308 A JP 2004250308A JP 2004250308 A JP2004250308 A JP 2004250308A JP 2006066795 A JP2006066795 A JP 2006066795A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- film
- piezoelectric film
- substrate
- buffer layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】 本発明の第1の形態にかかる圧電体膜5は、
(Pb1−dBid)(B1−aXa)O3の一般式で示される圧電体からなり、
Bは、ZrおよびTiの少なくとも一方からなり、
Xは、NbおよびTaの少なくとも一方からなり、
aは、0.05≦a≦0.4の範囲であり、
dは、0<d≦0.5の範囲である。
【選択図】 図1
Description
(Pb1−dBid)(B1−aXa)O3の一般式で示される圧電体からなり、
Bは、ZrおよびTiの少なくとも一方からなり、
Xは、NbおよびTaの少なくとも一方からなり、
aは、0.05≦a≦0.4の範囲であり、
dは、0<d≦0.5の範囲である。
(Pb1−dBid)1−b(B1−aXa)O3の一般式で示される圧電体からなり、
Bは、ZrおよびTiの少なくとも一方からなり、
Xは、NbおよびTaの少なくとも一方からなり、
a、b、およびdは、
b=(a+d)/(2+d)の関係式を満たし、
aは、0.05≦a≦0.4の範囲であり、
dは、0<d≦0.5の範囲である。
(Pb1−dBid)1−b(B1−aXa)O3−cの一般式で示される圧電体からなり、
Bは、ZrおよびTiの少なくとも一方からなり、
Xは、NbおよびTaの少なくとも一方からなり、
a、b、c、およびdは、
b=(a+d+2c)/(2+d)の関係式を満たし、
aは、0.05≦a≦0.4の範囲であり、
cは、0≦c≦0.05の範囲であり、
dは、0<d≦0.5の範囲である。
前記Biは、ペロブスカイト型構造のAサイトに存在することができる。
前記圧電体膜は、Si、または、SiおよびGeを含むことができる。
(Pb1−dBid)(Zr1−p,Tip)1−aNbaO3の一般式で示される圧電体からなり、
pは、0.2≦p≦0.6の範囲であることができる。
pは、(pMPB−0.05)≦p≦pMPBの範囲であり、
pMPBは、該圧電体膜の結晶構造の相境界におけるpの値を示すことができる。
該圧電体膜の結晶構造の相境界におけるpを有することができる。
ロンボヘドラル構造を有し、かつ擬立方晶(100)に優先配向していることができる。
上述した圧電体膜と、
前記圧電体膜の上方に形成された上部電極と、
前記圧電体膜の下方に形成された下部電極と、
を有する。
前記下部電極は、ペロブスカイト型構造を有する結晶からなることができる。
上述した圧電素子を有する。
上述した圧電体膜を有する。
上述した圧電体膜を有する。
上述したインクジェット式記録ヘッドを有する。
上述した圧電体膜が、基板の上方に形成されてなる。
上述した表面弾性波素子が有する前記圧電体膜の上方に形成された第1の電極と、
前記圧電体膜の上方に形成された第2の電極と、を含む。
上述した表面弾性波素子が有する前記圧電体膜の上方に形成された第1の電極と、
前記圧電体膜の上方に形成された第2の電極と、
トランジスタを有する発振回路と、を含む。
上述した発振器を含む。
上述した圧電体膜を有する共振子が、基板の上方に形成されてなる。
上述した電ポンプ、上述した周波数フィルタ、上述した発振器、上述した電子回路、上述した薄膜圧電共振器のうちの少なくとも1つを有する。
図1は、本発明にかかる圧電素子1を示す断面図である。この圧電素子1は、基板2上に形成されたバッファ層3と、バッファ層3の上に形成された下部電極4と、下部電極4の上に形成された圧電体膜5と、圧電体膜5の上に形成された上部電極6と、を備える。
Zr1−xLnxOy 0≦x≦1.0
(Ln;Y,La,Ce,Pr,Nd,Sm,Eu,Gd,Tb,Dy,Ho,Er,Tm,Yb,Lu)
(Pb1−dBid)(B1−aXa)O3・・・(1)
一般式(1)において、
Bは、ZrおよびTiの少なくとも一方からなり、
Xは、NbおよびTaの少なくとも一方からなり、
aは、0.05≦a≦0.4の範囲であり、
dは、0<d≦0.5の範囲である。
0.10≦a≦0.30
の範囲であることが好ましく、
0.20≦a≦0.25
であることがより好ましい。
(pMPB−0.05)≦p≦pMPB
の範囲であることができる。pMPBは、例えば、0.5程度である。なお、pMPBは、膜応力などによって変り得るため、特に限定されないが、
pMPBは、0.25≦p≦0.6
の範囲であることが好ましい。したがって、
pは、0.2≦p≦0.6
の範囲であることが好ましい。
(Pb1−dBid)1−b(B1−aXa)O3
の一般式で示される。この場合、Aサイトの欠損量b、a、およびdは、
b=(a+d)/(2+d)
の関係式を満たす。
また、aは、
0.05≦a≦0.4
の範囲であり、dは、
0<d≦0.5
の範囲である。
(Pb1−dBid)1−b(B1−aXa)O3−c
で示され、a、b、c、およびdは、
b=(a+d+2c)/(2+d)
の関係式を満たし、酸素の欠損量cは、
0≦c≦0.05
の範囲であり、好ましくは、
0<c≦0.03
の範囲である。また、aは、
0.05≦a≦0.4
の範囲であり、dは、
0<d≦0.5
の範囲である。
次に、本実施の形態における圧電体膜および圧電素子の製造方法について説明する。
上記第1、第2、第3、および第4の原料溶液においては、必要に応じて安定化剤等の各種添加剤を添加することができる。さらに、原料溶液に加水分解・重縮合を起こさせる場合には、原料溶液に適当な量の水とともに、触媒として酸あるいは塩基を添加することができる。
次に、図1に示した圧電素子1を用いたインクジェット式記録ヘッドについて説明する。図10は、図1に示した圧電素子1を用いたインクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す側断面図であり、図11は、このインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図である。なお、図11は、通常使用される状態とは上下逆に示したものである。
次に、本実施の形態におけるインクジェット式記録ヘッド50の動作について説明する。本実施の形態におけるヘッド50は、圧電素子駆動回路を介して所定の吐出信号が入力されていない状態、すなわち、圧電部54の下部電極4と上部電極7との間に電圧が印加されていない状態では、図12に示すように圧電体膜6に変形が生じない。このため、弾性膜55にも変形が生じず、キャビティー521には容積変化が生じない。したがって、ノズル511からインク滴は吐出されない。
次に、本実施の形態におけるインクジェット式記録ヘッド50の製造方法の一例について説明する。
本実施の形態にかかるインクジェット式記録ヘッド50によれば、前述したように、圧電部54が良好な圧電特性を有することで効率的なインクの吐出が可能となっていることから、ノズル511の高密度化などが可能となる。したがって、高密度印刷や高速印刷が可能となる。さらには、ヘッド全体の小型化を図ることができる。
次に、上述のインクジェット式記録ヘッド50を備えたインクジェットプリンターについて説明する。図14は、本発明のインクジェットプリンター600を、紙等に印刷する一般的なプリンターに適用した場合の一実施形態を示す概略構成図である。なお、以下の説明では、図14中の上側を「上部」、下側を「下部」と言う。
本実施の形態にかかるインクジェットプリンター600によれば、前述したように、高性能でノズルの高密度化が可能なインクジェット式記録ヘッド50を備えているので、高密度印刷や高速印刷が可能となる。
次に、本実施の形態に係る圧電ポンプについて図面を参照しながら説明する。図15および図16は、図1に示す圧電素子1を適用した圧電ポンプ20の概略断面図である。本実施の形態にかかる圧電ポンプ20において、圧電素子1は、圧電アクチュエーターとして機能することができる。図15および図16に示す圧電部22は、図1に示した圧電素子1における下部電極4と、圧電体膜5と、上部電極6とからなるものであり、図1に示した圧電素子1における弾性膜3は、図15および図16において振動板24となっている。また、基板2(図1参照)は、圧電ポンプ20の要部を構成する基体21となっている。圧電ポンプ20は、基体21と、圧電部22と、ポンプ室23と、振動板24と、吸入側逆止弁26aと、吐出側逆止弁26bと、吸入口28aと、吐出口28bとを含む。
次に、上述の圧電ポンプの動作について説明する。まず、圧電部22に電圧が供給されると、圧電体膜6(図1参照)の膜厚方向に電圧が印加される。そして、図15に示すように、圧電部22は、ポンプ室23が広がる方向(図15に示す矢印aの方向)にたわむ。また、圧電部22と共に振動板24もポンプ室23が広がる方向にたわむ。このため、ポンプ室23内の圧力が変化し、逆止弁26a、26bの働きによって流体が吸入口28aからポンプ室23内に流れる(図15に示す矢印bの方向)。
本実施の形態に係る圧電ポンプ20によれば、前述したように、圧電部22(圧電素子1)が良好な圧電特性を有することによって、流体の吸入・吐出を効率的に行うことができる。したがって、本実施の形態に係る圧電ポンプ20によれば、大きな吐出圧および吐出量を有することができる。また、圧電ポンプ20の高速動作が可能となる。さらには、圧電ポンプ20の全体の小型化を図ることができる。
次に、本実施の形態に係る表面弾性波素子について、図面を参照しながら説明する。表面弾性波素子は、図17に示すように、単結晶シリコン基板11と、バッファ層12と、導電膜13と、圧電体膜14と、保護膜としての酸化物または窒化物からなる保護層15と、電極16とから構成されている。電極16は、インターディジタル型電極(Inter−Digital Transducer:以下、「IDT電極」という)であり、上部から観察すると、例えば後述する図18および図19に示すインターディジタル型電極141、142、151、152、153のような形状を有する。
本実施の形態にかかる表面弾性波素子によれば、圧電体膜14が良好な圧電特性を有していることにより、表面弾性波素子自体も高性能なものとなる。
次に、本実施の形態に係る周波数フィルタについて、図面を参照しながら説明する。図18に、本発明の周波数フィルタの一実施形態を示す。
次に、上述の周波数フィルタの動作について説明する。前記構成において、高周波信号源145から高周波信号が出力されると、この高周波信号はIDT電極141に印加され、これによって基板140の上面に表面弾性波が発生する。IDT電極141から吸音部143側へ伝播した表面弾性波は、吸音部143で吸収されるが、IDT電極142側へ伝播した表面弾性波のうち、IDT電極142のピッチ等に応じて定まる特定の周波数または特定の帯域の周波数の表面弾性波は電気信号に変換されて、信号線を介して端子146a、146bに取り出される。なお、前記特定の周波数または特定の帯域の周波数以外の周波数成分は、大部分がIDT電極142を通過して吸音部144に吸収される。このようにして、本実施形態の周波数フィルタが備えるIDT電極141に供給した電気信号のうち、特定の周波数または特定の帯域の周波数の表面弾性波のみを得る(フィルタリングする)ことができる。
次に、本実施の形態に係る発振器ついて、図面を参照しながら説明する。図19に、本発明の発振器の一実施形態を示す。
次に、上述の発振器の動作について説明する。前記構成において、高周波信号源154から高周波信号が出力されると、この高周波信号は、IDT電極151の一方の櫛歯状電極151aに印加され、これによって基板150の上面にIDT電極152側に伝播する表面弾性波およびIDT電極153側に伝播する表面弾性波が発生する。これらの表面弾性波のうちの特定の周波数成分の表面弾性波は、IDT電極152およびIDT電極153で反射され、IDT電極152とIDT電極153との間には定在波が発生する。この特定の周波数成分の表面弾性波がIDT電極152、153で反射を繰り返すことにより、特定の周波数成分または特定の帯域の周波数成分が共振して、振幅が増大する。この特定の周波数成分または特定の帯域の周波数成分の表面弾性波の一部は、IDT電極151の他方の櫛歯状電極151bから取り出され、IDT電極152とIDT電極153との共振周波数に応じた周波数(または、ある程度の帯域を有する周波数)の電気信号が端子155aと端子155bに取り出すことができる。
図20および図21は、本発明の発振器(表面弾性波素子)をVCSO(Voltage Controlled SAW Oscillator:電圧制御SAW発振器)に応用した場合の一例を示す図であり、図20は側面透視図であり、図21は上面透視図である。
次に、本実施の形態に係る電子回路および電子機器について、図面を参照しながら説明する。図24に、本発明の電子機器の一実施形態として、その電気的構成をブロック図で示す。電子機器とは、たとえば携帯電話機である。
次に、本実施の形態に係る薄膜圧電共振器について、図面を参照しながら説明する。図25に、本実施の形態に係る第1の薄膜圧電共振器を示す。図25に示す薄膜圧電共振器700は、ダイアフラム型の薄膜圧電共振器700である。
本実施の形態に係る第1の薄膜圧電共振器700によれば、圧電体膜705の圧電特性が良好であり、したがって高い電気機械結合係数を有する。これにより、薄膜圧電共振器700を、高周波数領域で使用することができる。また、薄膜圧電共振器700を、小型(薄型)化し、かつ、良好に動作させることができる。
図26は、本実施の形態に係る第2の薄膜圧電共振器を示す図である。第2の薄膜圧電共振器800が図25に示した第1の薄膜圧電共振器700と主に異なるところは、ビアホールを形成せず、基体801と弾性膜803との間にエアギャップ802を形成した点にある。
本実施の形態に係る第2の薄膜圧電共振器800によれば、圧電体膜805の圧電特性が良好であり、したがって高い電気機械結合係数を有する。これにより、薄膜圧電共振器800を、高周波数領域で使用することができる。また、薄膜圧電共振器800を、小型(薄型)化し、かつ、良好に動作させることができる。
Claims (21)
- (Pb1−dBid)(B1−aXa)O3の一般式で示される圧電体からなり、
Bは、ZrおよびTiの少なくとも一方からなり、
Xは、NbおよびTaの少なくとも一方からなり、
aは、0.05≦a≦0.4の範囲であり、
dは、0<d≦0.5の範囲である、圧電体膜。 - (Pb1−dBid)1−b(B1−aXa)O3の一般式で示される圧電体からなり、
Bは、ZrおよびTiの少なくとも一方からなり、
Xは、NbおよびTaの少なくとも一方からなり、
a、b、およびdは、
