JP2006040920A - リフロー半田付け装置及び方法、並びに基板保持板 - Google Patents

リフロー半田付け装置及び方法、並びに基板保持板 Download PDF

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Abstract

【課題】 従来に比べて高生産性にて、弱耐熱部品と耐熱部品とを一括して基板へリフロー半田付けを行う、リフロー半田付け装置及び方法、並びに基板保持板を提供する。
【解決手段】 耐熱部品191と弱耐熱部品192とが混在して実装されているフレキシブル基板190に対してリフロー半田付けを行う場合、近赤外線を用いて加熱を行うことから、熱の作用に関する指向性が熱風に比べて良く、加熱不要な部分まで加熱することを防止できる。よって、弱耐熱部品と耐熱部品とを一括して基板へリフロー半田付けを行うことができ、従来に比べて高生産性を得ることができる。
【選択図】 図1

Description

本発明は、弱耐熱部品と耐熱部品とを一括して基板へリフロー半田付けを行うリフロー半田付け装置及び方法、並びに上記装置及び方法に使用される基板保持板に関する。
弱耐熱部品と、耐熱性を有する耐熱部品とが同一基板上に実装された物をリフロー半田付けする場合、弱耐熱部品と耐熱部品とでは加熱温度を異ならせる必要があることから、従来、レーザー光を用いた加熱や、セラミックパネル上に部品実装済基板を載置して加熱する方法が採られている。
又、リフロー半田付けされる部品が実装された基板を載置し搬送する搬送ボードに、加熱が必要な箇所のみに開口を設け、該開口を通して熱風を作用させることで上記部品のリフロー半田付けを行うことも提案されている(例えば、特許文献1参照)。
特開2001−53433号公報
しかしながら、レーザー光を用いた加熱方法では、通常、耐熱部品に対しては例えば熱風にてリフロー半田付けを行い、弱耐熱部品についてはレーザー光にてリフロー半田付けを行うというように、加熱工程が2段階になり、リフロー処理に時間を要し生産性が悪いという問題がある。又、セラミックパネルを用いる場合、基板及び該パネルの仕様が異なる毎に加熱装置の変更が必要であり、かつ均一な加熱を行うためには、加熱装置と基板及びパネルとの間隔を均一にする必要がある。よって、上記パネルには熱による変形が許されない等の問題がある。又、上記熱風による加熱では、上記開口を通過した熱風が開口近傍にまで回り込み、加熱不要な部分、例えば上記弱耐熱部品までも加熱してしまうという問題がある。
本発明は、上述のような問題点を解決するためになされたもので、従来に比べて高生産性にて、弱耐熱部品と耐熱部品とを一括して基板へリフロー半田付けを行う、リフロー半田付け装置及び方法、並びに基板保持板を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明は以下のように構成する。
即ち、本発明の第1態様のリフロー半田付け装置は、リフロー半田付けされる耐熱部品及び弱耐熱部品が実装されたフレキシブル基板を基板載置面に保持する基板保持板であって、上記基板載置面に対向する当該基板保持板の裏面に形成され赤外線の作用により当該基板保持板を加熱する加熱用材料、及び、上記弱耐熱部品における被半田付け部分に対応して当該基板保持板を貫通して設けられる貫通穴を有する基板保持板を保持する保持装置と、
上記保持装置にて保持されている上記基板保持板の上記裏面側に設けられ、上記裏面に対して赤外線を放射し、上記耐熱部品に対しては上記加熱用材料を介して上記基板保持板を加熱してリフロー半田付けを行わせ、上記弱耐熱部品に対しては上記貫通穴を介して上記被半田付け部分を直接加熱してリフロー半田付けを行わせる赤外線発生装置と、
を備えたことを特徴とする。
又、上記基板載置面側に設けられ、上記弱耐熱部品を冷却する冷却装置をさらに備えてよいし、又、上記被半田付け部分に対してレーザー光を照射して上記被半田付け部分の補助加熱を行う補助加熱装置をさらに備えることもできる。
