JP2006052427A - メチルトリクロロシランガス発生装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 内部に液体状のMTSを貯留するタンクと、該タンク内の液中に水素ガスを導入する水素導入管と、水素ガスとMTSガスとの混合物を排出する混合ガス排出管とを備えたMTSガス発生装置において、水素導入管がタンク内の液中に浸漬された泡発生手段を備えているもの。
【選択図】 図2
Description
(1) a図、b図の方法では、水素ガスをバブリングするための貫通孔の場所および数に制限があり、水素ガスがMTSタンク内の限られた場所からしかバブリングされないとともに、導入する水素ガスの量も制限され、大量の混合ガスを取り出すことができず、大量生産を行うことに対して不利である。
前記水素導入管がタンク内の液中に浸漬された泡発生手段を備えていることを特徴とするものである。
該中空容器の表面に多数の貫通孔が設けられていることを特徴とするものである。
(1) 水素ガスをバブリングするための貫通孔をMTSタンク内の任意の位置に設置できるため、水素ガスバブルの流動を考慮した上で、最適な場所に設置することができる。
(2) 水素ガスをバブリングするための貫通孔の数を増加できるため、導入する水素ガス量を増加することができ、大量の混合ガスを取り出すことができる。
(4) MTSタンクと水素導入管との接合を必要としないので、接合部からのMTSの漏洩を防止することができ、火災および人体への悪影響を防止できる。
(5) MTSタンクと水素導入管との接合を必要としないので、設備のレイアウ卜に自由度が大きい。
11…MTSタンク、
12…水素導入管、
13…混合ガス配管、
14…水素ガス、
15…水素とMTSとの混合ガス、
16…バブリングタンク、
17…サポー卜ロッド、
18…貫通孔、
30…液体状のMTS、
31…MTSタンク、
32…水素導入管、
33…混合ガス配管、
34…水素ガス、
35…水素とMTSとの混合ガス、
Claims (4)
- 内部に液体状のメチルトリクロロシランを貯留するタンクと、該タンク内の液中に水素ガスを導入する水素導入管と、水素ガスとメチルトリクロロシランガスとの混合物を排出する混合ガス排出管とを備えたメチルトリクロロシランガス発生装置において、
前記水素導入管がタンク内の液中に浸漬された泡発生手段を備えていることを特徴とするメチルトリクロロシランガス発生装置。 - 前記泡発生手段が、前記水素導入管に連通する中空容器を含み、
該中空容器の表面に多数の貫通孔が設けられていることを特徴とする請求項1に記載のメチルトリクロロシランガス発生装置 - 前記中空容器がリング状であることを特徴とする請求項2に記載のメチルトリクロロシランガス発生装置。
- 前記水素導入管及び/又は泡発生手段の表面が塩素ガスに対する耐食樹脂からなることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載のメチルトリクロロシランガス発生装置。
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