b=(a+d)/(2+d)の関係式を満たし、
aは、0.05≦a≦0.4の範囲であり、
dは、0<d≦0.5の範囲である、圧電体膜。 - (Pb1−dBid)1−b(B1−aXa)O3−cの一般式で示される圧電体からなり、
Bは、ZrおよびTiの少なくとも一方からなり、
Xは、NbおよびTaの少なくとも一方からなり、
a、b、c、およびdは、
b=(a+d+2c)/(2+d)の関係式を満たし、
aは、0.05≦a≦0.4の範囲であり、
cは、0≦c≦0.05の範囲であり、
dは、0<d≦0.5の範囲である、圧電体膜。 - 請求項1ないし3のいずれかにおいて、
前記Biは、ペロブスカイト型構造のAサイトに存在する、圧電体膜。 - 請求項1ないし4のいずれかにおいて、
前記圧電体膜は、Si、または、SiおよびGeを含む、圧電体膜。 - 請求項1ないし5のいずれかにおいて、
(Pb1−dBid)(Zr1−p,Tip)1−aNbaO3の一般式で示される圧電体からなり、
pは、0.2≦p≦0.6の範囲である、圧電体膜。 - 請求項6において、
pは、(pMPB−0.05)≦p≦pMPBの範囲であり、
pMPBは、該圧電体膜の結晶構造の相境界におけるpの値を示す、圧電体膜。 - 請求項6において、
該圧電体膜の結晶構造の相境界におけるpを有する、圧電体膜。 - 請求項1ないし8のいずれかにおいて、
ロンボヘドラル構造を有し、かつ擬立方晶(100)に優先配向している、圧電体膜。 - 請求項1ないし9のいずれかに記載の圧電体膜と、
前記圧電体膜の上方に形成された上部電極と、
前記圧電体膜の下方に形成された下部電極と、
を有する、圧電素子。 - 請求項10において、
前記下部電極は、ペロブスカイト型構造を有する結晶からなる、圧電素子。 - 請求項10または11に記載の圧電素子を有する、圧電アクチュエーター。
- 請求項1ないし9のいずれかに記載の圧電体膜を有する、圧電ポンプ。
- 請求項1ないし9のいずれかに記載の圧電体膜を有する、インクジェット式記録ヘッド。
- 請求項14に記載のインクジェット式記録ヘッドを有する、インクジェットプリンター。
- 請求項1ないし9のいずれかに記載の圧電体膜が、基板の上方に形成されてなる、表面弾性波素子。
- 請求項16に記載の表面弾性波素子が有する前記圧電体膜の上方に形成された第1の電極と、
前記圧電体膜の上方に形成された第2の電極と、を含む、周波数フィルタ。 - 請求項16に記載の表面弾性波素子が有する前記圧電体膜の上方に形成された第1の電極と、
前記圧電体膜の上方に形成された第2の電極と、
トランジスタを有する発振回路と、を含む、発振器。 - 請求項18に記載の発振器を含む、電子回路。
- 請求項1ないし9のいずれかの圧電体膜を有する共振子が、基板の上方に形成されてなる、薄膜圧電共振器。
- 請求項13記載の圧電ポンプ、請求項17に記載の周波数フィルタ、請求項18に記載の発振器、請求項19に記載の電子回路、請求項20に記載の薄膜圧電共振器のうちの少なくとも1つを有する、電子機器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004250308A JP4600647B2 (ja) | 2004-08-30 | 2004-08-30 | 圧電体膜、圧電素子、圧電アクチュエーター、圧電ポンプ、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、薄膜圧電共振器、および電子機器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004250308A JP4600647B2 (ja) | 2004-08-30 | 2004-08-30 | 圧電体膜、圧電素子、圧電アクチュエーター、圧電ポンプ、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、薄膜圧電共振器、および電子機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006066795A true JP2006066795A (ja) | 2006-03-09 |
JP4600647B2 JP4600647B2 (ja) | 2010-12-15 |
Family
ID=36112972
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004250308A Expired - Fee Related JP4600647B2 (ja) | 2004-08-30 | 2004-08-30 | 圧電体膜、圧電素子、圧電アクチュエーター、圧電ポンプ、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、薄膜圧電共振器、および電子機器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4600647B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007287740A (ja) * | 2006-04-12 | 2007-11-01 | Seiko Epson Corp | 圧電材料および圧電素子 |
