JP2006027012A - Defoaming method and defoaming apparatus therefor - Google Patents
Defoaming method and defoaming apparatus therefor Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006027012A JP2006027012A JP2004207316A JP2004207316A JP2006027012A JP 2006027012 A JP2006027012 A JP 2006027012A JP 2004207316 A JP2004207316 A JP 2004207316A JP 2004207316 A JP2004207316 A JP 2004207316A JP 2006027012 A JP2006027012 A JP 2006027012A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- resin liquid
- viscous resin
- liquid
- defoaming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
- Processing And Handling Of Plastics And Other Materials For Molding In General (AREA)
Abstract
Description
本発明は、粘性が高い液状樹脂の脱泡方法及びこれを用いた脱泡装置に関する。 The present invention relates to a method for defoaming a liquid resin having a high viscosity and a defoaming apparatus using the same.
2つの液状樹脂を混合して2液性接着剤を作製する場合や紫外線硬化性樹脂を使用する場合、かかる樹脂を塗布して形成された樹脂膜が平滑になるように、気泡を液状樹脂から取り除く必要がある。 When two liquid resins are mixed to produce a two-component adhesive or when an ultraviolet curable resin is used, the bubbles are made from the liquid resin so that the resin film formed by applying the resin becomes smooth. It needs to be removed.
液状樹脂中に取り込まれた気泡を除去する方法として、開口部に網状構造体が設けられた脱泡容器に液状樹脂を注入し、該網状構造体を介して脱泡容器内を真空吸引するという方法が提案されている(特許文献1参照)。かかる方法によれば、脱泡容器内を真空にすることによって気泡の体積が膨張して気泡が液面へと上昇し、液面の近傍で気泡が集合して大となる。脱泡容器の上部に浮き上がってきた気泡が網状構造体を通過する際に、該網状構造体が気泡を破裂せしめることができるのである。
ところが、気泡の破裂が進行すると、液状樹脂中の気泡の数が減少し、液面に上昇した気泡の大きさが小となることによって、網状構造体に気泡が到達できずに、気泡の破裂が生じにくくなっていた。また、網状構造体に到達した場合であっても、気泡の大きさが網目の大きさ以下である場合、網目内に気泡が留まってしまって、気泡を破裂することができなかった。この結果、液状樹脂に気泡が残留する恐れがあった。 However, as the bursting of bubbles progresses, the number of bubbles in the liquid resin decreases, and the size of the bubbles rising to the liquid level decreases, so that the bubbles cannot reach the network structure and burst. It was difficult to occur. Even when the network structure is reached, if the size of the bubbles is equal to or less than the size of the mesh, the bubbles remain in the mesh and the bubbles cannot be ruptured. As a result, there is a risk that bubbles remain in the liquid resin.
本発明は、上記した問題が1例として挙げられる諸問題を解決する手段を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a means for solving various problems mentioned above as an example.
