JP2006058658A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板処理装置100は、液晶パネル104の側縁部近傍の反りを矯正するための吸着パット202を有する反り矯正ユニット201、加圧ヘッド204を用いて電子部品の実装処理を行うための載置台となるバックアップステージ203、反り矯正ユニット201の内部に形成されている中空部に接続され、吸着パット202に接続される真空経路101,102及び103、反り矯正ユニット201に形成されている中空部を所定領域において遮断するためのエア止め栓401等を備える。
【選択図】 図1
Description
以上により、大小様々な大きさの基板に対しても、エアのリークを確実に防止して、適切に側縁部の吸着処理を行って、反りを矯正し、液晶パネルへの電子部品の処理精度の向上を図ることが可能となる。
(実施の形態1)
図1は、本発明に係る基板処理装置100の拡大斜視図を示す。
この基板処理装置100は、バックアップステージ203においてプレスするための加圧ヘッド204を用いて加熱処理及び加圧処理しながら仮圧着された半導体部品を液晶パネルの側縁部に本接合する。また、反り矯正ユニット201を備え、大版の液晶パネルにおいて側縁部の反りを矯正して平坦性を保ちながら、本圧着処理を行うことができる。
反り矯正ユニット201には、バックアップステージ203から約20mm離れた位置に並設して、バックアップステージ203と同様の長手方向の長さを持って配置され、液晶パネルを吸引するために複数のジャバラパット202が設けられている。このジャバラパット202が約30mm間隔毎に、所定間隔において長手方向に亘って複数設けられる。また、ジャバラパット202は真空吸着を行うために、反り矯正ユニット201の内部に設けられる中空部の(後述の図4において詳細に説明)を介して真空源となるバキューム装置に接続されている。
図3は、本実施の形態1に係る基板処理装置100の反り矯正ユニット201において液晶パネル104の反りを矯正する場合の説明図を示す。
エアの流通経路である中空部は、反り矯正ユニットの内部に形成される水平方向の中空部と、当該水平方向の中空部と吸着パットとの間を垂直方向に貫通する鉛直方向の中空部とから形成されている。そして、中空部には、反り矯正ユニットの中間部と、両端部の3箇所において真空経路101〜103が接続されている。
本図に示すように、液晶パネル104の側縁部はバックアップステージ203の上部まで移動された後に、矢印に示す方向に下降して反り矯正ユニット201及びバックアップステージ203上に載置される。そして、液晶パネル104の側縁部は、反り矯正ユニット201より突出して形成されるジャバラパット202上に載置されることとなる。
最初に、液晶パネル104が基板処理装置100に搬送されると、液晶パネルのゲート側の実装処理が行われる(S601)。
最初に、真空経路判断手段であるコントローラは、液晶実装が行われる液晶パネル104のゲート側の端部の幅に合せて、エア止め栓401を閉じる(S701)。次に、パネルステージを用いて液晶パネル104の側縁部が、反り矯正ユニット201及びバックアップステージ203上に載置されるように搬入され(S702)、そして、真空経路102を用いて、吸着部であるジャバラパット202を介して液晶パネル104の側縁部の吸引を行って液晶パネルの反りを矯正した後に(S703)、液晶パネル104上への電子部品の圧着処理を行う(S704)。
最初に、パネルステージを用いて液晶パネル104の側縁部が、反り矯正ユニット201及びバックアップステージ203上に載置されるように搬入され(S801)、真空経路判断手段であるコントローラの判断により真空経路101〜103を用いて液晶パネル104の側縁部の真空吸着処理を行い(S802)、最後に、液晶パネル104の側縁部へ電子部品の圧着処理を行う(S803)。
また、本発明に係る基板処理装置100は、真空経路の使用を切り替えるのみでゲート側及びソース側の反り矯正を行うことができるために、ソース側及びゲート側を単一の処理工程で行う装置において有効となる。
(実施の形態2)
以下、本発明に係る基板処理装置100の第二の形態について図面を参照しながら説明を行う。尚、本実施の形態2においては、液晶パネルのソース側の長さが、反り矯正ユニットの吸着領域よりも短くなる場合における吸着方法に特徴を有する。
本図の斜線部に示す液晶パネル104のように、液晶パネル104のソース側の長さが反り矯正ユニット201の長手方向の長さに比較して小さい場合においては、液晶パネル104のソース側を反り矯正ユニット201上に載置した場合において、使用されない吸着パット202が反り矯正ユニットの左右の両端部において生じている。尚、基板処理装置100のその他の構成については、上述した図1と同様のために、その詳細な説明は省略する。
エアの流通経路である中空部、エア止め栓401及び1002、及び真空経路101〜103の構成は上述した図4と同様である。
最初に、液晶実装が行われるゲート側の液晶パネル104の幅に合せて、反り矯正ユニット201において真空吸着を行うジャバラパット202の領域の端部となるエア止め栓401を閉じる。また、液晶パネルのソース側の長さに合わせて、ソース側の左右の端部に位置するエア止め栓1002を閉じる(S1101)。
図12は、本発明に係る基板処理装置100において、液晶パネル104のソース側の反り矯正における動作手順を示すフローチャートである。