JP2007287744A (ja) * | 2006-04-12 | 2007-11-01 | Seiko Epson Corp | 圧電材料および圧電素子 |
JP2007287739A (ja) * | 2006-04-12 | 2007-11-01 | Seiko Epson Corp | 圧電材料および圧電素子 |
JP2008218880A (ja) * | 2007-03-07 | 2008-09-18 | Seiko Epson Corp | 圧電素子およびその製造方法、液体噴射ヘッド、並びに、プリンタ |
JP2008218879A (ja) * | 2007-03-07 | 2008-09-18 | Seiko Epson Corp | 圧電素子およびその製造方法、液体噴射ヘッド、並びに、プリンタ |
JP2009062207A (ja) * | 2007-09-05 | 2009-03-26 | Fujifilm Corp | ペロブスカイト型酸化物、強誘電体膜とその製造方法、強誘電体素子、及び液体吐出装置 |
JP2016094014A (ja) * | 2015-12-22 | 2016-05-26 | 東芝テック株式会社 | インクジェット装置、インク循環装置およびインクジェット記録装置 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63288960A (ja) * | 1987-05-21 | 1988-11-25 | Nippon Denso Co Ltd | (Pb,Bi)(Zr,Ti)0↓3の製造方法 |
JPH09223831A (ja) * | 1995-04-03 | 1997-08-26 | Seiko Epson Corp | 圧電体薄膜およびその製造法ならびにそれを用いたインクジェット記録ヘッド |
JPH11263666A (ja) * | 1998-03-13 | 1999-09-28 | Tdk Corp | 圧電体磁器組成物、圧電セラミック、表面実装部品および表面実装方法 |
JP2003031863A (ja) * | 2001-07-18 | 2003-01-31 | Sony Corp | 圧電体薄膜素子 |
JP2003347613A (ja) * | 2002-05-27 | 2003-12-05 | Mitsubishi Electric Corp | 圧電体薄膜素子 |
JP2004128492A (ja) * | 2002-09-13 | 2004-04-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電体薄膜素子およびそれを用いたアクチュエータ、インクジェットヘッドならびにインクジェット記録装置 |
JP2005244174A (ja) * | 2004-01-27 | 2005-09-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電体素子及びその製造方法、並びに該圧電体素子を用いたインクジェットヘッド及びインクジェット式記録装置 |
JP2005333088A (ja) * | 2004-05-21 | 2005-12-02 | Sony Corp | 圧電素子、圧電装置および角速度センサ |
-
2004
- 2004-08-30 JP JP2004250308A patent/JP4600647B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63288960A (ja) * | 1987-05-21 | 1988-11-25 | Nippon Denso Co Ltd | (Pb,Bi)(Zr,Ti)0↓3の製造方法 |
JPH09223831A (ja) * | 1995-04-03 | 1997-08-26 | Seiko Epson Corp | 圧電体薄膜およびその製造法ならびにそれを用いたインクジェット記録ヘッド |
JPH11263666A (ja) * | 1998-03-13 | 1999-09-28 | Tdk Corp | 圧電体磁器組成物、圧電セラミック、表面実装部品および表面実装方法 |
JP2003031863A (ja) * | 2001-07-18 | 2003-01-31 | Sony Corp | 圧電体薄膜素子 |
JP2003347613A (ja) * | 2002-05-27 | 2003-12-05 | Mitsubishi Electric Corp | 圧電体薄膜素子 |
JP2004128492A (ja) * | 2002-09-13 | 2004-04-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電体薄膜素子およびそれを用いたアクチュエータ、インクジェットヘッドならびにインクジェット記録装置 |
