JP2003047901A

JP2003047901A - 塗布装置

Info

Publication number: JP2003047901A
Application number: JP2001242079A
Authority: JP
Inventors: Tomoki Ushita; 智樹丑田
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 2001-08-09
Filing date: 2001-08-09
Publication date: 2003-02-18

Abstract

(57)【要約】【課題】記録媒体に塗液を均一に塗布し得る塗布装置
を提供する。【解決手段】円盤状の光ディスクＤを載置可能なター
ンテーブル２と、その中央部がターンテーブル２の中央
部に位置して光ディスクＤの中央部に載置される円盤状
部材４とを備え、光ディスクＤと円盤状部材４とを載置
した状態でターンテーブル２を回転させると共に円盤状
部材４の上面に塗液を滴下することにより、滴下した塗
液をターンテーブル２の回転に伴う遠心力によって光デ
ィスクＤの表面にスピンコートする塗布装置１であっ
て、円盤状部材４の上面には、その輪郭の平面視形状が
円形で、かつその円周方向に沿った深さが一様に形成さ
れて塗液を貯留可能な凹部１１が形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＣＤやＤＶＤなど
の円盤状記録媒体の製造時に樹脂などの塗液をスピンコ
ートするための塗布装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ＣＤおよびＤＶＤなどの円盤状記録媒体
（以下、「光ディスク」ともいう）には、記録層や反射
層の傷付きや腐食などを防止するための保護層が形成さ
れている。この保護層は、記録層全体が覆われるように
例えば光硬化樹脂などの塗液を塗布して硬化させること
で薄膜状に形成されている。さらに、最近では、例えば
特開平８−２３５６３８号公報に開示されているよう
に、光の透過が不要な支持層（保護層）、つまり光学的
厚みが要求されない支持層をディスク基板として射出成
形によって厚く成形し、このディスク基板の情報記録面
側に、再生可能に構成するために設けた反射膜、または
記録可能に構成された記録層等を形成した後に、さらに
その上に記録再生用レーザー光を透過可能な透明樹脂層
による光透過層を積層して製造される光ディスクも注目
されている。この光透過層も、同じく光硬化樹脂などの
塗液を塗布して硬化させることで、上記した保護層より
も若干厚めの薄膜状に形成されている。

【０００３】これらの場合、塗液を塗布する方法とし
て、一般的には、スピンコート法が用いられている。ま
た、このスピンコート法によって塗液を塗布する塗布装
置では、一般的には、装着用中心孔を有する記録媒体
（またはディスク基板）を、その中央部を回転軸として
回転するターンテーブル上に載置して回転させつつ、装
着用中心孔よりも外周側の任意の位置に塗液を滴下し、
その状態で、ターンテーブルの回転を制御することによ
り、塗液が記録媒体等の表面全域に塗布されて所望の層
厚が確保される。この場合、紫外線硬化型樹脂を塗布す
る際には、この後に、紫外線を照射して固化させること
によって樹脂層が形成される。

【０００４】このような一般的な樹脂層形成装置に加え
て、特徴的な製造方法の一つとして、光ディスクの装着
用中心孔を覆う円盤状部材を載置し、その上に樹脂を滴
下して回転塗布する方法が開発されている。この方法
は、樹脂層の層厚を特に半径方向にほぼ均一に制御する
ことが容易なことから、上記した特開平８−２３５６３
８号公報に開示されている光透過層の形成にも適用され
ている。

