JP2006024666A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【構成】 基体上に、有機物質原料を用いてCVD法により多孔質絶縁膜を形成するポーラスlow−k膜形成工程(S104)と、前記ポーラスlow−k膜表面に結合されるCH3基をエッチングするエッチング工程(S112)と、前記CH3基がエッチングされた前記ポーラスlow−k膜表面にALD法によりバリアメタル膜を形成するバリアメタル膜形成工程(S114)と、を備えたことを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
integrated circuit)デバイスの製造方法に関する。
図22では、デバイス部分等の形成方法は省略している。
図22(a)において、シリコン基板による基体200上にCVD(化学気層成長)等の方法により第1の絶縁膜221を成膜する。
図22(b)において、フォトリソグラフィ工程及びエッチング工程により、Cu金属配線或いはCuコンタクトプラグを形成するための溝構造(開口部H)を第1の絶縁膜221に形成する。
図22(c)において、第1の絶縁膜221上にバリアメタル膜240、Cuシード膜及びCu膜260をかかる順序で形成して、150℃から400℃の温度で約30分間アニール処理する。
図22(d)において、Cu膜260とバリアメタル膜240をCMPにより除去し、平坦化を行なうことにより、溝である開口部HにCu配線を形成する。
図22(e)において、前記Cu膜260表面に還元性プラズマ処理を施した後に第2の絶縁膜281を成膜する。
さらに、多層Cu配線を形成する場合は、これらの工程を繰り返して積層していくのが一般的である。ここで、第1の絶縁膜221と第2の絶縁膜281の大半がlow−k膜となる。
まず、タンタル(Ta)原料の供給を行う。この時、セルフリミッティング効果により、ある一定量以上は吸着しない。次にアルゴン(Ar)によりパージを行う。つづいて、アンモニア(NH3)の供給を行うことにより、バリアメタルとしての窒化タンタル(TaN)を形成する。最後にArによりパージを行う。この一連の作業を1サイクルとして、必要な膜厚分サイクルを繰り返すことで成膜を行う。
図24は、ALD法において、TaN膜が形成される様子を説明するための概念図である。
図24(a)において、TaR20(Ta化合物)を供給することにより、基体10にTaR20(Ta化合物)が吸着する。また、基体10の周辺には、吸着していないTaR20が浮遊する。
図24(b)において、Arを供給することにより、浮遊するTaR20が置換(パージ)される。
図24(c)において、NH3を供給することにより基体10に吸着されたTaR20を還元してTaN膜22が形成される。
多孔質低誘電率(p−lowk)膜上にALD法を用いてバリアメタル成膜を行った場合、初期段階において不連続な膜になるといった問題があった。特に、Si−CH3結合を有する原料ガスを用いて化学気相成長(CVD)法により成膜した炭酸化シリコン(SiOC)で構成されるp−lowk膜を用いた場合にこの傾向が顕著である。
p−lowk膜上にALD法を用いてバリアメタル成膜を行った場合に初期段階において不連続な膜になる原因としては、p−lowk膜上に残留しているメチル(CH3)基がALD成膜時のメタル原料の吸着を妨げているためと考えられる。
図27(b)に示す300mmのシリコンウェハ上の各ポイントにおいてTaN膜を5nm成膜した結果を測定した。その結果を図27(a)に示している。
図27(a)に示すように、SOD(spin on dielectic coating)法を用いて形成したp−lowk膜としての多孔質SiOC(p−MSQ)膜上に、ALD法を用いてバリアメタル成膜を行なった場合や、シリコン酸化膜(SiO2膜)上に、ALD法を用いてバリアメタル成膜を行なった場合に比べ、CVD法を用いて形成したp−lowk膜としての多孔質SiOC(p−SiOC)膜上に、ALD法を用いてバリアメタル成膜を行なった場合、成膜されたバリアメタル膜が薄くなったことがわかる。SOD法では、Si−CH3結合を有する原料ガスを塗布後、加熱(例えば400℃)するためメチル(CH3)基が脱離し、p−lowk膜上に残留していない、或いは少なくなっていると考えられる。すなわち、特に、Si−CH3結合を有する原料ガスを用いてCVD法により成膜したSiOCで構成されるp−lowk膜を用いた場合に、成膜しにくい傾向が顕著であることがわかる。
