JP2006005128A - プラズマcvd装置及びそのクリーニング方法 - Google Patents
プラズマcvd装置及びそのクリーニング方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006005128A JP2006005128A JP2004179374A JP2004179374A JP2006005128A JP 2006005128 A JP2006005128 A JP 2006005128A JP 2004179374 A JP2004179374 A JP 2004179374A JP 2004179374 A JP2004179374 A JP 2004179374A JP 2006005128 A JP2006005128 A JP 2006005128A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- cleaning
- electrostatic chuck
- plasma
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【課題】 フッ素系ガスを用いるクリーニングにおいてフッ素による静電チャックの損傷を防止し得るプラズマCVD方法を提供する。
【解決手段】 フッ素系のクリーニングガスプラズマにより静電チャック10の周辺部に付着するSiOx膜20を除去するクリーニングの際、静電チャック10の周辺部に付着するSiOx膜20が存在しない静電チャック10の中央部分に、ダミーウェハー25を載置して所定のクリーニングを行う。
【選択図】 図3
【解決手段】 フッ素系のクリーニングガスプラズマにより静電チャック10の周辺部に付着するSiOx膜20を除去するクリーニングの際、静電チャック10の周辺部に付着するSiOx膜20が存在しない静電チャック10の中央部分に、ダミーウェハー25を載置して所定のクリーニングを行う。
【選択図】 図3
Description
本発明は静電チャックを有するプラズマCVD装置及びそのクリーニング方法に関する技術である。
図4は半導体製造装置であるプラズマCVD装置の全体を概念的に示す説明図である。同図に示すように、当該プラズマCVD装置は、真空引きした密閉空間であるチャンバ1内にノズル(図示せず。)を介して原料ガスを供給するとともに、給電アンテナ3を介してRF周波数の電磁波を入射し、前記原料ガスのプラズマ4を発生させることにより基板であるウェハー5上に所定の薄膜を形成する装置である。ここで、チャンバ1は、円筒状の筒部1aと、この筒部1aの上端部を閉塞して給電アンテナ3を載置している絶縁部である天井板1bとを有しており、その内部が成膜室2となっている。筒部1aはAlで形成してあり、天井板1bはAl2O3で形成してある。
前記給電アンテナ3にはインピーダンスマッチングを行うための整合器7を介してプラズマ発生用高周波電源8が接続されている。このプラズマ発生用高周波電源8から給電アンテナ3へ高周波電力を供給することにより、給電アンテナ3から天井板1bを透過して成膜室2内に電磁波9を入射し、この電磁波9のエネルギー(高周波パワー)によって成膜室2内に供給する各種のガスをプラズマ状態にする。このプラズマを利用してウェハー5上に所定の薄膜を成膜する。
成膜質2にはウェハー5の支持台である静電チャック10が配設してある。この静電チャック10はウェハー5を載置するための円盤状の部材であるテーブル10aを有しており、支持台13を介して支持軸16に支持されている。ここで、テーブル10aは、通常Al2 O3 やAlNなどのセラミック材料(絶縁材料)で形成してある。
静電チャック10のテーブル10aの内部には、ウェハー5を静電的に吸着保持する静電チャック用電極10bが埋設してある。この静電チャック用電極10bには、直流電源12の出力電圧である所定の直流電圧が印加され、このことにより発生するウェハー5と静電チャック用電極10bとの間の電位差に基づくクーロン力によりウェハー5を静電チャック10のテーブル10aの表面に吸着する。
また、静電チャック10を一体的に支持している支持台13の内部には、ウェハー5を所定の温度に保持するための加熱手段であるヒータ14を埋設するとともに、冷却手段として冷媒を流通させるための冷媒通路15を形成してある。ここで、ヒータ14による加熱は、当該プラズマCVD装置による成膜工程の立ち上げ時においてウェハー15の温度を所定の温度迄加熱する際に主に利用され、冷媒通路15に冷媒を流通させての冷却は、成膜中のプラズマにより加熱されるウェハー5の温度を所定の温度に維持する際に主に利用される。
かかるプラズマ処理装置においは原料ガスとしてSH4を用いてSiOxの薄膜を形成している。このように成膜にSH4のガスプラズマ4を用いた場合、チャンバ1の内周面及び静電チャック10の周辺部等にはSiOx膜が付着するので、これをクリーニングにより除去しなければならない。このため、一回乃至数回の成膜毎にクリーニングを行って前記SiOx膜を除去している。
具体的には、原料ガスの代わりにクリーニングガスであるフッ素系ガス(例えばNF3)をチャンバ1内に供給するとともに、これをRF周波数の電磁波でプラズマ化し、チャンバ1の内周面等に付着するSiOx膜に反応させて除去している。すなわち、SiOx膜にフッ素プラズマを作用させることによりSiF4のガスとして外部に排出する。
図5は従来技術に係る静電チャック10のクリーニング時の態様を概念的に示す説明図である。なお、同図中、図4と同一部分には同一番号を付し、重複する説明は省略する。
同図に示すように、ウェハー5上への所定の成膜に伴い、静電チャック10bのテーブル10aの周辺部等にはSiOx膜20が堆積する(図5(a)参照。)。このSiOx膜20は、有害なパーティクルの原因となるので、成膜後のウェハー5を搬出した状態(図5(b)参照。)で上述の如きクリーニングにより定期的に除去している(図5(c)参照。)。
なお、プラズマCVD装置に関する技術を開示する公知技術として下記の特許文献1が存在する。
上述の如きプラズマCVD装置においては、静電チャック10のクリーニングによって発生するテーブル10aの表面の荒れが問題となっている。当該クリーニングは図5(b)に示すような状態で行うが、このときにはテーブル10aのウェハー5の載置部分はクリーニングガスのプラズマに直接の晒されることとなり、この部分がクリーニングガスであるフッ素系ガス(例えばNF3)のプラズマによりエッチングされるからである。
このようにテーブル10aのウェハー5の載置部分の荒れ乃至摩耗を生起した場合には、静電チャック10の吸着条件が変化してしまう。かかる吸着条件の変化は、冷媒通路15を流れる冷媒によるテーブル10aからウェハー5への熱移動の変化等を生起し、成膜中のウェハー5の温度制御に悪影響を及ぼす等、種々の不都合の原因となる。
本発明は、上記従来技術に鑑み、フッ素系ガスを用いるクリーニングにおいてフッ素による静電チャックの損傷を防止し得るプラズマCVD装置及びそのクリーニング方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成する本発明の構成は次の点を特徴とする。
1) 密閉空間を形成するチャンバと、このチャンバ内にRF周波数の電磁波を入射する給電アンテナと、前記チャンバの内部にガスを供給するガス供給手段と、前記チャンバの内部である成膜室内に配設されてウェハーを載置するとともにこのウェハーを吸着して固定する静電チャックとを有するプラズマCVD装置において、
クリーニングガスプラズマを利用した当該プラズマCVD装置のクリーニング時に、前記静電チャックのテーブルに載置するダミーウェハーを有するとともに、
ダミーウェハーは成膜用のウェハーの径よりも若干小さくしたこと。
クリーニングガスプラズマを利用した当該プラズマCVD装置のクリーニング時に、前記静電チャックのテーブルに載置するダミーウェハーを有するとともに、
ダミーウェハーは成膜用のウェハーの径よりも若干小さくしたこと。
2) 上記1)に記載するプラズマCVD装置において、
ダミーウェハーはサファイアで形成したこと。
ダミーウェハーはサファイアで形成したこと。
3) RF周波数の電磁波を密閉空間を形成するチャンバ内に入射することにより前記チャンバ内に供給されたガスをプラズマ化してウェハー上に所定の成膜を行うプラズマ処理装置のクリーニング方法であって、
フッ素系ガスを前記チャンバ内に供給して形成するプラズマで前記チャンバの内部に配設する静電チャックの周辺部に付着する堆積膜をクリーニングする際、
前記堆積膜が存在しない静電チャックの中央部分に、ダミーウェハーを載置して前記クリーニングを行うこと。
フッ素系ガスを前記チャンバ内に供給して形成するプラズマで前記チャンバの内部に配設する静電チャックの周辺部に付着する堆積膜をクリーニングする際、
前記堆積膜が存在しない静電チャックの中央部分に、ダミーウェハーを載置して前記クリーニングを行うこと。
4) 上記1)に記載するプラズマCVD装置のクリーニング方法において、
ダミーウェハーは成膜用のウェハーの径よりも若干小さいものを用いること。
ダミーウェハーは成膜用のウェハーの径よりも若干小さいものを用いること。
上記構成の本発明によれば、次の様な効果を得る。
請求項1に記載する発明は、上記1)の如き構成を有するので、クリーニング時のプラズマはダミーウェハーの表面に衝突する結果、静電チャックの表面が前記プラズマにより損傷される虞はない。すなわち、静電チャックの堆積膜が付着していない中央部分は、ダミーウェハーで保護されプラズマダメージを受けることはない。一方、周辺部の堆積膜はクリーニングガスプラズマで良好に除去される。
ここで、ダミーウェハーは成膜用のウェハーの径よりも若干小さくしたので、ダミーウェハーを静電チャック上に載置する際の位置決め精度が若干劣った場合でも、この静電チャックの必要な部分を十分保護してクリーニングを行うことができ、またダミーウェハーの端部が堆積膜に乗り上げることによる不都合、すなわち乗り上げ部分の堆積膜がクリーニングで除去されることなく残ってしまうという不都合を未然に防止し得る。
請求項1に記載する発明は、上記1)の如き構成を有するので、クリーニング時のプラズマはダミーウェハーの表面に衝突する結果、静電チャックの表面が前記プラズマにより損傷される虞はない。すなわち、静電チャックの堆積膜が付着していない中央部分は、ダミーウェハーで保護されプラズマダメージを受けることはない。一方、周辺部の堆積膜はクリーニングガスプラズマで良好に除去される。
ここで、ダミーウェハーは成膜用のウェハーの径よりも若干小さくしたので、ダミーウェハーを静電チャック上に載置する際の位置決め精度が若干劣った場合でも、この静電チャックの必要な部分を十分保護してクリーニングを行うことができ、またダミーウェハーの端部が堆積膜に乗り上げることによる不都合、すなわち乗り上げ部分の堆積膜がクリーニングで除去されることなく残ってしまうという不都合を未然に防止し得る。
請求項3に記載する発明は、上記1)の如き構成を有するので、クリーニングガスプラズマによるプラズマダメージを受けにくく長期に亘り、クリーニング時のダミーウェハーとして機能させることができる。
請求項4に記載する発明は、上記1)の如き構成を有するので、クリーニング時のプラズマはダミーウェハーの表面に衝突するので、静電チャックの表面が前記プラズマにより損傷される虞はない。すなわち、静電チャックの堆積膜が付着していない中央部分は、ダミーウェハーで保護されプラズマダメージを受けることはない。一方、周辺部の堆積膜はクリーニングガスプラズマで良好に除去される。
請求項5に記載する発明は、上記1)の如き構成を有するので、ダミーウェハーを静電チャック上に載置する際の位置決め精度が若干劣った場合でも、この静電チャックの必要な部分を十分保護してクリーニングを行うことができ、またダミーウェハーの端部が堆積膜に乗り上げることによる不都合、すなわち乗り上げ部分の堆積膜がクリーニングで除去されることなく残ってしまうという不都合を未然に防止し得る。
本発明の実施の形態に係るプラズマCVD装置は、成膜処理に伴い静電チャックの周辺部に堆積する堆積膜(例えば、SiOx)をフッ素系クリーニングガスプラズマ(例えばNF3ガスプラズマ)を除去する際に用いるダミーウェハーを有するものである。すなわち、基本的な構成は、図4に示すプラズマCVD装置と同一であるが、クリーニングの際に、静電チャック10上にダミーウェハー(図4には図示せず。)を載置するように構成した点が異なる。
上記クリーニングは上記ダミーウェハーを静電チャック10上に載置した状態で行う。この結果、クリーニングガスプラズマに直接晒されるのはダミーウェハーとなり、静電チャック10の堆積膜が付着していない部分がクリーニングガスプラズマでアタックされる防止して良好に堆積膜の除去を行うことができる。
図1は本実施例に係るプラズマCVD装置の静電チャック10部分を抽出して示す拡大図である。同図に示すように、この静電チャック10は、成膜処理を行うウェハー5を載置するもので、図4に示すプラズマCVD装置の成膜質2に配設してある。この静電チャック10はウェハー5を載置するための円盤状の部材であるテーブル10aを有しており、支持台3を介して支持軸16に支持されている。ここで、テーブル10aは、通常Al2 O3 やAlNなどのセラミック材料(絶縁材料)で形成してある。
静電チャック10のテーブル10aの内部には、ウェハー5を静電的に吸着保持する静電チャック用電極10bが埋設してある。この静電チャック用電極10bには、直流電源12の出力電圧である所定の直流電圧が印加され、このことにより発生するウェハー5と静電チャック用電極10bとの間の電位差に基づくクーロン力によりウェハー5を静電チャック10のテーブル10aの表面に吸着する。なお、図4に示すヒータ14及び冷媒通路15は図1中では図示を省略した。
当該プラズマ処理装置においは原料ガスとしてSH4を用いてウェハー5上にSiOxの薄膜を形成している。このように成膜にSH4のガスプラズマ4(図4参照。)を用いた場合、静電チャック10の周辺部にはSiOx膜20が付着するので、これをクリーニングにより除去しなければならない。本実施例では、このクリーニングの際に静電チャック10のテーブル10a上に載置するダミーウェハー25を有している。
ここで、静電チャック用電極10bの径をl1、ダミーウェハー25の径をl2、ウェハー5の径をl3とすると、l1=l2<l3の関係となっている。すなわち、ダミーウェハー25の径l2はウェハー5の径l3よりも若干小さくしてある。かくして、周辺部にSiOx膜20が付着した状態の静電チャック10にダミーウェハー25を載置した場合でも、図2に示すようにダミーウェハー25の一端部(図では右端部)がSiOx膜20に乗り上げることがないように工夫している。
ちなみに、クリーニングで除去すべきSiOx膜20は、ウェハー5が載置される部分には形成されず、ウェハー5の径を超える静電チャック10の周辺部に堆積し、その内周端面の径がウェハー5の径に一致している。したがって、ダミーウェハー25の径をウェハー5の径と同一に形成した場合には、ロボットによるダミーウェハー25の静電チャック10上への位置決め・載置の際の誤差を吸収できず、上述の如くダミーウェハー25の端部がSiOx膜20に乗り上げてしまうこととなる。そして、かかる状態でクリーニングを行った場合、乗り上げ部分のSiOx膜20がそのまま静電チャック10のテーブル10a表面に異物(ゴミ)として残ってしまい、その後のウェハー5を載置しての成膜処理に支障をきたしてしまう。この異物の部分でウェハー5がテーブル10aから浮き上がり、静電チャック10による吸着力が変わってしまい、形成される膜質に悪影響を及ぼすからである。
ダミーウェハー25はクリーニングガスプラズマに直接晒される部分であるため、プラズマに対して耐性のある部材で形成するのが望ましい。サファイア、アルミナ、窒化アルミ等を材料とするものが好適である。
ダミーウェハー25を載置して行う本実施例におけるクリーニング方法を図2に基づき説明する。
図4に示すプラズマCVD装置においてウェハー5上に所定の成膜を行うと、図3(a)に示すように、ウェハー5の径を超える静電チャック10の周辺部にはSiOx膜20が付着・堆積する。
ウェハー5に対する所定の成膜が終了した後、ウェハー5を搬出するが、この搬出後の状態を図3(b)に示す。同図に示すように、この場合、ウェハー5が載置されていた部分を除く静電チャック10のテーブル10aの周辺部にSiOx膜20が付着・堆積し、その他の部分では前記テーブル10aの表面が表れている状態となる。
かかる状態で、図3(c)に示すように、前記テーブル10a上にダミーウェハー25を載置する。この結果、ダミーウェハー25はその外周端面がSiOx膜20の内周端面に対し若干の隙間を残してテーブル10a上に載置される。ここで、ダミーウェハー25の外径はSiOx膜20の内径、すなわちウェハー5の外径よりも若干小さいのでロボット等を使用したダミーウェハー25の位置決め載置の精度が多少粗くても、ダミーウェハー25の端部がSiOx膜20に乗り上げるのを未然に防止し得る。
かかる状態でクリーニングを行う。すなわち、図4に示すプラズマCVD装置において、原料ガスの代わりにクリーニングガスであるフッ素系ガス(例えばNF3)をチャンバ1内に供給するとともに、これをRF周波数の電磁波でプラズマ化し、静電チャック10の周辺部に付着するSiOx膜20に反応させて除去する。このときテーブル10aのダミーウェハー25が載置されている部分はこのダミーウェハー25で保護され、クリーニングガスプラズマにアタックされることはない。かくして、図3(d)に示すように、SiOx膜20が除去された状態となる。
本発明は半導体素子を製造するプラズマCVD装置に適用して特に有用なものである。
1 チャンバ
2 成膜質
3 給電アンテナ
4 プラズマ
5 ウェハー
10 静電チャック
10a テーブル
10b 静電チャック用電極
20 SiOx膜
25 ダミーウェハー
2 成膜質
3 給電アンテナ
4 プラズマ
5 ウェハー
10 静電チャック
10a テーブル
10b 静電チャック用電極
20 SiOx膜
25 ダミーウェハー
Claims (4)
- 密閉空間を形成するチャンバと、このチャンバ内にRF周波数の電磁波を入射する給電アンテナと、前記チャンバの内部にガスを供給するガス供給手段と、前記チャンバの内部である成膜室内に配設されてウェハーを載置するとともにこのウェハーを吸着して固定する静電チャックとを有するプラズマCVD装置において、
クリーニングガスプラズマを利用した当該プラズマCVD装置のクリーニング時に、前記静電チャックのテーブルに載置するダミーウェハーを有するとともに、
ダミーウェハーは成膜用のウェハーの径よりも若干小さくしたことを特徴とするプラズマCVD装置。 - 請求項1に記載するプラズマCVD装置において、
ダミーウェハーはサファイアで形成したことを特徴とするプラズマCVD装置。 - RF周波数の電磁波を密閉空間を形成するチャンバ内に入射することにより前記チャンバ内に供給されたガスをプラズマ化してウェハー上に所定の成膜を行うプラズマ処理装置のクリーニング方法であって、
フッ素系ガスを前記チャンバ内に供給して形成するプラズマで前記チャンバの内部に配設する静電チャックの周辺部に付着する堆積膜をクリーニングする際、
前記堆積膜が存在しない静電チャックの中央部分に、ダミーウェハーを載置して前記クリーニングを行うことを特徴とするプラズマCVD装置のクリーニング方法。 - 請求項1に記載するプラズマCVD装置のクリーニング方法において、
ダミーウェハーは成膜用のウェハーの径よりも若干小さいものを用いることを特徴とするプラズマCVD装置のクリーニング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004179374A JP2006005128A (ja) | 2004-06-17 | 2004-06-17 | プラズマcvd装置及びそのクリーニング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004179374A JP2006005128A (ja) | 2004-06-17 | 2004-06-17 | プラズマcvd装置及びそのクリーニング方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006005128A true JP2006005128A (ja) | 2006-01-05 |
Family
ID=35773245
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004179374A Withdrawn JP2006005128A (ja) | 2004-06-17 | 2004-06-17 | プラズマcvd装置及びそのクリーニング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006005128A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2000242A2 (en) | 2005-05-23 | 2008-12-10 | Amada Company, Ltd. | Method of cutting a workpiece using band saw machine as well as band saw machine |
JP2011054825A (ja) * | 2009-09-03 | 2011-03-17 | Tokyo Electron Ltd | チャンバ内クリーニング方法 |
