JP2006035082A - 塗膜形成方法および塗膜形成装置 - Google Patents

Abstract

【課題】気泡の発生を防止し得る塗膜形成方法を提供する。
【解決手段】一方の面における中央部位１４ａが突出形成された基材１４の一方の面に塗膜をスピンコートする際に、中央部位１４ａの外縁側に形成された円環状の段差部１４ｃの外周側から段差部１４ｃの内周側に亘る円環領域内に外周側から塗液Ｒを滴下した後に、基材１４を高速回転させて滴下した塗液Ｒを一方の面の全域に展延して塗膜を形成する。この塗膜形成方法により、塗液による空気の巻き込みを抑制することができる結果、塗膜内での気泡の発生が防止される。
【選択図】図５

Description

本発明は、一方の面における中央部分に段差部が円環状に形成された基材上に塗膜を形成する塗膜形成方法および塗膜形成装置に関するものである。

この種の塗膜形成方法として、特開平１０−３２０８５０号公報に開示された塗膜形成方法が知られている。この塗膜形成方法では、塗液をスピンコートする際に、一主面の中央に凸部が形成されることによってこの一主面側に段差部を有する基材に対して、その凸部上に塗液を円環状に供給することによって凸部と基材の一主面との段差部に行き渡るように塗液を供給し、基材を高速回転させることによって塗液を展延して一主面に塗布している。

この塗膜形成方法によれば、一主面側に段差部を有する基材におけるこの段差部に行き渡るように塗液を供給した後、基材の回転速度を上昇させて塗液を塗布することにより、凸部上に供給された塗液の進行が段差部によって阻害されるのを回避できるため、塗液を均等に拡げることができる結果、膜厚の均一性を向上させることができる。また、段差部によって塗布開始位置を明確にできるため、塗布開始位置における回転中心からの半径のばらつきを抑えることができる結果、膜厚の所定の半径における周方向のばらつきを抑えることができる。したがって、膜厚の均一な塗膜を形成することが可能となっている。
特開平１０−３２０８５０号公報（第３−５頁、図１）

ところが、この従来の塗膜形成方法には、以下の問題点がある。すなわち、この従来の塗膜形成方法では、図９に示すように、基材５１の中央に形成された凸部５１ａに塗液Ｒを円環状に供給することにより、凸部５１ａ上から段差部５１ｃを介して基材５１の一主面５１ｂに塗液Ｒを行き渡らせている。この場合、段差部５１ｃの壁面を伝って落下する塗液Ｒの先端部（下端部）の断面形状は、表面張力によって同図に示すようにティアドロップ形状になる。このため、塗液Ｒの先端部における最下部が一主面５１ｂに当接した時点で、塗液Ｒ、一主面５１ｂおよび段差部５１ｃで囲まれた空間内に空気が閉じ込められる。したがって、その後に、塗液Ｒがこの空間に行き渡る過程において空間内の空気が塗液Ｒ中に巻き込まれる結果、形成された塗膜全域に気泡が発生するおそれがあるという問題点が存在する。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、気泡の発生を防止し得る塗膜形成方法および塗膜形成装置を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく本発明に係る塗膜形成方法は、一方の面における中央部位が突出形成された基材の当該一方の面に塗膜をスピンコートする際に、前記中央部位の外縁側に形成された円環状の段差部の外周側から当該段差部の内周側に亘る円環領域内に当該外周側から塗液を滴下した後に、当該基材の回転速度を上昇させて前記滴下した塗液を当該一方の面の全域に展延して前記塗膜を形成する。

また、本発明に係る塗膜形成方法は、一方の面における中央部位が凹んだ基材の当該一方の面に塗膜をスピンコートする際に、前記中央部位の外縁側に形成された円環状の段差部の内周側から当該段差部の外周側に亘る円環領域内に当該内周側から塗液を滴下した後に、当該基材の回転速度を上昇させて前記滴下した塗液を当該一方の面の全域に展延して前記塗膜を形成する。