図28(b)に示す300mmシリコンウェハ上の各ポイントにおいてTaN膜を5nm成膜した結果を測定した。その結果を図28(a)に示している。
図28(a)に示すように、SOD法を用いて形成したp−lowk膜としての多孔質SiOC(p−MSQ)膜上に、PVD法を用いてバリアメタル成膜を行った場合や、シリコン酸化膜(SiO2膜)上に、PVD法を用いてバリアメタル成膜を行った場合と比べても、CVD法を用いて形成したp−lowk膜としての多孔質SiOC(p−SiOC)膜上に、PVD法を用いてバリアメタル成膜を行った場合に、成膜されたバリアメタル膜厚に違いがなかったことがわかる。
一方、ALD法を用いたバリアメタル成膜では、PVD法のようなプラズマエネルギーが存在しないためメチル(CH3)基を飛ばすことができない。よって、ALD法を用いたバリアメタル成膜においては、PVD法を用いた場合とは異なる新たな問題として成膜しにくいという問題点が生じる。そして、上述したように、特に、Si−CH3結合を有する原料ガスを用いてCVD法により成膜したSiOCで構成されるp−lowk膜を用いた場合に、成膜しにくい問題点が生じる。
図29では、図22の下層配線層の上にヴィア層と上層配線層とを形成した例を示している。第1の絶縁膜221と同様、ヴィア層の層間絶縁膜となる第2の絶縁膜281及び上層配線層の層間絶縁膜となる第3の絶縁膜286の大半がlow−k膜となる。ヴィア及び上層配線にも下層配線同様バリアメタル膜240が形成される。
図29では、Si−CH3結合を有する原料ガスを用いてCVD法により成膜したSiOCで構成されるp−lowk膜上にALD法を用いてバリアメタル成膜を行ない、その後、Cu配線を形成した様子を示している。上述したように、バリアメタル成膜が不連続となるため、Cuシード層及びCuめっき層で構成される、下層配線となるCu膜260において、ボイド400が、ヴィアとなるCu262において、ボイド402が、上層配線となるCu膜264において、ボイド404が生じてしまう。
基体上に、有機物質原料を用いて化学気相成長(CVD)法により多孔質絶縁膜を形成する多孔質絶縁膜形成工程と、
前記多孔質絶縁膜表面に結合される有機物質をエッチングするエッチング工程と、
前記有機物質がエッチングされた前記多孔質絶縁膜表面に原子層気相成長(ALD)法によりバリアメタル膜を形成するバリアメタル膜形成工程と、
を備えたことを特徴とする。
基体上に、有機物質原料を用いて化学気相成長(CVD)法により多孔質絶縁膜を形成する多孔質絶縁膜形成工程と、
前記多孔質絶縁膜に開口部を形成する開口部形成工程と、
前記開口部の表面をプラズマ雰囲気に晒すプラズマ処理工程と、
前記プラズマ雰囲気に晒された開口部内の表面に原子層気相成長(ALD)法によりバリアメタル膜を形成するバリアメタル膜形成工程と、
前記バリアメタル膜が形成された前記開口部に導電性材料を堆積させる導電性材料堆積工程と、
を備えたことを特徴とする。
実施の形態1では、CVD法により成膜したSiOCで構成されるp−lowk膜上にTaNのALD成膜を行なう場合に、ALD成膜前にHeプラズマ環境下におく手法を説明する。
図1は、実施の形態1における半導体装置の製造方法の要部を表すフローチャートである。
図1において、本実施の形態では、下層配線層用の絶縁膜形成工程として、SiC膜を形成するSiC膜形成工程(S102)、多孔質の絶縁性材料を用いたp−lowk膜を形成するポーラスlow−k膜形成工程(S104)、low−k膜表面をプラズマ処理するヘリウム(He)プラズマ処理工程(S106)、SiO2膜を形成するSiO2膜形成工程(S108)と、開口部を形成する開口部形成工程(S110)と、エッチング工程として、Heプラズマ処理工程(S112)と、バリアメタル膜形成工程(S114)と、下層配線形成工程となる導電性材料を堆積させる導電性材料堆積工程として、シード膜形成工程(S116)、めっき工程(S118)と、平坦化工程(S120)という一連の工程を実施する。多層配線化の製造方法は後述する。
図2では、図1のSiC膜形成工程(S102)からSiO2膜形成工程(S108)までを示している。それ以降の工程は後述する。
図3では、図1の開口部形成工程(S110)からシード膜形成工程(S116)までを示している。それ以降の工程は後述する。
図4において、装置350では、チャンバ300の内部にて、基体200上、さらに言えば、基板上に前工程までの処理が施された基体10を下部電極310を兼ねた所定の温度に制御された基板ホルダの上に設置する。そして、チャンバ300の内部に上部電極320内部からガスを供給する。また、真空ポンプ330によりチャンバ300の内部が所定の圧力になるように真空引きされる。ここでは、Heガスのガス量を0.17Pa・m3/s(100sccm)、チャンバ300の内部の圧力を13.3Pa(100mTorr)、基体10の温度を室温である25℃、上部電極320のRFパワーを2000Wとした。ここで、ガス量は、8.4×10−3Pa・m3/s(5sccm)〜0.34Pa・m3/s(200sccm)が望ましい。チャンバ300の内部の圧力は、0.13Pa(1mTorr)1〜66.5Pa(500mTorr)が望ましい。基体温度は、−20〜80℃が望ましい。プラズマ電力は、500〜3000Wが望ましい。
図5は、ALD装置の概要構成を示す図である。
図5において、チャンバ600の内部にて、基体200上、さらに言えば基体上に前工程までの処理が施された基体10を所定の温度に制御された基板ホルダ(ウェハステージ)610の上に設置する。そして、チャンバ600の内部に上部からガスを供給する。また、真空ポンプ630によりチャンバ600の内部が所定の圧力になるように真空引きされる。ここでは、バリアメタル膜として、窒化タンタル(TaN)膜を成膜する。そのためのメタル原料として、ペンタジエチルタンタル(Ta[N(C2H5)2]5)を用い、メタル原料と反応する反応種の一例である、前記メタル原料の還元ガスとして、アンモニア(NH3)を用い、パージガスとして、水素(H2)を用いる。パージガスとして、H2を用いることで、次の反応性を高めることができる。さらに、H2は純度を高めることができるので、高純度成膜に適している。
図5において、容器650に入った固体のTa[N((C2H5)2]5を50〜70℃に加熱して暖める。暖められ溶融したTa[N(C2H5)2]5内にキャリアガスとしてH2ガスを供給することで、H2と共にガス化したTa[N(C2H5)2]5を一種のバブリング法によりチャンバ600に供給することができる。
成膜温度300℃にて、Ta[N(C2H5)2]5を1s供給後、H2を1s供給してパージし、NH3を1s供給し、H2を1s供給してパージするサイクルを1サイクルとして、100サイクルの供給を行ない、5nmのTaNの成膜を行なう。ここでは、Ta[N(C2H5)2]5、H2、NH3の各ガス量は、1.68Pa・m3/s(1000sccm)、チャンバ600の内部の圧力を339Pa(3Torr)とした。ここで、ガス量は、Ta[N(C2H5)2]5について、0.5Pa・m3/s(300sccm)〜1.68Pa・m3/s(1000sccm)が望ましい。NH3について、1.68Pa・m3/s(1000sccm)〜3.36Pa・m3/s(2000sccm)が望ましい。パージガスであるH2について、1.68Pa・m3/s(1000sccm)〜3.36Pa・m3/s(2000sccm)が望ましい。成膜圧力は、665Pa(5Torr)以下が望ましい。
図7において、装置500は、複数のチャンバ510,520,530を有している。カセット室550にウェハをセットし、搬送室540において、搬送ロボットが、各チャンバにウェハを搬送或いは搬出する。前記プラズマ雰囲気に晒す工程(図1におけるS112)と前記バリアメタル膜形成工程(図1におけるS114)とを真空搬送可能な同一装置内において行なうことでプロセスを安定化させることができる。また、外気にウェハを晒すことなく処理するため、パーティクルの付着を防止することができる。例えば、プラズマ雰囲気処理工程をチャンバ510にて行ない、バリアメタル膜形成工程をチャンバ520にて行なう。また、p−lowk膜形成工程も同様に、いずれかのチャンバにおいて処理を行なっても構わない。
図5における装置では、チャンバ600上部から基体10の大きさに関わらず、また、ガスの進行方向に関わらずガスを供給しているが、図8に示すように、基体10と平行する平板となるシャワーヘッド620から基体10全面に向けて均一にガスを供給するように構成するとなお良い。その他の構成は、図5と同様であるので省略する。
図9では、図1のめっき工程(S118)から平坦化工程(S120)までを示している。
図10は、実施の形態1における多層配線化する半導体装置の製造方法の要部を表すフローチャートである。
図10において、本実施の形態では、図1の工程の後、さらに、絶縁膜形成工程として、SiC膜形成工程(S126)、p−lowk膜形成工程(S128)、Heプラズマ処理工程(S130)、SiC膜形成工程(S132)、p−lowk膜形成工程(S134)、Heプラズマ処理工程(S136)、SiO2膜形成工程(S138)と、開口部を形成する開口部形成工程(S140)と、エッチング工程の一例であるHeプラズマ処理工程(S142)と、バリアメタル膜形成工程(S144)と、ヴィアと上層配線とを形成するヴィア、上層配線形成工程となる導電性材料を堆積させる導電性材料堆積工程として、シード膜形成工程(S146)、めっき工程(S148)と、平坦化工程(S150)という一連の工程を実施する。
図11では、図10のSiC膜形成工程(S126)からSiO2膜形成工程(S138)までを示している。それ以降の工程は後述する。
図12では、図10の開口部形成工程(S140)からシード膜形成工程(S146)までを示している。それ以降の工程は後述する。
図13では、図10のめっき工程(S148)から平坦化工程(S150)までを示している。
図14に示すように、ALD法を用いてTaN膜を成膜した場合、CVD法により形成されたp−lowk膜である多孔質SiOC膜上では、当初、成膜されないサイクルが存在することを発明者等は見出した。同じCVD法により形成された多孔質でないlow−k膜であるSiOC膜上では、当初サイクルから成膜が始まる。また、SOD法を用いて形成したp−lowk膜としての多孔質SiOC(p−MSQ)膜上でも当初サイクルから成膜が始まる。ここで、ある所定の膜厚aでのCVD法による多孔質SiOC膜とCVD法による多孔質でないSiOC膜とSOD法による多孔質SiOC(p−MSQ)膜との断面を比較した。
図15(a)には、CVD法による多孔質でないSiOC膜上にALD法を用いてTaN膜を成膜した場合の断面図を示す。図15(b)には、SOD法による多孔質SiOC(p−MSQ)膜上にALD法を用いてTaN膜を成膜した場合の断面図を示す。図15(c)には、CVD法による多孔質SiOC(p−SiOC)膜上にALD法を用いてTaN膜を成膜した場合の断面図を示す。図15に示すように、CVD法による多孔質SiOC(p−SiOC)膜上にALD法を用いてTaN膜を成膜した場合のみ、TaN膜が途中で途切れ、不連続膜となっているのがわかる。
ALD法を用いて成膜後、TEM(透過電子顕微鏡)観察を行った結果、図16(a)に示す従来の不連続膜に対し、図16(b)に示すように、本実施の形態におけるALD成膜前のプラズマ処理、すなわち、プラズマエッチングを行なった場合、TaN膜が連続膜に形成されていた。
実施の形態2では、CVD法により成膜したSiOCで構成されるp−lowk膜上にTaNのALD成膜を行なう場合に、ALD成膜前にNH3プラズマ環境下におく手法を説明する。
図17において、本実施の形態では、下層配線形成後、さらに、絶縁膜形成工程として、SiC膜形成工程(S126)、p−lowk膜形成工程(S128)、Heプラズマ処理工程(S130)、SiC膜形成工程(S132)、p−lowk膜形成工程(S134)、Heプラズマ処理工程(S136)、SiO2膜形成工程(S138)と、開口部を形成する開口部形成工程(S140)と、エッチング工程の一例であるNH3プラズマ処理工程(S1742)と、バリアメタル膜形成工程(S144)と、ヴィアと上層配線とを形成するヴィア、上層配線形成工程となる導電性材料を堆積させる導電性材料堆積工程として、シード膜形成工程(S146)、めっき工程(S148)と、平坦化工程(S150)という一連の工程を実施する。
図18では、図17の開口部形成工程(S140)からシード膜形成工程(S146)までを示している。それ以降の工程であるめっき工程(S148)から平坦化工程(S150)は、図13の説明と同様であるので省略する。また、図18において、図18(b)以外は、図12の説明と同様であるので省略する。
ここでは、ALD成膜原料として、Ta[N(C2H5)2]5およびNH3を用い、成膜温度300℃にて、Ta[N(C2H5)2]5(1s)→H2(1s)→NH3(1s)→H2(1s)を1サイクルとして、20サイクルの供給を行った。ALD−TaN成膜前に、前処理として10s間NH3プラズマ環境下にさらした。比較のためにプラズマにさらさないものも準備した。バリアメタル成膜後、スパッタ法によりシードCuを100nm成膜した。その後、Cuめっき成膜を行なった。得られた試料のTEM観察を行った結果、プラズマ処理を行わなかった試料にはCu膜内にボイドが観察された(図19(1))。これに対してプラズマ処理を施した試料についてはボイドの無いCuが成膜できた(図19(2))。
実施の形態3では、CVD法により成膜したSiOCで構成されるp−lowk膜上にTaNのALD成膜を行なう場合に、ALD成膜前にフロロカーボン(CxFy)プラズマ環境下におく手法を説明する。
