JP2006022401A - Cmr薄膜の形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 CMOSデバイス作製における使用に適したCMR薄膜の形成方法であって、その上に初期デバイス構造の形成工程を含む基板を準備する工程と、CMRターゲットを備えるRFスパッタリング堆積チャンバー内のウェハチャックに基板を設置する工程12と、RFスパッタリング工程の間にナノサイズのCMR結晶を形成するために450℃未満の温度にウェハを加熱する工程14と、所定のチャンバー圧でスパッタリングガスを堆積チャンバー内に導入する工程16と、CMR材料を基板上に堆積させるためにCMRターゲットにRFパワーを印加する工程18と、デバイス作製を完成させる工程と、を有する。
【選択図】 図1
Description
12: RFスパッタリング堆積チャンバー内のウェハチャックに基板を設置する工程
14: ウェハを加熱する工程
16: 所定のチャンバー圧でスパッタリングガスを堆積チャンバー内に導入する工程
18: CMRターゲットにRFパワーを印加する工程
20: 堆積完了後にウェハを取り出す工程
22: 上部電極を堆積する工程
24: 本発明に係るCMR薄膜の形成方法で作製されたサンプルの初期抵抗のウェハ面内分布
26: 本発明に係るCMR薄膜の形成方法で作製されたサンプルの高抵抗のウェハ面内分布
28: 本発明に係るCMR薄膜の形成方法で作製されたサンプルの低抵抗のウェハ面内分布
30: 低温堆積PCMO薄膜のXRDパターン
32: 高温堆積PCMO薄膜のXRDパターン
34: XRD(X線回折)112ピーク
Claims (18)
- CMOSデバイス作製における使用に適したCMR薄膜の形成方法であって、
その上に初期デバイス構造の形成工程を含む基板を準備する工程と、
CMRターゲットを備えるRFスパッタリング堆積チャンバー内のウェハチャックに前記基板を設置する工程と、
RFスパッタリング工程の間にナノサイズのCMR結晶を形成するために450℃未満の温度に前記ウェハを加熱する工程と、
所定のチャンバー圧でスパッタリングガスを前記堆積チャンバー内に導入する工程と、
CMR材料を前記基板上に堆積させるために前記CMRターゲットにRFパワーを印加する工程と、
前記作製を完成させる工程と、を有することを特徴とするCMR薄膜の形成方法。 - 前記基板を準備する工程が、シリコン基板上への下部電極の堆積工程を含み、
前記シリコン基板上への下部電極の堆積工程において、Pt、Ir、及び、Rhを含む材料群から選択される電極材料が堆積され、
前記下部電極が、前記シリコン基板上に形成されたSiO2層上に堆積されることを特徴とする請求項1に記載のCMR薄膜の形成方法。 - 前記450℃未満の温度に前記ウェハを加熱する工程において、前記ウェハの温度が約400℃に維持されることを特徴とする請求項1に記載のCMR薄膜の形成方法。
- 前記スパッタリングガスを前記堆積チャンバー内に導入する工程において、O2含有率が少なくとも10%のO2とArの混合物を導入することを特徴とする請求項1に記載のCMR薄膜の形成方法。
- 前記スパッタリングガスを前記堆積チャンバー内に導入する工程において、前記チャンバー圧を、約0.66661〜13.3322Pa(約5〜100mTorr)の圧力範囲内に維持することを特徴とする請求項1に記載のCMR薄膜の形成方法。
- 前記CMRターゲットにRFパワーを印加する工程において、約100〜500Wの間のRFパワーを印加することを特徴とする請求項1に記載のCMR薄膜の形成方法。
- 前記CMR薄膜のXRD112ピークが、高温堆積されたPCMO(PrxCa1−xMnO3)薄膜と比較して、より小さく且つより幅広く現出することを特徴とするCMR薄膜の形成方法。
- CMOSデバイス作製における使用に適したCMR薄膜の形成方法であって、
その上に初期デバイス構造の形成工程を含む基板を準備する工程と、
CMRターゲットを備えるRFスパッタリング堆積チャンバー内のウェハチャックに前記基板を設置する工程と、
RFスパッタリング工程の間にナノサイズのCMR結晶を形成するために450℃未満の温度に前記ウェハを加熱する工程と、
所定のチャンバー圧でAr/O2スパッタリングガスを前記堆積チャンバー内に導入する工程と、
CMR材料を前記基板上に堆積させるために前記CMRターゲットにRFパワーを印加する工程と、
前記作製を完成させる工程と、を有することを特徴とするCMR薄膜の形成方法。 - 前記基板を準備する工程が、シリコン基板上への下部電極の堆積工程を含み、
前記シリコン基板上への下部電極の堆積工程において、Pt、Ir、及び、Rhを含む材料群から選択される電極材料が堆積されることを特徴とする請求項8に記載のCMR薄膜の形成方法。 - 前記下部電極が、前記シリコン基板上に形成されたSiO2層上に堆積されることを特徴とする請求項9に記載のCMR薄膜の形成方法。
- 前記Ar/O2スパッタリングガスを前記堆積チャンバー内に導入する工程において、O2含有率が少なくとも10%のO2とArの混合物を導入することを特徴とする請求項8に記載のCMR薄膜の形成方法。
- 前記スパッタリングガスを前記堆積チャンバー内に導入する工程において、前記チャンバー圧を、約0.66661〜13.3322Pa(約5〜100mTorr)の圧力範囲内に維持することを特徴とする請求項8に記載のCMR薄膜の形成方法。
- 前記CMRターゲットにRFパワーを印加する工程において、約100〜500Wの間のRFパワーを印加することを特徴とする請求項8に記載のCMR薄膜の形成方法。
- 前記CMR薄膜のXRD112ピークが、高温堆積されたPCMO(PrxCa1−xMnO3)薄膜と比較して、より小さく且つより幅広く現出することを特徴とするCMR薄膜の形成方法。
- CMOSデバイス作製における使用に適したCMR薄膜の形成方法であって、
シリコン基板上に下部電極を堆積する工程を含む基板を準備する工程と、
CMRターゲットを備えるRFスパッタリング堆積チャンバー内のウェハチャックに前記基板を設置する工程と、
RFスパッタリング工程の間にナノサイズのCMR結晶を形成するために450℃未満の温度に前記ウェハを加熱する工程と、
所定のチャンバー圧でO2含有率が少なくとも10%のAr/O2スパッタリングガスを前記堆積チャンバー内に導入する工程と、
CMR材料を前記基板上に堆積させるために前記CMRターゲットにRFパワーを印加する工程と、
前記作製を完成させる工程と、を有し、
前記シリコン基板上に下部電極を堆積する工程において、Pt、Ir、及び、Rhを含む材料群から選択される電極材料が堆積され、前記下部電極が、前記シリコン基板上に形成されたTi/SiO2層上に堆積されることを特徴とするCMR薄膜の形成方法。 - 前記Ar/O2スパッタリングガスを前記堆積チャンバー内に導入する工程において、前記チャンバー圧を、約0.66661〜13.3322Pa(約5〜100mTorr)の圧力範囲内に維持することを特徴とする請求項15に記載のCMR薄膜の形成方法。
- 前記CMRターゲットにRFパワーを印加する工程において、約100〜500Wの間のRFパワーを印加することを特徴とする請求項15に記載のCMR薄膜の形成方法。
- 前記CMR薄膜のXRD112ピークが、高温堆積されたPCMO(PrxCa1−xMnO3)薄膜と比較して、より小さく且つより幅広く現出することを特徴とするCMR薄膜の形成方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI626327B (zh) * | 2016-06-12 | 2018-06-11 | 半導體設備的成膜方法、氮化鋁成膜方法以及電子裝置 |
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JPH03196508A (ja) * | 1989-12-26 | 1991-08-28 | Toshiba Corp | 酸化物磁心 |
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2005
- 2005-05-19 JP JP2005146215A patent/JP2006022401A/ja active Pending
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