JP2006024775A - プラズマ処理装置、該装置の制御方法及び該方法を実行するプログラム - Google Patents
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Abstract
【課題】 プラズマ処理の面内均一性を保証でき、且つプラズマ処理装置の稼働率の低下を防止することができるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】 DRM型エッチング処理装置における円筒型磁石9の回転駆動機構の制御系30は、円筒型磁石9の小径歯車13に接合されたトリガセンサ用フィン35と、トリガセンサ用フィン35を検出するトリガセンサ31と、該トリガセンサ31に接続されるCPU34とを備え、トリガセンサ31はトリガセンサ用フィン35の検出順番と各検出順番の検出時刻(タイムスタンプ)をCPU34に送信し、CPU34は、15個前の検出順番のタイムスタンプと現在の検出順番のタイムスタンプとの差を経過時間として算出し、該算出された経過時間が許容範囲の時間内にない場合、円筒型磁石9の回転が安定していないとして動作状態を「安定逸脱」へ遷移させる。
【選択図】 図5
【解決手段】 DRM型エッチング処理装置における円筒型磁石9の回転駆動機構の制御系30は、円筒型磁石9の小径歯車13に接合されたトリガセンサ用フィン35と、トリガセンサ用フィン35を検出するトリガセンサ31と、該トリガセンサ31に接続されるCPU34とを備え、トリガセンサ31はトリガセンサ用フィン35の検出順番と各検出順番の検出時刻(タイムスタンプ)をCPU34に送信し、CPU34は、15個前の検出順番のタイムスタンプと現在の検出順番のタイムスタンプとの差を経過時間として算出し、該算出された経過時間が許容範囲の時間内にない場合、円筒型磁石9の回転が安定していないとして動作状態を「安定逸脱」へ遷移させる。
【選択図】 図5
Description
本発明は、プラズマ処理装置、該装置の制御方法及び該方法を実行するプログラムに関し、特に複数の円筒型磁石を処理室の周囲に備えるプラズマ処理装置、該装置の制御方法及び該方法を実行するプログラムに関する。
従来、半導体ウエハに成膜処理、エッチング処理等のプラズマ処理を施す装置として、DRM(Dipole Ring Magnet)型プラズマ処理装置が知られている。このDRM型プラズマ処理装置は、半導体ウエハを収容する処理室と、該処理室の周囲において環状に配置され且つ点対称に対を成してそれぞれ立設される複数の円筒型磁石とを備え、該複数の円筒型磁石は同期回転可能に回転駆動機構に連結されている。各円筒形磁石(セグメント磁石)は、180度回転したときに磁化方向が1回転(反転)する。そして、DRM型プラズマ処理装置は、複数の円筒型磁石を同期回転させて処理室内に水平方向の磁場を印加し、処理室内の載置台上に水平に配置された半導体ウエハにプラズマ処理を施す(例えば、特許文献1参照。)。このようなDRM型プラズマ処理装置は、広い空間に一軸方向の磁場を印加するのに好適であり、さらに、超電導や常伝導コイルを用いるプラズマ処理装置に比べて、メンテナンスフリーであることや印加する磁場の均一性及び方向性(スキュー角)の制御が容易であることから、近年、外部磁場印加手段として各種半導体製造プロセスに組み込まれている。
回転駆動機構はモータを有し、該モータの回転力が各円筒型磁石に伝達されることによって各円筒型磁石は回転するが、DRM型プラズマ処理装置ではプラズマ処理を半導体ウエハへ適切に施すために、複数の円筒型磁石の適切な回転を維持する必要がある。そのため、従来のDRM型プラズマ処理装置は、円筒型磁石の回転が検知できないときに回転アラームを発生する回転検出装置(トリガセンサ)と、モータの異常を検出したときにモータアラームを発生するモータ異常検出装置とを備える。
特開平7−130495号公報
しかしながら、例え、円筒型磁石が回転可能であっても、回転駆動機構の故障、損耗等により回転速度が安定しない場合には、処理室内の半導体ウエハ上における磁場が不均一となる。したがって、半導体ウエハの表面に対してプラズマ処理が均一に施されず、例えば、エッチング処理においては、同一の半導体ウエハの表面においてOPEN状態(削りすぎ)の箇所とSHORT状態(削り不足)の箇所とが発生する等、プラズマ処理の面内均一性を保証できないという問題がある。
通常、回転駆動機構の故障、損耗を予め防ぐためには、駆動機能のメンテナンスサイクルを短縮する必要があるが、メンテナンスサイクルの短縮はDRM型プラズマ処理装置の稼働率を低下させるという問題がある。
本発明の目的は、プラズマ処理の面内均一性を保証でき、且つプラズマ処理装置の稼働率の低下を防止することができるプラズマ処理装置、該装置の制御方法及び該方法を実行するプログラムを提供することにある。
上記目的を達成するために、請求項1記載のプラズマ処理装置は、被処理体を収容する処理室と、該処理室の周囲に回転可能に立設される複数の棒状磁石と、該複数の棒状磁石を同期して回転させる回転駆動機構とを備えるプラズマ処理装置において、前記棒状磁石の回転を検出し且つ該検出された回転に対応する時刻を計時する回転検出手段と、前記計時された時刻から算出された時間及び所定時間の比較に応じて前記回転駆動機構が異常か否かを判定する回転異常判定手段とを備えることを特徴とする。
請求項2記載のプラズマ処理装置は、請求項1記載のプラズマ処理装置において、前記回転駆動機構が異常と判定されたときに、前記異常を通知する異常通知手段を備えることを特徴とする。
請求項3記載のプラズマ処理装置は、請求項1又は2記載のプラズマ処理装置において、前記所定時間は前記棒状磁石の所定回数の回転に対応する基準時間であり、前記回転異常判定手段は前記所定回数の回転に要する経過時間を算出し、該算出された経過時間及び前記基準時間の比較に応じて前記回転駆動機構が異常か否かを判定することを特徴とする。
請求項4記載のプラズマ処理装置は、請求項3記載のプラズマ処理装置において、前記回転異常判定手段は、前記算出された経過時間及び前記基準時間の差の絶対値が所定の許容値より大きいときに前記回転駆動機構が異常であると判定することを特徴とする。
請求項5記載のプラズマ処理装置は、請求項1乃至4のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置において、前記回転検出手段は、前記棒状磁石が所定の回転角度だけ回転する所定のタイミング毎に時刻を計時することを特徴とする。
請求項6記載のプラズマ処理装置は、請求項5記載のプラズマ処理装置において、今回の前記所定のタイミングに計時された時刻及び前回の前記所定のタイミングに計時された時刻の差に応じて、前記今回の前記所定のタイミングに計時された時刻を補正する時刻補正手段を備えることを特徴とする。
請求項7記載のプラズマ処理装置は、請求項5又は6記載のプラズマ処理装置において、前記回転異常判定手段は、前記所定のタイミング毎に計時された時刻の統計処理を実行し、前記統計処理の結果に基づいて次の前記所定のタイミングに対応する時刻を予測し、さらに、前記予測された時刻及び前記次の前記所定のタイミングに計時された時刻の比較に応じて前記回転駆動機構が異常か否かを判定することを特徴とする。
請求項8記載のプラズマ処理装置は、請求項1乃至7のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置において、前記棒状磁石の回転加速度を制御する回転加速度制御手段を備えることを特徴とする。
請求項9記載のプラズマ処理装置は、請求項1乃至8のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置において、前記棒状磁石の回転を検出して前記棒状磁石の回転停止位置を制御する回転停止位置制御手段を備えることを特徴とする。
請求項10記載のプラズマ処理装置は、請求項1乃至9のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置において、前記回転駆動機構が異常であると判定されたときに、判定結果に応じて前記棒状磁石の回転を制御する回転制御手段を備えることを特徴とする。
請求項11記載のプラズマ処理装置は、請求項7記載のプラズマ処理装置において、前記予測された次の前記所定のタイミングに対応する時刻に基づいて前記棒状磁石の回転を制御する他の回転制御手段を備えることを特徴とする。
請求項12記載のプラズマ処理装置は、請求項1乃至11のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置において、前記回転駆動機構が異常であると判定されたときに、前記プラズマ処理装置の動作記録を保存する動作記録保存手段を備えることを特徴とする。
請求項13記載のプラズマ処理装置は、請求項1乃至12のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置において、プラズマ処理における前記プラズマ処理装置の構成要素の動作の状態として定義された動作状態と、該定義された動作状態間における状態の遷移として定義された状態遷移とに基づいて、前記構成要素の動作を制御する制御部を備えることを特徴とする。
請求項14記載のプラズマ処理装置の制御方法は、被処理体を収容する処理室と、該処理室の周囲に回転可能に立設される複数の棒状磁石と、該複数の棒状磁石を同期して回転させる回転駆動機構とを備えるプラズマ処理装置の制御方法であって、前記棒状磁石の回転を検出し且つ前記回転に対応する時刻を計時する回転検出ステップと、前記計時された時刻から算出された時間及び所定時間の比較に応じて前記回転駆動機構が異常か否かを判定する回転異常判定ステップとを有することを特徴とする。
請求項15記載のプラズマ処理装置の制御方法を実行するプログラムは、被処理体を収容する処理室と、該処理室の周囲に回転可能に立設される複数の棒状磁石と、該複数の棒状磁石を同期して回転させる回転駆動機構とを備えるプラズマ処理装置の制御方法を実行するプログラムであって、前記棒状磁石の回転を検出し且つ前記回転に対応する時刻を計時する回転検出モジュールと、前記計時された時刻から算出された時間及び所定時間の比較に応じて前記回転駆動機構が異常か否かを判定する回転異常判定モジュールとを有することを特徴とする。
請求項1記載のプラズマ処理装置、請求項14記載のプラズマ処理装置の制御方法及び請求項15記載のプラズマ処理装置の制御方法を実行するプログラムによれば、棒状磁石の回転が検出され且つ該検出された回転に対応する時刻が計時され、該計時された時刻から算出された時間及び所定時間の比較に応じて回転駆動機構が異常か否かが判定されるので、棒状磁石の回転の不安定を検出することができ、回転の不安定が検出されたときにプラズマ処理を中止して回転駆動機構のメンテナンスを行うことにより、処理室内の磁場が不均一になるのを防止することができると共に、回転駆動機構のメンテナンスを適切なタイミングで行うことができる。したがって、半導体ウエハの表面に対してプラズマ処理を均一に施すことができると共に、回転駆動機構のメンテナンスサイクルを短縮する必要をなくすことができる。すなわち、プラズマ処理の面内均一性を保証でき、且つプラズマ処理装置の稼働率の低下を防止することができる。
請求項2記載のプラズマ処理装置によれば、回転駆動機構が異常と判定されたときに、異常が通知されるので、プラズマ処理装置の使用者は回転駆動機構のメンテナンスを適切なタイミングで確実に行うことができる。
請求項3記載のプラズマ処理装置によれば、棒状磁石の所定回数の回転に要する経過時間が算出され、該算出された経過時間及び上記所定回数の回転に対応する基準時間の比較に応じて回転駆動機構が異常か否かが判定される。所定回数の回転に要する経過時間は、回転速度の微小変動から受ける影響が小さいので、回転駆動機構が異常か否かを正確に判定することができる。
請求項4記載のプラズマ処理装置によれば、算出された経過時間及び基準時間の差の絶対値が所定の許容値より大きいときに回転駆動機構が異常であると判定されるので、不必要に回転駆動機構が異常と判定されることがなく、もってプラズマ処理装置の稼働率の低下をより防止することができる。
請求項5記載のプラズマ処理装置によれば、棒状磁石が所定の回転角度だけ回転する所定のタイミング毎に時刻が計時されるので、一定時間において計時される時刻の数を増やすことができ、回転駆動機構の異常判定をより正確に行うことができる。
請求項6記載のプラズマ処理装置によれば、今回の所定のタイミングに計時された時刻及び前回の所定のタイミングに計時された時刻の差に応じて、今回の所定のタイミングに計時された時刻が補正されるので、回転検出手段の計時不良により計時できなかった時刻があったとしても、今回の所定のタイミングに計時された時刻が適切に補正される。したがって、回転検出手段の計時不良の影響を受けることが無く、安定して回転駆動機構の異常判定を行うことができる。
請求項7記載のプラズマ処理装置によれば、所定のタイミング毎に計時された時刻の統計処理が実行され、該統計処理の結果に基づいて次の所定のタイミングに対応する時刻が予測され、さらに、予測された時刻及び次の所定のタイミングに計時された時刻の比較に応じて回転駆動機構が異常か否かが判定されるので、閾値に基づいた判定を行う必要が無い。したがって、精度の高い回転駆動機構の異常判定を行うことができる。
請求項8記載のプラズマ処理装置によれば、棒状磁石の回転加速度が制御されるので、回転駆動機構におけるモータへの異常負荷が発生するのを防止することができる。これにより、モータの故障を未然に防止してプラズマ処理装置の稼働率の低下をより確実に防止することができる。
請求項9記載のプラズマ処理装置によれば、棒状磁石の回転が検出されて棒状磁石の回転停止位置が制御されるので、隣接するプラズマ処理装置における他の棒状磁石と、棒状磁石とが引き合うことにより発生する棒状磁石の位置決め不良の発生を防止することができる。
請求項10記載のプラズマ処理装置によれば、回転駆動機構が異常であると判定されたときに、判定結果に応じて棒状磁石の回転が制御されるので、直ちに回転駆動機構のメンテナンスを行う必要を無くすことができる。したがって、プラズマ処理を中止することなくプラズマ処理を均一に施すことができ、プラズマ処理装置の稼働率の低下をさらに確実に防止することができる。
請求項11記載のプラズマ処理装置によれば、予測された次の所定のタイミングに対応する時刻に基づいて棒状磁石の回転が制御される。すなわち、次の所定のタイミングに至るまでに回転駆動機構の異常の発生が予測されたときに棒状磁石の回転が制御される。したがって、処理室内の磁場が不均一になるのを予め防止することでき、これにより、半導体ウエハの表面に対してプラズマ処理をより均一に施すことができる。
請求項12記載のプラズマ処理装置によれば、回転駆動機構が異常であると判定されたときに、プラズマ処理装置の動作記録が保存されるので、プラズマ処理装置の使用者は保存された動作記録を活用することによって回転駆動機構の異常の原因を迅速且つ容易に特定することができる。
請求項13記載のプラズマ処理装置によれば、プラズマ処理におけるプラズマ処理装置の構成要素の動作の状態として定義された動作状態と、該定義された動作状態間における状態の遷移として定義された状態遷移とに基づいて、構成要素の動作が制御される。すなわち、プラズマ処理装置では、定義された動作状態のみが実行され、次の動作状態への遷移も定義された状態遷移に従う。したがって、プラズマ処理装置の構成要素は、不必要な動作を行うことがなく、これにより、プラズマ処理の動作状態を保証することができる。また、所望の動作を所定の動作状態として定義することによって所望の動作を制御することができる。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
まず、本発明の第1の実施の形態に係るプラズマ処理装置について説明する。
図1は、本実施の形態に係るプラズマ処理装置としてのDRM型エッチング処理装置の概略構成を示す図であり、図1(a)はDRM型エッチング処理装置の断面図であり、図1(b)はDRM型エッチング処理装置の斜視図である。
図1において、DRM型エッチング処理装置は、例えばアルミニウム等の導電性材料により円筒状に形成された処理室1と、該処理室1の下部に接続された排気管2と、処理室1内の底面に配置され、半導体ウエハ3を載置するアルミニウム等の導電性材料からなる下部電極としてのサセプタ4と、該サセプタ4にブロッキングコンデンサ5を介して接続される高周波電源6と、サセプタ4に対向して配置され、扁平な中空円盤状に形成された上部電極7と、上部電極7の上面中央に配置され、処理室1上面中央を貫通しエッチングガスの供給源(図示せず)に連通する供給管8と、処理室1の周囲全周に亘って周方向等間隔を隔てて配置される、永久磁石により形成された12本の円筒型磁石(棒状磁石)9とを備える。
処理室1は気密構造に構成され、排気管2を介して図示しない真空ポンプにより真空引きされて、例えば、1.33Pa(10-2Torr)以下の真空雰囲気を形成する。
サセプタ4は、上面に取り付けられた静電チャック(図示せず)等のクーロン力により半導体ウエハ3を吸着保持する。また、サセプタ4はヘリウム等の冷媒を用いる冷却機構を内蔵し、該冷却機構によってプラズマ処理中において半導体ウエハ3を所望の温度まで冷却する。また、プラズマ処理中において、サセプタ4には、高周波電源6から13.56MHzの高周波電圧がブロッキングコンデンサ5を介して印加される。
上部電極7は接地されており、プラズマ処理中においてグランド電位を維持する。また、供給管8から供給されたエッチングガスを処理室1内全体へ均等に噴出する。
12本の円筒型磁石9は、処理室1を挟み点対称に対を成して配置され、処理室1内に水平方向の磁場、即ちサセプタ4上の半導体ウエハ3に平行な水平磁場Bを印加する。ここで、円筒形磁石9が配置される本数は12本に限られず、プラズマ処理の条件に応じて適宜、適切な本数が処理室1の周りに配置されるが、配置される本数に拘わらず、対を成す円筒形磁石9は互いに処理室1を挟み点対称に配置される必要がある。尚、図1(b)では手前の5本の円筒型磁石9はその表示が省略されている。
図2は、図1における円筒型磁石9の回転駆動機構の概略構成を示す断面図である。
図2において、処理室1の周壁10には各円筒型磁石9に対応させた円筒空間11が形成され、該形成された円筒空間11内に円筒型磁石9がそれぞれ収納される。各円筒型磁石9の上下端にはそれぞれ軸が取り付けられ、これらの軸によって円筒型磁石9が周壁10の円筒空間11内において回転自在に軸支されている。各円筒型磁石9の下端の軸12にはそれぞれ小径歯車13が取り付けられている。また、処理室1の下方には、処理室1の外径に対応した外径を有するリング状の大径歯車14が配置されている。該大径歯車14の内側には全周に亘って内歯14Aが形成され、該内歯14Aは円筒型磁石9下端の小径歯車13と噛合する。更に、隣接する小径歯車13、13間にはモータ15が配置されており、該モータ15の回転軸16に固定された伝達歯車17が円筒型磁石9の小径歯車13と同様に大径歯車14の内歯14Aに噛合する。
モータ15の伝達歯車17は、モータ15の回転力を大径歯車14を介して全小径歯車13に伝達し、全円筒型磁石9をそれぞれ同方向、例えば、時計方向へ同期回転させる。これにより、処理室1内の水平磁場Bは、サセプタ4上の半導体ウエハ3に平行な面内において徐々に回転する。本実施の形態では、モータ15、大径歯車14、小径歯車13及び伝達歯車17によって円筒型磁石9の駆動機構が構成されている。なお、上述したように、モータ15を隣接する小径歯車13、13間に配置することなく、モータ15の回転軸16を一つの円筒型磁石9の下端の軸12に直接連結してもよく、このときも全円筒型磁石9を同期回転させることができる。
また、円筒型磁石9に用いられる永久磁石の材料は、特に制限されないが、例えば、Fe-Cr-Co系等の合金磁石、フェライト磁石等を用いるのが好ましい。また、円筒型磁石9の回転速度は5〜60rpmに設定することが好ましく、15〜25rpmに設定することがより好ましい。この回転速度が5rpm未満では水平磁場Bの回転が十分でないため、半導体ウエハ3上における磁場の均一化が難しい一方、60rpmを超えると磁場の均一化の効果の改善が望めず、また、大径歯車14、小径歯車13及び伝達歯車17の摩耗が激しくなるためである。
通常、大径歯車14は重量軽減を目的として樹脂、例えば、MCナイロン等によって形成される。また、モータ15の伝達歯車17は成型が容易であることから金属、例えばSUS等によって形成される。しかしながら、大径歯車14の内歯14Aと伝達歯車17の外歯とが噛合して回転力が伝達される場合、バックラッシュに起因する微小振動が発生する。この微小振動は、エッチング処理装置の処理室1に伝達されてパーティクルの発生要因となる。したがって、バックラッシュを抑制する必要があるが、これに対応してモータ15の伝達歯車17を樹脂、例えばウレタン(Hv90以下)等によって形成するのが好ましい。これにより、伝達歯車17の外歯が大径歯車14の内歯14Aに衝突する際の衝撃を吸収することができ、もってバックラッシュの発生を抑制することができ、処理室1内のパーティクルを低減することができる。
また、大径歯車14の内歯14Aを除去して大径歯車14の内周面を平滑にすると共に、伝達歯車17の外歯を除去して伝達歯車17の外周面を平滑にし且つ樹脂、例えばウレタン等で被覆し、伝達歯車17の外周面を大径歯車14の内周面に当接させることによって摩擦力により回転力を伝達してもよい。これにより、バックラッシュの発生要因を除去することができ、処理室1内のパーティクルを低減することができる。
また、一つの円筒型磁石9の下端の軸12に小径歯車13と同軸にプーリ(リング)を配置すると共に、モータ15の回転軸16に伝達歯車17の代わりに他のプーリを配置し、円筒型磁石9におけるプーリとモータ15の他のプーリとにベルト、例えばVベルト等を係合させることによって回転力を伝達してもよい。これによっても、バックラッシュの発生要因を除去して回転力を円滑に伝達することができ、処理室1内のパーティクルを低減することができる。
また、大径歯車14の内歯14Aの歯数及びと共に、伝達歯車17の外歯の歯数を増加させてもよい。これにより、単位時間あたりの外歯と内歯14Aの衝突回数を増加させ、バックラッシュに起因する微小振動の振動数を増加させる。単位時間あたりの入力が同じであれば、振動数が多いほど、振幅は小さくなる。したがって、バックラッシュに起因する微小振動の振幅を小さくすることができ、処理室1内のパーティクルを低減することができる。
次に、エッチング処理装置の動作について説明する。まず、処理室1内のサセプタ4に半導体ウエハ3を載置し、処理室内1を真空引きし、静電チャックのクーロン力により半導体ウエハ3をサセプタ4上に吸着保持する。次いで、供給管8からのエッチングガスを上部電極7を介して処理室1内へ供給し、エッチングガスのガス圧を例えば、1.33Pa(10-2Torr)以下の真空度に設定する。
その後、高周波電源6からサセプタ4に13.56MHzの高周波電圧を印加し、エッチングガスを介してサセプタ4と上部電極7間でグロー放電を行い、エッチングガスからプラズマを発生させる。この時、プラズマ中の電子は反応性イオン、ラジカル(活性種)と比較して遥かに軽いため、サセプタ4へ優先的に流入し、これにより、ブロッキングコンデンサ5を介してサセプタ4が負に自己バイアスされて、サセプタ4の自己バイアス電位とプラズマ電位間で電位差が生じ、該電位差によりプラズマとサセプタ4間に上下方向の電界Eが形成される。
さらに、全円筒型磁石9によって処理室1内に、例えば600ガウスの水平磁場Bを印加し、該印加された水平磁場Bが上述した上下方向に形成された電界Eに直交して直交電磁界を形成し、直交電磁界の作用によりプラズマ中の電子がサセプタ4の近傍でサイクロイド運動をし、プラズマ中の反応性イオン等の活性種を更に活性化して高密度化されたマグネトロンによるプラズマ発生を実現する。
このとき、モータ15が駆動して回転力を伝達歯車17、大径歯車14及び小径歯車13を介して各円筒型磁石9へ伝達するため、全円筒型磁石9は例えば、時計方向へ同期回転する。この全円筒型磁石9の同期回転により処理室1内の水平磁場B全体が、サセプタ4上の半導体ウエハ3に平行な面内において、例えば20rpmの回転速度で回転しているため、電子のサイクロイド運動の方向もこの回転に伴って変化する。したがって、処理室1内のプラズマが万遍無く均一化されて均一なプラズマ密度を有するマグネトロンプラズマが発生する。すなわち、プラズマ中の反応性イオンが処理室1内で均一化し、サセプタ4上の半導体ウエハ3全面へ均一なイオン照射が行なわれ、半導体ウエハ3全面に均一な反応性イオンエッチング等のプラズマ処理を施すことができる。
図3は、図1のエッチング処理が備える回転駆動機構の制御系の概略構成を示す図である。
図3において、回転駆動機構の制御系30は、円筒型磁石9の小径歯車13の所定回転角度毎の回転を検出するトリガセンサ(回転検出手段)31と、小径歯車13の回転位置を検出するポジションセンサ32と、モータ15に接続されて該モータ15の回転を制御するドライバ33と、トリガセンサ31、ポジションセンサ32及びドライバ33に接続されるCPU(回転異常判定手段)34とを備える。また、小径歯車13は3つのトリガセンサ用フィン35と、1つのポジションセンサ用フィン36とを有する。
各トリガセンサ用フィン35は、長方形状の板状体であり、一端が小径歯車13の上方へ突出するように小径歯車13の内周面に接合されており、小径歯車13の内周面において円周方向に沿って均等間隔に、すなわち120度(所定の回転角度)毎に配置されている。また、ポジションセンサ用フィン36は、トリガセンサ用フィン35より長手方向の長さが長い長方形状の板状体であり、一端がトリガセンサ用フィン35の一端よりも上方へ突出するように小径歯車13の内周面に接合されている。ここで、ポジションセンサ用フィン36は、該ポジションセンサ用フィン36がポジションセンサ32に正対したとき、円筒型磁石9の回転位置が所定の回転停止位置、例えば、隣接するプラズマ処理装置の他の円筒型磁石と引き合わないような位置となるように、小径歯車13の内周面において配置されている。
また、トリガセンサ31及びポジションセンサ32が、それぞれトリガセンサ用フィン35及びポジションセンサ用フィン36の突出した一端の高さに応じて配置されている。トリガセンサ31及びポジションセンサ32は、それぞれトリガセンサ用フィン35及びポジションセンサ用フィン36を検出することによって円筒型磁石9の回転を検出する。また、小径歯車13の歯数とモータ15の歯数は同じに設定されているので、円筒型磁石9の回転とモータ15の回転は一致する。したがって、トリガセンサ31は、トリガセンサ用フィン35を円筒型磁石9及びモータ15が120度(所定の回転角度)だけ回転するタイミング(所定のタイミング)毎に検出し、ポジションセンサ32は、ポジションセンサ用フィン36を円筒型磁石9及びモータ15が1回転するタイミング毎に検出する。
さらに、トリガセンサ31は、トリガセンサ用フィン35を検出する毎にその検出順番を電気信号としてCPU34に送信する。このとき、トリガセンサ31は検出順番と共に各検出順番に対応するトリガセンサ用フィン35が検出された時刻(以下「タイムスタンプ」という)を計時してCPU34に送信し、CPU34は検出順番及びタイムスタンプをメモリ(図示しない)等に時系列に沿って配列して格納する。
ドライバ33は、CPU34から送信された指令に基づいてモータ15の回転量、回転速度及び回転加速度等を制御する。また、ドライバ33はモータ15の異常を検出したときにモータアラームを電気信号としてCPU34に送信する。
