JP2006059972A - ニッケル−シリコン化合物の形成方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 工程の増加を招くことなく、Si上に高温安定性の高いNiシリサイドを短時間で形成することができ、トランジスタ特性向上に寄与する。
【解決手段】 シリコン基板上にNi膜を形成した後、最終アニール温度THを800℃としたアニール処理を施してNiシリサイド膜を形成する方法であって、アニール温度をステップ的に変えることのできるアニール装置を用い、基板を400℃近傍の第1のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで基板を600℃近傍の第2のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで基板を700℃近傍の第3のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで700℃近傍の温度から800℃までは、アニール温度を50℃以内でステップ的に上げると共に各ステップで一定時間アニールする。
【選択図】 図6
【解決手段】 シリコン基板上にNi膜を形成した後、最終アニール温度THを800℃としたアニール処理を施してNiシリサイド膜を形成する方法であって、アニール温度をステップ的に変えることのできるアニール装置を用い、基板を400℃近傍の第1のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで基板を600℃近傍の第2のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで基板を700℃近傍の第3のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで700℃近傍の温度から800℃までは、アニール温度を50℃以内でステップ的に上げると共に各ステップで一定時間アニールする。
【選択図】 図6
Description
本発明は、半導体デバイスの電気的特性の向上をはかる技術に係わり、特にトランジスタの電気的性質の向上をはかるためのニッケル−シリコン化合物の形成方法に関する。
近年、トランジスタをはじめとする各種半導体素子の微細化や高集積化により、LSIをはじめとする各種半導体装置は大きく発展してきた。この要因の一つして、例えばトランジスタの微細化に伴ってトランジスタのオン抵抗が減少して、小さなトランジスタで大量の電流を流すことができるようになったことが挙げられる。
ところが、トランジスタのオン抵抗が減少するのに伴ってトランジスタの主要部であるソース・ドレイン及びゲートなどの寄生抵抗も無視できなくなった。そして、例えばソース・ドレイン及びゲートでの寄生抵抗を下げるために、金属とシリコンの化合物であるシリサイド或いはサリサイドと呼ばれる化合物が使用され始めた。例えば、シリサイドの材料としては、一般にはチタン(Ti)やタングステン(W)、或いはコバルト(Co)などが用いられている。
しかしながら、トランジスタのゲートサイズが50nm以下になろうとする昨今、より低抵抗なシリサイドの材料としてニッケル(Ni)が注目を集めている。例えば、ニッケルモノシリサイド(NiSi)は、Ti,W,或いはCo等のシリサイドに比べてコンタクト抵抗や比抵抗がより小さい。このため、NiSiは将来のトランジスタの主要部を形成するシリサイドやサリサイドの材料として期待されている。
一般的な半導体装置の製造プロセスによれば、できるだけ高温に耐えうるNiSi膜を成膜することが理想的である。通常は、Ni膜をSi膜上に成膜後、一気に昇温してNiSi膜を形成する。その方法でNiシリサイドを作ると膜の厚さによって異なるが、18nm程度の厚さのNiの場合は600℃付近までしか、低い抵抗が得られない(例えば、非特許文献1参照)。それは、NiSiが凝集を起こしたり、NiSi2 に組成変化して比抵抗が高くなったりするためである。
このような問題を回避するため、50℃程度昇温した後にこの温度で数十秒アニールする処理を繰り返すステップアニール法が提案されている。しかしながら、この場合は、処理時間の増大を招くことになり、これがLSIをはじめとする各種半導体装置への実用化を阻む要因となっている。
一方、高い温度まで丈夫なNiシリサイドを作るため、Ni膜とSi基板との間にIr或いはCoのメタル膜を付ける方法がある(例えば、特許文献1参照)。しかしながら、この方法は、無駄な工程を増やしていくことになり、更に必要ないメタルがデバイスの上に残ることになる。
米国特許(US 6,506,637 B2)
D.-X. Xu,et al, Thin Solid Film 326 (1998) 143-150