上記目的を達成すべく本発明に係る塗膜形成装置は、一方の面における中央部位が突出形成された基材を回転させる回転駆動部と、前記一方の面に塗液を滴下する滴下部と、制御部とを備え、前記制御部は、前記滴下部を制御して前記中央部位の外縁側に形成された円環状の段差部の外周側から当該段差部の内周側に亘る円環領域内に当該外周側から塗液を滴下させた後に、前記回転駆動部を制御して当該基材の回転速度を上昇させて前記滴下させた塗液を当該一方の面の全域に展延させて前記塗膜を形成させる。

また、本発明に係る塗膜形成装置は、一方の面における中央部位が凹んだ基材を回転させる回転駆動部と、前記一方の面に塗液を滴下する滴下部と、制御部とを備え、前記制御部は、前記滴下部を制御して前記中央部位の外縁側に形成された円環状の段差部の内周側から当該段差部の外周側に亘る円環領域内に当該内周側から塗液を滴下させた後に、前記回転駆動部を制御して当該基材の回転速度を上昇させて前記滴下させた塗液を当該一方の面の全域に展延させて前記塗膜を形成させる。

本発明に係る塗膜形成方法および塗膜形成装置によれば、一方の面における段差部を含んで段差部の外周側から内周側に亘る円環領域内に外周側から塗液を滴下することにより、塗液による空気の巻き込みが最も発生し易い基材における他の部位と段差部とのコーナー部の全周に対して、他の部位（低位）上に滴下した塗液のうちの厚みの最も薄い先端部分から行き渡らせることができる。このため、塗液の先端部分が段差部に達したときに、塗液と他の部位と段差部との間に空間（隙間）を形成しにくくすることができる。したがって、塗液による空気の巻き込みを抑制することができる結果、塗膜内での気泡の発生を防止することができる。

また、本発明に係る塗膜形成方法および塗膜形成装置によれば、一方の面における段差部を含んで段差部の内周側から外周側に亘る円環領域内に内周側から塗液を滴下することにより、塗液による空気の巻き込みが最も発生し易い基材における中央部位と段差部とのコーナー部の全周に対して、中央部位（低位）上に滴下した塗液のうちの厚みの最も薄い先端部分から行き渡らせることができる。このため、塗液の先端部分が段差部に達したときに、塗液と中央部位と段差部との間に空間（隙間）を形成しにくくすることができる。したがって、塗液による空気の巻き込みを抑制することができる結果、塗膜内での気泡の発生を防止することができる。

以下、本発明に係る塗膜形成装置および塗膜形成方法の最良の形態について、図面を参照して説明する。

最初に、樹脂層形成装置１の構成について、図面を参照して説明する。

樹脂層形成装置１は、本発明における塗膜形成装置に相当し、図１に示すように、ターンテーブル２、回転駆動部３、ノズル４、塗液供給部５、移動部６、エネルギー線照射部７および制御部８を備えて構成されている。この樹脂層形成装置１は、一例として、図２に示すように、主要な機能層としての情報層１２と、情報層１２を覆うようにして形成された樹脂層１３とが基材１４の表面側に積層されて構成された情報記録媒体（本例では光記録媒体）１１の製造時において、本発明に係る塗膜形成方法に従って本発明における塗膜としての樹脂層１３をスピンコートによって形成するために使用される。この場合、光記録媒体１１は、同図に示すように、樹脂層１３側からレーザービームが照射されることによってデータの記録および読出しが可能に構成されている。したがって、樹脂層１３は、光透過層として機能する。基材１４は、例えば、直径が１２０ｍｍ程度で厚みが１．２ｍｍ程度の円板状（平板形状）に形成されている。また、基材１４は、同図に示すように、情報層１２側の表面（本発明における一方の面）における中央部位１４ａ（基材１４の軸線を中心とした平面視円環状の領域）が、他の部位１４ｂ（中央部位１４ａよりも外周側の部位）と比較して若干厚く形成されている。この構成により、中央部位１４ａと他の部位１４ｂとを区画する円環状の段差部１４ｃが基材１４の中央部分に形成され、この段差部１４ｃの内周側（中央部位１４ａ）が外周側（他の部位１４ｂ）に対して突出している。また、基材１４の中央部位１４ａには、ドライブ装置に装着するための直径１５ｍｍ程度の装着用の中心孔１４ｄが形成されている。さらに、基材１４における他の部位１４ｂの表面には、配列ピッチが例えば０．３２μｍのグルーブパターン（図示せず）が形成されている。情報層１２は、一例として、反射層、誘電体層および相変化型記録層等が積層されて構成されている。

ターンテーブル２は、全体として円板状に形成されて、図３に示すように、その表面（同図中の上面）における中心部には、基材１４の中心孔１４ｄに嵌め込み可能な環状突起２ａが形成されている。また、ターンテーブル２の裏面（同図中の下面）における中心部には、回転駆動部３の回転軸（図示せず）に連結されるシャフト２ｂが取り付けられている。回転駆動部３は、モータ等で構成されると共に、制御部８によって制御されて、ターンテーブル２（およびターンテーブル２に載置された基材１４）をその軸線を中心として回転させる。塗液供給部５は、ノズル４と共に本発明における滴下部を構成すると共に、制御部８によって制御されて、樹脂層１３形成用の例えば紫外線硬化型の塗液Ｒ（ウレタンアクリレートなどの樹脂材料）をノズル４に供給することにより、ノズル４から塗液Ｒを吐出させて基材１４（情報層１２）の上に滴下する。移動部６は、制御部８によって制御されて、ターンテーブル２の上方においてノズル４を移動させる。

エネルギー線照射部７は、ターンテーブル２の上方に配設されて、制御部８の制御に従ってターンテーブル２（具体的には、ターンテーブル２に載置された基材１４）に向けて紫外線（エネルギー線の一例）を照射することにより、基材１４の表面に塗布された塗液Ｒを硬化させる。制御部８は、ＣＰＵおよびメモリを備え、メモリに予め記憶された動作プログラムに従って作動して、回転駆動部３、塗液供給部５、移動部６およびエネルギー線照射部７を制御する。

次に、樹脂層形成装置１を用いた基材１４への樹脂層１３の形成方法（スピンコートによる形成方法）について、図面を参照して説明する。なお、グルーブパターンが形成された基材１４の表面側には、反射層、誘電体層、相変化型記録層および誘電体層がこの順序で積層されて情報層１２が形成されているものとする。

まず、図３に示すように、情報層１２が形成された面を上向きにした状態で、環状突起２ａに中心孔１４ｄを嵌め込んでターンテーブル２に基材１４を載置する。続いて、図４に示すように、環状突起２ａの内側に閉塞部材１５の凸部１５ｂを嵌め込むことによって基材１４の中心孔１４ｄを閉塞する。

次いで、樹脂層形成装置１を作動させる。これに応じて、制御部８が、回転駆動部３を制御することにより、例えば１２０ｒｐｍの低速でターンテーブル２を回転させる。これにより、基材１４および閉塞部材１５もターンテーブル２と共に回転（軸線を中心とした回転）を開始する。続いて、制御部８は、移動部６を制御してノズル４を図４に示すように基材１４の中央部分に移動させると共に、塗液供給部５を制御して塗液Ｒを所定量だけノズル４に供給させることにより、段差部１４ｃを挟んで段差部１４ｃの外周側から段差部１４ｃの内周側に亘る円環領域Ａに含まれる閉塞部材１５の本体部１５ａおよび基材１４の中央部分に塗液Ｒを滴下する。この際に、制御部８は、図５に示すように、まず、基材１４における段差部１４ｃよりも若干外周側（基材１４の他の部位１４ｂにおける段差部１４ｃの近傍）の上方にノズル４を移動させると共に、ノズル４への塗液Ｒの供給を開始させる。これにより、ノズル４から塗液Ｒが基材１４上に滴下し始める。次いで、制御部８は、ノズル４から塗液Ｒを滴下させつつ、段差部１４ｃ上を経由して段差部１４ｃの内周側に位置する閉塞部材１５の本体部１５ａの上方までノズル４を移動させる。また、制御部８は、その後、滴下した塗液Ｒが所定量に達したときに、ノズル４への塗液Ｒの供給を停止させる。これにより、塗液Ｒは、段差部１４ｃよりも若干外周側の位置から本体部１５ａの上方に亘る円環領域Ａ内にこの外周側から順次渦巻き状に滴下されて、円環領域Ａの全域に塗布される。具体的には、塗液Ｒは、まず、基材１４の他の部位１４ｂにおける段差部１４ｃの近傍全周に滴下され、次いで、段差部１４ｃ全周に滴下され、次いで、基材１４の中央部位１４ａおよび本体部１５ａに環状に滴下される。このように、基材１４の他の部位１４ｂ、段差部１４ｃおよび基材１４の中央部位１４ａの順に、すなわち基材１４における低位側から高位側へと塗液Ｒを順次滴下することにより、塗液Ｒによる空気の巻き込みが最も発生し易い基材１４における他の部位１４ｂと段差部１４ｃとのコーナー部には、他の部位１４ｂ（低位）上に滴下した塗液Ｒが水平方向に拡がるようにして供給されて、塗液Ｒがこのコーナー部に行き渡る。この場合、基材１４における他の部位１４ｂ上に滴下した塗液Ｒは、その外縁部分（先端部分）の厚みが最も薄くなる。このため、外縁部分の断面形状もティアドロップ形状になり難くなる。したがって、塗液が段差部の上側から段差部の壁面を伝って下側に供給される従来の方法と比較して、塗液Ｒが段差部１４ｃに達したときに、塗液Ｒと他の部位１４ｂと段差部１４ｃとの間で空間（隙間）を形成しにくくできるために、塗液Ｒによる空気の巻き込みが抑制される。

次いで、制御部８は、回転駆動部３を制御することにより、ターンテーブル２の回転速度（つまり基材１４の回転速度）を上昇させて、塗液Ｒをほぼ均一な厚みに展延するのに適した高速回転状態を維持して、基材１４における円環領域Ａ内に滴下した塗液Ｒを基材１４の表面全域に展延させると共に、余分な塗液Ｒを振り切る。これにより、図６に示すように、塗液Ｒが、基材１４の表面に均一な厚みで、かつ情報層１２を覆うようにしてスピンコートされる。次いで、制御部８は、エネルギー線照射部７を作動させて塗液Ｒに向けて紫外線を照射させる。この紫外線の照射によって塗液Ｒが硬化して、樹脂層１３が形成される。次いで、制御部８は、回転駆動部３を制御してターンテーブル２の回転を停止させる。これにより、樹脂層形成装置１による樹脂層１３の形成が完了して、光記録媒体１１が完成する。

このように、この樹脂層形成装置１および樹脂層形成方法によれば、段差部１４ｃの内周側の中央部位１４ａが段差部１４ｃの外周側の他の部位１４ｂから突出する基材１４に対して、段差部１４ｃを含んで段差部１４ｃの外周側から内周側に亘る円環領域Ａの全域に外周側から塗液Ｒを渦巻き状に滴下することにより、塗液Ｒによる空気の巻き込みが最も発生し易い基材１４における他の部位１４ｂと段差部１４ｃとのコーナー部の全周に対して、他の部位１４ｂ（低位）上に滴下した塗液Ｒのうちの厚みの最も薄い先端部分から行き渡らせることができる。このため、塗液Ｒの先端部分が段差部１４ｃに達したときに、塗液Ｒと他の部位１４ｂと段差部１４ｃとの間に空間（隙間）を形成しにくくすることができる。したがって、塗液Ｒによる空気の巻き込みを抑制することができる結果、樹脂層１３内での気泡の発生を防止することができる。