【０００５】この方法を、図１３によって説明する。同
図に示す塗布装置５１は、光ディスクＤを載置可能なタ
ーンテーブル２と、光ディスクＤにおける樹脂層の形成
が不要な部分をカバーする円盤状部材５４と、円盤状部
材５４の上面に塗液Ｒを滴下させるためのノズル６とを
備えている。ターンテーブル２は、上面が平坦な円盤状
に形成されると共に、塗液Ｒの塗布時には、負圧によっ
てその内周部（チャッキングエリア）が吸引された光デ
ィスクＤを載置した状態で図外のモータによって回転さ
せられる。また、円盤状部材５４は、光ディスクＤの中
央部を覆う円盤状部材本体５４ａと、円盤状部材本体５
４ａの上面中央に立設されたシャフト５４ｂとを備えて
いる。円盤状部材本体５４ａは、光ディスクＤの中央部
（樹脂層の形成が不要な部位）を覆う大きさで、その側
面視形状が傘状に形成されている。

【０００６】この塗布装置５１によって光ディスクＤに
塗液Ｒを塗布する際には、まず、主として内周部（チャ
ッキングエリア）を負圧によって吸引して光ディスクＤ
をターンテーブル２の上に載置する。この際に、光ディ
スクＤにおける樹脂層形成面とは反対側の面の全域を負
圧によって吸引して載置することもできる。次に、光デ
ィスクＤの中央部に円盤状部材５４を載置する。次い
で、円盤状部材本体５４ａの下方の空気を図外のエアポ
ンプによって吸引することにより、円盤状部材５４をタ
ーンテーブル２側に引き寄せる。これにより、円盤状部
材５４が光ディスクＤに適度に密着する。続いて、この
状態のターンテーブル２を回転させると共に、図１４に
示すように、ノズル６の先端から円盤状部材本体５４ａ
の上面に塗液Ｒを滴下する。この後に、ターンテーブル
２の回転数や回転保持時間等を適宜制御することによ
り、塗液Ｒが、ターンテーブル２の回転によって生じる
遠心力で光ディスクＤの半径方向（すなわち、円盤状部
材５４の半径方向）の向きで円盤状部材本体５４ａ上を
移動する。また、円盤状部材本体５４ａ上を移動した塗
液Ｒは、円盤状部材本体５４ａの外縁部から光ディスク
Ｄの上面に移動してその表面を外縁部に向けて移動す
る。次いで、光ディスクＤの外縁部に達した余分な塗液
Ｒは、遠心力によって光ディスクＤから飛散する。これ
により、光ディスクＤの表面全体に塗液Ｒが薄膜状に塗
布される。この後、塗液Ｒの塗布が完了した光ディスク
Ｄを塗布装置５１から取り外すと共に、所定の硬化処理
によって塗液Ｒを硬化させることによって樹脂層が形成
される。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記した塗
布装置５１には、以下の問題点がある。すなわち、この
塗布装置５１では、円盤状部材本体５４ａ上に滴下した
塗液Ｒを、ターンテーブル２の回転に伴う遠心力によっ
て円盤状部材本体５４ａ上から光ディスクＤ上に移動さ
せている。この場合、ノズル６から滴下された塗液Ｒ
は、円盤状部材本体５４ａに落下した瞬間から、その遠
心力によって光ディスクＤの半径方向の向きで円盤状部
材本体５４ａ上を移動し始める。このため、例えば光デ
ィスクＤが１回転する間だけノズル６から塗液Ｒを滴下
させた場合、図１５に示すように、ノズル６から最後に
滴下された塗液Ｒ（矢印Ａで示す部位の塗液Ｒ）が円盤
状部材本体５４ａに落下した際には、最初に円盤状部材
本体５４ａに滴下された塗液Ｒ（矢印Ｂで示す部位の塗
液Ｒ）が既にその外縁部近傍まで移動している。したが
って、円盤状部材本体５４ａの外縁部に達した塗液Ｒか
ら次第に光ディスクＤの上面に移動して、かつ光ディス
クＤの外縁部に向かって移動するため、光ディスクＤ上
を塗液Ｒが移動する時間差に起因して、樹脂層におい
て、光ディスクＤの円周方向に対する厚みむらや欠けが
発生するという問題点がある。また、光ディスクＤ上を
塗液Ｒが移動する時間差によって塗布面への泡の混入が
生じ易く、さらに、この泡の混入に起因して塗布むらや
塗布スジの発生を招くおそれがあるという問題点も存在
する。

