JP2006015650A - 成形方法、成形装置及び構造物 - Google Patents
成形方法、成形装置及び構造物 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006015650A JP2006015650A JP2004196921A JP2004196921A JP2006015650A JP 2006015650 A JP2006015650 A JP 2006015650A JP 2004196921 A JP2004196921 A JP 2004196921A JP 2004196921 A JP2004196921 A JP 2004196921A JP 2006015650 A JP2006015650 A JP 2006015650A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mold
- fine shape
- microshape
- fine
- molding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
Abstract
より簡便に且つ低コストで、高アスペクト比の微細構造を有する構造物を成形できる成形方法及び成形装置並びに構造物を提供する。
【解決手段】
型MDを素材Mから引き離すと、まず先端側の領域(R1)から、転写された微細形状MSが剥がれようとする。しかし、奥側の領域(R2)からは微細形状MSが剥がれていないので、微細形状MSの根本側の幅W1が細くなるように変形する。すると、微細形状MSと型MDの内側面との間にスキマが生じ、ここから空気が侵入するため、微細形状MSは型MDから、より離型しやすくなり、ちぎれなどの破損を抑制することができる。最終的に、型MDが微細形状MSから離隔したときは、型MDの微細形状の幅は一様であるにも関わらず、微細形状MSの根本の幅W1が、その先端の幅W2よりも小さく(W1<W2)となっている。
【選択図】 図1
Description
2 上型
2a 型円板
4 ヒータ
Claims (9)
- 微細形状を備えた型を製作するステップと、
常温での弾性率が1〜4(GPa)である素材を、保持部に取り付けるステップと、
微細形状を有する型の温度を、前記素材のガラス転移点温度より高く設定するステップと、
前記型を前記素材に向かって押圧して、前記微細形状を前記素材に転写するステップと、
前記素材における転写された微細形状の根本側が奥側より早く剥がれるように、前記型を前記素材より離型させるステップと、を有することを特徴とする成形方法。 - 前記型は、離型時の引き抜き方向に沿って延在する面に凹凸を形成した微細形状を有することを特徴とする請求項1に記載の成形方法。
- 前記素材は光学素子の素材であることを特徴とする請求項1又は2に記載の成形方法。
- 前記微細形状は、アスペクト比が1以上であり、所定のピッチで並んだ複数のラインアンドスペースを含むことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の成形方法。
- 離型時の引き抜き方向に沿って延在する面に凹凸を形成した微細形状を有する型と、
常温での弾性率が1〜4(GPa)である素材を保持する保持部と、
前記型を加熱するヒータと、
前記型と前記保持部とを相対移動させる駆動部と、を有し、
前記ヒータにより加熱した前記型を前記素材に向かって押圧して、前記微細形状を前記素材に転写した後、前記型を前記素材より離型させることによって光学素子を成形することを特徴とする成形装置。 - 前記素材は光学素子の素材であることを特徴とする請求項5に記載の成形装置。
- 前記微細形状は、アスペクト比が1以上であり、所定のピッチで並んだ複数のラインアンドスペースを含むことを特徴とする請求項5又は6に記載の成形装置。
- アスペクト比が1以上であり、1000nm以下のピッチで並んだ複数のラインアンドスペースを含む微細構造を有し、前記微細構造におけるラインの幅が、先端側より根本側で細い部位を有することを特徴とする構造物。
- 前記構造物は光学素子であることを特徴とする請求項8に記載の構造物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004196921A JP4471099B2 (ja) | 2004-07-02 | 2004-07-02 | 成形方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004196921A JP4471099B2 (ja) | 2004-07-02 | 2004-07-02 | 成形方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006015650A true JP2006015650A (ja) | 2006-01-19 |
JP2006015650A5 JP2006015650A5 (ja) | 2007-08-09 |
JP4471099B2 JP4471099B2 (ja) | 2010-06-02 |
Family
ID=35790308
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004196921A Expired - Fee Related JP4471099B2 (ja) | 2004-07-02 | 2004-07-02 | 成形方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4471099B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006095901A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Ricoh Co Ltd | プラスチック成形方法、プラスチック成形装置及び成形金型 |
JP2007237669A (ja) * | 2006-02-13 | 2007-09-20 | Fujifilm Corp | 樹脂成形品の製造方法、並びにインクジェットヘッドの製造方法及びそれにより得られるインクジェットヘッド |
JPWO2008053720A1 (ja) * | 2006-10-31 | 2010-02-25 | コニカミノルタオプト株式会社 | マスター及びマイクロ反応器 |
-
2004
- 2004-07-02 JP JP2004196921A patent/JP4471099B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006095901A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Ricoh Co Ltd | プラスチック成形方法、プラスチック成形装置及び成形金型 |
JP2007237669A (ja) * | 2006-02-13 | 2007-09-20 | Fujifilm Corp | 樹脂成形品の製造方法、並びにインクジェットヘッドの製造方法及びそれにより得られるインクジェットヘッド |
JPWO2008053720A1 (ja) * | 2006-10-31 | 2010-02-25 | コニカミノルタオプト株式会社 | マスター及びマイクロ反応器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4471099B2 (ja) | 2010-06-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4817106B2 (ja) | 成形方法及び成形装置の制御方法 | |
JP2001266417A (ja) | 転写方法 | |
US7365919B2 (en) | Forming methods, forming devices for articles having a micro-sized shape and optical elements | |
JP2007044905A (ja) | 型及び成形方法 | |
US20060001185A1 (en) | Molding method and molding apparatus | |
JP4471099B2 (ja) | 成形方法 | |
JP5339021B2 (ja) | 成形金型及び成形方法 | |
JP5067664B2 (ja) | 光学素子用成形金型及び光学素子 | |
JP2002042387A (ja) | 記録媒体の製造方法および記録媒体製造装置 | |
JP4569744B2 (ja) | 光学素子の成形方法 | |
JP2006015522A (ja) | 成形装置及び光学素子 | |
JP2006007435A (ja) | 成形方法及び成形装置 | |
JP4804087B2 (ja) | ディスク成形装置およびディスク成形方法ならびに情報記録ディスク | |
JP2007268876A (ja) | パターン転写方法、パターン転写装置及び光ディスク製造方法 | |
JP4576838B2 (ja) | 成形方法 | |
JP2006346974A (ja) | 成形方法及び成形装置 | |
JP2006021441A (ja) | シートの成形方法及びシート | |
JP2006150884A (ja) | 成形装置及び光学素子 | |
JP4112247B2 (ja) | フレキシブル光ディスクの製造方法 | |
JP4209343B2 (ja) | 多層構造型光記録媒体の製造方法 | |
JP4727596B2 (ja) | 光学素子成形方法 | |
JP2005063524A (ja) | 光ディスク及びその製造方法 | |
JP4082594B2 (ja) | フレキシブル光ディスク基板の製造方法 | |
JP4098592B2 (ja) | 光記録媒体、光記録媒体の成形用金型、および光記録媒体用の基板 | |
JP2003305756A (ja) | ディスク基板の製造方法、金型装置及び射出成形装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070621 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091020 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091110 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091214 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100108 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100112 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100210 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130312 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100223 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140312 Year of fee payment: 4 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |