JP2006040347A - 近接場光出射素子および光ヘッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体レーザ3から出射したレーザ光4aは、コリメータレンズ5によって平行光4bに整形され、透明媒体6の第1面6aに入射し、第3面6cの表面に形成された反射膜6dで反射し、浮上スライダ2の下面2aに設けられた金属フィルム10の開口10dに集光する。この開口10dに集光したレーザ光によって金属フィルム10の第1および第2の表面10a,10bに表面プラズモンが励起され、その表面プラズモンが端面10cで反射して開口10dに収束し、開口10d付近においてレーザ光とプラズモンとの相互作用により開口10dから出射される近接場光4eが大幅に増強する。
【選択図】 図1
Description
H.A.Bethe,:Theory of Diffraction by Small Holes、Physical Review、 第2シリーズ,巻66、頁163−182(1944)
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る光ヘッドの主要部を示し、(a)は、その正面断面図、(b)は、その要部断面図、(c)は、その要部底面図である。
を用いることができる。半導体レーザ3から出射するレーザ光の偏光方向40は、矩形状の開口10dの長手方向に垂直な方向にしている。これにより、金属フィルム10の表面において表面プラズモンがレーザ光と共鳴的にカップルして励起され、かつ、その表面プラズモンが金属フィルム10の端面10cに伝播するとともに、その端面10cにおいて反射されて開口10dに向けて収束する。この収束するプラズモンにより、開口10dから出射される近接場光4eが大幅に増強される。
金属フィルム10は、例えば、金(Au),銀(Ag),アルミ二ウム(Al)等の低抵抗の金属材料等から形成され、図1(b)に示すように、浮上スライダ2の下面2aに被着された第1の表面10aと、これに対向する位置に形成された第2の表面10bと、第1および第2の表面10a,10bを貫通する矩形状(例えば0.05×0.1μm)の開口10dと、開口10dから所定の距離にプラズモン反射面としての端面10cを有する。また、金属フィルム10は、レーザ光を遮蔽するに十分な厚さ(例えば、約50nm)を有し、開口10dの中心から端面10cまでの距離(半径)は、表面プラズモンの共鳴波長程度かそれ以下(例えば、0.5μm)としている。
金属フィルム10の作製は、着膜する対象(浮上スライダ2の下面2a)に金属膜を蒸着した後、その金属膜をフォトリソグラフィによってエッチングすることにより得ることができる。また、着膜する対象に金属膜を蒸着した後、その上にレジストパターンを形成し、そのレジスト膜を用いて周囲の金属膜をリフトオフすることにより金属フィルムを形成することも可能である。これらの作製法によれば、一度のフォトリソグラフィ工程により金属フィルム10を作製できるため、極めて効率的である。
次に、光ヘッドの動作を説明する。半導体レーザ3から出射したレーザ光4aは、コリメータレンズ5によって平行光4bに整形され、透明媒体6の第1面6aに入射する。透明媒体6の第1面6aに入射した平行光4bは、透明媒体6の第3面6cの表面に形成された反射膜6dで反射し、浮上スライダ2の下面2aに設けられた金属フィルム10の開口10dに集光する。この開口10dに集光したレーザ光によって金属フィルム10の第1および第2の表面10a,10bに表面プラズモンが励起され、その表面プラズモンが外周部に伝播し、端面10cで反射した大半が開口10dに向かい、それが開口10dに収束されるため、開口10d付近においてレーザ光とプラズモンとの相互作用により開口10dから出射される近接場光4eが大幅に増強する。第1の実施の形態では、従来の金属フィルムに形成された凹凸パターンと異なり、金属フィルム10の端面10cにおいて金属が完全に途切れるため、伝播したプラズモンの大半が反射されるので、従来例と比べて大幅に増強効果が高められる。
この第1の実施の形態によれば、以下の効果を奏する。
(イ)金属フィルム10の第1および第2の表面10a,10bに励起された表面プラズモンを端面10cで反射するので、開口10dに集光するレーザ光4cとの相互作用によって開口10dから出射される近接場光4eを大幅に増強することができ、光利用効率を高くすることができる。