JP7499105B2 (ja) | 2020-08-03 | 2024-06-13 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置のクリーニング方法及びプラズマ処理装置 |
-
2004
- 2004-06-17 JP JP2004179374A patent/JP2006005128A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2000242A2 (en) | 2005-05-23 | 2008-12-10 | Amada Company, Ltd. | Method of cutting a workpiece using band saw machine as well as band saw machine |
JP2011054825A (ja) * | 2009-09-03 | 2011-03-17 | Tokyo Electron Ltd | チャンバ内クリーニング方法 |
CN102013388A (zh) * | 2009-09-03 | 2011-04-13 | 东京毅力科创株式会社 | 腔室内清洁方法 |
US8999068B2 (en) | 2009-09-03 | 2015-04-07 | Tokyo Electron Limited | Chamber cleaning method |
JP7499105B2 (ja) | 2020-08-03 | 2024-06-13 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置のクリーニング方法及びプラズマ処理装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8500952B2 (en) | Plasma confinement rings having reduced polymer deposition characteristics | |
JP4935143B2 (ja) | 載置台及び真空処理装置 | |
WO2017192249A1 (en) | Plasma treatment process for in-situ chamber cleaning efficiency enhancement in plasma processing chamber | |
KR102604063B1 (ko) | 정전 척 어셈블리 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 | |
KR101828862B1 (ko) | 플라즈마 처리 장치 및 샤워 헤드 | |
US8982529B2 (en) | Substrate mounting and demounting method | |
US6508199B1 (en) | Plasma processing apparatus | |
JP2008103403A (ja) | 基板載置台及びプラズマ処理装置 | |
KR200475462Y1 (ko) | 플라즈마 처리 장치의 교체 가능한 상부 챔버 섹션 | |
JP3424903B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
US20170263487A1 (en) | Method to remove residual charge on a electrostatic chuck during the de-chucking step | |
JP6239296B2 (ja) | プラズマ処理装置のステージ製造方法 | |
JP2007110023A (ja) | 基板保持装置 | |
JPH10284475A (ja) | 処理方法 | |
JP2006005128A (ja) | プラズマcvd装置及びそのクリーニング方法 | |
US20080196744A1 (en) | In-chamber member, a cleaning method therefor and a plasma processing apparatus | |
JP3470557B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JPH10107130A (ja) | ウエハ保持具 | |
JP2002100616A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2004289003A (ja) | 石英リング、プラズマ処理装置および半導体装置の製造方法 | |
US8357265B2 (en) | Cleaning method and a vacuum processing apparatus | |
JP2004247350A (ja) | プラズマ処理用シリコンプレート | |
JP2008060487A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2846890B2 (ja) | 表面処理方法および装置 | |
JP4052477B2 (ja) | プラズマ処理装置のクリーニング方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20070904 |