ここで、図1のエッチング処理装置では、CPU34によって読み込まれて実行される制御系30の制御プログラムにおいて、エッチング処理におけるエッチング処理装置の各構成要素、特に制御系30の各構成要素の動作の状態が動作状態として定義され、さらに、該定義された動作状態間における状態の遷移、すなわち、エッチング処理における処理の流れが状態遷移として定義されている。
具体的には、図4に示すように、動作状態としては、「停止」、「加速中」、「回転中」、「減速中」、「停止位置検出」、「エラー」及び「全ての状態」が定義され、特に「回転中」はさらに3つの動作状態、「サンプリング」、「安定監視」及び「安定逸脱」に細分化されて定義されている。「停止」は、円筒型磁石9が停止している状態であり、「加速中」は、モータ15の回転がドライバ33により制御されて円筒型磁石9の回転が所定の加速度、例えば、2rpm/secで加速している状態であり、「回転中」は、円筒型磁石9が所定の回転速度、例えば、20rpmで回転している状態であり、「サンプリング」は、円筒型磁石9の回転加速後、トリガセンサ31によって円筒型磁石9の回転の初期データを検出している状態であり、「安定監視」は、円筒型磁石9が所定の回転速度の許容誤差範囲内、例えば、20rpm±X%(ここで、Xは0、5〜100のいずれかの整数)で回転している状態であり、「安定逸脱」は、円筒型磁石9の回転速度が所定の回転速度の許容誤差X%範囲から逸脱している状態(ワーニング状態)であり、「減速中」は、モータ15の回転がドライバ33により制御されて円筒型磁石9の回転が減速している状態であり、「停止位置検出」は、円筒型磁石9の回転速度が低速度、例えば1rpmに制御されて、ポジションセンサ32によってポジションセンサ用フィン36の位置を検出している状態であり、「エラー」は、円筒型磁石9の回転が停止されて制御系30がオフされた場合に、ユーザやオペレータによって制御系30がリカバリ(復帰)されるのを待つ状態であり、「全ての状態」は、上述した「停止」及び「エラー」以外の全ての状態である。
また、状態遷移としては、以下に示す(1)乃至(12)の遷移が定義されている。
(1)は、「停止」から「加速中」への遷移であり、例えば、ロット処理の開始等における状態の遷移である。ここでは、CPU34が、ドライバ33を制御して円筒型磁石9の回転を所定の加速度、例えば、2rpm/secで加速する加速処理を実行する。
(2)は、「加速中」から「サンプリング」への遷移であり、加速処理が終了したときの状態の遷移である。ここでは、CPU34が、トリガセンサ31を制御してトリガセンサ用フィン35を円筒型磁石9の120度の回転角度毎に順次検出させ、該検出されたトリガセンサ用フィン35の検出順番と共に各検出順番に対応するタイムスタンプをCPU34に送信させ、さらにCPU34は検出順番及びタイムスタンプをメモリ等に時系列に沿って配列して格納するサンプリング処理を実行する。
(3)は、「サンプリング」から「安定監視」への遷移であり、サンプリング処理が終了したときの状態の遷移である。ここでは、CPU34が後述する安定監視処理を実行する。
(4)は、「安定監視」から「安定逸脱」への遷移であり、円筒型磁石9の回転速度が所定の回転速度の許容誤差X%範囲から逸脱したときの状態の遷移である。ここでは、エッチング処理が実行されていない場合、例えば、半導体ウエハ3の搬出入中等の場合であれば、CPU34は、円筒型磁石9の回転速度が安定していない旨のワーニング(警告)をプラズマ処理装置のモニタ(図示せず)(異常通知手段)に表示させ、次の半導体ウエハ3の処理室1への搬入を停止させるが、円筒型磁石9の回転は停止させない。また、エッチング処理が実行されている場合であれば、CPU34は、エッチング処理が実行されていない場合に加え、さらに、エッチング処理が実行されている旨のアラームを発信してエッチング処理を中断し、モニタに「再試行」や「処理中止」のボタンを表示させる。
(5)は、「安定逸脱」から「安定監視」への遷移であり、円筒型磁石9が所定の回転速度の許容誤差X%範囲内に復帰したときの状態の遷移である。ここでは、CPU34が上述したワーニング(警告)のモニタにおける表示を解除する。
(6)は、「回転中」から「減速中」への遷移であり、例えば、ロット処理の終了等における状態の遷移である。ここでは、CPU34が、ドライバ33を制御して円筒型磁石9の回転を減速する減速処理を実行する。
(7)は、「減速中」から「停止位置検出」への遷移であり、減速処理が終了したときの状態の遷移である。ここでは、CPU34が、ドライバ33を制御して円筒型磁石9の回転速度が低速度、例えば1rpmに設定されて、さらに、ポジションセンサ32を制御してポジションセンサ用フィン36を検出する停止位置検出処理を実行する。
(8)は、「回転中」から「エラー」への遷移であり、トリガセンサ31が長時間、例えば4秒に亘って円筒型磁石9の回転を検出しないときやモータアラームがドライバ33から発信されたときの状態の遷移である。ここでは、CPU34が、ワーニングをモニタに表示させる。(9)は、「全ての状態」から「エラー」への遷移であり、モータアラームがドライバ33から発信されたときの状態の遷移である。ここでは、CPU34が、エラーメッセージをプラズマ処理装置のモニタ(図示せず)に表示させ、さらに、モータ15の回転を停止させる。(10)は、「エラー」から「停止」への遷移である。
(11)は、「加速中」から「減速中」への遷移であり、例えば、円筒型磁石9の回転加速中にエッチング処理が中断されたときの状態の遷移である。ここでは、CPU34が、上述した減速処理を実行する。
(12)は、「停止位置検出」から「停止」への遷移であり、ポジションセンサ32がポジションセンサ用フィン36を検出したときの状態の遷移である。ここでは、CPU34が、ドライバ33を制御してモータ15の回転、引いては円筒型磁石9の回転を停止させる停止処理を実行する。
そして、CPU(制御部)34は、エッチング処理において上述の定義された動作状態や状態遷移に応じてエッチング処理装置の各構成要素の動作を制御する。すなわち、エッチング処理装置では、定義された動作状態のみが実行され、次の動作状態への遷移も定義された状態遷移に従う。したがって、エッチング処理装置の各構成要素は、不必要な動作を行うことがなく、これにより、エッチング処理の動作状態を保証することができる。また、定義される各構成要素の動作の状態は上述した動作状態や状態遷移に限られず、所望の動作を所定の動作状態として定義してもよい。これにより、エッチング処理装置において所望の動作を制御することができる。
図5は、図4における状態遷移(3)においてCPU34が実行する安定監視処理のフローチャートである。
図5において、まず、動作状態が「回転中」に遷移した(ステップS50)後、CPU34が、検出されたトリガセンサ用フィン35の検出順番とタイムスタンプとをメモリへ時系列に沿って配列して格納する(ステップS51)。
次いで、CPU34がメモリに格納されたタイムスタンプの数が所定の数(所定回数の回転)、例えば、15個以上であるか否かを判別し(ステップS52)、15個未満のときにはステップS51に戻り、15個以上であるときには、現在の検出順番の15個前の検出順番に対応するタイムスタンプと現在の検出順番に対応するタイムスタンプとの差を経過時間として算出し(ステップS53)、該算出された経過時間が許容範囲内であるか否かを判別する(ステップS54)。例えば、円筒型磁石9の回転速度を20rpmに設定し且つ許容誤差を5%に設定したときには、タイムスタンプ15個に対応する円筒型磁石9の回転数が5回転であり、該5回転に対応する基準時間(所定時間)は15秒であるため、経過時間が14.25秒乃至15.75秒以内であるか否かを判別する、すなわち、算出された経過時間と基準時間の差の絶対値が許容値である0.75秒以下であるか否かを判別する。
ステップS54の判別の結果、算出された経過時間と基準時間の差の絶対値が0.75秒より大である場合(ステップS54でNO)、CPU34は、円筒型磁石9、すなわちモータ15の回転が安定していない(安定逸脱)と判断し、動作状態を「安定監視」から「安定逸脱」へ状態遷移(4)に従って遷移させる(ステップS55)。
ステップS54の判別の結果、算出された経過時間と基準時間の差の絶対値が0.75秒以下である場合(ステップS54でYES)、CPU34は、円筒型磁石9、すなわちモータ15の回転が安定していると判断し、動作状態を「安定監視」に維持する(ステップS56)。
その後、CPU34は、動作状態が「回転中」であるか否かを判別し、「回転中」である場合には、ステップS51に戻り、「回転中」でない場合には、本処理を終了する。
本実施の形態に係るプラズマ処理装置によれば、小径歯車13におけるトリガセンサ用フィン35が検出され、該検出されたトリガセンサ用フィン35の検出順番に対応するタイムスタンプが計時され、該タイムスタンプに基づいて算出される経過時間及び基準時間(所定時間)の比較に応じてモータ15の回転が安定しているか否かが判定されるので、円筒型磁石9の回転の不安定を検出することができ、回転の不安定が検出されたときにプラズマ処理を中止して回転駆動機構のメンテナンスを行うことにより、処理室1内の磁場が不均一になるのを防止することができると共に、回転駆動機構のメンテナンスを適切なタイミングで行うことができる。したがって、半導体ウエハ3の表面に対してプラズマ処理、例えば、エッチング処理を均一に施すことができると共に、回転駆動機構のメンテナンスサイクルを短縮する必要をなくすことができる。
上述した本実施の形態に係るプラズマ処理装置では、モータ15の回転が安定していないときに、「安定監視」から「安定逸脱」へ状態遷移(4)に従って遷移するが、このとき、CPU34は、円筒型磁石9の回転速度が安定していない旨のワーニングをプラズマ処理装置のモニタに表示するので、プラズマ処理装置のユーザは回転駆動機構のメンテナンスを適切なタイミングで確実に行うことができる。
また、上述した本実施の形態に係るプラズマ処理装置では、経過時間及び基準時間の比較において、円筒型磁石9の所定回数の回転、例えば、5回転に要する経過時間が格納されたタイムスタンプに基づいて算出される。所定回数の回転に要する経過時間は、回転速度の微小変動から受ける影響が小さいので、モータ15の回転が安定しているか否かを正確に判定することができる。
また、上述した本実施の形態に係るプラズマ処理装置では、経過時間及び基準時間の比較において、算出された経過時間及び基準時間の差の絶対値が所定の許容値、例えば、基準時間のX%より大きいときにモータ15の回転が安定していないと判定されるので、不必要にモータ15の回転が安定していないと判定されることがなく、もってプラズマ処理装置の稼働率の低下をより確実に防止することができる。
また、上述した本実施の形態に係るプラズマ処理装置では、円筒型磁石9が120度だけ回転するタイミング毎にタイムスタンプが計時されるので、一定時間において計時されるタイムスタンプの数を増やすことができ、円筒型磁石9の回転不安定の判定をより正確に行うことができる。
従来のプラズマ処理装置では、円筒型磁石9の回転速度の加速状態に対応する動作状態が定義されていなかったため、不適切な加速によってモータ15への異常負荷が発生し、モータ15が故障するおそれがあった。これに対して本実施の形態に係るプラズマ処理装置では、円筒型磁石9の回転速度の加速状態に対応する動作状態を「加速中」として定義し、CPU34が、動作状態「加速中」においてドライバ33を制御して円筒型磁石9の回転を所定の加速度、例えば、2rpm/secで加速するので、モータ15への異常負荷が発生するのを防止することができる。これにより、モータ15の故障を未然に防止してプラズマ処理装置の稼働率の低下をより確実に防止することができる。
また、従来のプラズマ処理装置では、ロットの終了等における円筒型磁石9の停止位置の検出が行われなかったため、円筒型磁石9の回転が不適切な位置で停止した場合、例えば、隣接するプラズマ処理装置の他の円筒型磁石と円筒型磁石9とが引き合うことにより、円筒型磁石9の位置決め不良が発生するおそれがあった。これに対して本実施の形態に係るプラズマ処理装置では、円筒型磁石9の停止位置の検出状態に対応する動作状態を「停止位置検出」として定義し、CPU34が、動作状態「停止位置検出」においてドライバ33を制御して、円筒型磁石9の回転速度を低速度、例えば1rpmに制御し、ポジションセンサ32によってポジションセンサ用フィン36の位置(他の円筒型磁石と引き合わないような位置)を検出するので、円筒型磁石9の位置決め不良の発生を防止することができる。
上述した本実施の形態に係るプラズマ処理装置では、モータ15の回転が安定していないときには、プラズマ処理を中止するのみであったが、本発明はこれに限られず、例えば、CPU34が、算出された経過時間に応じてドライバ33を制御してモータ15の回転速度を変更してもよい。これにより、モータ15の回転が安定していないと判定されても、直ちに回転駆動機構のメンテナンスを行う必要を無くすことができる。したがって、プラズマ処理を中止することなくプラズマ処理を均一に施すことができ、プラズマ処理装置の稼働率の低下をさらに確実に防止することができる。
さらに、モータ15の回転が安定していないときに、CPU34は、メモリ(動作記録保存手段)に、図6に示すようなプラズマ処理装置の装置ログ(動作記録)を保存してもよい。ユーザは装置ログを活用することによって回転駆動機構の異常の原因を迅速且つ容易に特定することができる。
また、本実施の形態に係るプラズマ処理装置では、モータ15の回転が安定していないと判定されても、円筒型磁石9の回転は直ちに停止されることはないので、CPU34は、モニタに円筒型磁石9の回転数を表示してもよい。これにより、ユーザは円筒型磁石9の回転数の確認が容易となり、例えば、モータ15の回転が再び安定した場合、ユーザはその旨を直ちに知ることができ、このとき「再試行」のボタンを選択、若しくは押下することによって迅速にプラズマ処理を再開することができる。
次に、本発明の第2の実施の形態に係るプラズマ処理装置について詳述する。
