JP2006046970A - 半導体ガスセンサ - Google Patents
半導体ガスセンサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006046970A JP2006046970A JP2004224804A JP2004224804A JP2006046970A JP 2006046970 A JP2006046970 A JP 2006046970A JP 2004224804 A JP2004224804 A JP 2004224804A JP 2004224804 A JP2004224804 A JP 2004224804A JP 2006046970 A JP2006046970 A JP 2006046970A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- sensitive body
- gas sensitive
- additive
- semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
【解決手段】金属酸化物半導体として酸化スズを含有する感ガス体Aを備える。感ガス体Aは、その表面から深さ60μmまでの表層領域2に第一添加物としてパラジウムを含有すると共に、第二添加物としてタングステン、モリブデン、バナジウムから選択される少なくとも一種の金属を含有する。前記表層領域2における第二添加物の含有量は、表層領域2におけるスズ原子の総量に対して0.2〜6.0質量%の範囲である。
【選択図】図1
Description
また、上記感ガス体を略球状に形成すると共に、コイル状のヒータ兼用電極と、ヒータ兼用電極のコイルの中心を貫通する電極とが埋設されているように形成すると、電極及びヒータ兼用電極をまとまり良く配置して感ガス体の小型化が容易となるものである。
SnO2の粉砕物にPdの王水溶液を含浸させ、空気中で500℃で1時間焼成した。次いで、得られた焼成物にテルピネオール、SnO2に対して70質量%のアルミナを加えてペースト状の成形材料を調製し、これを図1に示すようなセンサ基体に塗布した後、空気雰囲気下で600℃で30分間焼成することで、略球状の成形体を得た。
各実施例及び比較例の半導体ガスセンサを図5に示す構成のガス警報器の回路に接続し、ヒータ兼用電極25に0.9Vの電圧を5秒間印加して加熱する高温加熱と、ヒータ兼用電極25に0.2Vの電圧を10秒間印加して加熱する低温加熱とを繰り返すように動作させ、低温加熱開始から10秒後の時点で一酸化炭素の検知濃度が110ppmである場合に不完全燃焼警報を発するように設定し、高温加熱開始から5秒後の時点でメタンの検知濃度が3000ppmである場合にガス漏れ警報を発するように設定した。そしてこのガス警報器の回路を2年間連続動作させて、警報濃度の変化を調べた。その結果を表1に示す。表1における一酸化炭素警報濃度は2年間連続動作後における不完全燃焼警報が発せられる際の実際の一酸化炭素濃度を示し、メタン警報濃度は2年間連続動作後におけるガス漏れ警報が発せられる際の実際のメタン濃度を示している。尚、表1中には、一酸化炭素測定の際の不完全燃焼警報時(低温加熱開始から10秒後の時点)と、メタン測定の際のガス漏れ警報時(高温加熱開始から5秒後の時点)での、それぞれの実際の素子温度も示している。
実施例21について、高温加熱時と、低温加熱時において、感ガス体Aを清浄空気(Air)、一酸化炭素含有雰囲気(CO)、メタン含有雰囲気(CH4)、水素含有雰囲気(H2)にそれぞれ曝露した場合の検知出力を調査した。低温加熱時における結果を図7(a)、高温加熱時における結果を図7(b)に、それぞれ示す。
2 表層領域
20 電極
25 ヒータ兼用電極
Claims (6)
- 金属酸化物半導体として酸化スズを含有する感ガス体を備える半導体ガスセンサにおいて、前記感ガス体は、感ガス体の表面から深さ60μmまでの表層領域に第一添加物としてパラジウムを含有すると共に、第二添加物としてタングステン、モリブデン、バナジウムから選択される少なくとも一種の金属を含有し、前記表層領域における第二添加物の含有量が、表層領域におけるスズ原子の総量に対して0.2〜6.0質量%の範囲であることを特徴とする半導体ガスセンサ。
- 上記表層領域における第一添加物であるパラジウムの含有量が、表層領域におけるスズ原子の総量に対して0.1〜3.0質量%の範囲であることを特徴とする請求項1に記載の半導体ガスセンサ。
- 感ガス体の総体積が0.03〜0.064mm3の範囲であることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体ガスセンサ。
- 上記感ガス体が略球状に形成されていると共に、コイル状のヒータ兼用電極と、ヒータ兼用電極のコイルの中心を貫通する電極とが埋設されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体ガスセンサ。
- ヒータ兼用電極に高低二段階の電力を所定の周期で供給して感ガス体を高低二段階の温度で加熱する駆動回路を備えることを特徴とする請求項4に記載の半導体ガスセンサ。
- 上記感ガス体を高温で加熱した状態において可燃性ガスを検出し、低温で加熱した状態で一酸化炭素を検出するものであることを特徴とする請求項5に記載の半導体ガスセンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004224804A JP4129253B2 (ja) | 2004-07-30 | 2004-07-30 | 半導体ガスセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004224804A JP4129253B2 (ja) | 2004-07-30 | 2004-07-30 | 半導体ガスセンサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006046970A true JP2006046970A (ja) | 2006-02-16 |
JP4129253B2 JP4129253B2 (ja) | 2008-08-06 |
Family
ID=36025701
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004224804A Expired - Lifetime JP4129253B2 (ja) | 2004-07-30 | 2004-07-30 | 半導体ガスセンサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4129253B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008176657A (ja) * | 2007-01-19 | 2008-07-31 | Yazaki Corp | 複合型ガス警報装置 |
JP2008241430A (ja) * | 2007-03-27 | 2008-10-09 | New Cosmos Electric Corp | 半導体式ガス検知素子 |
-
2004
- 2004-07-30 JP JP2004224804A patent/JP4129253B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008176657A (ja) * | 2007-01-19 | 2008-07-31 | Yazaki Corp | 複合型ガス警報装置 |
JP2008241430A (ja) * | 2007-03-27 | 2008-10-09 | New Cosmos Electric Corp | 半導体式ガス検知素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4129253B2 (ja) | 2008-08-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4580405B2 (ja) | 水素ガスセンサ | |
JP5313908B2 (ja) | 水素感応性複合材料、水素ガスセンサ、並びに改善された基準抵抗で水素および他のガスを検出するためのセンサ | |
US8555701B1 (en) | Enhanced metal oxide gas sensor | |
JP6074163B2 (ja) | ガス検出装置 | |
JP4790430B2 (ja) | 接触燃焼式ガスセンサを用いた検出回路 | |
JP4996536B2 (ja) | 燃焼機器用ガス検出装置 | |
JP6224311B2 (ja) | 半導体ガスセンサ素子 | |
JP4129253B2 (ja) | 半導体ガスセンサ | |
JP6244562B2 (ja) | ガス検出装置 | |
JP4528638B2 (ja) | ガス検出装置 | |
JP4129251B2 (ja) | ガス検出装置 | |
KR20240006000A (ko) | 가스 검지 장치 | |
JP4084333B2 (ja) | 接触燃焼式ガスセンサ | |
JPH11142356A (ja) | 半導体ガスセンサ | |
JP3987650B2 (ja) | ガス検出装置 | |
JP2004020377A (ja) | 接触燃焼式ガスセンサ | |
JP2005127743A (ja) | アンモニアガスセンサ | |
JP3929846B2 (ja) | 間欠駆動型可燃性ガス検出装置 | |
JP2002286668A (ja) | ガス検知出力補正方法およびガス検知装置 | |
JP6541982B2 (ja) | ガス検出装置 | |
JP2002082083A (ja) | ガス検出装置 | |
JP5903353B2 (ja) | ガス検出装置 | |
JP3999831B2 (ja) | ガス検出方法及びその装置 | |
JP4803658B2 (ja) | 間欠駆動型可燃性ガス検出装置 | |
JP4084343B2 (ja) | 接触燃焼式ガスセンサおよび可燃性ガス測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060612 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080205 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080407 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080430 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080516 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110523 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4129253 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140523 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |