JP2006019499A - 算出装置、設定装置、基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板処理装置の装置タクトを設定する設定装置2に、各処理ユニット12〜15の動作機構のパラメータの値を記憶するパラメータ値記憶部34と、パラメータ値記憶部34に記憶されたパラメータの値を操作者が変更するための入力部36と、パラメータ値記憶部34に記憶されたパラメータの値を用いた場合の各処理ユニット12〜15の処理時間を求める処理時間算出部222と、処理時間算出部222により求められた処理時間を操作者に報知する表示部31と、操作者が装置タクトを入力するための入力部36と、入力部36により入力された装置タクトを処理ユニット群12〜15に基板を投入する装置11,21に設定する装置タクト送信部38とを備える。
【選択図】 図7
Description
11 LDユニット(基板を投入する装置)
12 洗浄ユニット(処理ユニット)
13 デハイドベークオーブンユニット(処理ユニット)
14 コーターユニット(処理ユニット)
15 プリベークオーブンユニット(処理ユニット)
2 装置タクト設定装置(設定装置)
2A 処理時間算出装置(算出装置)
22〜25 ユニットコントローラ(ユニット制御部)
221 処理時間送信部(処理時間送信手段)
222 処理時間算出部(処理時間取得手段)
223 パラメータ値受信部(パラメータ受信手段)
3 メインコントローラ(主制御部)
31 表示部(報知手段)
32 処理時間受信部(処理時間受信手段)
33 装置タクト決定部(選定手段)
34 パラメータ値記憶部(記憶手段)
35 パラメータ値送信部(パラメータ送信手段)
36 入力部(変更手段、入力手段)
38 装置タクト送信部(設定手段)
Claims (10)
- 基板に一連の処理を施す複数の処理ユニット群に対して基板を連続的に投入する際の時間間隔を算出する算出装置であって、
前記各処理ユニットの動作機構の動作速度と処理時間の少なくともいずれか一方であるパラメータの値を記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶されたパラメータの値を操作者が変更するための変更手段と、
前記記憶手段に記憶されたパラメータの値を用いた場合の前記各処理ユニットの処理時間を求める処理時間取得手段と、
前記処理時間取得手段により求められた前記処理時間を操作者に報知する報知手段とを備える算出装置。 - 基板に一連の処理を施す複数の処理ユニット群に対して基板を連続的に投入する際の時間間隔を設定する設定装置であって、
請求項1に記載の算出装置と、
操作者が前記時間間隔を入力するための入力手段と、
前記入力手段により入力された前記時間間隔を前記処理ユニット群の最上流の処理ユニットに基板を投入する装置に設定する設定手段とを備える設定装置。 - 前記処理時間取得手段は、前記パラメータの値に基づいて計算により前記処理時間を算出することにより処理時間を求める請求項2に記載の設定装置。
- 前記処理時間取得手段は、前記パラメータの値に基づいて前記各処理ユニットが動作を行った場合における前記処理時間を実測することにより処理時間を求める請求項2に記載の設定装置。
- 基板に一連の処理を施す複数の処理ユニット群に対して基板を連続的に投入する際の時間間隔を設定する設定装置であって、
前記各処理ユニットの動作機構の動作速度と処理時間の少なくともいずれか一方であるパラメータの値を記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶されたパラメータの値を操作者が変更するための変更手段と、
前記記憶手段に記憶されたパラメータの値を用いた場合の前記各処理ユニットの処理時間を求める処理時間取得手段と、
前記処理時間取得手段により求められた各処理ユニットの処理時間のうち最も遅い処理時間を選定する選定手段と、
前記選定手段により選定された処理時間を前記時間間隔として、前記処理ユニット群の最上流の処理ユニットに基板を投入する装置に設定する設定手段とを備える設定装置。 - 前記処理時間取得手段は、前記パラメータの値に基づいて計算により前記処理時間を算出することにより処理時間を求める請求項5に記載の設定装置。
- 前記処理時間取得手段は、前記パラメータの値に基づいて前記各処理ユニットが動作を行った場合における前記処理時間を実測することにより処理時間を求める請求項5に記載の設定装置。
- 基板に一連の処理を施す複数の処理ユニット群に対して基板を連続的に投入する際の時間間隔を設定する設定装置であって、
前記各処理ユニットにそれぞれ電気的に接続されたユニット制御部と、
前記各ユニット制御部と通信回線により接続された主制御部とを備え、
前記主制御部は、前記各処理ユニットの動作機構の動作速度と処理時間の少なくともいずれか一方であるパラメータの値を記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶されたパラメータの値を操作者が変更するための変更手段と、前記記憶手段に記憶されたパラメータのうち前記各処理ユニットに属するパラメータを、そのパラメータの属する処理ユニットに接続されたユニット制御部に送信するパラメータ送信手段と、前記パラメータ送信手段により送信されたパラメータを用いた場合の前記各処理ユニットの処理時間を各処理ユニットに接続されたユニット制御部から受信する処理時間受信手段と、前記処理時間受信手段により受信された前記処理時間を操作者に報知する報知手段と、操作者が前記時間間隔を入力するための入力手段と、前記入力手段により入力された前記時間間隔を前記処理ユニット群の最上流の処理ユニットに基板を投入する装置に設定する設定手段とを備え、
前記ユニット制御部は、前記パラメータ送信手段により送信されたパラメータを受信するパラメータ受信手段と、前記パラメータ受信手段により受信されたパラメータの値を用いた場合の、当該ユニット制御部に接続された処理ユニットの処理時間を求める処理時間取得手段と、前記処理時間取得手段により求められた処理時間を前記主制御装置に送信する処理時間送信手段と
を備える設定装置。 - 基板に一連の処理を施す複数の処理ユニット群に対して基板を連続的に投入する際の時間間隔を設定する設定装置であって、
前記各処理ユニットにそれぞれ電気的に接続されたユニット制御部と、
前記各ユニット制御部と通信回線により接続された主制御部とを備え、
前記主制御部は、前記各処理ユニットの動作機構の動作速度と処理時間の少なくともいずれか一方であるパラメータの値を記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶されたパラメータの値を操作者が変更するための変更手段と、前記記憶手段に記憶されたパラメータのうち前記各処理ユニットに属するパラメータを、そのパラメータの属する処理ユニットに接続されたユニット制御部に送信するパラメータ送信手段と、前記パラメータ送信手段により送信されたパラメータを用いた場合の前記各処理ユニットの処理時間を各処理ユニットに接続されたユニット制御部から受信する処理時間受信手段と、前記処理時間受信手段により受信された各処理ユニットの処理時間のうち最も遅い処理時間を選定する選定手段と、前記選定手段により選定された処理時間を前記時間間隔として前記処理ユニット群の最上流の処理ユニットに基板を投入する装置に設定する設定手段とを備え、
前記ユニット制御部は、前記パラメータ送信手段により送信されたパラメータを受信するパラメータ受信手段と、前記パラメータ受信手段により受信されたパラメータの値を用いた場合の、当該ユニット制御部に接続された処理ユニットの処理時間を求める処理時間取得手段と、前記処理時間取得手段により求められた処理時間を前記主制御装置に送信する処理時間送信手段と
を備える設定装置。 - 請求項2〜9のいずれかに記載の設定装置を備える基板処理装置。
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