JP2006052427A - メチルトリクロロシランガス発生装置 - Google Patents

メチルトリクロロシランガス発生装置 Download PDF

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Abstract

【課題】 高温ガス炉用微小粒子を製造する工程の内、微小粒子を流動床に装荷し、メチルトリクロロシラン(MTS)を熱分解させることによりSiC層の被覆を施す工程において、キャリアガスの水素にMTSを効率よく混合させるMTSガス発生装置を得る。
【解決手段】 内部に液体状のMTSを貯留するタンクと、該タンク内の液中に水素ガスを導入する水素導入管と、水素ガスとMTSガスとの混合物を排出する混合ガス排出管とを備えたMTSガス発生装置において、水素導入管がタンク内の液中に浸漬された泡発生手段を備えているもの。
【選択図】 図2

Description

本発明は、高温ガス炉用微小粒子を製造する際に用いられる第3被覆層用のメチルトリクロロシランガス発生装置に関するものである。
高温ガス炉は、燃料を含む炉心構造を熱容量が大きく高温健全性の良好な黒鉛で構成するとともに、冷却ガスとして高温下でも化学的反応の起こらないヘリウムガス等の気体を用いることにより、固有の安全性が高く、高い出口温度のヘリウムガスを取り出すことが可能であり、約900℃の高温熱は、発電はもちろんのこと水素製造や化学プラント等幅広い分野での熱利用を可能にするものである。
高温ガス炉の燃料は、二酸化ウランをセラミックス状に焼結した直径約350〜650ミクロンの微小粒子の周囲に計4層の被覆を施した粒子(以下、「被覆粒子」という)で構成している。第1層は密度約1g/cm の低密度熱分解炭素で、ガス状の核分裂生成物(以下「FP」という)のガス溜めとしての機能および燃料核のスウェリングを吸収するバッファとしての機能を併せ持つものである。
第2層は密度約1.8g/cm の高密度熱分解炭素で、ガス状FPの保持機能を有する。第3層は密度約3.2g/cm の炭化珪素(以下「SiC」と記す)で固体FPの保持機能を有するとともに、被覆層の主要な強度部材である。第4層は第2層と同様の密度約1.8g/cm の高密度熱分解炭素で、ガス状FPの保持機能とともに第3層の保護層としての機能も持っている。
一般的な被覆粒子の直径は約500〜1000ミクロンである。被覆粒子は黒鉛マトリックス中に分散させ一定形状の燃料コンパクトの形に成型加工され、さらに黒鉛でできた筒に燃料コンパクトを一定数量入れ、上下に栓をした燃料棒の形にされる。最終的に燃料棒は、六角柱型黒鉛ブロックの複数の挿入口に入れられ、この六角柱型黒鉛ブロックを多数個、ハニカム配列に複数段重ねて炉心を構成している。
高温ガス炉の燃料は、一般的に以下のような工程を経て製造される。まず、酸化ウランの粉末を硝酸に溶かし硝酸ウラニル原液とする。この硝酸ウラニル原液に純水及び増粘剤を加え撹拌することにより滴下原液とする。
増粘剤は、滴下された硝酸ウラニルの液滴が落下中に自身の表面張力により真球状になるように添加される。増粘剤としては、例えばポリビニルアルコール樹脂、アルカリ条件下で凝固する性質を有する樹脂、ポリエチレングリコール、メトローズ等をあげることができる。
前述のように調整された滴下原液は所定の温度に冷却され粘度を調整した後、細径の滴下ノズルを振動させることによりアンモニア水中に滴下される。液滴は、アンモニア水溶液表面に着水するまでの空間においてアンモニアガスを掛け表面をゲル化させることにより、着水時の変形が防止される。アンモニア水中で硝酸ウラニルはアンモニアと十分に反応させ、重ウラン酸アンモニウムの粒子(以下「ADU粒子」という)となる。
ADU粒子は乾燥された後、大気中で焙焼され三酸化ウラン粒子となり、さらに還元・焼結されることにより高密度のセラミックス状二酸化ウラン粒子とし、これをふるい分けして定められた粒径の微小粒子を得る。
この微小粒子を流動床に装荷し、被覆ガスを熱分解させることにより被覆を施す。第1層の低密度炭素の場合は約1400℃でアセチレンを熱分解する。第2、4層の高密度熱分解炭素の場合は約1400℃でプ口ピレンを熱分解する。第3層のSiCの場合は約1600℃でメチルトリクロロシラン(CHSiCl;以下、MTSと記す)を熱分解する。
一般的な燃料コンパクトは、被覆粒子を黒鉛粉末、粘結剤等からなる黒鉛マトリックス材とともに中空円筒形または円筒形にプレス成型またはモールド成型した後、焼成して得られる(例えば、特許文献1参照)。
微小粒子にSiCを被覆する場合、液体状のMTS中にキャリアガスとして水素ガスをバブリングし、水素ガス中にMTSを混合させて流動床ヘ導入し、熱分解させて被覆する方法が一般的である。
図3はMTS中への水素ガスのバブリング法の説明図である。図に示す通り、液体状のMTS30中に水素ガス34をバブリングする方式の装置としては、a図の通り、MTS30を収納するタンク31(以下「MTSタンク」という)の下部に水素ガス34を導入するための配管32(以下「水素導入管」という)を接続し、水素導入管32と接続されているMTSタンク31下部に複数の貫通孔(図示せず)を設け、水素ガスをその貫通孔からバブリングさせることによって、水素とMTSとの混合ガス35を混合ガス配管33から抜出す方式や、b図の通り、MTSタンク31上部から水素導入管32を導入、MTS30に浸漬した状態で、水素ガス34をバブリングさせることによって、水素とMTSとの混合ガス35を混合ガス配管33から抜出す方式が用いられている。
特開2000−284084号公報
しかしながら、図3の方法には次のような問題点があった。
(1) a図、b図の方法では、水素ガスをバブリングするための貫通孔の場所および数に制限があり、水素ガスがMTSタンク内の限られた場所からしかバブリングされないとともに、導入する水素ガスの量も制限され、大量の混合ガスを取り出すことができず、大量生産を行うことに対して不利である。
(2) a図の方法では、水素導入管がMTSタンク下部で接続されているので、溶接により接続されている場合は溶接部腐食あるいは割れ等により、フランジにより接続されている場合はボルト締結の緩みあるいはシールの劣化等によりMTSが漏洩し、火災および人体に悪影響を与える危険性がある。
本発明は、高温ガス炉用微小粒子を製造する工程の内、微小粒子を流動床に装荷し、MTSを熱分解させることによりSiC層の被覆を施す工程において、キャリアガスである水素にMTSを効率よく混合させるMTSガス発生装置を得ることを目的とする。
請求項1に記載された発明に係るMTSガス発生装置は、内部に液体状のMTSを貯留するタンクと、該タンク内の液中に水素ガスを導入する水素導入管と、水素ガスとMTSガスとの混合物を排出する混合ガス排出管とを備えたMTSガス発生装置において、
前記水素導入管がタンク内の液中に浸漬された泡発生手段を備えていることを特徴とするものである。
即ち、本発明においては、MTSタンクの下部に水素導入管を接続しているMTSタンク下部に1つ又は複数の貫通孔を設け、水素ガスをその貫通孔から噴き出させて水素ガスとMTSとを混合していた従来の方式とは相違させて、MTSタンクの下部に水素ガスをバブリングするための泡発生手段を配置し、これに水素導入管を接続し、貫通孔から水素ガスを噴出させて水素ガスとMTSとを混合するようにしている。
本発明の泡発生手段としては、スポンジ状の連続気泡体に水素導入管を連通させて、連続気泡体の表層の個々の孔から泡を発生させても良いが、水素導入管と導通された中空容器であって、この中空容器の表面に多数の貫通孔を備えたものがメンテナンス等の点から好ましい。
従って、請求項2に記載された発明に係るMTSガス発生装置は、請求項1に記載の泡発生手段が、前記水素導入管に連通する中空容器を含み、
該中空容器の表面に多数の貫通孔が設けられていることを特徴とするものである。
本発明の表面に多数の貫通孔を備えた中空容器の形状は、MTSタンク内に浸漬されていればどのような形状でも水素とMTSとの混合ガスが発生する。しかしながら、好ましくはMTSタンクの断面形状に沿った平板状のものの方が効率的に混合ガスを取り出すことができ、更に好ましくは平板状の中央部が表裏で繋がったリング状の外形を有するものが、より効率的に混合ガスを取り出すことができる。
従って、好ましい態様としては、請求項3に記載された発明に係るMTSガス発生装置は、請求項2に記載の中空容器がリング状であることを特徴とするものである。
ところで、MTSは湿気に触れた際に塩酸ガスが発生する。よって、本発明の水素導入管と泡発生手段である中空容器は、腐食することを防止するため、耐塩素ガス性に優れたものとする必要がある。このため、好ましい態様としては、請求項4に記載された発明に係るMTSガス発生装置は、請求項1〜3の何れか1項に記載の水素導入管及び/又は泡発生手段の表面が塩素ガスに対する耐食樹脂からなることを特徴とするものである。