【０００８】さらに、塗液Ｒがノズル６から常に一定量
で吐出される訳ではなく、滴下開始から滴下終了までの
間で、塗液Ｒの吐出量が変動する可能性もある。また、
光ディスクＤ全体に亘って上記した光透過層のような厚
みが均一な膜厚の樹脂層を形成するためには、塗液Ｒに
ある程度の粘度と液量とが必要となる。したがって、ノ
ズル６から滴下された塗液Ｒが円盤状部材本体５４ａに
落下した瞬間から外縁部に向けて移動する塗布装置５１
では、ノズル６からの滴下量が多い部位の半径方向（例
えば図１５に示す矢印Ｃ１，Ｃ３の方向）には大量の塗
液Ｒが移動し、ノズル６からの滴下量が少ない部位の半
径方向（例えば矢印Ｃ２，Ｃ４の方向）には少量の塗液
Ｒが移動することとなる。このため、吐出量の不均一に
起因しても、光ディスクＤの円周方向に対して樹脂層の
厚みむらが生じるという問題点もある。

【０００９】本発明は、かかる問題点に鑑みてなされた
ものであり、記録媒体に塗液を均一に塗布し得る塗布装
置を提供することを主目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく本
発明の塗布装置は、円盤状の記録媒体を載置可能なター
ンテーブルと、その中央部が前記ターンテーブルの中央
部に位置して前記記録媒体の前記中央部に載置される円
盤状部材とを備え、前記記録媒体と前記円盤状部材とを
載置した状態で前記ターンテーブルを回転させると共に
前記円盤状部材の上面に塗液を滴下することにより、当
該滴下した塗液を当該ターンテーブルの回転に伴う遠心
力によって当該記録媒体の表面にスピンコートする塗布
装置であって、前記円盤状部材の上面には、その輪郭の
平面視形状が円形で、かつその円周方向に沿った深さが
一様に形成されて前記塗液を貯留可能な凹部が形成され
ている。

【００１１】また、前記輪郭を形成する縁部の頂部から
当該円盤状部材の外縁部にかけて徐々に薄肉となるよう
に前記円盤状部材を形成するのが好ましい。

【００１２】さらに、その底部から前記輪郭を形成する
縁部の頂部にかけて徐々に浅くなるように前記凹部を形
成するのが好ましい。

【００１３】また、前記円盤状部材における前記頂部近
傍の当該半径方向に沿った断面形状を円弧状に形成する
のが好ましい。

【００１４】また、前記塗液を前記凹部内に滴下する塗
液滴下部と、前記ターンテーブルの回転を制御すると共
に前記塗液滴下部に対する前記塗液の滴下を制御する制
御部とを備え、当該制御部が、前記塗液滴下部に対して
前記塗液を滴下させて前記凹部の全周に亘って当該塗液
を一旦貯留させた後に前記ターンテーブルの回転を上昇
させるのが好ましい。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発
明に係る塗布装置の好適な実施の形態について説明す
る。

