JP2006017421A - 冷凍機の熱交換器 - Google Patents
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Abstract
【構成】銅等の熱伝導性に優れた金属ブロックまたは金属板を素材とし、これにフォトリソグラフィー等で選択エッチング加工を施されて形成された所望の外形および作動流体が流通する丸孔211を備えている。選択エッチング加工によるので、面積の大きな素材から一度に多数の熱交換器を製作できて、量産性に優れていて安価となり、且つ丸孔を丸以外の熱交換効率のより良い形状の孔に置き換えることも容易であり、積層一体型の熱交換器にして素材の板厚を選ぶことで、所望の加工精度を得ることができ、熱交換器を収容する母体との間に優れた伝熱性能を得ることができる。
【選択図】 図1
Description
図5はこのパルス管冷凍機の構成を示す概要図である。パルス管冷凍機は、圧縮機1、アフタークーラ2、蓄冷器3、コールドヘッド4、パルス管5、高温端6および位相制御機構7から構成されており、これの冷凍作用発生原理は、以下の通りに理解されている。
この冷凍機の内部に封入されている作動ガス(例えばヘリウムガス)は、所定の周波数で往復運動する圧縮機1によって圧縮と膨張を繰返えされる。まず、圧縮機1の圧縮過程においては、圧縮されて圧縮熱を発生した作動ガスは、アフタークーラ2で熱交換器21を介して圧縮熱を外部に放出する(断熱圧縮行程)。圧縮された作動ガスは、蓄冷器3およびコールドヘッド4を通ってパルス管5に流入する(等温行程)。パルス管5においては、作動ガスは膨張して寒冷を発生する(断熱膨張行程)。この際、位相制御機構7によって、作動ガスの圧力と流速との位相が調整される。位相制御機構7はイナータンスチューブ71とバッファータンク72とで構成されており、作動ガスはこの中をほぼ正弦波的な圧力振幅を伴って流れる。電気回路に例えると、イナータンスチューブ71はインダクタンスおよび抵抗のインピーダンス成分に相当し、バッファータンク72はキャパシタンス成分に相当する。上記のようにして発生した寒冷が、低温熱交換器41を介してコールドヘッド4から吸熱する。次に、圧縮機1の膨張過程においては、パルス管5で冷却された作動ガスが、蓄冷器3と準静的に熱交換しながらアフタークーラ2を通って圧縮機1に戻ってくる(等温行程)。以上の4つの工程を繰り返すことによって、コールドヘッド4は極低温まで冷却される。
この種の冷凍機としては、特許文献1に記載されているものがよく知られている。
素材である金属ブロックまたは金属板に選択エッチング加工によって所望の外形および作動ガスの流路となる複数の貫通孔を形成するので、一度に多くの熱交換器を形成することができて量産性に優れていて加工コストが安く、加工できる外形および貫通孔の形状に対する自由度が高い。しかも、金属ブロックまたは金属板から所望の外形に作られるので、母体との熱の伝達性能が優れている。
複数枚を積層して一体に接合するため、個々の金属ブロックまたは金属板の厚さを薄くすることができるので、選択エッチング加工の精度を高めることができる。
請求項2の発明においては、複数枚を積層して一体に接合するため、個々の金属ブロックまたは金属板の厚さを薄くすることができるので、選択エッチング加工の精度を高めることができる。したがって、この発明によれば、加工精度の向上に伴って熱交換性能がより高められる。
この実施例の熱交換器21は、熱交換器21と同じ厚さを有する銅板を素材とし、その両面に位置合わせされたエッチングマスクをフォトリソグラフィーで形成し、このエッチングマスクを保護膜として両面から同時に選択エッチングして形成されたものである。外周エッチング部212および作動ガスの流路となる丸孔211の形成される部分をエッチングすることによって、熱交換器21の外形と多数の同じ大きさの丸孔211とを同時に形成している。熱交換器としての機能を確保するためにある程度の厚さが必要であるため、両面からのエッチングを採用して、必要なエッチング深さを少なくし、エッチングによる寸法精度を高めている。
このようにして作製される熱交換器21は、1回の製造工程で大量に製造でき、安価となる。
なお、素材は銅板に限定されず、熱伝導性に優れた材料であればよい。
また、素材の状態は、板状に限定されず、熱交換器の厚さが厚くなる場合には、ブロック状の場合もある。
この実施例の熱交換器21aは、実施例1における素材の銅板を熱交換器の厚さの数分の1の厚さとし、この厚さで実施例1と同様にして形成される熱交換器素板21a′を複数枚重ね合わせて一体化したものである。一体化時には、それぞれの外周および丸孔211a′は位置合わせされる。一体化の技術としては、拡散接合やロー付け等を採用することができる。素材の板厚が薄くなるので、エッチング加工の寸法精度が高くなり、熱交換器と母体との熱伝達性能が向上する。また、片面からの選択エッチング加工を採用しても所望の性能を得ることができるようになる。
