JP3635824B2 - 半導体圧力センサの出力特性調整方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は半導体圧力センサの出力特性調整方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体圧力センサにおいては、図14に示す相対圧センサと、図15に示す絶対圧センサとがある。図14に示す相対圧センサは台座40の上にダイヤフラム41を有するセンサチップ42が接合され、台座40に形成された貫通孔43を通して加わる圧力と大気との差圧をダイヤフラム41に設けた検出素子により検出するものである。又、図15に示す絶対圧センサは台座44の上にダイヤフラム45を有するセンサチップ46が接合され、センサチップ46と台座44との間に形成された基準圧力室47と大気圧との差圧をダイヤフラム45に設けた検出素子により検出するものである。
【0003】
一方、圧力センサにおいては所望の出力特性を得るべくトリミングが行われる。トリミングは図14に示す相対圧センサの場合には貫通孔43を通して圧力を印加しつつ抵抗体をレーザトリミングすることにより行い、図15に示す絶対圧センサの場合には内部圧力を調整可能なチャンバを用いて行う。つまり、具体的には特開平5−340830号公報に開示されているようにチャンバ内にレーザトリミング装置を配置してトリミングを行ったり、「Technical Digest ofthe 10th Sensor Symposium,1991.pp.129〜132」に示されているようにチャンバの一部に光透過窓を設け、チャンバの外部から光透過窓を通してチャンバ内のセンサにレーザを照射してトリミングを行う。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、特開平5−340830号公報による方法を用いた場合には、チャンバ内にレーザトリミング装置を配置すると、大容量のチャンバを用意する必要があるとともに一般的によく用いられているレーザトリミング装置をそのまま使用することができない。又、「Technical Digest of the 10th Sensor Symposium,1991.pp.129〜132」による方法を用いた場合には、チャンバに設けた光透過窓に汚れがあると正確なレーザ照射を行うことができないので常に光透過窓の管理を行う必要があった(メンテナンスが必要であった)。
【0005】
そこで、この発明の目的は、容易にレーザトリミングを行うことができる半導体圧力センサの出力特性調整方法を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の発明によれば、第1工程により、内部圧力を調整可能なチャンバ内において、大気圧とは異なる少なくとも2種類の圧力下にて特性値が測定され、第2工程により、大気圧下において、第1工程での特性値を元に特性値を測定しつつ出力特性調整用抵抗がトリミングされる。
【0007】
よって、チャンバ内にトリミング装置を配置する手法やチャンバの外部からチャンバに設けた窓を通してレーザ照射を行う手法を用いることなく、大気中において一般的によく用いられているレーザトリミング装置を用いてレーザトリミングを容易に行うことができる。
【0008】
請求項2に記載の発明によれば、第1工程により、内部圧力を調整可能なチャンバ内において、大気圧とは異なる圧力下にて特性値が測定され、第2工程により、大気圧下において、特性値を測定し当該特性値と第1工程での特性値を元に特性値を測定しつつ出力特性調整用抵抗がトリミングされる。
【0009】
よって、チャンバ内にトリミング装置を配置する手法やチャンバの外部からチャンバに設けた窓を通してレーザ照射を行う手法を用いることなく、大気中において一般的によく用いられているレーザトリミング装置を用いてレーザトリミングを容易に行うことができる。
【0010】
請求項3に記載の発明によれば、第1および第2工程がウェハ状態で行われる。よって、容易に大量生産を行うことができる。