なお、本発明に係る樹脂層形成装置および樹脂層形成方法は、上記した樹脂層形成装置１および樹脂層形成方法に限定されない。例えば、図７に示すように、情報層１２が形成される面（本発明における一方の面）における中央部分に段差部２４ｃが円環状に形成されると共に、段差部２４ｃの内周側が外周側に対して凹む基材２４に樹脂層１３を形成する際には、後述する樹脂層形成装置１Ａおよび樹脂層形成方法を採用することができる。以下、この樹脂層形成装置１Ａおよび樹脂層形成方法について説明する。

最初に、樹脂層形成装置１Ａの構成について、図面を参照して説明する。なお、樹脂層形成装置１と同一の構成については同一の符号を付して、重複する説明を省略する。

樹脂層形成装置１Ａは、図１に示すように、ターンテーブル２、回転駆動部３、ノズル４、塗液供給部５、移動部６、エネルギー線照射部７および制御部８Ａを備えて構成されている。制御部８Ａは、ＣＰＵおよびメモリを備え、メモリに予め記憶された動作プログラムに従って作動して、回転駆動部３、塗液供給部５、移動部６およびエネルギー線照射部７を制御する。

この樹脂層形成装置１Ａによって樹脂層１３が形成される基材２４は、一例として、図７に示すように、情報層１２と、情報層１２を覆うようにして形成された樹脂層１３とが基材２４の表面（本発明における一方の面）に積層されて構成された光記録媒体２１の製造時において、樹脂層１３を形成するために使用される。この場合、光記録媒体２１は、同図に示すように、樹脂層１３側からレーザービームが照射されることによってデータの記録および読出しが可能に構成されている。基材２４は、情報層１２側の表面における中央部位２４ａ（基材２４の軸線を中心とした平面視円環状の領域）が、中央部位２４ａよりも外周側の他の部位２４ｂと比較して若干薄く形成されている。この構成により、中央部位２４ａと他の部位２４ｂとを区画する円環状の段差部２４ｃが基材２４の中央部分に形成され、この段差部２４ｃの内周側（中央部位２４ａ）が外周側（他の部位２４ｂ）に対して凹んでいる。また、基材２４の中央部位２４ａには、ドライブ装置に装着するための直径１５ｍｍ程度の装着用の中心孔２４ｄが形成されている。さらに、基材２４における他の部位２４ｂの表面には、配列ピッチが例えば０．３２μｍのグルーブパターン（図示せず）が形成されている。

次に、樹脂層形成装置１Ａを用いた基材２４への樹脂層１３の形成方法について、図面を参照して説明する。なお、グルーブパターンが形成された基材１４の表面側には、反射層、誘電体層、相変化型記録層および誘電体層がこの順序で積層されることにより、情報層１２が形成されているものとする。なお、樹脂層形成装置１Ａによって実行される樹脂層１３の形成方法は、一部を除き、樹脂層形成装置１によって実行される形成方法とほぼ同じに実行される。したがって、相違する動作を中心に説明し、重複する動作についての説明を省略する。

この樹脂層形成装置１Ａでは、閉塞部材１５の本体部１５ａおよび基材２４の中央部分への塗液Ｒの滴下に際して、制御部８Ａが、図８に示すように、まず、閉塞部材１５の本体部１５ａの上方にノズル４を移動させると共にノズル４への塗液Ｒの供給を開始させ、次いで、基材２４の中央部位２４ａおよび段差部２４ｃの各上方を経由して基材２４における他の部位２４ｂの上方にノズル４を移動させる。これにより、図示はしないが、樹脂層形成装置１と同様にして、基材２４の情報層１２側の表面における段差部２４ｃを含んで段差部２４ｃの内周側から外周側に亘る円環領域Ａの全域に内周側から塗液Ｒが渦巻き状に滴下（供給）される。

このように、この樹脂層形成装置１Ａによれば、段差部２４ｃの内周側の中央部位２４ａが段差部２４ｃの外周側の他の部位２４ｂよりも凹んだ基材２４に対して、段差部２４ｃを含んで段差部２４ｃの内周側から外周側に亘る円環領域Ａの全域に内周側から塗液Ｒを渦巻き状に滴下することにより、塗液Ｒによる空気の巻き込みが最も発生し易い基材２４における中央部位２４ａと段差部２４ｃとのコーナー部の全周に対して、中央部位２４ａ（低位）上に滴下した塗液Ｒのうちの厚みの最も薄い先端部分から行き渡らせることができる。このため、塗液Ｒの先端部分が段差部２４ｃに達したときに、塗液Ｒと中央部位２４ａと段差部２４ｃとの間に空間（隙間）を形成しにくくすることができる。したがって、塗液Ｒによる空気の巻き込みを抑制することができる結果、樹脂層１３内での気泡の発生を防止することができる。

なお、上記した例では、情報層１２を覆う樹脂層１３を形成する例について説明したが、本発明における樹脂層形成装置１，１Ａおよび樹脂層形成方法は、他の樹脂層を形成するときにも適用できるのは勿論である。また、光記録媒体以外の記録媒体、例えば、光磁気記録媒体およびディスクリートトラック媒体等の情報記録媒体において樹脂層を形成するときにも適用できるのは勿論である。また、制御部８（８Ａ）が互いに異なる樹脂層形成装置１および樹脂層形成装置１Ａについて説明したが、これに限らず、１つの制御部８を備えた樹脂層形成装置１に対して、基材１４および基材２４の双方の各樹脂層を形成させることもできる。この構成では、基材１４，２４用の動作プログラムを制御部８に予め記憶させ、樹脂層形成対象の基材１４（または２４）に応じて動作プログラムを切り替えて制御部８を作動させる。この構成によれば、１つの樹脂層形成装置１で２通りの樹脂層形成方法を実行させることができるため、装置のコストを実質的に低減することができる。

さらに、図９に示す情報記録媒体（本例では光記録媒体）用の中間体３１の製造に本発明を適用することができる。なお、光記録媒体１１の各構成要素と同等の機能を有するものについては、同一の符号を付して重複した説明を省略する。この場合、中間体３１では、スピンコートを行う際の位置決め用の中心孔３５が基材３４の中心部に形成されると共にその中心孔３５の外縁部に円筒状の突起部３６が形成されている。また、基材３４は、同図に示すように、情報層１２側の表面（本発明における一方の面）における中央部位３４ａ（基材１４の軸線を中心とした平面視円環状の領域）が、他の部位３４ｂ（中央部位３４ａよりも外周側の部位）と比較して若干厚く形成されている。この構成により、中央部位３４ａと他の部位３４ｂとを区画する円環状の段差部３４ｃが基材３４の中央部分に形成され、この段差部３４ｃの内周側（中央部位３４ａ）が外周側（他の部位３４ｂ）に対して突出している。また、基材３４における他の部位３４ｂの表面には、配列ピッチが例えば０．３２μｍのグルーブパターン（図示せず）が形成されている。

この中間体３１を製造する際には、上記した基材１４に対する塗液Ｒの塗布処理と同様にして、制御部８が、移動部６を制御してノズル４を基材３４の中央部分に移動させると共に、塗液供給部５を制御して塗液Ｒを所定量だけノズル４に供給させることにより、段差部３４ｃを挟んで段差部３４ｃの外周側から段差部３４ｃの内周側の突起部３６の外壁に亘る円環状の中央部位３４ａに塗液Ｒを滴下する。この際に、突起部３６は、塗液Ｒの中心孔３５への侵入を阻止する。この後、制御部８は、滴下した塗液Ｒが所定量に達したときに、ノズル４への塗液Ｒの供給を停止させる。これにより、塗液Ｒは、中央部位３４ａ内にこの外周側から順次渦巻き状に滴下されて、中央部位３４ａの全域に塗布される。この中間体３１でも、塗液Ｒによる空気の巻き込みが最も発生し易い基材３４における他の部位３４ｂと段差部３４ｃとのコーナー部には、他の部位３４ｂ上に滴下した塗液Ｒが水平方向に拡がるようにして供給されて、塗液Ｒがこのコーナー部に行き渡る。したがって、基材１４に対する塗液Ｒの塗布処理時と同様にして、従来の方法と比較して、塗液Ｒが段差部３４ｃに達したときに、塗液Ｒと他の部位３４ｂと段差部３４ｃとの間で空間（隙間）を形成しにくくできるために、塗液Ｒによる空気の巻き込みが抑制される。なお、この中間体３１では、樹脂層１３および他の機能層の形成処理が完了した後に、中心孔３５の軸線に沿って図示しない打ち抜き刃で打ち抜かれることにより、ドライブ装置に装着するための直径１５ｍｍ程度の装着用中心孔が基材３４の中心に形成される。