請求項1に記載の脱泡方法は、容器内に粘性樹脂液を注入する工程と、該容器内の該粘性樹脂液の液面を貫くように網状構造体を配設する工程と、該容器内を減圧する工程と、該粘性樹脂液を該容器内で流動せしめる工程と、を含むことを特徴とする。
The defoaming method according to
請求項2に記載の脱泡装置は、所定量の粘性樹脂液を受容する容器と、該容器内を減圧する減圧手段と、該容器内の粘性樹脂液を流動せしめる攪拌手段と、を含み、該容器内に受容された該所定量の粘性樹脂液の液面を貫く網状構造体が設けられている、ことを特徴とする。
The defoaming device according to
以下、本発明による脱泡方法および脱泡装置の実施例を、添付図面を参照しつつ詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of a defoaming method and a defoaming apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
図1に示す如く、脱泡装置1は、所定量の粘性樹脂液2を受容する容器3と、容器3の蓋4と、容器内の粘性樹脂液2を流動せしめる攪拌羽根5と、攪拌羽根5に連結している回転軸6を回転せしめる回転駆動部(図示せず)と、を有する。容器3の開口部の周縁にはフランジ7が設けられており、フランジ7と蓋4の縁部とがクリップ8によって密着されている。蓋4には、容器3内を減圧状態にする真空ポンプ(図示せず)に接続された排気管9が設けられている。また、蓋4には、液体を供給する給液部(図示せず)に接続されていて容器3内に液体を注入するための給液管10も設けられている。容器3には、該容器から粘性樹脂液を取り出すための排液口11が備えられている。排液口11は、容器外から開閉自在となっており、例えば排液口11が容器の外側へ液体を導く管に接続されていて、該管に開閉自在の弁手段(図示せず)を設けることとしても良い。
As shown in FIG. 1, a
容器3内には網状構造体12が設けられており、所定量の網状構造体12は所定量の粘性樹脂液2の液面13を貫くように配されている。なおここで網状構造体とは、針金を編んで形成された金網等の複数の貫通孔を有する扁平な構造物を含む。網状構造体は、粘性樹脂液2が攪拌羽根5の動作により流動する方向を横切るように配設されても良い。
A net-
上記の如き脱泡装置の動作について、紫外線硬化性樹脂から気泡を脱泡せしめる場合を例にして、以下に説明する。 The operation of the defoaming apparatus as described above will be described below by taking as an example the case where bubbles are defoamed from the ultraviolet curable resin.
容器内に所定量の粘性樹脂液を注入して、該所定量の粘性樹脂液の液面を貫く位置に網状構造体を配設する。なお網状構造体は、粘性樹脂液が流動する方向に対して横切るように配置されても良い。 A predetermined amount of viscous resin liquid is poured into the container, and the network structure is disposed at a position penetrating the liquid surface of the predetermined amount of viscous resin liquid. The network structure may be arranged so as to cross the direction in which the viscous resin liquid flows.
網状構造体が配設された後、容器の開口部に蓋を配し、クリップによって蓋と容器を封止して容器内部を密封し、真空ポンプを用いて容器内を減圧せしめる。減圧後に、回転駆動部を動作させて攪拌羽根を回転させる。粘性樹脂液の流動により、粘性樹脂液の気泡が網状構造体に強制的に衝突して、網状構造体によって気泡が捕集されて破裂する。なお、容器を密封した後に粘性樹脂液を流動せしめてから減圧することとしても良い。 After the net-like structure is disposed, a lid is disposed on the opening of the container, the lid and the container are sealed with a clip, the inside of the container is sealed, and the inside of the container is decompressed using a vacuum pump. After the pressure reduction, the rotation driving unit is operated to rotate the stirring blade. Due to the flow of the viscous resin liquid, the bubbles of the viscous resin liquid forcibly collide with the network structure, and the bubbles are collected and ruptured by the network structure. In addition, it is good also as reducing pressure, after making a viscous resin liquid flow after sealing a container.
気泡が粘性樹脂液中から消失した後、容器内の気圧を減圧前の状態に元に戻し、排液口を開けて容器内から粘性樹脂液を排出させる。取り出された粘性樹脂液は、紫外線硬化性樹脂として使用できるのである。 After the bubbles disappear from the viscous resin liquid, the pressure in the container is returned to the state before the pressure reduction, and the drainage port is opened to discharge the viscous resin liquid from the container. The extracted viscous resin liquid can be used as an ultraviolet curable resin.