【0011】
【発明の実施の形態】
(第1の実施の形態)
以下、この発明を具体化した第1の実施の形態を図面に従って説明する。
【0012】
図1にはパッケージングされた半導体圧力センサの平面図を示し、図2には図1でのII−II断面図を示す。
樹脂製の封鎖ケース1はケース本体2と蓋体3とからなり、蓋体3はケース本体2の上面部を覆って外周縁がレジンボンドで密着固定されている。ケース本体2の上面中央部には矩形の凹部4が形成されている。この凹部4内には半導体圧力センサ(集積化圧力センサ)5が配置されている。
【0013】
図3には半導体圧力センサ5の斜視図を示す。半導体圧力センサ5はセンサ本体としてのセンサチップ(シリコンチップ)6とガラス台座7とからなる。ガラス台座7は図1,2に示すように、ケース本体2の凹部4の底面に接着剤8により気密状態で接合されている。このガラス台座7の上面にはセンサチップ6が気密状態で接合されている。
【0014】
センサチップ6を詳細に説明すると、図3に示すように、センサチップ6の下面中央部において凹部が形成され、この凹部の底面がダイヤフラム(薄肉部)9となっている。。このダイヤフラム9には4つのピエゾ抵抗層10が不純物拡散にて形成されており、ピエゾ抵抗層10がゲージ抵抗として機能する。又、センサチップ6におけるダイヤフラム9の周辺部(厚肉部)には、出力特性調整用抵抗(薄膜抵抗)11を有する信号処理回路12が集積化して形成されている。この信号処理回路12はピエゾ抵抗層10より生ずる信号に対し増幅等の処理を行う。
【0015】
このセンサチップ6とガラス台座7とが接合されることによりダイヤフラム9の凹部の開口部が閉じられて基準圧力室13が形成されている。
図1,2において、ケース本体2の上面とセンサチップ6の上面とはほぼ同じ高さとなっており、ケース本体2の上面には3枚の端子板14が埋設されている。これら端子板14とセンサチップ6の間がボンディングワイヤ15で接続されている。又、ケース本体2における端子板14に近い部位には圧力導入孔16がケース本体2を上下方向に貫通するように設けられ、この圧力導入孔16により被検出対象の圧力が閉鎖ケース1内に導入されている。
【0016】
センサチップ6の表面はシリコーンゲル17で覆われている。又、各端子板14の端部はそれぞれケース本体2の外側に延設されており、外部端子(入出力端子)18となっている。
【0017】
このように、半導体圧力センサ5はセンサチップ6にダイヤフラム9と出力特性調整用抵抗11とを備え、センサチップ6がガラス台座7の上に接合され、センサチップ6とガラス台座7との間に形成された基準圧力室13に対する外部の印加圧力をダイヤフラム9に設けた検出素子としてのピエゾ抵抗層10にて検出できるようになっている。
【0018】
図4には、半導体圧力センサ5の電気的構成、即ち、ピエゾ抵抗層(ゲージ抵抗)10を含めた信号処理回路12の電気的構成を示す。
ダイヤフラム9に形成された4つのピエゾ抵抗層10はフルブリッジ接続されている。この4つのピエゾ抵抗層10を、図4においては抵抗Rs1, Rs2, Rs3, Rs4にて示す。又、抵抗Rs2に対して直列に抵抗Rtr1 が接続されるとともに、抵抗Rs4に対して直列に抵抗Rtr2 が接続されている。これらの抵抗Rtr1 ,Rtr2 は抵抗R1,R2を介してグランド電位が印加される。
【0019】
このブリッジ回路へは抵抗R3,R4,R5,R6およびオペアンプOP1より構成される定電流回路C1から定電流が供給される。ブリッジ回路は、その定電流の供給を受けてダイヤフラム9への印加圧力に応じた電圧を図4のα点とβ点の電位差として出力する。
【0020】
このα−β間電圧は、オペアンプOP2,OP3,OP4、トランジスタTr1, Tr2、抵抗R7,R8,R9,Rtr3 ,Rtr4 等よりなる差動増幅回路にて処理され、センサ信号出力用端子OUTから出力される。
【0021】
ここで、抵抗Rtr1 ,Rtr2 ,Rtr3 ,Rtr4 は、出力特性調整用のトリミング抵抗(図3の出力特性調整用抵抗11相当品)であって、レーザ加工にてその抵抗値を調整できるようになっている。