このように従来、トランジスタの電気的性質を向上させるためにソース・ドレイン及びゲート上にNiのシリサイドを形成する方法においては、高い温度まで安定したシリサイドを形成するために1ステップ50℃程度のステップアニーリングを行うと、処理時間が長くなる問題があった。また、Ni膜とSi基板との間にIrやCo等のメタル膜を挿入する方法では、無駄な工程が増えると共に、必要のないメタル膜が残存するという問題があった。
本発明は、上記事情を考慮してなされたもので、その目的とするところは、工程の増加を招くことなく、Si上に高温安定性の高いNiシリサイドを短時間で形成することができ、トランジスタ特性向上等に寄与し得るニッケル−シリコン化合物の形成方法を提供することにある。
上記課題を解決するために本発明は、次のような構成を採用している。
即ち本発明は、シリコン基板又はシリコン膜上にニッケル膜を形成した後、アニール処理を施してニッケル−シリコン化合物を形成する方法であって、アニール温度をステップ的に変えることのできるアニール装置を用い、次のようにアニールすることを特徴としている。
(1) 最終アニール温度THが500℃以下の場合、前記基板を最終アニール温度THに昇温した後にこの温度THでアニールする、1ステップアニールを行う。
(2) 500℃<TH≦600℃の場合、前記基板を400℃近傍の第1のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで最終アニール温度THまで昇温した後にこの温度THで一定時間アニールする、2ステップアニールを行う。
(3) 600℃<TH≦700℃の場合、前記基板を400℃近傍の第1のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで前記基板を600℃近傍の第2のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで前記基板を最終アニール温度THまで昇温した後にこの温度THで一定時間アニールする、3ステップアニールを行う。
(4) 700℃<THの時、前記基板を400℃近傍の第1のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで前記基板を600℃近傍の第2のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで前記基板を700℃近傍の第3のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで700℃近傍の温度から最終温度THまでは、アニール温度を50℃以内でステップ的に上げると共に各ステップで一定時間アニールする。
本発明によれば、ニッケル−シリコン化合物を形成する際のアニール処理として、少しずつステップ的に温度上昇させるのではなく、ある温度までは急峻に昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次の温度まで急峻に昇温した後にこの温度で一定時間アニールすることにより、トータルのアニール時間を短くすることができる。そして、急峻に昇温させる温度として、400℃,600℃,700℃を設定することにより、Niシリサイドの抵抗増大を抑制することができる。
従って本発明によれば、工程の増加を招くことなく、Si上に高温安定性の高いNiシリサイドを短時間で形成することができ、トランジスタ特性向上等に寄与することができる。
以下、本発明の詳細を図示の実施形態によって説明する。
図1(a)に、本発明者らが既に出願したステップアニーリング方法を示す。Si基板上にNi膜を形成した状態で、300℃まで一気に昇温した後、ステップ的に温度を上げ(10秒で50℃)、各ステップ毎に30秒の熱処理を行い,最終温度700℃で5分の熱処理を施す。この方法では、高い温度まで低抵抗を持っているNiシリサイドを作ることが可能である。
しかしながら、この方法は、プロセスに必要な時間が10分程度と長くなり、デバイスが貰う熱の量が多いのが短所である。そこで本発明者らは、そのようなサーマルバジェットの問題を解決するため、より短い時間でニッケルシリサイデーションが可能になる方法を検討した。
ステップアニーリング方法でステップの役割は、2つ考えられる。一つ目は、ステップがあるため、シングルステップで温度を上げるときよりサンプル内部の温度差が小さくできるということである。二つ目は、Ni+SiからNi2 Siへの、更にそれからNiSi,NiSi2 への位相変化に当たる温度での一定温度でのアニーリングである。もし、2つ目の効果があったら、図1(a)に示した多数のステップを1つ或いは2つに減らすことができると考えられる。
