JP2006003233A - 光学セル測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ガスセル1内部に配置された球面ミラー6,7の収差を補償し、ガスセル1の光透過率を低下させることのない光学セル測定装置を提供する。
【解決手段】ある波長範囲に広がった光を照射する光源Sと、前記光源Sから照射された光を反射させる第1のミラーM1と、前記第1のミラーM1で反射された光が導かれる長光路ガスセル1と、前記長光路ガスセル1から出射される光を反射させる第2のミラーM2と、前記第2のミラーM2で反射された光を検出するセンサDとを備え、前記光源Sから前記センサDまでの光路間に、光路に直交する2方向(X,Y)間で焦点距離の異なるバイフォーカル特性を有するレンズ21,22を配置している。
【選択図】 図1
【解決手段】ある波長範囲に広がった光を照射する光源Sと、前記光源Sから照射された光を反射させる第1のミラーM1と、前記第1のミラーM1で反射された光が導かれる長光路ガスセル1と、前記長光路ガスセル1から出射される光を反射させる第2のミラーM2と、前記第2のミラーM2で反射された光を検出するセンサDとを備え、前記光源Sから前記センサDまでの光路間に、光路に直交する2方向(X,Y)間で焦点距離の異なるバイフォーカル特性を有するレンズ21,22を配置している。
【選択図】 図1
Description
本発明は、ガスセル内に存在する物質のスペクトルを測定する光学セル測定装置に関するものである。
ガスセル内に複数の球面ミラーを対向した状態で設置して、セル内に斜め方向から光を入射させ、その光を球面ミラーで複数回(2回〜20回)反射させて、光を取り出すことによって、光路長を実質的に延長して、スペクトル測定を行うことが行われている。このように光路長を実質的に延長させることのできるガスセルを「長光路長ガスセル」という。この長光路長ガスセルを用いた測定方法によれば、通常微弱で測定が困難なスペクトルを、比較的強い信号に変換して測定することができる。
特表2003-507703号公報
ところが、前記長光路長ガスセルは、球面ミラーを用い、かつ、光をガスセル内に入射するのに、球面ミラーの真正面からでなく、やや斜めから光を当てる必要がある。このため、球面ミラーの収差により、偏光方向が縦方向の光の焦点と、偏光方向が横方向の光の焦点とが一致しなくなる。この傾向は、斜めから当てる光の角度が大きくなればなるほど、すなわち、ガスセルの光入射位置と光出射位置との距離が大きくなるほど、顕著になる。
このため、ガスセルに入射した光を取り出そうとして、いずれかの方向の光に焦点をあわせると、他の方向の光の焦点があわなくなる。このため、すべての光を取り出すことができなくなり、結果的にガスセルの透過率が低下してしまうという問題がある。
そこで本発明は、ガスセル内部に配置された球面ミラーの収差を補償する機能を備え、ガスセルの透過率を低下させることのない光学セル測定装置を提供することを目的とする。
そこで本発明は、ガスセル内部に配置された球面ミラーの収差を補償する機能を備え、ガスセルの透過率を低下させることのない光学セル測定装置を提供することを目的とする。
本発明の光学セル測定装置は、ある波長範囲に広がった光を照射する光源と、前記光源から照射された光を反射させる第1のミラーと、前記第1のミラーで反射された光が導かれる長光路ガスセルと、前記長光路ガスセルから出射される光を反射させる第2のミラーと、前記第2のミラーで反射された光を検出するセンサとを備え、前記光源から前記センサまでの光路間に、光路に直交する2方向間で焦点距離の異なるバイフォーカル特性を有する光学素子を配置していることを特徴とする。
前記第1のミラー及び前記第2のミラーは、ミラー自体が前記バイフォーカル特性を有する素子でもよく、前記バイフォーカル特性を有する光学素子がミラーに装着されていてもよい。
このような本発明の構成によれば、前記光源から前記センサまでの光路間に、バイフォーカル特性を有する素子を挿入することにより、前記長光路ガスセルに入射する光の焦点位置を、光路に直交する2方向間でほぼ同一位置にすることができ、かつ、前記長光路ガスセルから出射する光の焦点位置を、光路に直交する2方向間でほぼ同一位置にすることができる。したがって、偏光方向に関係なくすべての光を長光路ガスセルに入射し、かつ、偏光方向に関係なくすべての光を長光路ガスセルから取り出すことができる。この結果、結果的にガスセルの透過率の低下がなくなり、感度のよいスペクトル測定を行うことができる。