【００１６】最初に、塗布装置１の構成について、図面
を参照して説明する。

【００１７】塗布装置１は、図１に示すように、ターン
テーブル２、上下動機構３、円盤状部材４、モータ５、
ノズル６、樹脂供給部７および制御部８を備えている。
この場合、塗液Ｒの塗布対象であるディスクＤは、全体
の直径が１２０ｍｍ程度の円盤状に形成され、その中心
には、光ディスクＤを記録再生装置に装着するための直
径１５ｍｍ程度の装着用中心孔が形成されている。ま
た、この光ディスクＤにおける装着用中心孔の外周部に
は、記録領域が形成されており、この記録領域には、各
種データが製造当初から予め記録されたり、または後に
記録されたりする。また、この記録領域と装着用中心孔
との間には、幅１０ｍｍ程度のドーナッツ状のチャッキ
ングエリア（未記録領域）が形成されている。一方、タ
ーンテーブル２は、図２に示すように、光ディスクＤを
載置可能に上面が平坦に形成された円盤状の基台２ａ
と、基台２ａの下面中央に連結されたシャフト２ｂとを
備えている。なお、ターンテーブル２としては、その上
面が平坦な構成に限らず、最内周部分および最外周部分
にその円周方向に沿って凸部を形成して、この凸部上に
光ディスクＤを載置することによって記録領域の反対側
の光入射面側を接触などに起因する傷付きを防止する構
成を採用してもよい。また、シャフト２ｂには、ターン
テーブル２を回転させるためのモータ５が連結されてい
る。上下動機構３は、制御部８の制御下でターンテーブ
ル２の上に円盤状部材４を移動させる。

【００１８】円盤状部材４は、図３に示すように、直径
３５ｍｍ程度の円盤状部材本体４ａと、円盤状部材本体
４ａの上面における中心部に立設されたシャフト４ｂと
を備えて構成され、光ディスクＤに対する塗液Ｒの塗布
時には、その中央部がターンテーブル２の中央部に位置
するように、光ディスクＤの上面における中央部に載置
される。なお、この際には、三者の各中心部を一致させ
るのが好ましい。円盤状部材本体４ａは、一例として、
光ディスクＤの上面に接する下面が平坦面に形成されて
いる。ただし、この構成に限らず、円盤状部材本体４ａ
の外周縁部のみが光ディスクＤの上面に接する構成を採
用することもできる。また、円盤状部材本体４ａには、
ノズル６から滴下された塗液Ｒを一旦一時的に貯留する
凹部１１が上面に形成されると共に、ターンテーブル２
の中心部との位置決め（位置合わせ）を目的とする円柱
状の凸部１２が下面に形成されている。ここで、ターン
テーブル２の中心部においてその上面側に僅かに突出す
る突出部によって光ディスクＤが位置決めされているた
め、円盤状部材４とターンテーブル２とで位置決めする
ことで、光ディスクＤと円盤状部材４との位置決めも同
時に完了する。

【００１９】この場合、凹部１１は、その中心部が円盤
状部材本体４ａの中心部に位置するドーナッツ状に形成
され、シャフト４ｂの周囲を取り囲むようにしてその輪
郭の平面視形状が例えば真円形となるように形成されて
いる。また、凹部１１は、その円周方向に沿った深さが
一様（つまり均一またはほぼ均一）に形成され、かつそ
の底部１１ａからその輪郭を形成する縁部の頂部１１ｂ
にかけて徐々に浅くなるように形成されている。つま
り、円盤状部材本体４ａは、ターンテーブル２に載置さ
れた光ディスクＤの上面に対する底部１１ａから頂部１
１ｂにかけての高さが徐々にかつ緩やかな円弧を描くよ
うに形成されている。また、円盤状部材本体４ａは、そ
の輪郭を形成する頂部１１ｂ近傍における円盤状部材本
体４ａの半径方向に沿った断面形状が緩やかな円弧を描
くように（円弧状に）形成されると共にその頂部１１ｂ
からその外縁部１３にかけて徐々に薄肉となるように形
成されている。つまり、円盤状部材本体４ａは、ターン
テーブル２に載置された光ディスクＤの上面に対する頂
部１１ｂからその外縁部１３にかけての高さが徐々に低
くなるように形成され、これにより、円盤状部材本体４
ａ全体としての側面視形状が傘状に形成されている。