図1(b)は、位相変化が起こる一定温度でのアニーリングが300℃と600℃で可能になった場合を想定した場合の図であり、実際のことではない。そのとき位相変化に必要な最短の時間がどのくらいかを実験で分かればシリサイド化するのに必要な時間を短くするのができることになる。
実験のはじめで、厚さ20nmのNi膜を堆積したバルクSiをRTA装置に入れて、それぞれの温度での抵抗変化を観察した。それは、特別な温度で抵抗の変化があるかを確認するための実験であり、その抵抗の変化が見られる温度で位相の変化が起こると思っているからである。このため、位相変化が確かにできるようにそれぞれの温度でのアニーリング時間は5分ずつ上げるようにした。温度上昇率は1秒当たり200℃,100℃,50℃を試した。
図2(a)(b)に示されるように、シングルアニーリングでは特別な抵抗の変化が見られなかった。また、200℃/sec,100℃/secの温度上昇率では300℃を超えると抵抗の増大が認められ、更にこれらの温度上昇率では特別な差がないので、50℃/secの温度上昇率で実験を続けた。なお、温度上昇率があまりに低いとトータルの処理時間が長くなるため、温度上昇率は50℃/sec以上が望ましい。
図3(a)に示したように、2ステップアニーリング方法を用意して、2つの温度でアニーリングを行うと、抵抗の変化が見られるか試した。この2ステップアニーリング方法は、例えばTLが300℃の場合は50℃/secの温度上昇率で300℃まで温度を上げていき、300℃で5分間同じ温度を維持し、次いで望んでいる温度まで50℃/secの温度上昇率で温度を上げていき、その温度で再び5分間同じ温度を維持し、その後50℃/secの温度下降率で20℃まで温度を下げることになっている。
このような温度プロファイルを使って実験した結果が、図3(b)である。TLを300℃にしながらTHを700℃にした場合と、TLを400℃にしながらTHを600℃にした場合、抵抗の変化が見られる。その理由で、300℃と700℃の温度で温度を一定に維持するステップ(dwell time)を入れた後、それより高い温度まで温度を上げていってアニーリングする方法と、400℃と600℃の温度で一定に維持するステップを入れた後、それより高い温度まで温度を上げていってアニーリングする方法を試した。そのとき、dwell time を5分,30秒,10秒など、変化させながら実験を行った。
その結果、図3(b)に示すように、300℃と700℃の場合は特に低い抵抗は見られなかったが400℃と600℃の場合は700℃まで低い抵抗が得られた。また、図4に示すように、dwell time を10秒にしてもその低い抵抗は見られたので、dwell time は10秒に決めた。なお、一定温度でのアニール時間が10秒よりも短くなると抵抗の上昇が見られるため、一定時間でのアニール時間は10秒以上が望ましい
これまでの説明を整理すると、図5のようになる。即ち、500℃までの比較的低い温度までは1つのステップで温度を急峻に上げ、その温度を一定時間(例えば10秒間)だけ維持する、1ステップアニーリングを行う。そして、アニール後に温度を急峻に下げる。なお、急峻な温度上昇及び下降の速度は50℃/sec程度である。
これまでの説明を整理すると、図5のようになる。即ち、500℃までの比較的低い温度までは1つのステップで温度を急峻に上げ、その温度を一定時間(例えば10秒間)だけ維持する、1ステップアニーリングを行う。そして、アニール後に温度を急峻に下げる。なお、急峻な温度上昇及び下降の速度は50℃/sec程度である。
600℃でアニーリングする場合は、400℃まで温度を急峻に上げ、この温度を10秒間保持した後、600℃まで温度を急峻に上げ、この温度を10秒間だけ維持してアニーリングする、2ステップアニーリングを行う。700℃でアニーリングするときには、400℃,600℃で10秒間ずつの待ち時間を経て700℃でアニーリングする、3ステップアニーリングを行う。これにより、十分に短い時間で700℃までの高い温度まで低い抵抗を持っているNiシリサイドの製作が可能となった。
図5に示したように、アニーリングは500℃以下,600℃,700℃の3つの部分に分けられていて、400℃と600℃の特別な温度で一定時間アニーリングする方法になるので、このアニーリング方法の名称をSTA(Specific Temperature Annealing)と付けた。なお、STAにおける400℃と600℃という温度は、必ずしも厳密なものではなく、これらの温度の近傍(例えば±10℃の範囲)であれば、上記と同様の効果が認められた。