上記の如き構成の脱泡装置は、減圧手段によって容器内を減圧せしめかつ攪拌手段によって粘性樹脂液を流動せしめることができることから、粘性樹脂液内の気泡を膨張せしめて液面へと上昇させつつ網状構造体に粘性樹脂液を強制的に通過せしめることができる。換言すれば、該脱泡装置は、網状構造体に該粘性樹脂液を強制的に通過させることによって、網状構造体において膨張した気泡を捕集して集合させかつ気泡を破裂させることができる。また、気泡が網状構造体の網目に取り込まれたとしても、粘性樹脂液の流れによって気泡を除去できることから、粘性樹脂液中に気泡が残留することはない。 In the defoaming device having the above-described configuration, the inside of the container can be decompressed by the decompression means and the viscous resin liquid can be flowed by the stirring means, so that bubbles in the viscous resin liquid are expanded and raised to the liquid surface. The viscous resin liquid can be forced to pass through the network structure. In other words, the defoaming device forcibly passes the viscous resin liquid through the network structure, thereby collecting and collecting the bubbles expanded in the network structure and bursting the bubbles. Moreover, even if air bubbles are taken into the mesh of the network structure, the air bubbles can be removed by the flow of the viscous resin liquid, so that no air bubbles remain in the viscous resin liquid.
上記の如き脱泡装置を用いることによって、たとえば2液混合接着剤、紫外線硬化性樹脂の脱泡を行うことができる。 By using the defoaming apparatus as described above, for example, a two-component mixed adhesive and an ultraviolet curable resin can be defoamed.
なお、網状構造体の網目の大きさは粘性樹脂液の粘度若しくは粘性樹脂液に含まれる粒子の大きさに応じて設定することができる。また、網状構造体は攪拌される粘性樹脂液に応じて取り替え自在であることとしても良い。また、網状構造体は、容器内に複数設けられても良い。複数の網状構造体は、それぞれ網目の大きさが異なっていても良い。 The mesh size of the network structure can be set according to the viscosity of the viscous resin liquid or the size of the particles contained in the viscous resin liquid. The network structure may be replaceable according to the viscous resin liquid to be stirred. Further, a plurality of network structures may be provided in the container. The plurality of network structures may have different mesh sizes.
粘性樹脂液の粘度及び攪拌羽根の回転速度などを制御することによって、粘性樹脂液の気泡を容器の中心近傍若しくは壁面近傍に集中させることができる。かかる気泡を捕捉して破裂することができるように、網状構造体が容器の壁面近傍および/又は容器の中心近傍まで伸張していることが好ましい。 By controlling the viscosity of the viscous resin liquid and the rotation speed of the stirring blade, the bubbles of the viscous resin liquid can be concentrated near the center or near the wall surface of the container. It is preferable that the network structure extends to the vicinity of the wall surface of the container and / or the vicinity of the center of the container so that the bubbles can be captured and ruptured.
網状構造体は、全体が平面状になっているものに限定されず、たとえば、弓形状(図2(a))や山型(図2(b))に屈曲している網面を有することとしても良い。かかる網状構造体は屈曲している網面が粘性樹脂液の流動方向(図中矢印の方向)において先細になるように容器内に配置される。粘性樹脂液の流動方向において先細になっている部分に気泡Bを集中させて気泡同士を集合させることができる故、気泡をより効率よく破裂させることができる。 The net-like structure is not limited to the one having a planar shape as a whole. For example, the net-like structure has a net surface bent in a bow shape (FIG. 2A) or a mountain shape (FIG. 2B). It is also good. Such a net-like structure is disposed in the container so that the bent net surface is tapered in the flow direction of the viscous resin liquid (the direction of the arrow in the figure). Since the bubbles B can be concentrated in the tapered portion in the flow direction of the viscous resin liquid to gather the bubbles, the bubbles can be more efficiently ruptured.