【００２０】この円盤状部材４は、後述するように、上
下動機構３によってシャフト４ｂが保持された状態でタ
ーンテーブル２の上に載置され、この状態で、円盤状部
材本体４ａの下方の空気をエアポンプ（図示せず）によ
って吸引されることで、ターンテーブル２に向けて吸い
寄せられる。これにより、円盤状部材４は、上記したよ
うに、ターンテーブル２上に位置決めされて載置された
光ディスクＤの装着用中心孔近傍上に載置される。な
お、円盤状部材４を吸引する構成（エアポンプや吸引の
ための構成）については公知のため、その図示および詳
細な説明を省略する。モータ５は、制御部８によって駆
動制御されてターンテーブル２を回転させる。ノズル６
は樹脂供給部７によって供給される塗液Ｒをその先端部
から円盤状部材４上に吐出する。このノズル６は、図示
しない上下動機構によって、円盤状部材４に対して上下
動させられる。樹脂供給部７は、ノズル６と共に本発明
における塗液滴下部を構成し、制御部８の制御下でノズ
ル６に塗液Ｒを供給する。制御部８は、モータ５、上下
動機構３および樹脂供給部７を駆動制御する。

【００２１】次に、塗布装置１による光ディスクＤに対
する塗液Ｒの塗布方法について、図面を参照して説明す
る。

【００２２】まず、図４に示すように、光ディスクＤの
中央部とターンテーブル２の中央部とが一致するように
して、つまり、光ディスクＤの中心部とターンテーブル
２の中心部とが略一致するようにして、塗液Ｒの塗布面
を上向きにして光ディスクＤをターンテーブル２の上に
載置する。次に、制御部８が上下動機構３を駆動するこ
とによって円盤状部材４を下動させ、図５に示すよう
に、円盤状部材本体４ａの下面を光ディスクＤの中央部
に当接させる。この際には、円盤状部材４の凸部１２が
ターンテーブル２の装着用中心孔に挿通させられる。こ
の状態では、円盤状部材４の円盤状部材本体４ａによっ
て、光ディスクＤの装着用中心孔とチャッキングエリア
とが覆われる。次いで、制御部８は、図外のエアポンプ
を駆動することにより、円盤状部材４をターンテーブル
２側に吸引する。これにより、円盤状部材４がターンテ
ーブル２側に引き寄せられる。

【００２３】次に、制御部８は、モータ５を駆動制御す
ることにより、例えば毎分５００回転程度の回転速でタ
ーンテーブル２を回転させる。次いで、制御部８は、ノ
ズル６を下動させると共に、樹脂供給部７を駆動制御し
てノズル６に塗液Ｒを供給させる。この際には、ノズル
６の先端が、円盤状部材４の中央部寄り（シャフト４ｂ
の近傍）であって、凹部１１の縁部の頂部１１ｂよりも
低い位置に配置される。この状態で樹脂供給部７によっ
て塗液Ｒが供給されることにより、図６に示すように、
ノズル６の先端部から円盤状部材４の凹部１１内に塗液
Ｒが滴下される。この際に、塗液Ｒがある程度の粘度を
有しているため、塗液Ｒは、ノズル６から滴下された直
後には、凹部１１内におけるシャフト４ｂの近傍に位置
している。また、図７に示すように、ノズル６から滴下
されて所定時間経過するまでの間に、塗液Ｒは、ターン
テーブル２の回転に伴う遠心力によって凹部１１の全周
に拡がる。この際に、ノズル６による吐出量の変動（増
減）に起因する塗液Ｒの円周方向に対する凹凸が平坦化
され、凹部１１の全周に亘って均一に塗液Ｒが一旦貯留
される。また、図８に示すように、凹部１１内の塗液Ｒ
は、縁部の頂部１１ｂによって塞き止められる結果、凹
部１１の平面視形状と同じように、その輪郭がほぼ真円
形の塊状態で貯留される。

【００２４】次いで、制御部８は、モータ５の回転数を
上昇させることにより、例えば毎分１０００回転程度の
回転速までターンテーブル２の回転を上昇させる。この
際には、凹部１１内の塗液Ｒに加わる遠心力が大きくな
り、図９に示すように、塗液Ｒが縁部の頂部１１ｂを乗
り越えて外縁部１３に向けて流れ出す。この場合、頂部
１１ｂの近傍が緩やかな円弧状に形成されているため、
塗液Ｒが円盤状部材本体４ａ上をスムースに移動する。
この結果、凹部１１に真円形の塊状態で貯留されていた
塗液Ｒは、その輪郭の平面視形状をほぼ真円形に維持し
つつ外縁部１３に向かって拡がる。次いで、外縁部１３
に達した塗液Ｒは、図１０に示すように、外縁部１３か
ら光ディスクＤの上面に向けて移動する。この場合、円
盤状部材本体４ａの外縁部１３と光ディスクＤの上面
（塗布面）との間の高さ方向の距離が僅かなため、円盤
状部材本体４ａから光ディスクＤの上面に向けて塗液Ｒ
がスムースに流出する。次いで、光ディスクＤの上面に
流出した塗液Ｒは、その上面に沿って光ディスクＤの外
縁部に向けて移動する。この場合、光ディスクＤの上面
を移動する塗液Ｒは、その輪郭の平面視形状をほぼ真円
形に維持しつつ、その輪郭を急速に拡大して引き伸ばさ
れる（延伸される）。この結果、光ディスクＤの円周方
向に沿った塗液Ｒの塗布厚が均一となる。

【００２５】また、光ディスクＤの外縁部に達した余分
な塗液Ｒは、光ディスクＤに加わる遠心力によって光デ
ィスクＤから飛散する。これにより、光ディスクＤの上
面における内周から外周に亘って均一な塗液Ｒの層が形
成される。この後、塗液Ｒの塗布が完了した光ディスク
Ｄを塗布装置５１から取り外すと共に、所定の硬化処理
によって塗液Ｒを硬化させることにより、樹脂層が形成
される。

【００２６】このように、この塗布装置１によれば、円
盤状部材４の上面に塗液Ｒを一旦貯留させる真円形の凹
部１１を設けたことにより、ノズル６から滴下された塗
液Ｒが、凹部１１に馴染んでその平面視形状とほぼ同一
の真円形状に一旦貯留され、かつその際の輪郭形状を維
持しつつ光ディスクＤの上面に沿って光ディスクＤの外
縁部に向けて薄く引き伸ばされる結果、光ディスクＤの
円周方向に対する塗液Ｒの厚みを均一化することができ
る。また、この塗布装置１によれば、円盤状部材４の凹
部１１における縁部の頂部１１ｂ近傍を、その断面形状
が緩やかな円弧を描くように形成したことにより、凹部
１１内に貯留された塗液Ｒがスムースに流れ出すため、
塗液Ｒの不均一な流れ出しに起因する塗布むらを好適に
回避することができる。

【００２７】さらに、この塗布装置１によれば、塗液Ｒ
の滴下開始から滴下終了までの間、塗液Ｒが凹部１１内
に一旦貯留されるため、凹部１１内に貯留されている塗
液Ｒの中にノズル６の先端を埋没させておくことができ
る。また、ノズル６の先端部と円盤状部材本体４ａの上
面との間の距離が長い場合、塗液Ｒが滴下される際に空
気と混じり合うことにより、滴下された塗液Ｒ内に気泡
が生じ易いことが知られている。この場合、この塗布装
置１によれば、ノズル６の先端部を凹部１１の内部に位
置決めしておくことにより、気泡の発生を有効に防止す
ることができる。また、ノズル６の先端を塗液Ｒの中に
埋没させておいた場合、ノズル６が液溜まりを通過する
跡が発生し、そのままの状態で塗布し続けたとすれば、
塗布むらや塗布スジなどの欠陥が生じる可能性がある。
このため、塗液Ｒを凹部１１内にしばらく滞留させて馴
染ませた後に塗布することにより、塗液Ｒの内部に気泡
が生じることに起因する塗液Ｒの塗布むらや塗布スジな
どの欠陥の発生をより有効に防止することができる。

【００２８】なお、本発明は、上記した発明の実施の形
態に限らず、適宜変更が可能である。例えば、本発明の
実施の形態では、凹部１１の縁部における頂部１１ｂ近
傍が緩やかな円弧状の断面となるように形成した凹部１
１を有する円盤状部材４を例に挙げて説明したが、本発
明における凹部の形状はこれに限定されない。例えば、
図１１に示す円盤状部材２４における円盤状部材本体２
４ａのように、底部１１ａから縁部の頂部１１ｂにかけ
て直線的かつ徐々に厚肉となるように形成すると共に、
頂部１１ｂの近傍の断面形状が鈍角となるように凹部２
１を形成してもよい。また、図１２に示す円盤状部材３
４における円盤状部材本体３４ａのように、底部１１ａ
から頂部１１ｂにかけて垂直な壁部１１ｃを形成して凹
部３１を構成することもできる。この場合、本発明にお
ける凹部から塗液Ｒをスムースに流出させるためには、
図１１に示す凹部２１のように、底部１１ａから頂部１
１ｂにかけて緩やかに傾斜し、かつ頂部１１ｂの近傍の
断面形状が鈍角となるように形成するのが好ましい。さ
らには、本発明の実施の形態に示した円盤状部材４にお
ける凹部１１のように、頂部１１ｂの近傍の断面形状が
緩やかな円弧状となるように形成するのがより好まし
い。また、凹部１１の平面視形状を真円形に形成するの
が最も好ましいが、真円形に近似される真円状に形成し
てもよい。

【００２９】

【発明の効果】以上のように、本発明に係る塗布装置に
よれば、その輪郭の平面視形状が円形で、かつその円周
方向に沿った深さが一様に形成されて塗液を貯留可能な
凹部を円盤状部材の上面に形成したことにより、円形の
凹部内に滴下した塗液を凹部に一旦貯留させて凹部の形
状に馴染ませてからスピンコートによって記録媒体に塗
布することができる。この場合、凹部の形状と同じ円形
の輪郭形状を維持させつつ塗液を記録媒体の上面に沿っ
てその外縁部に向けて薄く引き伸ばすことができる結
果、記録媒体の円周方向に対する塗液の厚みを十分に均
一化することができる。したがって、記録媒体を製造す
る際の歩留まりを向上させることができるため、例えば
樹脂層の厚みが均一な記録媒体を確実かつ容易に量産す
ることができる。

【００３０】また、本発明に係る塗布装置によれば、凹
部の輪郭を形成する縁部の頂部から円盤状部材の外縁部
にかけて徐々に薄肉となるように円盤状部材を形成した
ことにより、円盤状部材の外縁部と記録媒体の塗布面と
の高さ方向の距離が短くなるため、円盤状部材から記録
媒体の塗布面に向けて塗液をスムースに流出させること
ができる結果、より均一に塗液を塗布することができ
る。

【００３１】さらに、本発明に係る塗布装置によれば、
その底部からその輪郭を形成する縁部の頂部にかけて徐
々に浅くなるように凹部を形成したことにより、凹部内
に貯留した塗液を縁部の頂部に向けてスムースに流出さ
せることができる結果、より均一に塗液を塗布すること
ができる。

【００３２】また、本発明に係る塗布装置によれば、凹
部を形成する縁部における頂部近傍の半径方向に沿った
断面形状が円弧状となるように円盤状部材を形成したこ
とにより、凹部内に貯留した塗液をよりスムースに凹部
から流出させることができる結果、さらに均一に塗液を
塗布することができる。

【００３３】また、本発明に係る塗布装置によれば、制
御部が塗液滴下部に対して塗液を滴下させて凹部の全周
に亘って塗液を一旦貯留させた後にターンテーブルの回
転を上昇させることにより、円形の凹部内に滴下した塗
液を一旦貯留させて凹部の形状に馴染ませてからスピン
コートによって記録媒体に塗布することができる結果、
記録媒体の円周方向に対する塗液の厚みを十分に均一化
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係る塗布装置１の構成を
示すブロック図である。

【図２】光ディスクＤを載置した状態のターンテーブル
２および円盤状部材４の側面断面図である。

【図３】円盤状部材４の側面断面図である。

【図４】ターンテーブル２の上に光ディスクＤを載置し
た状態の側面断面図である。

【図５】図４の状態における光ディスクＤの上に円盤状
部材４を載置した側面断面図である。

【図６】図５の状態の円盤状部材４における凹部１１内
に塗液Ｒを滴下した状態の側面断面図である。

【図７】図６の状態の塗液Ｒが遠心力によって凹部１１
の内部に拡がった状態の側面断面図である。

【図８】図７の状態の円盤状部材４の平面図である。

【図９】図７の状態の塗液Ｒが外縁部１３に向けて流出
した状態の側面断面図である。

【図１０】図９の状態の塗液Ｒが外縁部１３から光ディ
スクＤの上面に流出した状態の側面断面図である。

【図１１】本発明の他の実施の形態に係る円盤状部材２
４の側面断面図である。

【図１２】本発明のさらに他の実施の形態に係る円盤状
部材３４の側面断面図である。

【図１３】塗布装置５１の側面断面図である。

【図１４】塗布装置５１における円盤状部材５４の円盤
状部材本体５４ａ上に塗液Ｒを滴下した状態の平面図で
ある。

【図１５】円盤状部材本体５４ａ上の塗液Ｒが遠心力に
よって光ディスクＤの半径方向に移動した状態の平面図
である。

【符号の説明】

１塗布装置２ターンテーブル２ａ基台２ｂシャフト４，２４，３４円盤状部材４ａ，２４ａ，３４ａ円盤状部材本体４ｂシャフト５モータ６ノズル７樹脂供給部８制御部１１，２１，３１凹部１１ａ底部１１ｂ縁部の頂部１１ｃ壁部１２凸部１３外縁部Ｄ光ディスクＲ塗液

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】円盤状の記録媒体を載置可能なターンテ
ーブルと、その中央部が前記ターンテーブルの中央部に
位置して前記記録媒体の前記中央部に載置される円盤状
部材とを備え、前記記録媒体と前記円盤状部材とを載置
した状態で前記ターンテーブルを回転させると共に前記
円盤状部材の上面に塗液を滴下することにより、当該滴
下した塗液を当該ターンテーブルの回転に伴う遠心力に
よって当該記録媒体の表面にスピンコートする塗布装置
であって、前記円盤状部材の上面には、その輪郭の平面視形状が円
形で、かつその円周方向に沿った深さが一様に形成され
て前記塗液を貯留可能な凹部が形成されている塗布装
置。
【請求項２】前記円盤状部材は、前記輪郭を形成する
縁部の頂部から当該円盤状部材の外縁部にかけて徐々に
薄肉となるように形成されている請求項１記載の塗布装
置。
【請求項３】前記凹部は、その底部から前記輪郭を形
成する縁部の頂部にかけて徐々に浅くなるように形成さ
れている請求項１記載の塗布装置。
【請求項４】前記円盤状部材は、前記頂部近傍の当該
半径方向に沿った断面形状が円弧状に形成されている請
求項２または３記載の塗布装置。
【請求項５】前記塗液を前記凹部内に滴下する塗液滴
下部と、前記ターンテーブルの回転を制御すると共に前
記塗液滴下部に対する前記塗液の滴下を制御する制御部
とを備え、当該制御部は、前記塗液滴下部に対して前記
塗液を滴下させて前記凹部の全周に亘って当該塗液を一
旦貯留させた後に前記ターンテーブルの回転を上昇させ
る請求項１から４のいずれかに記載の塗布装置。