JP2005244174A (ja) * | 2004-01-27 | 2005-09-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電体素子及びその製造方法、並びに該圧電体素子を用いたインクジェットヘッド及びインクジェット式記録装置 |
JP2005333088A (ja) * | 2004-05-21 | 2005-12-02 | Sony Corp | 圧電素子、圧電装置および角速度センサ |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007287740A (ja) * | 2006-04-12 | 2007-11-01 | Seiko Epson Corp | 圧電材料および圧電素子 |
JP2007287744A (ja) * | 2006-04-12 | 2007-11-01 | Seiko Epson Corp | 圧電材料および圧電素子 |
JP2007287739A (ja) * | 2006-04-12 | 2007-11-01 | Seiko Epson Corp | 圧電材料および圧電素子 |
JP2008218880A (ja) * | 2007-03-07 | 2008-09-18 | Seiko Epson Corp | 圧電素子およびその製造方法、液体噴射ヘッド、並びに、プリンタ |
JP2008218879A (ja) * | 2007-03-07 | 2008-09-18 | Seiko Epson Corp | 圧電素子およびその製造方法、液体噴射ヘッド、並びに、プリンタ |
JP2009062207A (ja) * | 2007-09-05 | 2009-03-26 | Fujifilm Corp | ペロブスカイト型酸化物、強誘電体膜とその製造方法、強誘電体素子、及び液体吐出装置 |
JP2016094014A (ja) * | 2015-12-22 | 2016-05-26 | 東芝テック株式会社 | インクジェット装置、インク循環装置およびインクジェット記録装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4600647B2 (ja) | 2010-12-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4600650B2 (ja) | 圧電体膜、圧電素子、圧電アクチュエーター、圧電ポンプ、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、薄膜圧電共振子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、および電子機器 | |
US7196457B2 (en) | Piezoelectric film, piezoelectric element, piezoelectric actuator, piezoelectric pump, ink-jet type recording head, ink-jet printer, surface-acoustic-wave element, thin-film piezoelectric resonator, frequency filter, oscillator, electronic circuit, and electronic apparatus | |
JP4165347B2 (ja) | 圧電素子の製造方法 | |
JP4344942B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッドおよび圧電アクチュエーター | |
EP1677368B1 (en) | Piezoelectric devices with conductive perovskite layers | |
JP4224710B2 (ja) | 圧電素子、圧電アクチュエーター、圧電ポンプ、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、薄膜圧電共振器、および電子機器 | |
CN100377878C (zh) | 压电元件、压电致动器、喷墨式记录头及喷墨打印机 | |
US20050253903A1 (en) | Piezoelectric element, piezoelectric actuator, ink jet recording head, ink jet printer, surface acoustic wave element, frequency filter, oscillator, electronic circuit, thin film piezoelectric resonator and electronic apparatus | |