【0022】
次に、半導体圧力センサ5の出力特性を図5を用いて説明する。
図5において、横軸に圧力をとり、縦軸にセンサ出力、即ち、図4の出力端子OUTからの出力値をとっている。この図5において特性線L1にて示すように、圧力P1での出力値が「V1」であり、圧力P2での出力値が「V2」となる特性を有する。より具体的には、P1=150kPa、V1=1.2ボルト、P2=750kPa、V2=3.6ボルトとなっている。
【0023】
次に、このように構成した半導体圧力センサ6の製造方法を説明する。
まず、図6に示すように、シリコンウェハ20を用意する。このシリコンウェハ20には、図3に示すチップ毎の出力特性調整用抵抗11を有する信号処理回路12とチップ毎の薄肉のダイヤフラム9とチップ毎のピエゾ抵抗層10とが形成されている。そして、図7に示すように、基準圧力下において、ガラス台座形成用ウェハ21の上にシリコンウェハ20を陽極接合する。この接合により、各圧力センサでのダイヤフラム9の凹部の開口部が塞がれ基準圧力室13が形成される。
【0024】
引き続き、図8に示す出力測定装置を用意する。つまり、チャンバ22には連通管23を介して圧力調整装置(真空ポンプおよび圧力計)24が接続され、この圧力調整装置24によりチャンバ22の内部圧力を所望の値に設定することができるようになっている。チャンバ22内にはウェハ載置台25および移動装置26が配置され、ウェハ載置台25の上にウェハが保持でき、移動装置26はウェハ載置台25を移動させることができる。又、チャンバ22内には測定用ボード27が配置され、同ボード27には測定針28が設けられている。測定用ボード27には出力測定機器29が接続され、出力測定機器29により測定針28からの電気信号に対し増幅等の処理を行うとともに出力の測定結果の表示を行う。
【0025】
そして、製造工程においては、チャンバ22内でのウェハ載置台25の上にウェハ20,21を保持し、移動装置26にて測定針28の下までウェハ20,21を移動するとともに、チップ内のパッド(図3にて符号19にて示す)と測定針28とを接触させる。これにより図4のE点とH点での電位差をブリッジ出力として得ることができる状態となる。この状態で圧力調整装置24を用いてチャンバ22内を第1の圧力(例えば、20kPa)にし、出力測定機器29により、その圧力下における半導体圧力センサ5のブリッジ出力を測定する。
【0026】
次に、チャンバ22内にウェハ20,21を配置した状態で、圧力調整装置24にてチャンバ22内を第2の圧力(例えば、100kPa)にし、その圧力下における半導体圧力センサ5のブリッジ出力(図4のE−H間の電圧)を出力測定機器29により測定する。
【0027】
この大気圧以外の2つの圧力下におけるブリッジ出力の測定により図11に示す2つのプロット点A,Bを得る。つまり、図11の横軸には圧力をとり、縦軸にはブリッジ出力値をとっており、2つのプロット点A(P11,V11),B(P12,V12)を結ぶ直線L11は、その傾きをθ1とし、切片(圧力ゼロでのブリッジ出力値)をV10としている。
【0028】
そして、図8のチャンバ22からウェハ20,21を取り出し、大気下において同ウェハ20,21をレーザトリミング装置にセットする。つまり、図9に示すように、ステージ30上に、シリコンウェハ20が接合されたガラス台座形成用ウェハ21を載置するとともに、測定針31をパッド(図3のパッド19相当品)に当てながらレーザ装置32からのレーザビームをトリミング用抵抗Rtr1 又はRtr2 (図4参照)に照射して抵抗値を調整する。このとき、ブリッジ出力(図4のE−H間電圧)を測定しつつトリミングを行う。
【0029】
その結果、図11においてL12に示すようにブリッジ出力特性をL11から切片が「0」となる特性線L12に調整される。
より詳しく説明すると、図11の直線L11は圧力Pとブリッジ出力Vとの関係式として次のように表される。
【0030】