さらに、上記基板保持板は、上記赤外線を上記被半田付け部分に集中させ上記被半田付け部分を加熱する集光部材を上記貫通穴に有するように構成することもでき、又、上記貫通穴は、上記裏面から上記基板載置面に向けて狭小となるように構成することもできる。
又、本発明の第2態様のリフロー半田付け方法は、フレキシブル基板に耐熱部品及び弱耐熱部品をリフロー半田付けするリフロー半田付け方法において、
上記耐熱部品及び上記弱耐熱部品が実装された上記フレキシブル基板を基板載置面に載置可能であり、かつ上記弱耐熱部品における上記フレキシブル基板への被半田付け部分に対応して貫通穴を形成した基板保持板を加熱位置に配置し、
上記基板載置面に対向する上記基板保持板の裏面に対して該裏面側から赤外線を照射し、
上記耐熱部品に対して上記赤外線による上記基板保持板の加熱によりリフロー半田付けを行なうとともに、該耐熱部品の半田付けと同工程において、上記弱耐熱部品に対して上記貫通穴を介して上記被半田付け部分を直接加熱してリフロー半田付けを行う、
ことを特徴とする。
さらに、本発明の第3態様の基板保持板は、リフロー半田付けされる耐熱部品及び弱耐熱部品が実装されたフレキシブル基板を基板載置面に保持するとともに、赤外線の作用により当該基板保持板を加熱する加熱用材料を上記基板載置面に対向する裏面に有し、かつ上記弱耐熱部品における被半田付け部分に対応して当該基板保持板を貫通して形成した貫通穴を有する基板保持板であって、上記赤外線を上記被半田付け部分に集中させ上記被半田付け部分を加熱する集光部材を上記貫通穴に設けたことを特徴とする。
上述した本発明の第1態様のリフロー半田付け装置、第2態様のリフロー半田付け方法、及び第3態様の基板保持板によれば、耐熱部品と弱耐熱部品とが混在して実装されているフレキシブル基板に対してリフロー半田付けを行う場合、赤外線、特に近赤外線を用いて加熱を行うことから、近赤外線の指向性が熱風の場合に比べて良く、熱風のように加熱不要な部分まで加熱することを防止できる。よって、貫通穴を通して弱耐熱部品の被半田付け部分を直接加熱することができ、上記貫通穴から弱耐熱部品まで熱が作用するのを低減できる。一方、耐熱部品については、加熱用材料への近赤外線の作用により基板保持板が加熱されリフロー半田付けが可能である。よって、弱耐熱部品と耐熱部品とを一括して基板へリフロー半田付けを行うことができ、従来に比べて高生産性を得ることができる。
又、冷却装置にて弱耐熱部品を冷却することで、弱耐熱部品の昇温を低減することができる。又、レーザー光発生装置にて弱耐熱部品の被半田付け部分を補助加熱したり、あるいは貫通穴に集光部材を設けることで近赤外線を上記被半田付け部分に集中させてピンポイント的な加熱を行うことで、弱耐熱部品について、より短時間にて半田付けが可能となり、弱耐熱部品の昇温を低減することができる。
又、貫通穴の形状を、基板保持板の裏面から基板載置面に向けて狭小とすることで、上記裏面側から照射される近赤外線の入射量を多くすることができ、かつ上記被半田付け部分に近赤外線を集中させることができることから、弱耐熱部品について、より短時間にて半田付けが可能となり、弱耐熱部品の昇温を低減することができる。
本発明の実施形態である、リフロー半田付け装置及び方法、並びに該リフロー半田付け装置及び方法にて使用される基板保持板について、図を参照しながら以下に説明する。尚、各図において、同じ構成部分については同じ符号を付している。
図1には、上記実施形態におけるリフロー半田付け装置101が示されている。該リフロー半田付け装置101は、基本的構成として保持装置110及び、赤外線発生装置の一例としての近赤外線発生装置120を備えればよいが、ここではさらに、冷却装置130、温度測定装置140、及び制御装置180を備える。このような構成を有するリフロー半田付け装置101は、近赤外線発生装置120が放射する近赤外線による加熱により電子部品の電極部に設けた半田を溶融し、上記電子部品を基板にリフロー半田付けする装置である。