EP2819195A2 (en) | Piezoelectric material, piezoelectric element, liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, ultrasonic sensor, piezoelectric motor, and power generator | |
JP4600647B2 (ja) | 圧電体膜、圧電素子、圧電アクチュエーター、圧電ポンプ、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、薄膜圧電共振器、および電子機器 | |
JP2006114562A (ja) | 圧電体膜、圧電素子、圧電アクチュエーター、圧電ポンプ、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、薄膜圧電共振子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、および電子機器 | |
JP2006086368A (ja) | 圧電素子、圧電アクチュエーター、圧電ポンプ、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、薄膜圧電共振子、および電子機器 | |
JP4605349B2 (ja) | 圧電素子、圧電アクチュエーター、圧電ポンプ、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、薄膜圧電共振器、および電子機器 | |
EP2866272A1 (en) | Piezoelectric element, liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, actuator, sensor, and motor | |
JP2006069837A (ja) | 圧電体層、圧電素子、圧電アクチュエーター、圧電ポンプ、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、薄膜圧電共振子、および電子機器 | |
JP4605348B2 (ja) | 圧電素子、圧電アクチュエーター、圧電ポンプ、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、薄膜圧電共振器、および電子機器 | |
JP6384688B1 (ja) | 圧電素子及び圧電素子応用デバイス | |
JP2005302933A (ja) | 圧電素子、圧電アクチュエーター、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、薄膜圧電共振器、及び電子機器 | |
JP2005166912A (ja) | 強誘電体薄膜の製造方法、強誘電体メモリ素子、圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、及び電子機器 | |
JP2005353756A (ja) | 圧電素子、圧電アクチュエーター、圧電ポンプ、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、薄膜圧電共振器、および電子機器 | |
JP2005166781A (ja) | 圧電体デバイス及び液体吐出ヘッド並びにこれらの製造方法、薄膜形成装置。 | |
JP4678410B2 (ja) | ヘッドの製造方法及びプリンタの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20060112 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070411 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100623 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100624 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100813 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100901 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100914 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131008 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4600647 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313532 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |