JP2006023115A - 絶対圧形圧力センサの製造方法および製造装置 - Google Patents
絶対圧形圧力センサの製造方法および製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006023115A JP2006023115A JP2004199390A JP2004199390A JP2006023115A JP 2006023115 A JP2006023115 A JP 2006023115A JP 2004199390 A JP2004199390 A JP 2004199390A JP 2004199390 A JP2004199390 A JP 2004199390A JP 2006023115 A JP2006023115 A JP 2006023115A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- pressure sensor
- solder
- manufacturing
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L7/00—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0051—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0051—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
- G01L9/0052—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements
- G01L9/0055—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements bonded on a diaphragm
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
【解決手段】 内部に基準圧力室S1を有し、かつ、一端が前記基準圧力室S1と連通しているとともに、他端が大気に開放された導圧孔21cを有する相対圧形圧力センサ20を、前記導圧孔21cの他端が上方に開口するように真空チャンバ内に配置する段階と、前記導圧孔21cの他端の上に半田25を載置する段階と、前記真空チャンバ内を真空引きする段階と、前記半田25が溶けるまで前記半田を加熱する段階とを具備することを特徴とする。
【選択図】 図3
Description
一方、相対圧形圧力センサは、大気圧を基準にして、これを0(零)として測定するものであるため、絶対圧形圧力センサのように基準圧力室の内部圧力を真空の状態にしておく必要がなく、製造工程が絶対圧形圧力センサに比べて簡略化されており、製造コストも抑えられるようになっている。
請求項1に記載の絶対圧形圧力センサの製造方法は、内部に基準圧力室を有し、かつ、一端が前記基準圧力室と連通しているとともに、他端が大気に開放された導圧孔を有する相対圧形圧力センサを、前記導圧孔の他端が上方に開口するように真空チャンバ内に配置する段階と、前記導圧孔の他端の上に半田を載置する段階と、前記真空チャンバ内を真空引きする段階と、前記半田が溶けるまで前記半田を加熱する段階とを具備することを特徴とする。
このような絶対圧形圧力センサの製造方法によれば、導圧孔の上に予め所定量の半田が載せられた相対圧形圧力センサを真空チャンバ内に配置した後に、あるいは真空チャンバ内に配置された相対圧形圧力センサの導圧孔の上に所定量の半田を載せた後に、真空チャンバ内および基準圧力室内を、例えば、真空ポンプなどにより真空引きして真空の状態として、その状態でさらに半田を加熱して半田を溶かし、溶けた半田によって導圧孔の他端が塞がれて、基準圧力室内に真空状態が形成された絶対圧形圧力センサが製造される。
このような絶対圧形圧力センサの製造装置によれば、導圧孔の他端が上方に開口するように相対圧形圧力センサをホルダの上に載置した後に、あるいは導圧孔の上に予め所定量の半田が載せられた相対圧形圧力センサをホルダの上に載置した後に、真空チャンバ内および基準圧力室内を真空ポンプにより真空引きして真空の状態とし、その状態でヒータを作動させてホルダ、相対圧形圧力センサ、および半田を、半田が溶ける温度まで加熱することによって半田を溶かし、溶けた半田によって導圧孔の他端が塞がれて、基準圧力室内に真空状態が形成された絶対圧形圧力センサが製造される。
図1に示すように、本実施形態における絶対圧形圧力センサの製造装置10は、容器(真空チャンバ)11と、真空ポンプ12と、加熱器(加熱手段)13と、温度調整器14とを主たる要素として構成されたものである。
容器本体11aの正面側(図1において左下側)には開口部11cが設けられており、この開口部11cを通して、作業者が容器本体11aの内部に形成された内部空間Sにアクセスできるようになっている。
扉11bは、容器本体11aの開口部11cを塞いだり開放したりすることができるように構成されたものであり、その一辺(図1において下側の辺)は図示しないヒンジを介して容器本体11aに取り付けられており、また、その他辺(図1において左側の辺)には図示しない係止手段(例えば、フックとツメとからなるパッチン錠やフック錠等)が設けられている。
したがって、この扉11bが閉じられるとともに、係止手段により扉11bが容器本体11aに密着して固定されると、容器11の内部には密閉空間が形成されるようになっている。
また、容器本体11aの上面の正面側中央部には真空計11dが設けられており、容器11内の真空度を測定することができるようになっている。
また、ヒータ16は、例えば、ナベ小ネジ16a等の締結部材を介してその上面がホルダ15の下面と接するように取り付けられている。すなわち、ヒータ16で発生した熱が効率よくホルダ15に伝達されるようになっている。
また、ホルダケース17の下面には、鉛直下方に延在する脚部17aが4本設けられている。
台座21は、図4に示すように、断面コ字状の部材であり、その中心部には台座21の一表面(図4において上側の面)21aと他表面(図4において下側の面)21bとを連通する導圧孔21cが設けられている。台座21の材質としては、測定対象の圧力媒体におかされることがないものであればなんでも良いが、一例を挙げるとすれば、ガラス体やセラミック、あるいは金属(例えば、ステンレスやハステロイC等)、もしくはシリコン等を挙げることができる。
なお、圧力媒体の圧力が加わる側とは反対の側、すなわち、ダイヤフラム部22の内側表面22aの中央部(あるいは、外側表面22bの中央部)には、大気圧がかかっており、これにより相対圧(ゲージ圧)を測定することができるようになっている。
まず、容器11の扉11bを図1に示すように開け、容器本体11aの開口部11cを通して容器本体11a内に配置されたホルダ15の各凹所15a内に、図3(a)に示すように、導圧孔21cが上方に向けて開口するように相対圧形圧力センサ20をそれぞれ一つずつ嵌め入れる(載置する)。
そして、各凹所15a内に載置した相対圧形圧力センサ20の導圧孔21cの上に、この導圧孔21cを塞ぐのに十分な半田25をそれぞれ一つずつ載置する。
容器11の内部が密閉空間とされたら、真空ポンプ12を作動させ、ホース12aを介して容器11の内部空間Sを真空の状態にする。このとき、半田25は導圧孔21cの上にただ単に載置されているだけなので、半田25の表面と導圧孔21cの開口端との隙間から、相対圧形圧力センサ20の内部空間、すなわち、導圧孔21cと連通する基準圧力室S1内の空気も吸い出される(吸引される)こととなり、相対圧形圧力センサ20の基準圧力室S1内もまた真空の状態となる。容器11内が真空の状態になったか否かは容器本体11aの上面に取り付けられた真空計11dにより知ることができる。
半田25が溶けて、すべての相対圧形圧力センサ20の導圧孔21cが半田25により塞がれたのを確認したら、温度調節器14のスイッチ14cを切ってヒータ16の加熱を停止させるとともに、真空ポンプ12の作動を停止させて容器11内を大気圧状態に復帰させ、ホルダ15の凹所15a内に載置されている、基準圧力室S1内に真空の状態が形成された絶対圧形圧力センサ30を取り出し、一連の作業を終了する。
なお、真空ポンプ12は、半田25が固まるまで運転される。すなわち、半田25が固まってから真空ポンプ12の作動が停止されるようになっている。
また、ホルダに形成された凹所の平面視形状は、上述したような円形のものに限定されるものではなく、相対圧形圧力センサの形状に合わせて適宜変更され得るものである。
さらに、導圧孔の上に載置される半田の形状は、図3(b)に示すような球状のものに限定されるものではなく、例えば、線状の半田を短く切ったようなものであっても良い。
さらにまた、図3を用いて説明した製造方法では、相対圧形圧力センサをホルダの凹所に載置した後、導圧孔の上に半田を載せるようにしているが、本発明はこれに限定されるものではなく、容器の外で導圧孔の上に予め半田を載せておいて、それをホルダの凹所に載置するようにしても良い。
11 容器(真空チャンバ)
12 真空ポンプ
13 加熱器(加熱手段)
15 ホルダ
16 ヒータ
20 相対圧形圧力センサ
21c 導圧孔
25 半田
30 絶対圧形圧力センサ
S1 基準圧力室
Claims (2)
- 内部に基準圧力室を有し、かつ、一端が前記基準圧力室と連通しているとともに、他端が大気に開放された導圧孔を有する相対圧形圧力センサを、前記導圧孔の他端が上方に開口するように真空チャンバ内に配置する段階と、
前記導圧孔の他端の上に半田を載置する段階と、
前記真空チャンバ内を真空引きする段階と、
前記半田が溶けるまで前記半田を加熱する段階とを具備することを特徴とする絶対圧形圧力センサの製造方法。 - 真空ポンプと、
前記真空ポンプにより内部空間が真空引きされる真空チャンバと、
内部に基準圧力室を有し、かつ、一端が前記基準圧力室と連通しているとともに、他端が大気に開放された導圧孔を有する相対圧形圧力センサが載置されるホルダ、および該ホルダを加熱するヒータを備えるとともに、前記真空チャンバ内に設置された加熱手段とを具備することを特徴とする絶対圧形圧力センサの製造装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004199390A JP2006023115A (ja) | 2004-07-06 | 2004-07-06 | 絶対圧形圧力センサの製造方法および製造装置 |
EP05751449.9A EP1764598B1 (en) | 2004-07-06 | 2005-06-16 | Method and device for producing absolute pressure-type pressure sensor |
KR1020067021859A KR101200784B1 (ko) | 2004-07-06 | 2005-06-16 | 절대압형 압력 센서의 제조 방법 및 제조 장치 |
PCT/JP2005/011050 WO2006003794A1 (ja) | 2004-07-06 | 2005-06-16 | 絶対圧形圧力センサの製造方法および製造装置 |
US11/630,120 US7418873B2 (en) | 2004-07-06 | 2005-06-16 | Method and device for producing absolute pressure-type pressure sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004199390A JP2006023115A (ja) | 2004-07-06 | 2004-07-06 | 絶対圧形圧力センサの製造方法および製造装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006023115A true JP2006023115A (ja) | 2006-01-26 |
Family
ID=35782606
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004199390A Pending JP2006023115A (ja) | 2004-07-06 | 2004-07-06 | 絶対圧形圧力センサの製造方法および製造装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7418873B2 (ja) |
EP (1) | EP1764598B1 (ja) |
JP (1) | JP2006023115A (ja) |
KR (1) | KR101200784B1 (ja) |
WO (1) | WO2006003794A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017096757A (ja) * | 2015-11-24 | 2017-06-01 | トヨタ自動車株式会社 | 筒内圧センサ |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7930944B2 (en) | 2008-05-14 | 2011-04-26 | Honeywell International Inc. | ASIC compensated pressure sensor with soldered sense die attach |
US8371176B2 (en) | 2011-01-06 | 2013-02-12 | Honeywell International Inc. | Media isolated pressure sensor |
US8516897B1 (en) | 2012-02-21 | 2013-08-27 | Honeywell International Inc. | Pressure sensor |
CN209326840U (zh) | 2018-12-27 | 2019-08-30 | 热敏碟公司 | 压力传感器及压力变送器 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5524423A (en) * | 1978-08-10 | 1980-02-21 | Nissan Motor Co Ltd | Semiconductor pressure sensor |
JPS5863826A (ja) * | 1981-10-12 | 1983-04-15 | Nippon Denso Co Ltd | 半導体圧力変換器 |
US4930353A (en) * | 1988-08-07 | 1990-06-05 | Nippondenso Co., Ltd. | Semiconductor pressure sensor |
US5173836A (en) * | 1992-03-05 | 1992-12-22 | Motorola, Inc. | Hermetically sealed interface |
KR0172858B1 (ko) * | 1996-06-10 | 1999-05-01 | 문정환 | 진공 측정 시스템 |
KR100209939B1 (ko) * | 1996-08-22 | 1999-07-15 | 이상훈 | 절대 압력계 |
JP3635824B2 (ja) * | 1996-11-12 | 2005-04-06 | 株式会社デンソー | 半導体圧力センサの出力特性調整方法 |
JP3045089B2 (ja) * | 1996-12-19 | 2000-05-22 | 株式会社村田製作所 | 素子のパッケージ構造およびその製造方法 |
DE102005024215A1 (de) * | 2004-06-03 | 2005-12-22 | Denso Corp., Kariya | Drucksensor |
-
2004
- 2004-07-06 JP JP2004199390A patent/JP2006023115A/ja active Pending
-
2005
- 2005-06-16 WO PCT/JP2005/011050 patent/WO2006003794A1/ja not_active Application Discontinuation
- 2005-06-16 US US11/630,120 patent/US7418873B2/en active Active
- 2005-06-16 EP EP05751449.9A patent/EP1764598B1/en active Active
- 2005-06-16 KR KR1020067021859A patent/KR101200784B1/ko active IP Right Grant
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017096757A (ja) * | 2015-11-24 | 2017-06-01 | トヨタ自動車株式会社 | 筒内圧センサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1764598A1 (en) | 2007-03-21 |
EP1764598B1 (en) | 2019-08-21 |
US7418873B2 (en) | 2008-09-02 |
EP1764598A4 (en) | 2007-12-05 |
KR101200784B1 (ko) | 2012-11-13 |
US20070272024A1 (en) | 2007-11-29 |
WO2006003794A1 (ja) | 2006-01-12 |
KR20070028356A (ko) | 2007-03-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6735845B2 (en) | Method of producing an integrated reference pressure sensor element | |
TWI359264B (en) | Method for controlling the hermeticity of closed c | |
JP5154936B2 (ja) | 静電容量センサのチャンバ内に基準圧力を生成する方法および装置 | |
KR102017300B1 (ko) | 압력 센서 | |
JP2005515884A5 (ja) | ||
US10465436B2 (en) | Evacuation head with ceramic heater for VIG unit manufacture | |
JP2006023115A (ja) | 絶対圧形圧力センサの製造方法および製造装置 | |
EP3337942B1 (en) | Method for producing a vig unit having improved temperature profile | |
TW201334891A (zh) | 燒結機器及製造燒結體之方法 | |
JP5448587B2 (ja) | X線回折計測用の試料ホルダ及びx線回折計測方法 | |
US8196450B2 (en) | Gas chromatograph | |
JP2012198187A (ja) | マイクロ圧力センサ | |
KR101567845B1 (ko) | 금속 기체 투과도 측정장치 | |
JP2009103636A (ja) | 静電容量形レベル測定装置 | |
JP5033851B2 (ja) | 加熱装置 | |
JP2001185528A (ja) | エッチング用治具及びエッチング装置並びにエッチング方法 | |
CN220429402U (zh) | 一种精密调节压膜机温度传感器装置 | |
JPH11339638A (ja) | 表示管及びその製造装置 | |
JP2661939B2 (ja) | 赤外線ヒータの製造方法 | |
JP2005158939A (ja) | 分割ヒーター付きアニール装置及び方法 | |
JP2001198010A (ja) | 流体通路の開閉機構および該開閉機構を用いた圧力調理器 | |
JP2018084483A (ja) | 固体電解質センサの製造方法及び固体電解質センサ | |
EP2144844A2 (en) | Microfluidic structures with integrated devices | |
JP2004275599A (ja) | 炊飯器用表示基板ユニットの気密検査構造及び気密検査方法 | |
JPH05117712A (ja) | 通電焼結装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070518 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070710 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070910 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20071009 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071219 |