このような本発明の構成によれば、前記光源から前記センサまでの光路間に、バイフォーカル特性を有する素子を挿入することにより、前記長光路ガスセルに入射する光の焦点位置を、光路に直交する2方向間でほぼ同一位置にすることができ、かつ、前記長光路ガスセルから出射する光の焦点位置を、光路に直交する2方向間でほぼ同一位置にすることができる。したがって、偏光方向に関係なくすべての光を長光路ガスセルに入射し、かつ、偏光方向に関係なくすべての光を長光路ガスセルから取り出すことができる。この結果、結果的にガスセルの透過率の低下がなくなり、感度のよいスペクトル測定を行うことができる。
また、前記収差を補償することにより、ガスセルの光入射位置と光出射位置との距離を大きくすることができるので、この間に短光路ガスセルを配置することが容易にできる。すなわち、本発明の光学セル測定装置は、前記集光手段から前記センサまでの、前記第1のミラー及び前記第2のミラーを取り除いた光路中に配置された短光路ガスセルをさらに備え、前記第1のミラー及び前記第2のミラーを、前記集光手段から前記センサまでの光路中から移動させる移動手段をさらに備えるものであってもよい。この構成では、前記移動手段を用いて、長光路ガスセルの測定と、短光路ガスセルの測定とのいずれかを任意に選択して測定することができる。
以下、本発明の実施の形態を、添付図面を参照しながら詳細に説明する。
図1は、長光路ガスセル1と、短光路ガスセル2との2つのガスセルを備えた本発明の光学セル測定装置の断面図である。
光学セル測定装置は、光源Sと、スリット17と、光源Sの光を集光するレンズ3と、レンズ3で絞られた光を、ガスセル窓4を通して長光路ガスセルに照射する移動式ミラーM1とを備えている。
図1は、長光路ガスセル1と、短光路ガスセル2との2つのガスセルを備えた本発明の光学セル測定装置の断面図である。
光学セル測定装置は、光源Sと、スリット17と、光源Sの光を集光するレンズ3と、レンズ3で絞られた光を、ガスセル窓4を通して長光路ガスセルに照射する移動式ミラーM1とを備えている。
前記光源Sは、例えばSiCランプなどである。このSiCランプは、400cm-1から7000cm-1という広い赤外線スペクトルを持っている。換算式
107/X(nm)=Y(cm-1)
に従って波長に換算すると、波長の範囲は1429nmから25000nmになる。
ガスセル窓4を通して長光路ガスセル1に照射された光は、長光路ガスセル1内部に備えられた対物ミラー7と集光ミラー6との間を複数回反射され、ガスセル窓5を通して出射される。前記対物ミラー7と集光ミラー6とは、例えばステンレス凹面鏡に金を蒸着したものを用いる。
107/X(nm)=Y(cm-1)
に従って波長に換算すると、波長の範囲は1429nmから25000nmになる。
ガスセル窓4を通して長光路ガスセル1に照射された光は、長光路ガスセル1内部に備えられた対物ミラー7と集光ミラー6との間を複数回反射され、ガスセル窓5を通して出射される。前記対物ミラー7と集光ミラー6とは、例えばステンレス凹面鏡に金を蒸着したものを用いる。
ガスセル窓5を通して出射された光は、移動式ミラーM2で反射され、集光レンズ8を通して検出器Dに入射される。ガスセル窓4,5は、例えばZnSeからなるものである
前記長光路ガスセル1には、波長スペクトルを測定する被測定ガスを導入するためのガス入口11と、導入した被測定ガスをガスセル外に排出するためのガス出口12とを備えている。また、長光路ガスセル1には、長光路ガスセル1内の圧力を測定する圧力トランスデューサ13が取り付けられている。10は、長光路ガスセル1の周囲に設けられた断熱材を表す。
前記長光路ガスセル1には、波長スペクトルを測定する被測定ガスを導入するためのガス入口11と、導入した被測定ガスをガスセル外に排出するためのガス出口12とを備えている。また、長光路ガスセル1には、長光路ガスセル1内の圧力を測定する圧力トランスデューサ13が取り付けられている。10は、長光路ガスセル1の周囲に設けられた断熱材を表す。
短光路ガスセル2は、光源S、レンズ3,8、検出器Dを直接結ぶ光路Lに配置されている。ガスセル窓9を通して短光路ガスセル2に照射された光は、短光路ガスセル2の内部をそのまま通過して、ガスセル窓9を通して出射される。ガスセル窓9は、例えばZnSeからなる。
前記短光路ガスセル2には、波長スペクトルを測定する被測定ガスを導入するためのガス入口14と、導入した被測定ガスをガスセル外に排出するためのガス出口15とを備えている。また、短光路ガスセル2には、短光路ガスセル2内の圧力を測定する圧力トランスデューサ16が取り付けられている。
前記短光路ガスセル2には、波長スペクトルを測定する被測定ガスを導入するためのガス入口14と、導入した被測定ガスをガスセル外に排出するためのガス出口15とを備えている。また、短光路ガスセル2には、短光路ガスセル2内の圧力を測定する圧力トランスデューサ16が取り付けられている。
図1において、光路Lに沿って光の伝播する方向をZ、それに直交する2方向をX,Yであらわす。
本発明では、前記移動式ミラーM1,M2の表面に、光路に直交する2方向X,Y間で焦点距離の異なるバイフォーカルレンズ21,22をそれぞれ装着している。このバイフォーカルレンズ21,22の形状を、図2に示す。このバイフォーカルレンズ21,22は、例えば石英に金を蒸着したものである。
本発明では、前記移動式ミラーM1,M2の表面に、光路に直交する2方向X,Y間で焦点距離の異なるバイフォーカルレンズ21,22をそれぞれ装着している。このバイフォーカルレンズ21,22の形状を、図2に示す。このバイフォーカルレンズ21,22は、例えば石英に金を蒸着したものである。
バイフォーカルレンズ21,22の曲面は、YZ面内の曲率と、XZ面内での曲率を持っている。YZ面内の曲率中心をC1、XZ面内での曲率中心をC2で示す。曲率半径は、それぞれR1,R2である。
このバイフォーカルレンズの曲率半径R1,R2をそれぞれ調整することにより、偏光方向がXの光の焦点位置と、偏光方向がYの光の焦点位置とを一致させる。この縮退された焦点位置を、図1の長光路ガスセル1の光入射側において"F1"、 光出射側において"F2"で示す。
このバイフォーカルレンズの曲率半径R1,R2をそれぞれ調整することにより、偏光方向がXの光の焦点位置と、偏光方向がYの光の焦点位置とを一致させる。この縮退された焦点位置を、図1の長光路ガスセル1の光入射側において"F1"、 光出射側において"F2"で示す。
図2では、R1>0,R2>0である両凸レンズを示しているが、必ずしもこれに限定されるものではない。F1,F2の位置をどこに設定するかに応じて、R1<0,R2>0又はR1>0,R2<0である凹凸レンズタイプを選択してもよく、R1<0,R2<0である両凹レンズタイプを選択してもよい。
図3は、バイフォーカルレンズ21,22を光路中に挿入した光路図である。図3の右端が光源Sの位置になる。光源Sから発する光は、レンズ3で集光され、移動式ミラーM1によりほぼ直角に反射される。次に、前記反射され光は、ガスセル窓4を通してガスセル内に入る。このときに、移動式ミラーM1に装着されたバイフォーカルレンズ21によって、非点収差が補正されるので、光は、偏光方向にかかわりなく焦点位置F1に集められる。光はガスセル内で対物ミラー7と集光ミラー6とによって複数回反射し、前記焦点位置F1と共役関係になる焦点位置F2に集められる。焦点位置F2に集められた光は、ガスセル窓5を通してガスセルから出射され、移動式ミラーM2でほぼ直角に反射される。このときに、移動式ミラーM2に装着されたバイフォーカルレンズ22によって、非点収差が補正される。移動式ミラーM2でほぼ直角に反射された光は、レンズ8を通ってセンサDの受光面に集められる。
図3は、バイフォーカルレンズ21,22を光路中に挿入した光路図である。図3の右端が光源Sの位置になる。光源Sから発する光は、レンズ3で集光され、移動式ミラーM1によりほぼ直角に反射される。次に、前記反射され光は、ガスセル窓4を通してガスセル内に入る。このときに、移動式ミラーM1に装着されたバイフォーカルレンズ21によって、非点収差が補正されるので、光は、偏光方向にかかわりなく焦点位置F1に集められる。光はガスセル内で対物ミラー7と集光ミラー6とによって複数回反射し、前記焦点位置F1と共役関係になる焦点位置F2に集められる。焦点位置F2に集められた光は、ガスセル窓5を通してガスセルから出射され、移動式ミラーM2でほぼ直角に反射される。このときに、移動式ミラーM2に装着されたバイフォーカルレンズ22によって、非点収差が補正される。移動式ミラーM2でほぼ直角に反射された光は、レンズ8を通ってセンサDの受光面に集められる。
以上のように、移動式ミラーM1,M2に装着されたバイフォーカルレンズ21,22の機能によって、光は、偏光方向にかかわりなく焦点F1,F2に結ばれるようになり、ガスセル内への光の入射、ガスセルからの光の取出しが、効率よく行える。したがって、ガスセルの透過率を多い値に維持でき、感度のよいスペクトル測定を行うことができる。