【数1】
よって、圧力「0」にてブリッジ出力「0」となる直線L12とは大気圧Patmoにおいて
【0031】
【数2】
となるブリッジ出力Vset であり、このブリッジ出力Vset となるようにレーザトリミングを行う。
【0032】
引き続き、図9の測定針31をパッド(図3のパッド19に相当する他のパッド)に当て、図4の出力端子OUTからのセンサ出力を測定しつつレーザ装置32からのレーザビームをトリミング用抵抗Rtr3 (図4参照)に照射して抵抗値を調整する。
【0033】
その結果、図12においてL20にて示す出力特性の傾きθ1がθ2に変更され、直線L21となる。つまり、図4のトリミング用抵抗Rtr3 の抵抗値を調整することにより、図12において圧力「0」の点を回転中心にして特性線の傾きが変更される。
【0034】
さらに、図4の出力端子OUTからのセンサ出力を測定しつつ、図9のレーザ装置32からのレーザビームをトリミング用抵抗Rtr4 (図4参照)に照射して抵抗値を調整する。
【0035】
その結果、図5において直線L21を縦軸方向に平行移動させて目的の特性線L1を得ることができる。
このように調整を終えた後、図10に示すように、シリコンウェハ20、ガラス台座形成用ウェハ21を、チップ毎にダイシングして裁断する。その結果、図3の半導体圧力センサ5が製造される。
【0036】
このように本実施の形態は、下記の特徴を有する。
(イ)内部圧力を調整可能なチャンバ22内において、大気圧とは異なる2種類の圧力下(図11のP11, P12)にて特性値(ブリッジ出力値V11, V12)を測定し(第1工程)、第2工程として大気圧下において、第1工程での特性値(ブリッジ出力値V11, V12)を元にブリッジ出力値を測定しつつ出力特性調整用抵抗11(図4のRtr1 又はRtr2 )をトリミングするようにした。よって、チャンバ22内にトリミング装置を配置する手法やチャンバの外部からチャンバに設けた窓を通してレーザ照射を行う手法を用いることなく、大気中において一般的によく用いられているレーザトリミング装置を用いてレーザトリミングを容易に行うことができる。
(ロ)前記第1および第2工程はウェハ状態で行うようにしたので、容易に大量生産を行うことができる。
【0037】
これまで述べた第1の実施の形態においては、チャンバ22内において大気圧とは異なる2種類の圧力下(P11, P12)にて特性値(ブリッジ出力値V11, V12)を測定したが、チャンバ22内において大気圧とは異なる3種類以上の圧力下にて特性値(ブリッジ出力値)を測定し、この特性値(ブリッジ出力値)を元に大気圧下において特性値(ブリッジ出力値)を測定しつつ出力特性調整用抵抗をトリミングしてもよい。つまり、図11においてはA点とB点の2点にて直線L11を決定したが、3点以上のプロット点から最小二乗法等により直線L11を決定してもよい。
【0038】
又、図8において測定ボード27の下面に圧力測定器33を配置し、この測定結果に基づいて圧力調整装置24にてチャンバ22の内部を所望の圧力に設定するようにしてもよい。このようにチャンバ22内でのダイヤフラムの圧力を圧力測定器33にて測定することにより、チャンバ22内における圧力分布による圧力誤差を補償することができ、正確なる出力の測定を行うことができる。つまり、チャンバ22内の圧力分布が一様でなく、特にウェハを移動させるような大きな装置26が入ったチャンバ22内において内部の圧力を一様に保つのが困難な場合においても高精度なトリミングを行うことができることとなる。
(第2の実施の形態)
次に、第2の実施の形態を第1の実施の形態との相違点を中心に説明する。
【0039】
前記第1の実施の形態においては、チャンバ22内において大気圧とは異なる少なくとも2種類の圧力下にてブリッジ出力値V11,V12を測定し、大気圧下においてブリッジ出力値V11,V12を元にブリッジ出力値を測定しつつ抵抗をトリミングした。これに対し、本実施の形態では、内部圧力を調整可能なチャンバ22内において、大気圧とは異なる圧力下にてブリッジ出力値を測定し、大気圧下において、ブリッジ出力値を測定し、当該出力値と前記ブリッジ出力値を元にブリッジ出力値を測定しつつ抵抗をトリミングする。
【0040】
より具体的には、図8のチャンバ22内において、大気圧とは異なる図13の圧力P11においてブリッジ出力値V11を測定する。そして、ウェハ20,21をチャンバ22から出して大気中でのブリッジ出力の測定を行い、図13のブリッジ出力値V13を得る。さらに、図9のレーザ装置32を用いてトリミングを行う。
【0041】
このように本実施の形態は、下記の特徴を有する。
(イ)内部圧力を調整可能なチャンバ22内において、大気圧とは異なる圧力下(P11) にて特性値(ブリッジ出力値V11)を測定し(第1工程)、大気圧下において、特性値(ブリッジ出力値V13)を測定し当該特性値(ブリッジ出力値V13)と第1工程での特性値(ブリッジ出力値V11)を元に特性値(ブリッジ出力値)を測定しつつ出力特性調整用抵抗をトリミングするようにした(第2工程)。よって、本実施の形態においても、チャンバ22内にトリミング装置を配置する手法やチャンバの外部からチャンバに設けた窓を通してレーザ照射を行う手法を用いることなく、大気中において一般的によく用いられているレーザトリミング装置を用いてレーザトリミングを容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 第1の実施の形態におけるパッケージングされた半導体圧力センサの平面図。
【図2】 図1のII−II断面図。
【図3】 半導体圧力センサの斜視図。
【図4】 半導体圧力センサの電気的構成を示す図。
【図5】 出力特性を示す図。
【図6】 半導体圧力センサの製造工程を説明するための断面図。
【図7】 半導体圧力センサの製造工程を説明するための断面図。
【図8】 半導体圧力センサの製造工程を説明するための断面図。
【図9】 半導体圧力センサの製造工程を説明するための断面図。
【図10】 半導体圧力センサの製造工程を説明するための断面図。
【図11】 トリミングを説明するための図。
【図12】 トリミングを説明するための図。
【図13】 第2の実施の形態におけるトリミングを説明するための図。
【図14】 相対圧センサを示す断面図。
【図15】 絶対圧センサを示す断面図。
【符号の説明】
6…センサ本体としてのセンサチップ、7…ガラス台座、9…ダイヤフラム、10…検出素子としてのピエゾ抵抗層、11…出力特性調整用抵抗、13…基準圧力室、22…チャンバ
Claims (3)
- センサ本体に少なくともダイヤフラムと出力特性調整用抵抗とを備え、当該センサ本体が台座の上に接合され、センサ本体と台座との間に形成された基準圧力室に対する外部の印加圧力をダイヤフラムに設けた検出素子にて検出する半導体圧力センサの出力特性調整方法であって、
内部圧力を調整可能なチャンバ内において、大気圧とは異なる少なくとも2種類の圧力下にて特性値を測定する第1工程と、
大気圧下において、前記第1工程での特性値を元に特性値を測定しつつ前記出力特性調整用抵抗をトリミングする第2工程と
を備えたことを特徴とする半導体圧力センサの出力特性調整方法。 - センサ本体に少なくともダイヤフラムと出力特性調整用抵抗とを備え、当該センサ本体が台座の上に接合され、センサ本体と台座との間に形成された基準圧力室に対する外部の印加圧力をダイヤフラムに設けた検出素子にて検出する半導体圧力センサの出力特性調整方法であって、
内部圧力を調整可能なチャンバ内において、大気圧とは異なる圧力下にて特性値を測定する第1工程と、
大気圧下において、特性値を測定し当該特性値と前記第1工程での特性値を元に特性値を測定しつつ前記出力特性調整用抵抗をトリミングする第2工程と
を備えたことを特徴とする半導体圧力センサの出力特性調整方法。 - 前記第1および第2工程はウェハ状態で行うものである請求項1又は2に記載の半導体圧力センサの出力特性調整方法。
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