図20において、本実施の形態では、下層配線形成後、さらに、絶縁膜形成工程として、SiC膜形成工程(S126)、p−lowk膜形成工程(S128)、Heプラズマ処理工程(S130)、SiC膜形成工程(S132)、p−lowk膜形成工程(S134)、Heプラズマ処理工程(S136)、SiO2膜形成工程(S138)と、開口部を形成する開口部形成工程(S140)と、エッチング工程の一例であるCxFyプラズマ処理工程(S2042)と、バリアメタル膜形成工程(S144)と、ヴィアと上層配線とを形成するヴィア、上層配線形成工程となる導電性材料を堆積させる導電性材料堆積工程として、シード膜形成工程(S146)、めっき工程(S148)と、平坦化工程(S150)という一連の工程を実施する。
図21では、図20の開口部形成工程(S140)からシード膜形成工程(S146)までを示している。それ以降の工程であるめっき工程(S148)から平坦化工程(S150)は、図13の説明と同様であるので省略する。また、図21において、図21(b)以外は、図12の説明と同様であるので省略する。
20 TaR
22 TaN膜
150,152,154 開口部
156 堀込部
212,275,282 SiC膜
220,280,285 p−lowk膜
221,281,286 絶縁膜
222,290 SiO2膜
240,242 バリアメタル膜
250,252 シード膜
260,264 Cu膜
262 Cu
300,510,520,530,600 チャンバ
310 下部電極
320 上部電極
330,630 真空ポンプ
350,500 装置
400,402,404 ボイド
540 搬送室
550 カセット室
610 基板ホルダ
620 シャワーヘッド
650 容器
Claims (10)
- 基体上に、有機物質原料を用いて化学気相成長法により多孔質絶縁膜を形成する多孔質絶縁膜形成工程と、
前記多孔質絶縁膜表面に結合される有機物質をエッチングするエッチング工程と、
前記有機物質がエッチングされた前記多孔質絶縁膜表面に原子層気相成長法によりバリアメタル膜を形成するバリアメタル膜形成工程と、
を備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記エッチング工程において、前記多孔質絶縁膜表面をプラズマ雰囲気に晒すことを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 基体上に、有機物質原料を用いて化学気相成長法により多孔質絶縁膜を形成する多孔質絶縁膜形成工程と、
前記多孔質絶縁膜に開口部を形成する開口部形成工程と、
前記開口部の表面をプラズマ雰囲気に晒すプラズマ処理工程と、
前記プラズマ雰囲気に晒された開口部内の表面に原子層気相成長法によりバリアメタル膜を形成するバリアメタル膜形成工程と、
前記バリアメタル膜が形成された前記開口部に導電性材料を堆積させる導電性材料堆積工程と、
を備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記有機物質原料は、メチル(CH3)基を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか記載の半導体装置の製造方法。
- 前記プラズマ雰囲気の雰囲気ガスとして、メチル(CH3)基をエッチングする材料を用いることを特徴とする請求項2又は3記載の半導体装置の製造方法。
- 前記プラズマ雰囲気の雰囲気ガスとして、CxFyとヘリウム(He)とアンモニア(NH3)とのうち、いずれかを用いることを特徴とする請求項2又は3記載の半導体装置の製造方法。
- 前記基体にバイアス電力をかけずにプラズマ雰囲気に晒すことを特徴とする請求項2,3,5又は6記載の半導体装置の製造方法。
- 前記多孔質絶縁膜形成工程において、前記多孔質絶縁膜として、炭酸化シリコン(SiOC)膜を形成することを特徴とする請求項1〜7のいずれか記載の半導体装置の製造方法。
- 前記バリアメタル膜形成工程において、バリアメタル材料となる金属材料を有する金属材料ガスと前記金属材料ガスを還元する還元ガスとを交互に供給し、前記バリアメタル膜を形成することを特徴とする請求項1〜8のいずれか記載の半導体装置の製造方法。
- 前記プラズマ雰囲気に晒す工程と前記バリアメタル膜形成工程とを真空搬送可能な同一装置内において行なうことを特徴とする請求項2,3,5〜7のいずれか記載の半導体装置の製造方法。
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