端子洗浄機1300は、液晶パネルへの電子部品の実装処理前の工程において、電子部品が実装される側縁部の上面及び下面を洗浄するための装置であり、液晶パネルの位置の補正を行うために液晶パネルの位置を撮像する補正用カメラ1301、液晶パネルの側縁部をクリーニング用の布を用いて洗浄する洗浄ヘッド1302、液晶パネルの洗浄する側縁部の近傍が載置されるバックアップステージ1303、液晶パネルのX方向、Y方向、Z方向及びθ方向の位置決めを行うと共に、液晶パネルのゲート側又はソース側の変更を回転により行い、洗浄中においては真空吸着により載置されている液晶パネルを固定するパネルステージ1304、洗浄中において液晶パネルの側縁部の反りを矯正する反り矯正ユニット1305等を備えている。
101,102,103 真空経路
104 液晶パネル
201 反り矯正ユニット
202 ジャバラパット
203 バックアップステージ
204 加圧ヘッド
401,1002 エア止め栓
401a,401b 中空部
1300 端子洗浄機
1301 補正用カメラ
1302 洗浄ヘッド
1303 バックアップステージ
1304 パネルステージ
1305 反り矯正ユニット
Claims (10)
- 基板の側縁部に電子部品を実装するための工程に用いる基板処理装置であって、
前記基板の側縁部の下面を支えるための載置台である第一ステージと、
前記基板の側縁部の下面を吸着する吸着部、及び前記基板の側縁部の下面を規正する平面部を有する第二ステージと、
前記第二ステージに形成されている中空部を介して前記吸着部と接続される複数の真空経路と、
前記中空部を開閉する開閉手段とを備える
ことを特徴とする基板処理装置。 - 前記中空部は、前記第二ステージを水平方向に横切って内部に形成される第一中空部、及び当該第一中空部と前記吸着部を接続する鉛直方向に形成される第二中空部からなり、
前記開閉手段は、前記第一中空部の間に所定間隔において形成される第一止め栓と、前記第二中空部それぞれに形成される第二止め栓とから構成される
ことを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。 - 前記基板処理装置は、さらに、
前記第二ステージの長手方向の中央部分に位置する前記中空部に接続される第一真空経路と、
左右の両端部分に位置する前記中空部に接続される第二真空経路と、
前記基板の短辺側及び長辺側の処理を行う場合において、前記第一真空経路及び前記第二真空経路から使用する真空経路を判断する真空経路判断手段とを備える
ことを特徴とする請求項1又は2記載の基板処理装置。 - 前記開閉手段は、前記吸着部毎の開閉を調整できるように、前記中空部に貫通して配置され、前記中空部と一致する位置に貫通孔が形成されているエア通過栓、又は貫通孔が形成されていないエア止め栓である
ことを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。 - 前記吸着部は、前記第二ステージの上面に貫通するように、前記第二ステージの長手方向に亘って所定間隔で複数設けられ、前記基板の吸着方向である上下方向に可撓な吸着パットである
ことを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。 - 基板の側縁部に電子部品を実装するための工程に用いる基板処理装置であって、
前記基板の側縁部の下面を吸着する吸着部、及び前記基板の側縁部の下面を規正する平面部を有するステージと、
前記ステージに形成されている中空部を介して前記吸着部と接続される複数の真空経路と、
前記中空部を開閉する開閉手段とを備える
ことを特徴とする基板処理装置。 - 前記中空部は、前記ステージを水平方向に横切って内部に形成される第一中空部、及び当該第一中空部と前記吸着部を接続する鉛直方向に形成される第二中空部からなり、
前記開閉手段は、前記第一中空部の間に所定間隔において形成される第一止め栓と、前記第二中空部それぞれに形成される第二止め栓とから構成される
ことを特徴とする請求項6記載の基板処理装置。 - 前記基板処理装置は、さらに、
前記ステージの長手方向の中央部分に位置する前記中空部に接続される第一真空経路と、
左右の両端部分に位置する前記中空部に接続される第二真空経路と、
前記基板の短辺側及び長辺側の処理を行う場合において、前記第一真空経路及び前記第二真空経路から使用する真空経路を判断する真空経路判断手段とを備える
ことを特徴とする請求項6記載の基板処理装置。 - 前記請求項1から請求項8までのいずれかに記載の基板処理装置を備える
ことを特徴とする液晶実装機。 - 基板の側縁部に電子部品を実装するための工程に用いる基板処理装置に用いる基板処理方法であって、
前記基板処理装置は、
前記基板の側縁部の下面を支えるための載置台である第一ステージと、
前記基板の側縁部の下面を吸着する吸着部、及び前記基板の側縁部の下面を規正する平面部を有する第二ステージと、
前記第二ステージに形成されている中空部を介して前記吸着部と接続される複数の真空経路と、
前記中空部を開閉する開閉手段とを備え、
前記中空部は、前記第二ステージを水平方向に横切って内部に形成される第一中空部、及び当該第一中空部と前記吸着部を接続する鉛直方向に形成される第二中空部からなり、
前記開閉手段は、前記第一中空部の間に所定間隔において形成される第一止め栓と、前記第二中空部それぞれに形成される第二止め栓とから構成され、
前記基板処理方法は、
前記基板のサイズに応じて前記第一止め栓及び前記第二止め栓を開閉するステップと、
前記複数の真空経路の中から使用する真空経路を判断するステップとを含む
ことを特徴とする基板処理方法。
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