本実施の形態は、その構成、作用が上述した第1の実施の形態と基本的に同じであるので、重複した構成、作用については説明を省略し、以下に異なる構成、作用についての説明を行う。
上述した安定監視処理において順次トリガセンサ用フィン35が検出されている場合、何らかの不具合、例えば、塵芥等によってトリガセンサ31のセンサ面が塞がれる等、に起因して、1つのトリガセンサ用フィン35が検出されない(読み飛ばされる)ことがある。このとき、読み飛ばされたトリガセンサ用フィン35の前後のトリガセンサ用フィン35に対応するタイムスタンプ同士の間隔が大きくなるため、これらのタイムスタンプを含むデータに基づいて経過時間を算出すると、算出された経過時間は上記1つのトリガセンサ用フィン35が正しく検出されたときに比較して長くなるおそれがある。
本実施の形態に係るプラズマ処理装置では、これに対応して、図5におけるステップS51の前に、以下のタイムスタンプ読み飛ばし補正処理を実行する。
図7は、図3におけるCPU34が実行するタイムスタンプ読み飛ばし補正処理のフローチャートである。
図7において、まず、CPU34は、現在の検出順番(今回の所定のタイミング)に対応するタイムスタンプと、現在の検出順番の1つ前の検出順番(前回の所定のタイミング)に対応するタイムスタンプとの差(以下「タイムスタンプ間隔」という)を算出する(ステップS71)。
次いで、タイムスタンプ間隔が1.5秒以下であるか否かを判別し(ステップS72)、1.5秒以下である場合には直ちに本処理を終了し、1.5秒より大である場合には(ステップS72でNO)、タイムスタンプ間隔が2.5秒以下であるか否かを判別し(ステップS73)、2.5秒以下である場合には、現在の検出順番に対応するタイムスタンプから1秒減算するとともに、以降のタイムスタンプからも1秒減算して(ステップS74)本処理を終了する。2.5秒より大である場合には(ステップS73でNO)、タイムスタンプ間隔が4秒未満であるか否かを判別し(ステップS75)、4秒未満である場合には(ステップS75でNO)、現在の検出順番に対応するタイムスタンプから2秒減算するとともに、以降のタイムスタンプからも2秒減算して(ステップS76)本処理を終了する。4秒以上である場合には(ステップS75でYES)、CPU34は、モータ15の回転が安定していないと判断し、直ちに動作状態を「安定監視」から「安定逸脱」へ状態遷移(4)に従って遷移させて(ステップS77)、本処理を終了する。
本実施の形態に係るプラズマ処理装置によれば、算出されたタイムスタンプ間隔に応じて、現在の検出順番に対応するタイムスタンプが補正されるので、トリガセンサ31によって1つのトリガセンサ用フィン35が読み飛ばされることがあったとしても、現在の検出順番に対応するタイムスタンプが適切に補正される。したがって、トリガセンサ用フィン35の読み飛ばしの影響を受けることが無く、安定してモータ15の回転不安定の判定を行うことができる。
次に、本発明の第3の実施の形態に係るプラズマ処理装置について詳述する。
本実施の形態も、その構成、作用が上述した第1の実施の形態と基本的に同じであるので、重複した構成、作用については説明を省略し、以下に異なる構成、作用についての説明を行う。
上述した図5の安定監視処理では、所定の数のタイムスタンプがメモリに格納された後に、初めて経過時間が算出されてモータ15の回転不安定の判定が行われるが、メモリに格納されたタイムスタンプの数がある程度増加したときに、これら格納されたタイムスタンプに基づいて次の検出順番に対応するタイムスタンプの値を予測し、該予測されたタイムスタンプに基づいてモータ15の回転不安定の判定を行うことも可能である。
本実施の形態に係るプラズマ処理装置では、これに対応して、図5におけるステップS52乃至S54に代えて、図8に示すように、以下の処理を行う。
図5におけるステップS51の後、CPU34は格納されたタイムスタンプの数が、例えば、14個以上であるか否かを判別し(ステップS81)、14個未満のときにはステップS51に戻り、14個以上であるときには、現在の検出順番から14個前の検出順番に対応するタイムスタンプに基づいて、最小2乗法による近似(統計処理)を行うことによって次の検出順番に対応するタイムスタンプを予測する(ステップS82)。
次いで、次の検出順番に対応するタイムスタンプを計時し、該計時された次の検出順番に対応するタイムスタンプと、予測された次の検出順番に対応するタイムスタンプとの差(以下「予測差」という)が許容誤差範囲内であるか否かを判別し(ステップS83)、許容誤差範囲内の場合にはステップS56へ進み、許容誤差範囲でない場合にはステップS55へ進む。
本実施の形態に係るプラズマ処理装置によれば、メモリに格納されたタイムスタンプの統計処理の結果に基づいて次の検出順番に対応するタイムスタンプが予測され、さらに、上述した予測差に応じてモータ15の回転不安定の判定が行われるので、ユーザの経験などによって定められた閾値に基づいた判定を行う必要が無い。したがって、精度の高いモータ15の回転不安定の判定を行うことができる。
また、本実施の形態に係るプラズマ処理装置では、CPU34が、予測された次の検出順番に対応するタイムスタンプに基づいて、ドライバ33を制御してモータ15の回転速度を制御してもよい。すなわち、次の検出順番に至るまでにモータ15の回転不安定の発生が予測されたときにモータ15の回転が制御される。したがって、処理室内の磁場が不均一になるのを予め防止することでき、これにより、半導体ウエハの表面に対してプラズマ処理をより均一に施すことができる。
また、本発明の目的は、上述した実施の形態の機能を実現するソフトウェアのプログラムコードを記録した記憶媒体を、プラズマ処理装置または、外部サーバ等に供給し、プラズマ処理装置或いはサーバ等が有するCPUやMPU等が記憶媒体に格納されたプログラムコードを読み出して実行することによっても達成される。
この場合、記憶媒体から読み出されたプログラムコード自体が上述した実施の形態の機能を実現することになり、そのプログラムコード及び該プログラムコードを記憶した記憶媒体は本発明を構成することになる。
また、プログラムコードを供給するための記憶媒体としては、例えば、フロッピー(登録商標)ディスク、ハードディスク、光磁気ディスク、CD−ROM、CD−R、CD−RW、DVD−ROM、DVD−RAM、DVD−RW、DVD+RW、磁気テープ、不揮発性のメモリカード、ROM等を用いることができる。
また、コンピュータが読み出したプログラムコードを実行することにより、上述した実施の形態の機能が実現されるだけでなく、そのプログラムコードの指示に基づき、コンピュータ上で稼動しているOS(オペレーティングシステム)等が実際の処理の一部または全部を行い、その処理によって上述した実施の形態の機能が実現される場合も本発明に含まれる。
更に、記憶媒体から読み出されたプログラムコードが、サーバ等に挿入された機能拡張ボードやプラズマ処理装置に接続された機能拡張ユニットに備わるメモリに書き込まれた後、そのプログラムコードの指示に基づき、その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わるCPU等が実際の処理の一部または全部を行い、その処理によって上述した実施の形態の機能が実現される場合も含まれる。
さらに、上述した実施の形態では、モータ15の回転不安定の判定を、具体的な時間の比較に基づいて行ったが、例えば、ファジー制御のように、抽象的な制御則を複数設定し、該設定された複数の制御則に基づいてモータ15の回転不安定の判定を行ってもよい。
なお、上述した実施の形態では、本発明をDRM型プラズマ処理装置に適用したが、本発明が適用されるプラズマ処理装置はこれに限られず、例えば、本発明をマルチポール型プラズマ処理装置(例えば、特開平2003−100716号公報参照。)に適用してもよい。
また、上述した実施の形態に係るプラズマ処理装置では、被処理基板が半導体ウエハであったが、被処理基板はこれに限られず、例えば、LCD(Liquid Crystal Display)やFPD(Flat Panel Display)等のガラス基板であってもよい。
B 水平磁場
E 電界
1 処理室
2 排気管
3 半導体ウエハ
4 サセプタ
5 ブロッキングコンデンサ
6 高周波電源
7 上部電極
8 供給管
9 円筒型磁石
10 周壁
11 円筒空間
12 軸
13 小径歯車
14 大径歯車
14A 内歯
15 モータ
16 回転軸
17 伝達歯車
30 制御系
31 トリガセンサ
32 ポジションセンサ
33 ドライバ
34 CPU
35 トリガセンサ用フィン
36 ポジションセンサ用フィン
E 電界
1 処理室
2 排気管
3 半導体ウエハ
4 サセプタ
5 ブロッキングコンデンサ
6 高周波電源
7 上部電極
8 供給管
9 円筒型磁石
10 周壁
11 円筒空間
12 軸
13 小径歯車
14 大径歯車
14A 内歯
15 モータ
16 回転軸
17 伝達歯車
30 制御系
31 トリガセンサ
32 ポジションセンサ
33 ドライバ
34 CPU
35 トリガセンサ用フィン
36 ポジションセンサ用フィン
Claims (15)
- 被処理体を収容する処理室と、該処理室の周囲に回転可能に立設される複数の棒状磁石と、該複数の棒状磁石を同期して回転させる回転駆動機構とを備えるプラズマ処理装置において、
前記棒状磁石の回転を検出し且つ該検出された回転に対応する時刻を計時する回転検出手段と、
前記計時された時刻から算出された時間及び所定時間の比較に応じて前記回転駆動機構が異常か否かを判定する回転異常判定手段とを備えることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記回転駆動機構が異常と判定されたときに、前記異常を通知する異常通知手段を備えることを特徴とする請求項1記載のプラズマ処理装置。
- 前記所定時間は前記棒状磁石の所定回数の回転に対応する基準時間であり、前記回転異常判定手段は前記所定回数の回転に要する経過時間を算出し、該算出された経過時間及び前記基準時間の比較に応じて前記回転駆動機構が異常か否かを判定することを特徴とする請求項1又は2記載のプラズマ処理装置。
- 前記回転異常判定手段は、前記算出された経過時間及び前記基準時間の差の絶対値が所定の許容値より大きいときに前記回転駆動機構が異常であると判定することを特徴とする請求項3記載のプラズマ処理装置。
- 前記回転検出手段は、前記棒状磁石が所定の回転角度だけ回転する所定のタイミング毎に時刻を計時することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
- 今回の前記所定のタイミングに計時された時刻及び前回の前記所定のタイミングに計時された時刻の差に応じて、前記今回の前記所定のタイミングに計時された時刻を補正する時刻補正手段を備えることを特徴とする請求項5記載のプラズマ処理装置。
- 前記回転異常判定手段は、前記所定のタイミング毎に計時された時刻の統計処理を実行し、前記統計処理の結果に基づいて次の前記所定のタイミングに対応する時刻を予測し、さらに、前記予測された時刻及び前記次の前記所定のタイミングに計時された時刻の比較に応じて前記回転駆動機構が異常か否かを判定することを特徴とする請求項5又は6記載のプラズマ処理装置。
- 前記棒状磁石の回転加速度を制御する回転加速度制御手段を備えることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記棒状磁石の回転を検出して前記棒状磁石の回転停止位置を制御する回転停止位置制御手段を備えることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記回転駆動機構が異常であると判定されたときに、判定結果に応じて前記棒状磁石の回転を制御する回転制御手段を備えることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記予測された次の前記所定のタイミングに対応する時刻に基づいて前記棒状磁石の回転を制御する他の回転制御手段を備えることを特徴とする請求項7記載のプラズマ処理装置。
- 前記回転駆動機構が異常であると判定されたときに、前記プラズマ処理装置の動作記録を保存する動作記録保存手段を備えることを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
- プラズマ処理における前記プラズマ処理装置の構成要素の動作の状態として定義された動作状態と、該定義された動作状態間における状態の遷移として定義された状態遷移とに基づいて、前記構成要素の動作を制御する制御部を備えることを特徴とする請求項1乃至12のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
- 被処理体を収容する処理室と、該処理室の周囲に回転可能に立設される複数の棒状磁石と、該複数の棒状磁石を同期して回転させる回転駆動機構とを備えるプラズマ処理装置の制御方法であって、
前記棒状磁石の回転を検出し且つ前記回転に対応する時刻を計時する回転検出ステップと、
前記計時された時刻から算出された時間及び所定時間の比較に応じて前記回転駆動機構が異常か否かを判定する回転異常判定ステップとを有することを特徴とするプラズマ処理装置の制御方法。 - 被処理体を収容する処理室と、該処理室の周囲に回転可能に立設される複数の棒状磁石と、該複数の棒状磁石を同期して回転させる回転駆動機構とを備えるプラズマ処理装置の制御方法を実行するプログラムであって、
前記棒状磁石の回転を検出し且つ前記回転に対応する時刻を計時する回転検出モジュールと、
前記計時された時刻から算出された時間及び所定時間の比較に応じて前記回転駆動機構が異常か否かを判定する回転異常判定モジュールとを有することを特徴とするプラズマ処理装置の制御方法を実行するプログラム。
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