上記電子部品及び基板について具体的に説明する。
本実施形態では、上記基板は、図2及び図3に示すような、例えば0.07mm程度の厚みの、ポリイミド材にてなるシート状のフレキシブルな基板190であり、実装面190aには、例えばクリーム半田等を介して耐熱部品191及び弱耐熱部品192が実装されている。耐熱部品191は、表面実装可能な例えば抵抗やコンデンサ等の部品であり、従来のリフロー半田付け温度に十分耐え得る耐熱性を有する。一方、弱耐熱部品192は、例えば、LDU(Laser Detector hologram Unit)と呼ばれる光学系素子が該当する。該光学系素子は、樹脂材等にてなるレンズや、接着剤を有し、これらが半田融点温度に耐えることができないことから、リフロー半田付け動作において耐熱部品191と同じ取り扱いはできない。又、該フレキシブル基板190は、以下に説明するように基板保持板170に保持されることから、図3に示すように、上記実装面190aに対向する、当該フレキシブル基板190の非実装面190bには、基板保持板170に貼着可能な例えば0.25mm程度の厚みの、ガラスエポキシ材にてなるシート状の裏打ち材190cが取り付けられている。尚、当該明細書において、フレキシブル基板190とは、裏打ち材190cを含んだ状態の基板を指す。
上述のようにフレキシブル基板190は、非常に薄くフレキシブルであり、そのままではリフロー半田付け動作において取り扱いが困難であることから、リフロー半田付け装置101には、基板保持板170に貼着した状態にて搬入される。該基板保持板170は、例えば図4及び図5に示すような、例えばアルミニウム材やマグネシウム材等の伝熱性の良い材料の平板であり、表面170aには、上記裏打ち材190cを貼着可能とする、例えばシリコーンゴムで0.1〜0.3mm程度の厚さにてなる基板貼着材171が全面あるいは部分的に形成されている。尚、該基板貼着材171においてフレキシブル基板190が貼着される面を基板載置面171aとする。又、上記表面に対向する、基板保持板170の裏面170bには、全面又は所望部分に、近赤外線の輻射熱により放射熱伝達され基板保持板170を加熱する加熱用材料172が形成されている。該加熱用材料172は、例えば酸化鉄系無機顔料材で、焼き付け塗装状態で放射率が例えば0.94であるような、黒体塗料であり、本実施形態では焼き付けにて形成されている。
さらに基板保持板170には、弱耐熱部品192における被半田付け部分192aに対応して当該基板保持板170を貫通する、勿論基板貼着材171及び加熱用材料172をも貫通した貫通穴173が形成されている。尚、上記被半田付け部分192aとは、弱耐熱部品192の電極部分であってフレキシブル基板190の電極と半田付けされる部分であり、本実施形態では図1に示すように弱耐熱部品192のリードの先端部分に該当する。
以上のように構成されたフレキシブル基板190及び基板保持板170は、基板保持板170の基板載置面171にフレキシブル基板190の裏打ち材190cを規定位置、即ち弱耐熱部品192の被半田付け部分192aを貫通穴173に対応させて貼着させる。このようにフレキシブル基板190を貼着した基板保持板170がリフロー半田付け装置101に搬入される。
上記保持装置110は、基板保持板170の搬送方向111に沿って互いに平行に延在する2本の駆動路112を有し、これらの駆動路112にて、搬送方向111に直交する左右方向における基板保持板170の側縁部を支持しながら、リフロー半田付け装置101に対して基板保持板170を搬入及び搬出する装置であり、制御装置180にて動作制御される。
上記近赤外線発生装置120は、保持装置110にて保持、搬送される基板保持板170の下方、即ち基板保持板170の加熱用材料172側に、基板保持板170に非接触な状態で配置される。該近赤外線発生装置120は、上記左右方向に沿って延在する少なくとも1本の近赤外線発生管121、及び該近赤外線発生管121に近接して配置される凹状の円弧形状にてなる反射材122を有する。このように構成される近赤外線発生装置120は、近赤外線発生管121から近赤外線123を放射し、直接に、又は反射材122で反射させて間接に、加熱用材料172に照射するとともに、基板保持板170の貫通穴173を通して上記被半田付け部分192aに直接照射する。よって、近赤外線発生装置120は、耐熱部品191に対して、加熱用材料172を介して基板保持板170を加熱してフレキシブル基板190へのリフロー半田付けを行わせ、弱耐熱部品192に対しては被半田付け部分192aを直接加熱してフレキシブル基板190へのリフロー半田付けを行わせる。又、近赤外線発生管121の出力は、制御装置180にて制御される。
上記冷却装置130は、基板保持板170の上方、即ち上記基板載置面171a側に設けられ、リフロー半田付け動作中における弱耐熱部品192を冷却する装置である。本実施形態では、図1に示すように、冷却装置130は、弱耐熱部品192に対応して配置され弱耐熱部品192の一部を収納する凹部1311を有するカバー部材131と、冷却材供給装置132と、昇降装置133とを有する。冷却材供給装置132は、カバー部材131に接続され、カバー部材131の凹部1311へ冷却材を供給する装置である。上記冷却材の一例として本実施形態では約25℃にてなる冷風を使用する。昇降装置133は、リフロー半田付け動作が行われる基板保持板170の厚み方向174に沿って、待機位置1331と冷却位置1332との間でカバー部材131を昇降させる装置であり、基板保持板170がリフロー半田付け装置101に搬入された後、リフロー半田付け装置101から搬出されるまでの間で、リフロー半田付け動作の開始前から終了後まで、カバー部材131を冷却位置1332に配置させる装置である。カバー部材131が冷却位置1332に配置されている状態では、本実施形態では図示するように、カバー部材131の下端部1312が弱耐熱部品192を構成するパッケージ部1921に当接するように構成している。これにより、凹部1311から外部への上記冷風の漏れを低減し弱耐熱部品192を効率よく冷却すると共に、被半田付け部分192aへの冷風作用を低減し被半田付け部分192aの昇温を促進させる。
このように構成される冷却装置130は、制御装置180にて動作制御される。
上記冷却装置の構成は、図1に示す構成に限定されず、他の一例として図7に示すような構成を採ることもできる。図7に示す冷却装置134では、上述のカバー部材131に代えて、マスク部材135を有し、該マスク部材135は、昇降装置133にて待機位置1331と冷却位置1332との間で厚み方向174に沿って昇降される。又、マスク部材135の上方には、冷却材供給装置132が設けられ、マスク部材135に対して冷却材、ここでは冷風が供給される。又、マスク部材135は、弱耐熱部品192に対応して形成された開口1351を有する。該開口1351は、上記パッケージ部1921を僅かに超える大きさにてなり、上記被半田付け部分192aに対向する部分には存在しない。よって、マスク部材135が冷却位置1332に位置するとき、弱耐熱部品192の主要部分は、マスク部材135を貫通して位置し、冷却材供給装置132による上記冷風が作用することから冷風にて冷却され、一方、被半田付け部分192aは、マスク部材135にて覆われていることから、上記冷風作用は軽減されほとんど冷却されない。
尚、上述の説明では、冷却装置130、134のいずれの場合も、弱耐熱部品192に対して、カバー部材131及びマスク部材135を昇降させる構造を採っているが、これに限定されず、例えばカバー部材131及びマスク部材135に対して基板保持板170を昇降させても良い。即ち、弱耐熱部品192、並びにカバー部材131及びマスク部材135を、厚み方向174に沿って相対的に移動させる構成であればよい。
上記温度測定装置140は、上記被半田付け部分192aの温度を測定し、測定結果を制御装置180へ送出する装置であり、本実施形態では、放射温度計を用いている。
制御装置180は、上述した保持装置110、近赤外線発生装置120、冷却装置130、及び温度測定装置140と接続され、これら装置の動作を制御して、リフロー半田付け動作を実行する。ここで、温度測定装置140にて測定された被半田付け部分192aにおける温度に従い、制御装置180は、近赤外線発生装置120の近赤外線発生管121の出力を制御する。
以上説明したように構成されたリフロー半田付け装置101における動作、即ちリフロー半田付け方法について、図6を参照しながら以下に説明する。尚、各動作は、制御装置180にて制御される。
まず、図6の(a)に示すように、フレキシブル基板190を載置した基板保持板170が保持装置110にて当該リフロー半田付け装置101に搬入される。この時点では、近赤外線発生装置120は近赤外線123を放射していない。尚、以下の当該動作説明において、特記しない限り、基板保持板170は、フレキシブル基板190を載置した基板保持板を意味する物とする。
次に、(b)に示すように、リフロー半田付け装置101の所定の加熱位置113に基板保持板170を配置した後、待機位置1331に配置されているカバー部材131を、昇降装置133にて冷却位置1332まで降下させ、弱耐熱部品192のパッケージ部1921にカバー部材131を当接させる。該当接後、冷却材供給装置132を動作させて、カバー部材131の凹部1311内へ冷風を供給し、弱耐熱部品192の冷却を開始する。
次に、(c)に示すように、上述のように弱耐熱部品192の冷却動作を行いながら、近赤外線発生装置120を動作させ、近赤外線123を放射して、耐熱部品192及び弱耐熱部品192のリフロー半田付け動作を開始する。上述したように、耐熱部品192については、基板保持板170の加熱用材料172への近赤外線123の作用により基板保持板170が加熱され、該熱により半田が溶融しフレキシブル基板190へのリフロー半田付けが行われる。一方、弱耐熱部品192については、基板保持板170の貫通穴173を通過した近赤外線123により被半田付け部分192aが直接加熱され、半田が溶融しフレキシブル基板190へのリフロー半田付けが行われる。このとき、被半田付け部分192aは、温度測定装置140にて測温され、該測定結果に応じて近赤外線発生装置120における近赤外線123の強度が制御される。
予め温度測定を行い決定した規定時間の経過に基づき、耐熱部品192及び弱耐熱部品192に対するリフロー半田付けが終了したと判断されたとき、近赤外線発生装置120の動作を停止する。加熱停止後、基板保持板170の冷却を行うが、基板保持板170の加熱用材料172側からも冷風を作用させて冷却を行うのが好ましい。尚、弱耐熱部品192については冷却装置130による冷却動作を続行している。
予め温度測定を行い決定した規定時間の経過に基づき、冷却が完了したと判断されたとき、昇降装置133にてカバー部材131を冷却位置1332から待機位置1331へ上昇させ、その後、保持装置110を動作させて、リフロー半田付け装置101から基板保持板170を搬出する。
以上の動作にて、1枚の基板保持板170に対するリフロー半田付け動作が終了する。
以上説明したリフロー半田付け装置101によるリフロー半田付け動作によれば、近赤外線発生装置120による近赤外線123を用いることから、熱の作用に関する指向性が従来の熱風の場合に比べて良く、熱風のように加熱不要な部分まで加熱してしまうことを防止することができる。よって、貫通穴173を通して弱耐熱部品192の被半田付け部分192aを直接加熱することができ、貫通穴173から弱耐熱部品192へ熱が作用してしまうのを低減できる。一方、耐熱部品191については、加熱用材料172への近赤外線123の作用により基板保持板170が加熱されリフロー半田付けが可能である。よって、弱耐熱部品192と耐熱部品191とを一括してフレキシブル基板190へリフロー半田付けを行うことができ、従来に比べて高生産性を得ることができる。
又、冷却装置130にて弱耐熱部品192を冷却することで、弱耐熱部品192の昇温を低減することができ、弱耐熱部品192及び耐熱部品191の一括リフロー半田付けが可能なように寄与し、従来に比べて高生産性を得ることができる。
又、上述のように本実施形態では、近赤外線123を利用することから、以下に説明するような構成を採ることも可能である。
即ち、図8に示すように、上記貫通穴173に、近赤外線123を上記被半田付け部分192aに集中させ被半田付け部分192aを加熱する集光部材175を取り付けても良い。該集光部材175の一例としては、図示するような凸レンズを用いることができる。
又、上記貫通穴173は、基板保持板170の厚み方向174に対して平行な開口であるが、図9に示すように、基板保持板170の加熱用材料172側から基板載置面171a側に向けて狭小となるように、つまり開口面積が徐々に小さくなるような、貫通穴176を基板保持板170に形成することもできる。
又、本実施形態では、加熱用材料172は、基板保持板170の裏面の全面に形成しているが、極力、弱耐熱部品192に対する加熱を低減する観点から、弱耐熱部品192が位置する部分に対応する領域には、加熱用材料172を形成しないように構成しても良い。即ち、図10に示すように、基板保持板170の裏面において、弱耐熱部品192が位置する部分に対応する領域には、加熱用材料172の非形成領域1721を設けても良い。該非形成領域1721を設けることで、近赤外線123の作用による発熱が抑えられ、弱耐熱部品192の加熱を低減することができる。
あるいは又、基板保持板170の裏面の全面に加熱用材料172を形成している場合であっても、図11に示すように、基板保持板170の裏面において、弱耐熱部品192が位置する部分に対応する領域に対向して、近赤外線123を遮光する遮光板177を配置するようにしても良い。該遮光板177を設けることで、弱耐熱部品192が位置する部分に対応する上記領域へ照射される近赤外線123が遮られ加熱用材料172に作用するのを抑えることができ、弱耐熱部品192の加熱を低減することができる。
さらに又、弱耐熱部品192の被半田付け部分192aをより加熱する観点から、図12に示すように、被半田付け部分192aの補助加熱を行う補助加熱装置150をさらに備えても良い。該補助加熱装置150の一例として、被半田付け部分192aに対してレーザー光を照射して被半田付け部分192aの補助加熱を行うレーザー光発生装置が考えられる。該レーザー光発生装置にて加熱を行う場合、一例として、出力8W、照射時間1秒、程度が良い。
上述の実施形態では、エネルギー密度が高く急峻な加熱が可能なこと、さらには、遠赤外線に比べて放射率(吸収率)の影響を受けやすくワークの材質及び表面状態により温度差を生じさせやすいことから、加熱手段として近赤外線を用いた。しかしながら、近赤外線に限定するものではなく、一般的に赤外線を使用することができる。
又、上述した実施形態及び変形例を適宜組み合わせた構成を採ることもできる。
本発明は、弱耐熱性の電子部品と耐熱性の電子部品とを一括してフレキシブル基板へリフロー半田付けを行うためのリフロー半田付け装置、及び該装置にて実行されるリフロー半田付け方法、並びに上記装置及び方法に使用される基板保持板に適用可能である。
本発明の実施形態におけるリフロー半田付け装置の一構成例を示す図である。 図1に示すリフロー半田付け装置へ搬入されるフレキシブル基板の一例を示す斜視図である。 図2に示すフレキシブル基板の側面図である。 図1に示すリフロー半田付け装置へ搬入される基板保持板の一例を示す平面図である。 図4に示す基板保持板の断面図である。 図1に示すリフロー半田付け装置にて実行されるリフロー半田付け動作を説明するための図である。 図1に示すリフロー半田付け装置の変形例を示す図である。 図4に示す基板保持板の変形例を示す断面図である。 図4に示す基板保持板の別の変形例を示す断面図である。 図4に示す基板保持板の他の変形例の断面図である。 図4に示す基板保持板のさらに別の変形例における断面図である。 図1に示すリフロー半田付け装置の別の変形例を示す図である。