また網状構造体は、図3に示す如く、その端部が湾曲している湾曲部14が設けられており、湾曲部14が粘性樹脂液2中に浸漬していることとしても良い。湾曲部14を設けることによって、網状構造体12が液面から網状構造体12の下側へ潜り込む気泡Bを捕捉できることから、気泡が網状構造体から逃げることを防止することができる。
Further, as shown in FIG. 3, the net-like structure is provided with a
網状構造体は、たとえば図4に示す如く、針状突起部15を有することとしても良い。流動する粘性樹脂液が侵入する側に針状突起部15が配されるように、網状構造体12が容器に配設される。該突起物を設けることによって気泡の破裂を促進することができる。
(実施例)
所定量の粘性樹脂液を容器に注入し、網目の目の大きさが65μm×65μmである網状構造体が所定量の粘性樹脂液の液面を貫くように配設した。容器内を減圧した後、攪拌羽根の回転速度を200rpmに設定して、攪拌を行った。粘性樹脂液は、粘度が3000cPであった。
(比較例)
網状構造体を容器内に配設しないことを除いて、上記実施例と同一の状態で粘性樹脂液の攪拌を行った。
(結果)
実施例の場合、粘性樹脂液を略1時間攪拌することによって、気泡が目視で確認できない状態になった。一方、比較例の場合に気泡が目視で確認できない状態になるまでに略2時間必要であったことから、粘性樹脂液からの脱泡時間を短縮することが確認できた。
For example, as shown in FIG. 4, the net-like structure may have needle-
(Example)
A predetermined amount of viscous resin liquid was poured into the container, and a mesh structure having a mesh size of 65 μm × 65 μm was disposed so as to penetrate the liquid surface of the predetermined amount of viscous resin liquid. After decompressing the inside of the container, the stirring blade was rotated at a rotational speed of 200 rpm and stirred. The viscosity resin liquid had a viscosity of 3000 cP.
(Comparative example)
The viscous resin liquid was stirred in the same state as in the above example except that the network structure was not disposed in the container.
(result)
In the case of the examples, the viscous resin liquid was stirred for about 1 hour, so that bubbles could not be visually confirmed. On the other hand, in the case of the comparative example, it took about 2 hours until the bubbles could not be visually confirmed, so it was confirmed that the defoaming time from the viscous resin liquid was shortened.
容器内に粘性樹脂液を注入する工程と、該容器内の該粘性樹脂液の液面を貫くように網状構造体を配設する工程と、該容器内を減圧する工程と、該粘性樹脂液を該容器内で流動せしめる工程と、を含むことを特徴とする本発明の脱泡方法によれば、網状構造体に粘性樹脂液を強制的に通過させることによって、減圧することによって膨張した気泡を網状構造体において捕集して集合させかつ気泡を破裂させることができる故、粘性樹脂液中の脱泡を効率よく行うことができる。 A step of injecting a viscous resin liquid into the container, a step of disposing a network structure so as to penetrate the liquid surface of the viscous resin liquid in the container, a step of reducing the pressure in the container, and the viscous resin liquid According to the defoaming method of the present invention, the bubble expanded by depressurization by forcibly passing the viscous resin liquid through the network structure. Can be collected and collected in the network structure and the bubbles can be ruptured, so that defoaming in the viscous resin liquid can be efficiently performed.
所定量の粘性樹脂液を受容する容器と、該容器内を減圧する減圧手段と、該容器内の粘性樹脂液を流動せしめる攪拌手段と、を含み、該容器内に受容された該所定量の粘性樹脂液の液面を貫く網状構造体が設けられている、ことを特徴とする本発明の脱泡装置によれば、網状構造体に粘性樹脂液を強制的に通過させることによって、網状構造体の網目に取り込まれた気泡を粘性樹脂液の流れによって除去できることから、粘性樹脂液中の気泡の数を低減させることができる。 A container for receiving a predetermined amount of the viscous resin liquid, a decompression means for reducing the pressure in the container, and a stirring means for causing the viscous resin liquid in the container to flow, the predetermined amount received in the container According to the defoaming device of the present invention, which is provided with a network structure penetrating the liquid surface of the viscous resin liquid, the network structure is formed by forcibly passing the viscous resin liquid through the network structure. Since the air bubbles taken into the mesh of the body can be removed by the flow of the viscous resin liquid, the number of air bubbles in the viscous resin liquid can be reduced.
1 脱泡装置
2 粘性樹脂液
3 容器
5 攪拌羽根
9 排気管
12 網状構造体
DESCRIPTION OF
Claims (6)
前記容器内の前記粘性樹脂液の液面を貫くように網状構造体を配設する工程と、
前記容器内を減圧する工程と、
前記粘性樹脂液を前記容器内で流動せしめる工程と、を含むことを特徴とする脱泡方法。 Injecting a viscous resin liquid into the container;
Disposing a network structure so as to penetrate the liquid surface of the viscous resin liquid in the container;
Reducing the pressure in the container;
And a step of causing the viscous resin liquid to flow in the container.
前記容器内を減圧する減圧手段と、
前記容器内の粘性樹脂液を流動せしめる攪拌手段と、を含み、
前記容器内に受容された前記所定量の粘性樹脂液の液面を貫く網状構造体が設けられている、ことを特徴とする脱泡装置。 A container for receiving a predetermined amount of viscous resin liquid;
Decompression means for decompressing the inside of the container;
A stirring means for causing the viscous resin liquid in the container to flow,
A defoaming apparatus, comprising a network structure penetrating a liquid surface of the predetermined amount of the viscous resin liquid received in the container.
前記湾曲部は前記容器内の前記所定量の粘性樹脂液中に浸漬されている、ことを特徴とする請求項2記載の脱泡装置。 The network structure is provided with a curved portion at an end,
The defoaming device according to claim 2, wherein the curved portion is immersed in the predetermined amount of the viscous resin liquid in the container.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004207316A JP2006027012A (en) | 2004-07-14 | 2004-07-14 | Defoaming method and defoaming apparatus therefor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004207316A JP2006027012A (en) | 2004-07-14 | 2004-07-14 | Defoaming method and defoaming apparatus therefor |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006027012A true JP2006027012A (en) | 2006-02-02 |
Family
ID=35893925
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004207316A Pending JP2006027012A (en) | 2004-07-14 | 2004-07-14 | Defoaming method and defoaming apparatus therefor |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006027012A (en) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20130076869A (en) * | 2010-08-30 | 2013-07-08 | 보벤 프로퍼티즈 게엠베하 | Fluid degassing device and method for degassing fluids |
WO2014010062A1 (en) * | 2012-07-12 | 2014-01-16 | 株式会社荒井鉄工所 | Degassing method and device for same |
JP2014079726A (en) * | 2012-10-18 | 2014-05-08 | Arai Tekkosho:Kk | Method and device of deaerating foam-containing liquid |
US9212099B2 (en) | 2012-02-22 | 2015-12-15 | Applied Materials, Inc. | Heat treated ceramic substrate having ceramic coating and heat treatment for coated ceramics |
CN105413620A (en) * | 2015-12-31 | 2016-03-23 | 宁夏东吴农化有限公司 | Defoaming reaction vessel |
US9343289B2 (en) | 2012-07-27 | 2016-05-17 | Applied Materials, Inc. | Chemistry compatible coating material for advanced device on-wafer particle performance |
US9604249B2 (en) | 2012-07-26 | 2017-03-28 | Applied Materials, Inc. | Innovative top-coat approach for advanced device on-wafer particle performance |
US9865434B2 (en) | 2013-06-05 | 2018-01-09 | Applied Materials, Inc. | Rare-earth oxide based erosion resistant coatings for semiconductor application |
US10059118B2 (en) | 2016-02-02 | 2018-08-28 | Seiko Epson Corporation | Liquid ejecting unit, driving method thereof, and liquid ejecting apparatus |
CN109152966A (en) * | 2016-07-11 | 2019-01-04 | 惠普发展公司,有限责任合伙企业 | Foam merges |
US10336656B2 (en) | 2012-02-21 | 2019-07-02 | Applied Materials, Inc. | Ceramic article with reduced surface defect density |