本発明では、高温ガス炉用微小粒子を製造する工程の内、微小粒子を流動床に装荷し、MTSを熱分解させることによりSiC層の被覆を施す工程において、キャリアガスである水素にMTSを効率よく混合させるMTSガス発生装置を得ることができる。
本発明の形態では、従来のMTSタンクの下部に接続されていた水素導入管を、MTSタンクの上部から導入、MTS溶液中に浸漬する。これにより、接続部の欠陥(溶接により接続されている場合は溶接部腐食あるいは割れ等、フランジにより接続されている場合はボルト締結の緩みあるいはシールの劣化等)により接続部からMTS溶液が漏洩、火災を発生させたり人体に悪影響を与える危険性がなくなる。
次に、MTS溶液中に浸漬した水素導入管先端に泡発生手段としての多数の貫通孔を設けたタンク(以下「バブリングタンク」という)を配置した。バブリングタンクはその形状を平板状あるいはリング状とする。これにより、MTSタンク内の広範囲に亘つて水素ガスをバブリングすることができ、効率的に水素ガスにMTSを混合できるとともに、MTSタンク内にバブリングする水素ガス量を増加させることができる。
副次的な効果として、MTSタンクの下部に水素導入管を接続する従来の方法と比較すると、本発明では、水素導入管の導入場所を比較的容易に変更できるので、工場内の他の設備との取り合いに自由度が大きい。
なお、水素導入管およびバブリングタンクは、フッ素樹脂(例えば、テフロン(商品名))等の樹脂製とするか、金属表面にテフロン等のフッ素樹脂をコーティングする。これは、MTSが湿気に触れた際に発生する塩酸ガスによつて、水素導入管およびバブリングタンクが腐食することを防止するためである。
図1は本発明の高温ガス炉燃料用水素バブリングによるMTSガス発生装置の概要を示す説明図であり、図2は図1の具体的な構成を示す説明図である。図に示す通り、液体状のMTS10を収納するMTSタンク11はステンレス製とし、MTSから発生する塩酸ガスによる腐食を防止するため、タンク内側表面には、フッ素樹脂コーティング(テフロンコーティング)を施した。
水素導入管12及びバブリングタンク16はフッ素樹脂製(テフロン製)とした。バブリングタンク16と水素導入管12との接合部にかかる応力を緩和するため、バブリングタンク16をフッ素樹脂製(テフロン製)のサポー卜ロッド17でも保持する構造とした。
バブリングタンク16は製作性を考慮して角型リング形状とし、上面に約60個の貫通孔18を設けた。水素導入管12から水素ガス14をバブリングタンク16へ導入し、その貫通孔18からバブリングさせることによつて、水素とMTSとの混合ガス15を混合ガス配管13から抜出す。
図に示した装置を用いて、1分間あたり10リットルの水素ガスをMTSタンク内にバブリングし、取り出した混合ガスを流動床に導入して微小粒子にSiCを被覆した。その結果、SiCを被覆した微小粒子を流動床から取り出し、断面を観察したところ、良好なSiC層が形成されていることが確認できた。
なお、本実施例ではバブリングタンクの上面に貫通孔を設けたが、貫通孔の場所は特定されない。MTSタンクあるいはバブリングタンク形状により、バブリングタンクの側面や底面に設けることもできる。
本発明は次の通りの効果を奏する。
(1) 水素ガスをバブリングするための貫通孔をMTSタンク内の任意の位置に設置できるため、水素ガスバブルの流動を考慮した上で、最適な場所に設置することができる。
(2) 水素ガスをバブリングするための貫通孔の数を増加できるため、導入する水素ガス量を増加することができ、大量の混合ガスを取り出すことができる。
(3) (1) 及び(2) より、効率的に混合ガスを取り出すことができるため、大量生産に対して有利である。
(4) MTSタンクと水素導入管との接合を必要としないので、接合部からのMTSの漏洩を防止することができ、火災および人体への悪影響を防止できる。
(5) MTSタンクと水素導入管との接合を必要としないので、設備のレイアウ卜に自由度が大きい。
本発明の高温ガス炉燃料用水素バブリングによるMTSガス発生装置の概要を示す説明図である。 図1の具体的な構成を示す説明図である。 従来のMTS中への水素ガスのバブリング方式の説明図である。
符号の説明
10…液体状のMTS、
11…MTSタンク、
12…水素導入管、
13…混合ガス配管、
14…水素ガス、
15…水素とMTSとの混合ガス、
16…バブリングタンク、
17…サポー卜ロッド、
18…貫通孔、
30…液体状のMTS、
31…MTSタンク、
32…水素導入管、
33…混合ガス配管、
34…水素ガス、
35…水素とMTSとの混合ガス、

Claims (4)

  1. 内部に液体状のメチルトリクロロシランを貯留するタンクと、該タンク内の液中に水素ガスを導入する水素導入管と、水素ガスとメチルトリクロロシランガスとの混合物を排出する混合ガス排出管とを備えたメチルトリクロロシランガス発生装置において、
    前記水素導入管がタンク内の液中に浸漬された泡発生手段を備えていることを特徴とするメチルトリクロロシランガス発生装置。
  2. 前記泡発生手段が、前記水素導入管に連通する中空容器を含み、
    該中空容器の表面に多数の貫通孔が設けられていることを特徴とする請求項1に記載のメチルトリクロロシランガス発生装置
  3. 前記中空容器がリング状であることを特徴とする請求項2に記載のメチルトリクロロシランガス発生装置。
  4. 前記水素導入管及び/又は泡発生手段の表面が塩素ガスに対する耐食樹脂からなることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載のメチルトリクロロシランガス発生装置。

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008224485A (ja) * 2007-03-14 2008-09-25 Espec Corp シロキサン耐久試験機
JP2014207459A (ja) * 2006-06-09 2014-10-30 ソイテック 三塩化ガリウムを製造するための大容量送達方法
JP2020059885A (ja) * 2018-10-10 2020-04-16 株式会社高純度化学研究所 蒸発原料用容器及び蒸発原料用容器の製造方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH034929A (ja) * 1989-05-31 1991-01-10 Stec Kk 気化方式によるガス発生装置
JPH03146901A (ja) * 1989-10-23 1991-06-21 Cvd Inc 化学気相蒸着法による軽量セラミック鏡の製作方法
JPH03153873A (ja) * 1989-10-23 1991-07-01 Cvd Inc 予備形状構造物の仕上げと形状を複製する化学気相蒸着法
JPH0615154A (ja) * 1991-07-26 1994-01-25 Isao Tamura 泡出し器
JPH0987038A (ja) * 1995-09-22 1997-03-31 Sekiyu Sangyo Kasseika Center パルスcvi装置
WO2003047735A1 (en) * 2001-11-30 2003-06-12 Aviza Technology, Inc. High flow rate bubbler system and method

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH034929A (ja) * 1989-05-31 1991-01-10 Stec Kk 気化方式によるガス発生装置
JPH03146901A (ja) * 1989-10-23 1991-06-21 Cvd Inc 化学気相蒸着法による軽量セラミック鏡の製作方法
JPH03153873A (ja) * 1989-10-23 1991-07-01 Cvd Inc 予備形状構造物の仕上げと形状を複製する化学気相蒸着法
JPH0615154A (ja) * 1991-07-26 1994-01-25 Isao Tamura 泡出し器
JPH0987038A (ja) * 1995-09-22 1997-03-31 Sekiyu Sangyo Kasseika Center パルスcvi装置
WO2003047735A1 (en) * 2001-11-30 2003-06-12 Aviza Technology, Inc. High flow rate bubbler system and method

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014207459A (ja) * 2006-06-09 2014-10-30 ソイテック 三塩化ガリウムを製造するための大容量送達方法
JP2008224485A (ja) * 2007-03-14 2008-09-25 Espec Corp シロキサン耐久試験機
JP2020059885A (ja) * 2018-10-10 2020-04-16 株式会社高純度化学研究所 蒸発原料用容器及び蒸発原料用容器の製造方法

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