また、700℃以上でアニールする場合は、低い抵抗のNiシリサイドを可能にするため、図6に示すように、700℃以上でのアニーリングはステップアニーリングを使うようにした。そのときにアニーリング時間は10秒で50℃ずつ温度を上げていき、その温度で10秒間一定温度でアニーリングする方法である。例えば、700℃からステップアニーリングを行うと、700℃から750℃まで10秒で温度を上げていき、750℃で10秒間の一定温度アニーリングを行う。その後、800℃まで10秒間で温度を上げていき、800℃で10秒間アニーリングする。
このように、温度を上げながらアニーリングした後、アニーリングが終わったら1秒当たり50℃の温度下降率で20℃まで温度を下げていきアニーリングが終了したことになる。そのようにして高温まで抵抗の低いシリサイドが可能になる。つまり、700℃までの比較的低温ではSTAでシリサイデーションして、700℃以上ではステップアニーリングすることになる。そのようにアニーリングするときの温度プロファイルを、図6に示す。900℃までアニーリングするとき、既存のステップアニーリングでは10分以上かかったが、その方法にすると必要な時間は2分22秒となる。
このときのシート抵抗の変化を図7に示す。850℃までは低い抵抗が得られたが、900℃では抵抗が急激に高くなった。図7の900℃のデータはエラー・バーを示している。
これまで説明した方法と、STAとステップアニーリングの併用によって、先に提案したステップアニーリング方法と同じくらいの低抵抗をもっと短い時間で、同じくらいの高い温度まで持つNiシリサイドを作ることが可能になった。即ち、STAとステップアニーリングとの併用はより短い時間でシリサイデーションすることが可能な新しい方法である。
図8は、本実施形態をMOSトランジスタの製造に適用した実施例を示す工程断面図である。
まず、図8(a)に示すように、Si基板11上にゲート酸化膜12を介してポリSi膜を堆積し、ポリSi膜をゲート電極パターンに選択エッチングすることにより、ゲート電極13を形成する。その後、全面にSi窒化膜を堆積した後にエッチバックすることによりゲート側壁絶縁膜14を形成する。
次いで、図8(b)に示すように、全面にNi膜15をスパッタリングにより、例えば厚さ50nmに形成する。
次いで、図8(c)に示すように、アニール処理を施してNi膜15をシリサイド化する。具体的には、最終アニール温度THを800℃として、まず50℃/sec程度の急峻な速度で400℃まで昇温した後に、この温度で10秒間アニールする。続いて、600℃まで50℃/secで昇温した後に、この温度で10秒間アニールする。続いて、700℃まで50℃/secで昇温した後に、この温度で10秒間アニールする。
次いで、700℃以上でのアニーリングは先に説明したステップアニーリングを使うようにした。即ち、700℃から750℃まで10秒で温度を上げていき、750℃で10秒間の一定温度アニーリングを行う。その後、800℃まで10秒間で温度を上げていき、800℃で10秒間アニーリングする。
このようにして、ソース・ドレイン領域にNiシリサイド膜16が形成される。このNiシリサイド膜16は、高耐圧であると共に十分に低抵抗である。
次いで、図8(d)に示すように、シリサイド化せずに残ったNi膜15を除去する。これにより、ソース・ドレイン及びゲートにNiシリサイドを用いたMOSトランジスタが作製される。
このように本実施形態によれば、Si上に高温安定性の高い低抵抗のNiシリサイドを短時間で形成することができ、ソース・ドレインの低抵抗化をはかり、トランジスタ特性向上に寄与することができる。
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。実施形態では、400℃,600℃,700℃におけるアニール時間を10秒としたが、この時間は適宜偏向可能である。但し、これより短いとステップアニールの効果が無くなるので、10秒以上が望ましい。逆に、長すぎるアニール時間はトータルのアニール時間の増大を招くことになるため、数十秒以内が望ましい。また、700℃を超える温度までの昇温は1ステップで50℃以下が望ましく、この場合の昇温速度は10秒で50℃程度、即ち5℃/sec程度が望ましい。
また、実施形態ではSi基板上にNi膜を形成してシリサイド化したが、シリコン膜の上でシリサイド化する方法に適用することも可能である。その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々変形して実施することができる。
11…Si基板
12…ゲート酸化膜
13…ゲート電極
14…側壁絶縁膜
15…Ni膜
16…Niシリサイド膜
12…ゲート酸化膜
13…ゲート電極
14…側壁絶縁膜
15…Ni膜
16…Niシリサイド膜
Claims (7)
- シリコン基板又はシリコン膜上にニッケル膜を形成した後、最終アニール温度THを500℃<TH≦600℃としたアニール処理を施してニッケル−シリコン化合物を形成する方法であって、