CN115197665A (en) * | 2022-07-27 | 2022-10-18 | 宜昌洪亚科技有限公司 | Urea-formaldehyde resin adhesive for fiberboard production, preparation process and preparation device thereof |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5099959A (en) * | 1974-01-08 | 1975-08-08 | ||
JPS51127783A (en) * | 1975-04-30 | 1976-11-08 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Bubble eliminator |
JPS58202005A (en) * | 1982-05-19 | 1983-11-25 | Toyo Filter Kogyo Kk | Apparatus for defoaming high viscosity concentrated liquid |
JPH0240206A (en) * | 1988-07-27 | 1990-02-09 | Toshiba Corp | Device for defoaming resin |
JPH0256202A (en) * | 1988-08-23 | 1990-02-26 | Fuji Photo Film Co Ltd | Defoamer |
JPH0372864A (en) * | 1989-08-14 | 1991-03-28 | Hitachi Ltd | Apparatus for breaking bubble in vessel |
JPH0474501U (en) * | 1990-11-08 | 1992-06-30 | ||
JPH04313307A (en) * | 1991-04-11 | 1992-11-05 | Fuji Photo Film Co Ltd | Cylindrical thin film degassing method |
JPH05179000A (en) * | 1991-02-22 | 1993-07-20 | Nippon Chemicon Corp | Method for promoting rupture of air bubble in vacuum deaeration |
JPH09323082A (en) * | 1996-06-04 | 1997-12-16 | Able Kk | Device for removing floating matters and/or foam, defoaming device and reaction device and culture device provided with these |
JP2001314702A (en) * | 2000-05-12 | 2001-11-13 | Ebara Corp | Preparation apparatus provided with defoaming mechanism |
JP2003210908A (en) * | 2002-01-18 | 2003-07-29 | Makoto:Kk | Cyclone type filter apparatus |
-
2004
- 2004-07-14 JP JP2004207316A patent/JP2006027012A/en active Pending
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5099959A (en) * | 1974-01-08 | 1975-08-08 | ||
JPS51127783A (en) * | 1975-04-30 | 1976-11-08 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Bubble eliminator |
JPS58202005A (en) * | 1982-05-19 | 1983-11-25 | Toyo Filter Kogyo Kk | Apparatus for defoaming high viscosity concentrated liquid |
JPH0240206A (en) * | 1988-07-27 | 1990-02-09 | Toshiba Corp | Device for defoaming resin |
JPH0256202A (en) * | 1988-08-23 | 1990-02-26 | Fuji Photo Film Co Ltd | Defoamer |
JPH0372864A (en) * | 1989-08-14 | 1991-03-28 | Hitachi Ltd | Apparatus for breaking bubble in vessel |
JPH0474501U (en) * | 1990-11-08 | 1992-06-30 | ||
JPH05179000A (en) * | 1991-02-22 | 1993-07-20 | Nippon Chemicon Corp | Method for promoting rupture of air bubble in vacuum deaeration |
JPH04313307A (en) * | 1991-04-11 | 1992-11-05 | Fuji Photo Film Co Ltd | Cylindrical thin film degassing method |
JPH09323082A (en) * | 1996-06-04 | 1997-12-16 | Able Kk | Device for removing floating matters and/or foam, defoaming device and reaction device and culture device provided with these |
JP2001314702A (en) * | 2000-05-12 | 2001-11-13 | Ebara Corp | Preparation apparatus provided with defoaming mechanism |
JP2003210908A (en) * | 2002-01-18 | 2003-07-29 | Makoto:Kk | Cyclone type filter apparatus |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20130076869A (en) * | 2010-08-30 | 2013-07-08 | 보벤 프로퍼티즈 게엠베하 | Fluid degassing device and method for degassing fluids |
JP2013536753A (en) * | 2010-08-30 | 2013-09-26 | ヴォッベン プロパティーズ ゲーエムベーハー | Fluid degassing apparatus and fluid degassing method |
KR101653032B1 (en) | 2010-08-30 | 2016-08-31 | 보벤 프로퍼티즈 게엠베하 | Fluid degassing device and method for degassing fluids |
US10336656B2 (en) | 2012-02-21 | 2019-07-02 | Applied Materials, Inc. | Ceramic article with reduced surface defect density |
US9212099B2 (en) | 2012-02-22 | 2015-12-15 | Applied Materials, Inc. | Heat treated ceramic substrate having ceramic coating and heat treatment for coated ceramics |