符号の説明
101…リフロー半田付け装置、110…保持装置、120…近赤外線発生装置、
130…冷却装置、150…レーザー光発生装置、170…基板保持板、
170b…裏面、171a…基板載置面、172…加熱用材料、173…貫通穴、
175…レンズ、190…フレキシブル基板、191…耐熱部品、
192…弱耐熱部品、192a…被半田付け部分。

Claims (10)

  1. リフロー半田付けされる耐熱部品及び弱耐熱部品が実装されたフレキシブル基板を基板載置面に保持する基板保持板であって、上記基板載置面に対向する当該基板保持板の裏面に形成され赤外線の作用により当該基板保持板を加熱する加熱用材料、及び、上記弱耐熱部品における被半田付け部分に対応して当該基板保持板を貫通して設けられる貫通穴を有する基板保持板を保持する保持装置と、
    上記保持装置にて保持されている上記基板保持板の上記裏面側に設けられ、上記裏面に対して赤外線を放射し、上記耐熱部品に対しては上記加熱用材料を介して上記基板保持板を加熱してリフロー半田付けを行わせ、上記弱耐熱部品に対しては上記貫通穴を介して上記被半田付け部分を直接加熱してリフロー半田付けを行わせる赤外線発生装置と、
    を備えたことを特徴とするリフロー半田付け装置。
  2. 上記基板載置面側に設けられ、上記弱耐熱部品を冷却する冷却装置をさらに備えた、請求項1記載のリフロー半田付け装置。
  3. 上記被半田付け部分に対してレーザー光を照射して上記被半田付け部分の補助加熱を行う補助加熱装置をさらに備えた、請求項1又は2記載のリフロー半田付け装置。
  4. 上記基板保持板は、上記赤外線を上記被半田付け部分に集中させ上記被半田付け部分を加熱する集光部材を上記貫通穴に有する、請求項1から3のいずれかに記載のリフロー半田付け装置。
  5. 上記貫通穴は、上記裏面から上記基板載置面に向けて狭小となる、請求項1から4のいずれかに記載のリフロー半田付け装置。
  6. フレキシブル基板に耐熱部品及び弱耐熱部品をリフロー半田付けするリフロー半田付け方法において、
    上記耐熱部品及び上記弱耐熱部品が実装された上記フレキシブル基板を基板載置面に載置可能であり、かつ上記弱耐熱部品における上記フレキシブル基板への被半田付け部分に対応して貫通穴を形成した基板保持板を加熱位置に配置し、
    上記基板載置面に対向する上記基板保持板の裏面に対して該裏面側から赤外線を照射し、
    上記耐熱部品に対して上記赤外線による上記基板保持板の加熱によりリフロー半田付けを行なうとともに、該耐熱部品の半田付けと同工程において、上記弱耐熱部品に対して上記貫通穴を介して上記被半田付け部分を直接加熱してリフロー半田付けを行う、
    ことを特徴とするリフロー半田付け方法。
  7. 上記裏面へ上記赤外線を照射するとき、上記基板載置面側から上記弱耐熱部品を冷却する、請求項6記載のリフロー半田付け方法。
  8. 上記裏面へ上記赤外線を照射するとき、上記被半田付け部分に対してレーザー光を照射して補助加熱を行う、請求項6又は7に記載のリフロー半田付け方法。
  9. リフロー半田付けされる耐熱部品及び弱耐熱部品が実装されたフレキシブル基板を基板載置面に保持するとともに、赤外線の作用により当該基板保持板を加熱する加熱用材料を上記基板載置面に対向する裏面に有し、かつ上記弱耐熱部品における被半田付け部分に対応して当該基板保持板を貫通して形成した貫通穴を有する基板保持板であって、上記赤外線を上記被半田付け部分に集中させ上記被半田付け部分を加熱する集光部材を上記貫通穴に設けたことを特徴とする基板保持板。
  10. 上記貫通穴は、上記裏面から上記基板載置面に向けて狭小となる、請求項9記載の基板保持板。
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