アニール温度をステップ的に変えることのできるアニール装置を用い、前記基板を400℃近傍の第1のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで前記基板を最終アニール温度THまで昇温した後にこの温度で一定時間アニールすることを特徴とするニッケル−シリコン化合物の形成方法。 - シリコン基板又はシリコン膜上にニッケル膜を形成した後、最終アニール温度THを600℃<TH≦700℃としたアニール処理を施してニッケル−シリコン化合物を形成する方法であって、
アニール温度をステップ的に変えることのできるアニール装置を用い、前記基板を400℃近傍の第1のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで前記基板を600℃近傍の第2のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで前記基板を最終アニール温度THまで昇温した後にこの温度で一定時間アニールすることを特徴とするニッケル−シリコン化合物の形成方法。 - シリコン基板又はシリコン膜上にニッケル膜を形成した後、最終アニール温度THを700℃<THとしたアニール処理を施してニッケル−シリコン化合物を形成する方法であって、
アニール温度をステップ的に変えることのできるアニール装置を用い、前記基板を400℃近傍の第1のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで前記基板を600℃近傍の第2のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで前記基板を700℃近傍の第3のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで700℃近傍の温度から最終温度THまでは、アニール温度を50℃以内でステップ的に上げると共に各ステップで一定時間アニールすることを特徴とするニッケル−シリコン化合物の形成方法。 - シリコン基板又はシリコン膜上にニッケル膜を形成した後、アニール処理を施してニッケル−シリコン化合物を形成する方法であって、
アニール温度をステップ的に変えることのできるアニール装置を用い、
最終アニール温度THが500℃以下の場合、前記基板を最終アニール温度THに昇温した後にこの温度THでアニールする1ステップアニールを行い、
500℃<TH≦600℃の場合、前記基板を400℃近傍の第1のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで最終アニール温度THまで昇温した後にこの温度THで一定時間アニールする2ステップアニールを行い、
600℃<TH≦700℃の場合、前記基板を第1のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで前記基板を600℃近傍の第2のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで前記基板を最終アニール温度THまで昇温した後にこの温度THで一定時間アニールする3ステップアニールを行い、
700℃<THの時、前記基板を第1のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで前記基板を第2のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで前記基板を700℃近傍の第3のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで700℃近傍の温度から最終温度THまでは、アニール温度を50℃以内でステップ的に上げると共に各ステップで一定時間アニールすることを特徴とするニッケル−シリコン化合物の形成方法。 - 前記各ステップ温度における一定時間のアニールは10秒以上であることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載のニッケル−シリコン化合物の形成方法。
- 前記各ステップ温度までの昇温速度は50℃/sec以上であることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載のニッケル−シリコン化合物の形成方法。
- 前記各ステップ温度までの昇温速度は50℃/sec以上であり、前記700℃近傍の温度から最終温度THまでの昇温は、5℃/sec程度であることを特徴とする請求項3又は4記載のニッケル−シリコン化合物の形成方法。
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