JP2006046857A - Plating fixture dryer - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ウエハ等の表面にめっきを施した後のめっき治具を洗浄、乾燥するのに適するめっき治具乾燥装置に関する。 The present invention relates to a plating jig drying apparatus suitable for cleaning and drying a plating jig after plating on the surface of a wafer or the like.
一般に半導体等を実施するウエハ等の表面には銅めっきが施される。 In general, copper plating is applied to the surface of a wafer or the like on which a semiconductor or the like is implemented.
ウエハの表面に銅めっきを施すにはめっき治具にウエハをセットし、めっき治具ごとめっき槽内に全体を沈めることでウエハ表面にめっきが施されるようになっている。 In order to perform copper plating on the surface of the wafer, the wafer surface is plated by setting the wafer on a plating jig and sinking the entire plating jig in the plating tank.
めっき完了後のめっき治具は複数に分解された後、水洗い、乾燥され再び再使用されるようになっている。 After the plating is completed, the plating jig is decomposed into a plurality of parts, washed with water, dried and reused again.
めっき治具の洗浄、乾燥は、めっき治具を複数に分解した後、1つ1つ手洗いを行ない、乾燥する。めっき治具の乾燥は表面に付着した水滴を市販のエアガン等を用いて高圧空気を噴射し吹き飛ばす手段を採っている。 Cleaning and drying of the plating jig are performed by disassembling the plating jig into a plurality of pieces, and then hand-washing them one by one. The plating jig is dried by spraying high-pressure air using a commercially available air gun to blow off water droplets adhering to the surface.
従来のめっき治具の洗浄、乾燥は手作業のため時間がかかることと、作業者によって作業完了後の洗浄にバラツキがでることと、乾燥時に吹き飛ばされた水滴が周囲に飛散する等の問題をかかえていた。 Cleaning and drying of conventional plating jigs is time consuming due to manual work, and there are problems such as variations in cleaning after completion of work by operators, and water droplets blown off during drying. I was holding.
そこで、本発明は分解しためっき治具の洗浄、乾燥が効率よく確実に行なえるめっき治具乾燥装置を提供することを目的としている。 Therefore, an object of the present invention is to provide a plating jig drying apparatus that can efficiently and reliably perform cleaning and drying of a disassembled plating jig.
前記目的を達成するために、本発明にあっては、乾燥装置本体内に、めっき治具が複数に分解されその分解された分解めっき治具をそれぞれ縦置きの状態で支持する支持部材と、前記縦置きの分解めっき治具の両面に配置され、その両面に洗浄水を噴射する洗浄水噴射ノズルと、その洗浄水噴射ノズルによる洗浄完了後に、前記分解めっき治具の両面に乾燥風を噴射する乾燥風噴射ノズルと、前記洗浄水噴射ノズル及び乾燥風噴射ノズルを前記分解めっき治具に沿って上下動させる昇降装置とを備えていることを特徴とする。 In order to achieve the above object, in the present invention, in the drying apparatus main body, the plating jig is disassembled into a plurality of parts, and the disassembled decomposition plating jig is supported in a vertically placed state, A cleaning water spray nozzle that is disposed on both surfaces of the vertical decomposition plating jig and sprays cleaning water on both surfaces thereof, and after the cleaning by the cleaning water injection nozzle is completed, dry air is sprayed on both surfaces of the decomposition plating jig. And a lifting / lowering device that moves the cleaning water spray nozzle and the dry wind spray nozzle up and down along the decomposition plating jig.
本発明によれば、分解した分解めっき治具を支持部材によって縦置きの状態で正しくセット支持することができる。また、縦置きに支持された分解めっき治具の両面に対して、上から下まで洗浄水噴射ノズルによって洗浄水を確実にあてることができる。また、洗浄完了後に乾燥風噴射ノズルによって上から下まで乾燥風を確実にあてることが可能となり、分解めっき治具を全領域面にわたって迅速に、かつ、確実にきれいにすることができる。 According to the present invention, the disassembled decomposition plating jig can be correctly set and supported by the support member in a vertically placed state. Further, the cleaning water can be reliably applied to the both surfaces of the decomposition plating jig supported vertically by the cleaning water jet nozzle from the top to the bottom. In addition, it is possible to reliably apply the dry air from the top to the bottom by the dry air spray nozzle after the completion of the cleaning, and it is possible to clean the decomposition plating jig quickly and reliably over the entire area surface.
第1には、前記支持部材を、対向して配置すると共に前記分解めっき治具の両端を支持する上方が開放された断面内向きコ字状のガイドレールとし、分解めっき治具の両面を確実に露出させた状態で両端支持を可能とする。 First, the support member is arranged in a U-shaped cross-section guide rail with the upper part opened to support both ends of the decomposition plating jig while being disposed oppositely, and both sides of the decomposition plating jig are securely attached. It is possible to support both ends in the exposed state.
第2には、対向して配置された前記支持部材を、洗浄水噴射ノズルと乾燥風噴射ノズルが上下動する昇降スペースを有して並列に配置し、コンパクトなレイアウト構造とする。 Secondly, the supporting members arranged opposite to each other are arranged in parallel with a lifting space in which the washing water spray nozzle and the drying wind spray nozzle move up and down to form a compact layout structure.
第3には、前記洗浄水噴射ノズル及び乾燥風噴射ノズルを、周面に複数の噴射口が設けられた中空パイプ状の形状とし、その一端を前記、昇降装置の駆動用昇降体に、他端を昇降装置の従動用昇降体にそれぞれ固定支持し、駆動用昇降体及び従動用昇降体とをつなぐ強度メンバとする。 Third, the washing water spray nozzle and the dry air spray nozzle are formed in a hollow pipe shape having a plurality of spray ports provided on the peripheral surface, and one end of the cleaning water spray nozzle and the dry air spray nozzle The ends are fixedly supported on the driven lifting body of the lifting device, and the strength member is connected to the driving lifting body and the driven lifting body.
以下、図1及び図7の図面を参照しながら本発明の実施の形態について具体的に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 and 7.
図1は本発明にかかるめっき治具乾燥装置の概要切断正面図。図2はめっき治具乾燥装置の概要切断側面図をそれぞれ示している。 FIG. 1 is a schematic cut front view of a plating jig drying apparatus according to the present invention. FIG. 2 shows a schematic cut side view of the plating jig drying apparatus.
めっき治具乾燥装置1は、乾燥装置本体3内に、一対の対向し合う支持部材5と洗浄水噴射ノズル7と乾燥風噴射ノズル9と昇降装置11とをそれぞれ備えている。
The plating
乾燥装置本体3の本体ケースは底面と四周壁面とにより上方が開放されたボックス状に形成されると共に支脚部13によって支持されている。上方の開放口となる中央部位は、出し入れ口15となっていて、その出し入れ口15は図3に示すよう取手17を持って上方へ持ち上げることでヒンジ19を支点として開閉する開閉可能な開閉蓋21となっている。
The main body case of the drying apparatus
支持部材5は、図5から図7に示すようにめっき治具23をウエハ裏面板ガイドG−1、ホルダガイドG−2、裏面板ガイドG−3の3つに分解した際に、その分解した第1、第2、第3の分解めっき治具G−1,G−2,G−3をそれぞれ縦置きの状態で両端支持するようになっている。
As shown in FIGS. 5 to 7, the
図4は支持部材5の配列状態を示したもので左側から第1の分解めっき治具G−1用の支持部材5、第2の分解めっき治具G−2用の支持部材5、第3の分解めっき治具G−3用の支持部材5となっている。
FIG. 4 shows the arrangement state of the
各支持部材5は補強板5aによって対向して配置されると共に、大きさの異なる第1、第2、第3の分解めっき治具G−1,G−2,G−3の両端をそれぞれ縦置きの状態で支持すると共に、その両端の支持領域を除いて両面全体が大きく露出するよう上方が開放された断面内向きコ字状のガイドレール5bとなっている。
Each
ガイドレール5bの上方は、各分解めっき治具G−1,G−2,G−3を上方から落し入れる挿入口となっている。挿入口の左右にはその挿入口へ向けガイドする左右一対のガイド板5cが設けられている。支持部材4と支持部材5の間は、前記洗浄水噴射ノズル7と乾燥風噴射ノズル9が上下に昇降できる昇降スペースdが確保された寸法に設定され、整列配置とすることでコンパクトにまとめられた構造となっている。
The upper part of the
洗浄水噴射ノズル7と乾燥風噴射ノズル9は、上下の関係に配置され左右に長い中空パイプ7aの形状となっていて、その外周には噴射口7bが複数設けられた形状となっている。
The washing water spray nozzle 7 and the dry
洗浄水噴射ノズル7は、図外の洗浄水タンクと連通し、下降する時に例えば、純水等洗浄水が各分解めっき治具G−1,G−2,G−3の両面へ向け噴射口7bから噴射されるようになっている。 The cleaning water spray nozzle 7 communicates with a cleaning water tank (not shown), and when the cleaning water descends, for example, cleaning water such as pure water is sprayed to both surfaces of each of the decomposition plating jigs G-1, G-2, and G-3. It is injected from 7b.
乾燥風噴射ノズル9は、図外のエアコンプレッサと連通し、前記洗浄水噴射ノズル7による洗浄完了後において、下降時に高圧の空気が各分解めっき治具G−1,G−2,G−3の両面へ向け噴射口9bから噴射されるようになっている。
The dry
この場合、洗浄水噴射ノズル7と乾燥風噴射ノズル9は形状が同一であるところから、独立して1本設け、それを切換弁によって洗浄水、あるいは、乾燥風がそれぞれ噴射されるよう切換制御される一本タイプの噴射ノズルとすることも可能である。
In this case, since the washing water injection nozzle 7 and the drying
昇降装置11は、駆動用昇降体25と従動用昇降体27とからなる構造となっている。駆動用昇降体25は上下に長い昇降タワー29内に配置され、駆動シリンダ31の上昇取入口31aにエアが供給されることで上昇(図1矢印イ)可能となっている。また、下降取入口31bにエアが供給されることで下降(図1矢印ロ)可能となっている。
The
従動用昇降体27は、上下に長い昇降タワー33内に配置されたガイドレール35に沿って上下にスライド移動する摺動子37に装着支持されている。
The
駆動用昇降体25と従動用昇降体27の下部には、前記中空パイプ7a,9aに形成された洗浄水噴射ノズル7と乾燥風噴射ノズル9の両端がそれぞれ固定支持されている。
Under the driving
これにより、洗浄水噴射ノズル7と乾燥風噴射ノズル9は、駆動用昇降体25と従動用昇降体27とをつなぐ強度メンバとして機能し、部品点数を少なくしながら従動用昇降体27は駆動用昇降体25の上下動に対応して同時に上下動することが可能となっている。
Accordingly, the cleaning water spray nozzle 7 and the dry
このように構成されためっき治具乾燥装置1によれば、分解した第1、第2、第3の分解めっき治具G−1,G−2,G−3を各支持部材5にセットした後、洗浄水噴射ノズル7による洗浄完了後に乾燥風噴射ノズル9から乾燥風を噴射することで、縦置きに支持された第1、第2、第3の分解めっき治具G−1,G−2,G−3の両面に対して上から下まで全領域にわたって洗浄水及び乾燥風を確実にあてることができる。この結果、水滴等を四周に飛散させることなく、確実、かつ、迅速に作業を終了することができると共に、仕上がりのきれいな第1、第2、第3の分解めっき治具G−1,G−2,G−3が得られるようになる。
According to the plating
なお、支持部材5を多数備えた大型のめっき治具乾燥装置とすることで、めっき治具23を一度に多数処理することが可能となる。
In addition, it becomes possible to process many plating
3…乾燥装置本体
5…支持部材
5b…ガイドレール
7…洗浄水噴射ノズル
9…乾燥風噴射ノズル
11…昇降装置
25…駆動用昇降体
27…従動用昇降体
G−1,G−2,G−3…第1、第2、第3の分解めっき治具
d…昇降スペース
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