JPWO2014010062A1 (en) * | 2012-07-12 | 2016-06-20 | 株式会社荒井鉄工所 | Defoaming method and apparatus |
WO2014010062A1 (en) * | 2012-07-12 | 2014-01-16 | 株式会社荒井鉄工所 | Degassing method and device for same |
US9604249B2 (en) | 2012-07-26 | 2017-03-28 | Applied Materials, Inc. | Innovative top-coat approach for advanced device on-wafer particle performance |
US9343289B2 (en) | 2012-07-27 | 2016-05-17 | Applied Materials, Inc. | Chemistry compatible coating material for advanced device on-wafer particle performance |
JP2014079726A (en) * | 2012-10-18 | 2014-05-08 | Arai Tekkosho:Kk | Method and device of deaerating foam-containing liquid |
US9865434B2 (en) | 2013-06-05 | 2018-01-09 | Applied Materials, Inc. | Rare-earth oxide based erosion resistant coatings for semiconductor application |
US10734202B2 (en) | 2013-06-05 | 2020-08-04 | Applied Materials, Inc. | Rare-earth oxide based erosion resistant coatings for semiconductor application |
CN105413620A (en) * | 2015-12-31 | 2016-03-23 | 宁夏东吴农化有限公司 | Defoaming reaction vessel |
US10059118B2 (en) | 2016-02-02 | 2018-08-28 | Seiko Epson Corporation | Liquid ejecting unit, driving method thereof, and liquid ejecting apparatus |
CN109152966A (en) * | 2016-07-11 | 2019-01-04 | 惠普发展公司,有限责任合伙企业 | Foam merges |
CN109152966B (en) * | 2016-07-11 | 2021-10-29 | 惠普发展公司,有限责任合伙企业 | Foam merging |
CN115197665A (en) * | 2022-07-27 | 2022-10-18 | 宜昌洪亚科技有限公司 | Urea-formaldehyde resin adhesive for fiberboard production, preparation process and preparation device thereof |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2006027012A (en) | Defoaming method and defoaming apparatus therefor | |
EP2910530A1 (en) | Air diffusion device, air diffusion method, and water treatment device | |
US20170326488A1 (en) | Gas-liquid separator | |
WO2017045354A1 (en) | Bubble removing system | |
JP2013248563A (en) | Filtering device, filtering method of the same, and backwashing method of filter medium | |
JPH06198151A (en) | Method and device for dispersing gas in liquid or slurry | |
JP2006314857A (en) | Apparatus for dissolving gas | |
JP3631999B2 (en) | Fine bubble feeder | |
JPH0947647A (en) | Flow plate rotating type mixing and defoaming device | |
JP6931742B2 (en) | Degassing of electrorheological fluid | |
US5462661A (en) | Solid-liquid separator for sludge | |
KR20200118678A (en) | Device and method for generating fine-bubble | |
JP4974160B2 (en) | Continuous degassing deaerator | |
KR20150003733U (en) | Rotating bubble removal device | |
CN215427446U (en) | Epoxy vacuum defoaming device for semiconductor packaging | |
CN202185186U (en) | Defoaming device of high-viscosity fluid body | |
JP2000246007A (en) | Method for deaerating highly viscous liquid | |
JPH1119406A (en) | Bubble removing device | |
JPH10314503A (en) | Apparatus fordegassing fluid | |
JP2002307054A (en) | Ozone water producing apparatus and gas-liquid separator thereof | |
JP2010194383A (en) | Screen device | |
JP2008246361A (en) | Microbubble generation apparatus | |
CN101992036A (en) | Method and apparatus for stabilizing nano-bubbles | |
JP2017124376A (en) | Separation device | |
JP3936579B2 (en) | Defoaming apparatus and defoaming method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070615 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20091202 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091208 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20100406 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |