JP2006024657A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体素子とインターポーザ基板の間を低応力樹脂で充填被覆し、チップ周辺部、さらには、チップ上部までを、高剛性樹脂16で被覆することにより、半導体装置の剛性が向上し、層間絶縁膜の機械的強度が弱くても、樹脂硬化時やパッケージ組立時に加わる応力にも耐えうるパッケージ構造となり、信頼性を向上することができる。
【選択図】 図5
Description
図7(a)は従来の半導体装置の平面図、図7(b)は従来の半導体装置の断面図、図7(c)は従来の半導体装置における入出力回路部分の拡大断面図であり、半導体装置の一般的な入出力回路のレイアウトを示す。また、図7(c)は図7(b)のB部拡大図である。本図面では、5層配線構造の場合を示している。以下、本発明の説明では、入出力回路の素子領域上にパッドを形成した構造を、素子上パッド:POE(Pad On Element)パッドと称する。
例えば、ロジック回路やドライバ回路の上に層間絶縁膜を設け、その上に入力パッド、あるいは出力パッドを形成した半導体集積回路を提案している(特許文献1参照)。
図8は従来のCSPにおける金属突起を形成する工程を説明する図、図9は従来のCSPの製造工程を説明する工程断面図、図10は従来のCSPを示す断面図である。
まず、金属線141先端に金属ボール142を形成し、キャピラリー143を用いて半導体素子145上のパッド144に超音波振動を加えながら加圧し、クランプ146を用いて金属線を固定し、キャピラリー143を上方に移動させ金属線141を引きちぎる。その後、平坦化ツール147を用いて金属突起208の高さを規定値に平坦化する(図8(b))。
図1(a)は実施の形態1における半導体装置の平面図、図1(b)は実施の形態1における半導体装置の断面図,図1(c)は実施の形態1の半導体装置における入出力回路部分の拡大断面図であり、半導体装置の一般的な入出力回路のレイアウトを示す。また、図1(c)は図1(b)のB部拡大図である。
図1では、5層配線構造の場合を示している。以下、本発明の説明では、従来、入出力回路外側にあった入出力パッドを、入出力回路の素子領域上に形成した構造をとり、素子上パッド:POE(Pad On Element)と称する。
図2は実施の形態1のCSPにおける金属突起を形成する工程を説明する図、図3は実施の形態1におけるCSPの製造工程を説明する工程断面図、図4は実施の形態1のCSPを示す断面図、図5は実施の形態1の高剛性樹脂を備えるCSPを示す断面図である。
まず、金属線41先端に金属ボール42を形成し、キャピラリー43を用いて半導体素子45上のパッド44に超音波振動を加えながら加圧し、クランプ46を用いて金属線を固定し、キャピラリー43を上方に移動させ金属線41を引きちぎる。その後平坦化ツール47を用いて金属突起8の高さを規定値に平坦化する(図2(b))。
次に、適温に保持した樹脂封止用加熱ステージ11上に半導体素子を搭載したインターポーザ基板4を支持し、インターポーザ基板4上の半導体素子の1辺に樹脂ノズル13を用いて低応力樹脂12を一定量塗布する(図3(c))。この際、樹脂封止用加熱ステージ11は水平でも、樹脂が浸入しやすい方向に傾斜させてもよい。塗布した低応力樹脂12が半導体素子とインターポーザ基板間に注入されたことを確認した後、2回目の樹脂を適量塗布する。この動作を繰り返し、所定量を塗布した後、樹脂封止用加熱ステージ上で半導体素子周辺部に層間絶縁膜74より上方まで樹脂フィレット14が形成されるまで放置する(図4(a))。これにより、半導体素子とインターポーザ基板間、および、素子形成領域である半導体素子周辺部が低応力樹脂12により充填被覆される。
図6は実施の形態2の高剛性樹脂を備えるCSPを示す断面図である。
低応力樹脂12硬化後、樹脂ノズル315により、高剛性樹脂316をチップ上方より一定量塗布する(図6(a))。高剛性樹脂316が半導体素子上面、周辺端部と前記半導体キヤリアと前記低応力樹脂12を被覆するまで放置する(図6(b))。図6(b)は、図6(a)のF部分の拡大図である。その後、オーブン中で樹脂の加熱硬化を行い、半導体装置を完成する。
2 周辺POEパッド
4 インターポーザ基板
8 金属突起
9 導電性接続材料
10 電極
11 樹脂封止用加熱ステージ
12 低応力樹脂
13 樹脂ノズル
14 樹脂フィレット
15 樹脂ノズル
16 高剛性樹脂
20 最下層メタル
31 第1の保護膜
32 第2の保護膜
41 金属線
42 金属ボール
43 キャピラリー
44 パッド
45 半導体素子
46 クランプ
47 平坦化ツール
61 パッドメタル
62 パッドメタル
63 ビア
71 層間絶縁膜
72 層間絶縁膜
73 層間絶縁膜
74 層間絶縁膜
81 引出し部メタル
91 第1の電源層メタル
92 シリコン基板
101 半導体素子
102 周辺POEパッド
110 最下層メタル
131 第1の保護膜
132 第2の保護膜
141 金属線
142 金属ボール
143 キャピラリー
144 パッド
145 半導体素子
146 クランプ
147 平坦化ツール
161 パッドメタル
162 パッドメタル
163 ビア
171 層間絶縁膜
172 層間絶縁膜
173 層間絶縁膜
174 層間絶縁膜
181 引出し部メタル
191 第1の電源層メタル
192 シリコン基板
204 インターポーザ基板
208 金属突起
209 導電性接続材料
210 電極
211 樹脂封止用加熱ステージ
212 樹脂
213 樹脂ノズル
214 樹脂フィレット
315 樹脂ノズル
316 高剛性樹脂
Claims (4)
- インターポーザ基板に半導体素子を搭載して成る半導体装置であって、
前記インターポーザ基板と前記半導体素子の間に素子形成層が被覆されるような樹脂フィレットが形成されるように充填被覆される第1の樹脂と、前記第1の樹脂より剛性が高く前記樹脂フィレット上を被覆する第2の樹脂と
を有することを特徴とする半導体装置。 - インターポーザ基板に半導体素子を搭載して成る半導体装置であって、
前記インターポーザ基板と前記半導体素子の間に素子形成層が被覆されるような樹脂フィレットが形成されるように充填被覆される第1の樹脂と、
前記第1の樹脂より熱膨張性が低く前記樹脂フィレット上を被覆する第2の樹脂と
を有することを特徴とする半導体装置。 - インターポーザ基板に半導体素子を搭載して成る半導体装置であって、
前記インターポーザ基板と前記半導体素子の間に素子形成層が被覆されるような樹脂フィレットが形成されるように充填被覆される第1の樹脂と、
前記第1の樹脂より剛性が高く前記樹脂フィレット上および前記半導体素子を被覆する第2の樹脂と
を有することを特徴とする半導体装置。 - インターポーザ基板に半導体素子を搭載して成る半導体装置であって、
前記インターポーザ基板と前記半導体素子の間に素子形成層が被覆されるような樹脂フィレットが形成されるように充填被覆される第1の樹脂と、
前記第1の樹脂より熱膨張性が低く前記樹脂フィレット上および前記半導体素子を被覆する第2の樹脂と
を有することを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
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JP2004199949A JP2006024657A (ja) | 2004-07-07 | 2004-07-07 | 半導体装置 |
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ID=35797735
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2004199949A Pending JP2006024657A (ja) | 2004-07-07 | 2004-07-07 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2006024657A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR100852659B1 (ko) * | 2006-08-16 | 2008-08-18 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | 반도체 장치 및 그 제조 방법 |
JP2008227348A (ja) * | 2007-03-15 | 2008-09-25 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2009260302A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-11-05 | Toppan Printing Co Ltd | 半導体パッケージ |
-
2004
- 2004-07-07 JP JP2004199949A patent/JP2006024657A/ja active Pending
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US8105871B2 (en) | 2006-08-16 | 2012-01-31 | Fujitsu Semiconductor Limited | Semiconductor device and manufacturing method of the same |
JP2008227348A (ja) * | 2007-03-15 | 2008-09-25 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
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