図4は、前記本発明の光学セル測定装置において、移動式ミラーM1,M2を光路から移動させた状態を示す断面図である。
図4は、前記本発明の光学セル測定装置において、移動式ミラーM1,M2を光路から移動させた状態を示す断面図である。
このように移動式ミラーM1,M2を移動させることにより、短光路ガスセル2中の被測定ガスを測定することができる。
移動式ミラーM1,M2の移動手段は、いろいろな形態をとり得る。例えば(1)リニアガイドを用いて、図4に示すように垂直方向(図4のY方向)に移動させてもよい。また水平方向(図4のX方向)に移動させてもよい。移動させる動力は、駆動軸とアクチュエータの組み合わせ、あるいはボールねじとモータとの組み合わせなどがあり、自動あるいは手動にて機械的に移動させる。また(2)移動式ミラーM1,M2を一軸(例えばZ軸)の回りに回転可能にして、この回転により移動させてもよい。移動させる動力は、回転アクチュエータ、回転ソレノイドなどを用いることができる。
移動式ミラーM1,M2の移動手段は、いろいろな形態をとり得る。例えば(1)リニアガイドを用いて、図4に示すように垂直方向(図4のY方向)に移動させてもよい。また水平方向(図4のX方向)に移動させてもよい。移動させる動力は、駆動軸とアクチュエータの組み合わせ、あるいはボールねじとモータとの組み合わせなどがあり、自動あるいは手動にて機械的に移動させる。また(2)移動式ミラーM1,M2を一軸(例えばZ軸)の回りに回転可能にして、この回転により移動させてもよい。移動させる動力は、回転アクチュエータ、回転ソレノイドなどを用いることができる。
以上で、本発明の実施の形態を説明したが、本発明の実施は、前記の形態に限定されるものではない。例えば、今までの説明では、バイフォーカルレンズを、移動式ミラーに装着していた。しかし、移動式ミラーを平面ミラーのみで構成し、バイフォーカルレンズを、移動式ミラーと離して配置してもよい。例えば、図5に示すように、バイフォーカルレンズ21,22を移動式ミラーM1,M2とガスセル窓4,5との間の空間に配置してもよい。また、図示しないが、バイフォーカルレンズを光源Sと移動式ミラーM1との間、及び移動式ミラーM2とセンサDとの間に配置してもよい。
また、バイフォーカルレンズを設置せず、移動式ミラーM1,M2の曲面を加工して、バイフォーカル特性を持たせてもよい。この場合、移動式ミラーM1,M2の2方向の曲率半径を、方向別に変えるような加工をすればよい。真空蒸着などによりバイフォーカルレンズに反射性の薄膜を形成して、バイフォーカルレンズ自体をミラーにしてしまうという実施も可能である。その他、本発明の範囲内で種々の変更を施すことが可能である。
1 長光路ガスセル
2 短光路ガスセル
3 レンズ
4 ガスセル窓
5 ガスセル窓
6 集光ミラー
7 対物ミラー
8 集光レンズ
9 ガスセル窓
10 断熱材
17 スリット
D 検出器
L 光路
M1.M2 移動式ミラー
S 光源
2 短光路ガスセル
3 レンズ
4 ガスセル窓
5 ガスセル窓
6 集光ミラー
7 対物ミラー
8 集光レンズ
9 ガスセル窓
10 断熱材
17 スリット
D 検出器
L 光路
M1.M2 移動式ミラー
S 光源
Claims (4)
- ガスセル内に存在する物質のスペクトルを測定する光学セル測定装置であって、
ある波長範囲に広がった光を照射する光源と、前記光源から照射された光を反射させる第1のミラーと、前記第1のミラーで反射された光が導かれる長光路ガスセルと、前記長光路ガスセルから出射される光を反射させる第2のミラーと、前記第2のミラーで反射された光を検出するセンサとを備え、
前記光源から前記センサまでの光路間に、光路に直交する2方向間で焦点距離の異なるバイフォーカル特性を有する光学素子を配置していることを特徴とする光学セル測定装置。 - 前記バイフォーカル特性を有する光学素子は、前記第1のミラー及び前記第2のミラーに装着されている請求項1記載の光学セル測定装置。
- 前記バイフォーカル特性を有する光学素子は、前記第1のミラー及び前記第2のミラーであり、前記第1のミラー及び前記第2のミラーがバイフォーカル特性を有する請求項1記載の光学セル測定装置。
- 前記集光手段から前記センサまでの、前記第1のミラー及び前記第2のミラーを取り除いた光路中に配置された短光路ガスセルをさらに備え、
前記第1のミラー及び前記第2のミラーを、前記集光手段から前記センサまでの光路中から移動させる移動手段をさらに備える請求項1記載の光学セル測定装置。
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