(ロ)従来例の周期的凹凸構造と異なり、金属膜周辺部でのプラズモンは殆ど反射されるため、単一の金属フィルム10でも十分な増強効果が得られ、構造および作製プロセスを大幅に簡素化することができた。
(ハ)共鳴プラズモン励起の波長依存性がブロードでなので、レーザ波長の変動による出力変化が少なく、また、フィルムサイズも使用レーザ波長に対して高精度に調節する必要がなく、歩留まりの高い作製プロセスが可能となる。
(ニ)単に円形ないし矩形状に金属フィルムを整形するのみでよく、通常のフォトリソグラフィを用いて簡易に形成でき、作製コストを下げることができる。
また、本光ヘッドでは、浮上スライダ2を用いてディスク面との間隔を微小間隔(20nm程度)に保って記録・再生を行うことを可能としているが、これに限らず、ディスクからの反射光の強度を用いる型の光ヘッドにおいても、本金属フィルムを用いて本実施の形態と同様の効果が得られることは言うまでもない。
図5は、本発明の第2の実施の形態に係る光ヘッドの主要部を示し、(a)は正面断面図、(b)は要部断面図、(c)は金属フィルムを示す要部底面図である。この第2の実施の形態は、第1の実施の形態において、回転放物面を用いた透明媒体6の代わりに、折り返しミラー21、集光レンズ22およびソリッドイマージョンレンズからなる透明媒体6を用いたものであり、他は第1の実施の形態と同様に構成されている。
この第2の実施の形態によれば、第1の実施の形態と同様に、偏光方向40が矩形の開口10dの長手方向に垂直な方向のレーザ光4dを開口10dに照射すると、金属フィルム10の第1および第2の表面10a,10bに表面プラズモンが励起され、その表面プラズモンが金属フィルム10の周辺の端面10cで反射されて、開口10dに向けて収束するので、この収束するプラズモンにより、開口10dから出射される近接場光4eが大幅に増強することができる。
図6は、本発明の第3の実施の形態に係る光ヘッドの主要部を示し、(a)は要部断面図、(b)は金属フィルムを示す要部底面図である。この第3の実施の形態は、第1または第2の実施の形態において、金属フィルム10の外形形状を矩形状とし、開口10dの他にスリット13を形成したものであり、他は第1または第2の実施の形態と同様に構成されている。
図8は、本発明の第4の実施の形態に係る光ヘッドの主要部を示し、(a)は要部断面図、(b)は金属フィルムを示す要部底面図である。この第4の実施の形態は、第2の実施の形態において、金属フィルム10に開口10dの他にスリット13を形成したものであり、他は第2の実施の形態と同様に構成されている。この構成によれば、第3の実施の形態と同様に、励起された表面プラズモンがスリット13の内側の壁面で反射され、開口10dに収束するので、開口10dから出射される近接場光4eを大幅に増強することができる。
図10は、本発明の第5の実施の形態に係る光ヘッドの主要部を示し、(a)は要部断面図、(b)は金属フィルムを示す要部底面図である。この第5の実施の形態は、第2の実施の形態において、金属フィルム10に開口10dの他に2つのスリット13を形成したものであり、他は第2の実施の形態と同様に構成されている。
2 浮上スライダ
2a 下面
2b 凹部
3 半導体レーザ
4a レーザ光
4b 平行光
4c 収束光
4d 光スポット
4e 近接場光
5 コリメータレンズ
6 透明媒体
6a 第1面
6b 第2面
6c 第3面
6d 反射膜
7A,7B 保持部
8 ヘッドケース
9 サスペンション
10 金属フィルム
10a 第1の表面
10b 第2の表面
10c 端面
10d 開口
10e 凹部
11 微小金属部
12 凸部
13 スリット
21 折り返しミラー
22 集光レンズ
40 偏光方向
100 光ディスク
101 記録層
Claims (19)
- レーザ光が入射する入射面、および前記入射面に入射した前記レーザ光が集光する集光面を有する透明媒体と、
前記透明媒体の前記集光面上に設けられ、前記集光面に接する第1の表面、および前記第1の表面に対向する第2の表面、および前記レーザ光が集光する位置に前記第1および第2の表面を貫通するように形成され、前記レーザ光に基づく近接場光を出射する開口を有する金属体とを備え、
前記金属体は、前記第1および第2の表面間を接続するように前記開口の中心から所定の距離に設けられ、前記開口に集光する前記レーザ光によって前記第1および第2の表面に励起された表面プラズモンを前記開口に向けて反射するプラズモン反射面を有することを特徴とする近接場光出射素子。 - 前記金属体の前記開口の中心から前記プラズモン反射面までの距離は、前記金属体に励起される前記表面プラズモンの共鳴波長程度であることを特徴とする請求項1に記載の近接場光出射素子。
- 前記金属体の前記開口の中心から前記プラズモン反射面までの距離は、前記金属体に集光する前記レーザ光の光スポットの半径程度又はそれ以上であることを特徴とする請求項1に記載の近接場光出射素子。
- 前記金属体の前記開口は、前記レーザ光の波長以下のサイズを有することを特徴とする請求項1に記載の近接場光出射素子。
- 前記金属体の前記開口は、前記第1および第2の表面の一方の外縁から他方の外縁に渡ってスリット状に形成されたことを特徴とする請求項1に記載の近接場光出射素子。
- 前記金属体は、円形状の外形を有し、その外形を構成する端面を前記プラズモン反射面とすることを特徴とする請求項1に記載の近接場光出射素子。
- 前記金属体は、矩形状の外形を有し、その外形を構成する端面を前記プラズモン反射面とすることを特徴とする請求項1に記載の近接場光出射素子。
- 前記金属体は、前記開口を中心としてほぼ円状又は矩形状に形成され、前記第1および第2の表面を貫通するスリットを有し、前記スリットの内側の壁面を前記プラズモン反射面とすることを特徴とする請求項1に記載の近接場光出射素子。
- 前記開口の中心から前記スリットの前記壁面までの距離は、前記金属体に励起される前記表面プラズモンの共鳴波長程度であることを特徴とする請求項8に記載の近接場光出射素子。
- 前記金属体は、前記開口を中心としてほぼ同心円状又は矩形状に形成され、前記第1および第2の表面を貫通する複数のスリットを有し、前記複数のスリットの内側の壁面をそれぞれ前記プラズモン反射面とすることを特徴とする請求項1に記載の近接場光出射素子。
- 前記開口の中心から前記複数のスリットのうち最内部の前記スリットの内側の壁面までの距離は、前記金属体に励起される前記表面プラズモンの共鳴波長程度であることを特徴とする請求項10に記載の近接場光出射素子。
- 前記透明媒体は、集光光学系によって集光された前記レーザ光が入射する球状の前記入射面を有することを特徴とする請求項1に記載の近接場光出射素子。
- 前記透明媒体は、前記入射面に入射した前記レーザ光を反射して前記集光面に集光する反射面を有することを特徴とする請求項1に記載の近接場光出射素子。
- 前記反射面は、回転楕円面又は回転放物面の一部を用いて形成されたことを特徴とする請求項13に記載の近接場光出射素子。
- 前記金属体は、前記開口の中心に微小金属体を有し、前記開口と前記微小金属体により同軸型開口形状を構成することを特徴とする請求項1に記載の近接場光出射素子。
- 前記金属体は、前記開口の縁から前記開口内に突出する凸部を有することを特徴とする請求項1に記載の近接場光出射素子。
- 前記金属体の前記開口は、矩形状を有し、
前記透明媒体の前記集光面に集光する前記レーザ光の偏光方向は、前記開口の長手方向に垂直な方向であることを特徴とする請求項1に記載の近接場光出射素子。 - 前記金属体の厚さは、前記レーザ光の波長より小さい厚さであって、前記レーザ光を遮光するのに十分な厚さを有することを特徴とする請求項1に記載の近接場光出射素子。
- レーザ光が入射する入射面、および前記入射面に入射した前記レーザ光が集光する集光面を有する透明媒体と、
前記透明媒体の前記集光面上に設けられ、前記集光面に接する第1の表面、および前記第1の表面に対向する第2の表面、および前記レーザ光が集光する位置に前記第1および第2の表面を貫通するように形成され、前記レーザ光に基づく近接場光を出射する開口を有する金属体とを備え、
前記金属体は、前記第1および第2の表面間を接続するように前記開口の中心から所定の距離に設けられ、前記開口に集光する前記レーザ光によって前記第1および第2の表面に励起された表面プラズモンを前記開口に向けて反射するプラズモン反射面を有することを特徴とする光ヘッド。
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