樹脂層形成装置１の構成を示すブロック図である。 光記録媒体１１の断面図である。 ターンテーブル２、基材１４および閉塞部材１５の断面図である。 ノズル４から塗液Ｒを滴下している状態のターンテーブル２、基材１４および閉塞部材１５の断面図である。 基材１４および閉塞部材１５への塗液Ｒの滴下方法を説明するための段差部１４ｃ近傍の基材１４および閉塞部材１５の拡大断面図である。 塗液Ｒが基材１４の表面にスピンコートされた状態における、ターンテーブル２、基材１４、情報層１２、閉塞部材１５および塗液Ｒの断面図である。 光記録媒体２１の断面図である。 基材２４および閉塞部材１５への塗液Ｒの滴下方法を説明するための段差部２４ｃ近傍の基材２４および閉塞部材１５の拡大断面図である。 中間体３１の断面図である。 基材５１への塗液Ｒの従来の滴下方法を説明するための段差部５１ｃ近傍の基材５１の拡大断面図である。

符号の説明

１ 樹脂層形成装置
３ 回転駆動部
４ ノズル
５ 塗液供給部
６ 移動部
８，８Ａ 制御部
１３ 樹脂層
１４，２４，３４ 基材
１４ａ，２４ａ，３４ａ 中央部位
１４ｂ，２４ｂ，３４ｂ 他の部位
１４ｃ，２４ｃ，３４ｃ 段差部
Ａ 円環領域
Ｒ 塗液

Claims (4)

1. 一方の面における中央部位が突出形成された基材の当該一方の面に塗膜をスピンコートする際に、
   前記中央部位の外縁側に形成された円環状の段差部の外周側から当該段差部の内周側に亘る円環領域内に当該外周側から塗液を滴下した後に、当該基材の回転速度を上昇させて前記滴下した塗液を当該一方の面の全域に展延して前記塗膜を形成する塗膜形成方法。
2. 一方の面における中央部位が凹んだ基材の当該一方の面に塗膜をスピンコートする際に、
   前記中央部位の外縁側に形成された円環状の段差部の内周側から当該段差部の外周側に亘る円環領域内に当該内周側から塗液を滴下した後に、当該基材の回転速度を上昇させて前記滴下した塗液を当該一方の面の全域に展延して前記塗膜を形成する塗膜形成方法。
3. 一方の面における中央部位が突出形成された基材を回転させる回転駆動部と、前記一方の面に塗液を滴下する滴下部と、制御部とを備え、
   前記制御部は、前記滴下部を制御して前記中央部位の外縁側に形成された円環状の段差部の外周側から当該段差部の内周側に亘る円環領域内に当該外周側から塗液を滴下させた後に、前記回転駆動部を制御して当該基材の回転速度を上昇させて前記滴下させた塗液を当該一方の面の全域に展延させて前記塗膜を形成させる塗膜形成装置。
4. 一方の面における中央部位が凹んだ基材を回転させる回転駆動部と、前記一方の面に塗液を滴下する滴下部と、制御部とを備え、
   前記制御部は、前記滴下部を制御して前記中央部位の外縁側に形成された円環状の段差部の内周側から当該段差部の外周側に亘る円環領域内に当該内周側から塗液を滴下させた後に、前記回転駆動部を制御して当該基材の回転速度を上昇させて前記滴下させた塗液を当該一方の面の全域に展延させて前記塗膜を形成させる塗膜形成装置。

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