この実施例の丸孔211bは、それぞれの丸孔の中心位置に関しては、実施例1および実施例2の場合と同じであるが、丸孔の大きさが下記のように位置によって異なる。すなわち、中央部の丸孔が最も大きく外周部の丸孔が最も小さく、中央部から外周部に向かって徐々に小さくなっている。したがって、外側ほど銅板の残っている部分の割合が大きく、銅板の熱抵抗は外側ほど小さくなっている。
このような加工は、フォトリソグラフィーに使用するマスクをそのように設計すればよいので、加工上において何らの制約にもならない。
この実施例は丸孔の大きさで外側ほど熱抵抗を小さくすることに対応しているが、丸孔の大きさは同じにし且つ中心間距離を外側ほど広くすることによっても、外側ほど熱抵抗を小さくすることは実現できる。
図4は実施例4の効果を示し、(a)は丸孔211の平面図とそれに対応する面積および周長の計算式、(b)は正六角形孔213の平面図とそれに対応する面積および周長の計算式である。
丸孔211と正六角形孔213との中心間距離を同じとし、且つ図4に示したDとLとを同じ(D=L)とした場合には、孔間に残る金属部分の幅は同じでありながら、面積および周長において、正六角形孔213の方が丸孔211より約10%大きくなる。面積を大きくすれば作動ガスの流速を遅くし、周長を長くすれば作動ガスとの接触面積が増大し、共に熱の伝達性能を向上させる。
以上4つの実施例に対して、接触熱抵抗を更に低減するために更に精度の高い外形とする必要がある場合には、外形の仕上げ加工としてワイヤカットやレーザカット等を採用することが有効である。
2 アフタークーラ
21、21a、21b 熱交換器
211、211a、211b 丸孔
212 外周エッチング部
213 正六角形孔
21a′ 熱交換器用素板
211a′ 丸孔
212a′ 外周エッチング部
3 蓄冷器
4 コールドヘッド
41 低温熱交換器
5 パルス管
6 高温端
61 高温熱交換器
7 位相制御機構
71 イナータンスチューブ 72 バッファータンク
Claims (2)
- 圧縮機による作動ガスの圧縮および膨張の繰返しによって、封入された作動ガスが通過する容器の所定部分を極低温まで冷却する冷凍機の熱交換器であって、
熱伝導性の優れた金属ブロックまたは金属板を素材とし、この金属ブロックまたは金属板に選択エッチング加工で形成された所望の外形および作動ガスの流路となる複数の貫通孔を備えている、
ことを特徴とする冷凍機の熱交換器。 - 複数枚の請求項1に記載の冷凍機の熱交換器を、貫通孔が連通するように積層して一体に接合している、
ことを特徴とする冷凍機の熱交換器。
Priority Applications (1)
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JP2004197769A JP2006017421A (ja) | 2004-07-05 | 2004-07-05 | 冷凍機の熱交換器 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2004197769A JP2006017421A (ja) | 2004-07-05 | 2004-07-05 | 冷凍機の熱交換器 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2006017421A true JP2006017421A (ja) | 2006-01-19 |
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Family Applications (1)
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012202586A (ja) * | 2011-03-24 | 2012-10-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 熱音響装置用スタックおよび熱音響装置用スタックの製造方法 |
JP5397385B2 (ja) * | 2008-12-05 | 2014-01-22 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ、ターボ分子ポンプおよび保護ネット |
JP2015021671A (ja) * | 2013-07-19 | 2015-02-02 | いすゞ自動車株式会社 | 蓄熱器及びその製造方法 |
CN107014099A (zh) * | 2016-01-28 | 2017-08-04 | 同济大学 | 采用多块板式换热器的脉管制冷机 |
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2004
- 2004-07-05 JP JP2004197769A patent/JP2006017421A/ja active Pending
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