JP2006003182A - 力学量測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体力学量測定装置のシリコン基板において、例えば、測定方向の基板長さに対する基板厚の比を小さく、測定方向に対して垂直な方向の基板長さに対する基板厚の比を大きくする。或は、装置上面を保護材で被う。
【効果】 特定方向のひずみ測定が可能になり、誤差の少ない高精度な力学量測定を可能にする。さらに、装置自体の耐衝撃性、耐環境性が向上する。
【選択図】 図3
Description
本発明の第三の実施例について図12を用いて説明する。より高精度のひずみ測定を行うためには、ひずみセンサ3をよりひずみの影響を受けやすい箇所に配置することが望まれる。そこで、図12では、被測定物に前記ひずみセンサが形成された主面に被測定物への設置領域を有する。具体的には、図に示すように薄膜群がチップの下側となるようにチップを裏返しにして被測定物11に取り付ける。本発明における力学量測定装置1は、ひずみセンサ3によって得られたひずみ情報を無線方式で外部のリーダに送信することから、裏返しに接着した状態であってもひずみ測定を行うことができる。前述のように、測定対象物11にチップ101を接着した場合、測定対象物11からシリコン基板2に伝達されるひずみ量は接着界面に近いほど大きい。このため、チップ101を裏返しに接着してひずみセンサ3を測定対象物11に近接させた場合、ひずみセンサ3はひずみ感度の大きい領域に配置されることになるから、測定感度が上昇するという利点がある。また、外界に曝されているのはシリコン基板のみとなり、アナログ/デジタルコンバータ5、整流・検波・変復調回路部6、通信制御部7といった回路への光の影響を抑制することができる。さらに、シリコン基板は単結晶であることから、腐食環境下で力学量測定装置1を使用した場合であっても、粒界腐食等の強度を低下させる諸因子を排除することができるため高い強度信頼性を確保することができる。さらに、チップ101を裏返しに配置した場合、接着面の周囲は自由表面に囲まれていることから、接着面端部ではひずみに対する感度が低く、中央部に近づくにつれて感度は減少する。よって、ひずみセンサ3は、チップ101の接着面において極力中央部に近い領域に配置し、アナログ/デジタルコンバータ5、整流・検波・変復調回路部6、通信制御部7、電源供給装置10等の回路は端部に近い領域に配置する。これにより、感度の高い、高信頼性を有する力学量測定装置を提供することができる。
本発明の第四の実施例を図13から図19を用いて説明する。本実施例は、基本的には第一の実施例と同様な構成及び特徴を持つが、加えてひずみセンサ3の抵抗層とダミー抵抗21の抵抗層からなるホイートストンブリッジ回路102を同一の単結晶シリコン基板2内に設けた力学量測定装置である。ホイートストンブリッジ回路の回路図を図13に示す。本実施例においては、ホイートストンブリッジ102はひずみセンサ3を二本とダミー抵抗21を二本用いることによって構成されたものについて記述を行う。ひずみセンサ3を一本、ダミー抵抗21を三本としたワンアクティブゲージ型のホイートストンブリッジ回路であっても良い。また、図13において、二つのひずみセンサ3をひずみセンサ3aとひずみセンサ3b、二つのダミー抵抗21をダミー抵抗21aとダミー抵抗21bと称する。ひずみセンサ3aから時計回りに、ダミー抵抗21a、ひずみセンサ3b、ダミー抵抗21bの順に結線されてホイートストンブリッジ回路を構成しているものとし、該ダミー抵抗21aと該ひずみセンサ3bとの間及び該ダミー抵抗21bと該ひずみセンサ3aとの間に入力電圧が印加され、該ひずみセンサ3aと該ダミー抵抗21aとの間及び該ひずみセンサ3bと該ダミー抵抗21bとの間から出力電圧が検出されるものとする。
ブリッジの拡散層の順番について以下に説明する。
示すようにブリッジ回路を形成する四本の拡散抵抗一本一本の周囲にダミー拡散層となる抵抗15を配置することで、それぞれの抵抗の周囲環境の差を小さくすることができる。抵抗15はホイーストンブリッジ回路を構成していない。なお、ダミー拡散層はブリッジ回路を形成する四本それぞれの拡散抵抗と概ね同形状であることが望ましい。また、ブリッジ回路を形成する四本の拡散抵抗における周囲環境を極力同一のものとするために、一本の拡散抵抗の長手方向両脇に該拡散抵抗と概ね平行となるようダミー抵抗を配置することが望ましい。さらにブリッジ回路を形成する四本の抵抗全体を囲むダミー拡散層16を作製することで、ひずみセンサの周囲に配置する他回路の形状をマスクに作製する際の拡散抵抗形状上方でのガス濃度の不均一を低減させることができる。これにより均一な拡散層形成を実現することが可能となり、すべての抵抗の抵抗値の差を極力小さくしたホイートストンブリッジ回路を作製することができ、ひずみ量測定精度が向上する。ダミー拡散層は四本の拡散抵抗の周囲のみに配置したものであっても良いし、ブリッジ回路周囲のみに配置したものであっても良い。これらの場合、マスクエッチング時のガス濃度の不均一を低減させるという効果は若干小さくなるが、ひずみセンサの占有する面積を小さくでき、ブリッジ回路を形成する四本の抵抗の位置が接近することから、不純物拡散層形成時の抵抗値のばらつきを低減できるという利点がある。
2・・・・・・・・・・・・・・・・・シリコン基板
3、3a〜3b・・・・・・・・・・・ひずみセンサ
4・・・・・・・・・・・・・・・・・アンプ郡
5・・・・・・・・・・・・・・・・・アナログ/デジタルコンバータ
6・・・・・・・・・・・・・・・・・整流・検波・変復調回路部
7・・・・・・・・・・・・・・・・・通信制御部
8・・・・・・・・・・・・・・・・・接着部
9・・・・・・・・・・・・・・・・・アンテナ
10・・・・・・・・・・・・・・・・電源供給装置
11・・・・・・・・・・・・・・・・被測定物
12・・・・・・・・・・・・・・・・保護材
13・・・・・・・・・・・・・・・・接着・固定用介在物
14・・・・・・・・・・・・・・・・配線
15・・・・・・・・・・・・・・・・ダミー拡散層
16・・・・・・・・・・・・・・・・ダミー拡散層
17・・・・・・・・・・・・・・・・不純物拡散抵抗
18、18a〜18d・・・・・・・・ビア
21、21a〜21b・・・・・・・・ダミー抵抗
51・・・・・・・・・・・・・・・・樹脂テープ
55・・・・・・・・・・・・・・・・高透磁性体シート
56・・・・・・・・・・・・・・・・樹脂製応力緩和層
57・・・・・・・・・・・・・・・・ひずみ測定方向の印
58・・・・・・・・・・・・・・・・樹脂
101・・・・・・・・・・・・・・・チップ
102・・・・・・・・・・・・・・・・ホイートストンブリッジ回路
120・・・・・・・・・・・・・・・・パッド
201・・・・・・・・・・・・・・・・リーダ
202・・・・・・・・・・・・・・・・リーダアンテナ
Claims (18)
- 単結晶半導体基板と、前記基板の一主面上に、ひずみセンサと、該ひずみセンサからの信号を増幅してデジタル信号に変換する増幅変換回路と、変換された該デジタル信号を前記半導体基板の外部に電送する伝送回路と、電源回路と、を設け、前記主面を構成する主辺のうち、前記ひずみセンサのひずみ測定方向に近い方向に位置する主辺は前記主辺に交わる方向に位置する他の主辺より長いことを特徴とする力学量測定装置。
- 単結晶半導体基板と、前記基板の一主面上に、ひずみセンサと、該ひずみセンサからの信号を増幅してデジタル信号に変換する増幅変換回路と、変換された該デジタル信号を前記半導体基板の外部に電送する伝送回路と、電源回路と、を設け、前記半導体基板の厚さと前記ひずみの測定方向における前記半導体基板の長さの比が0.3以下であることを特徴とする力学量測定装置。
- 単結晶半導体基板と、前記基板の一主面上に、ひずみセンサと、該ひずみセンサからの信号を増幅してデジタル信号に変換する増幅変換回路と、変換された該デジタル信号を前記半導体基板の外部に電送する伝送回路と、電源回路と、を設け、前記半導体基板の前記回路が形成された主面上を覆う遮光性材を配置することを特徴とする力学量測定装置。
- 単結晶半導体基板と、前記基板の一主面上に、ひずみセンサと、該ひずみセンサからの信号を増幅してデジタル信号に変換する増幅変換回路と、変換された該デジタル信号を前記半導体基板の外部に電送する伝送回路と、電源回路と、を設け、前記半導体基板の側面に一部が連絡し、他の一部が被測定物に連絡しうるよう形成された被覆部材を備えることを特徴とする力学量測定装置。
- 単結晶半導体基板と、前記基板の一主面上に、ひずみセンサと、該ひずみセンサからの信号を増幅してデジタル信号に変換する増幅変換回路と、変換された該デジタル信号を前記半導体基板の外部に電送する伝送回路と、電源回路と、を設け、被測定物に設置された状態で、前記半導体基板の側面には前記被測定物の一部が対向して位置する領域を有することを特徴とする力学量測定装置。
- 単結晶半導体基板と、前記基板の一主面上に、ひずみセンサと、該ひずみセンサからの信号を増幅してデジタル信号に変換する増幅変換回路と、変換された該デジタル信号を前記半導体基板の外部に電送する伝送回路と、電源回路と、を設け、被測定物に設置される領域に、応力緩和層を備えることを特徴とする力学量測定装置。
- 樹脂テープと、前記樹脂テープに形成されたアンテナと、前記樹脂テープに設置された単結晶半導体基板とを備え、前記半導体基板の一主面上に、ひずみセンサと、該ひずみセンサからの信号を増幅してデジタル信号に変換する増幅変換回路と、変換された該デジタル信号を前記半導体基板の外部に電送する伝送回路と、電源回路と、を設け、前記伝送回路は前記アンテナと電気的に連絡されることを特徴とする力学量測定装置。
- 請求項7において、前記半導体基板は周囲を前記アンテナに囲まれるように配置されたことを特徴とする力学量測定装置。
- 請求項7において、前記アンテナの前記被測定物と対向する側に高透磁性体フィルムを備えることを特徴とする力学量測定装置。
- 請求項8において、前記高透磁性体フィルムは、前記半導体基板が位置する領域に開口部を備えることを特徴とする力学測定装置。
- 請求項7において、前記樹脂テープより剛性の高い樹脂体で、前記半導体基板及び前記樹脂テープの少なくとも一部を覆われたことを特徴とする力学量測定装置。
- 請求項11において、樹脂体には前記ひずみ測定方向に基く標識を備えたことを特徴とする力学量測定装置。
- 単結晶半導体基板と、前記基板の一主面上に、ひずみセンサと、該ひずみセンサからの信号を増幅してデジタル信号に変換する増幅変換回路と、変換された該デジタル信号を前記半導体基板の外部に電送する伝送回路と、電源回路と、を設け、前記ひずみセンサが形成された主面に被測定物への設置領域を有することを特徴とする力学量測定装置。
- 単結晶半導体基板と、前記基板の一主面上に、ひずみセンサと、該ひずみセンサからの信号を増幅してデジタル信号に変換する増幅変換回路と、変換された該デジタル信号を前記半導体基板の外部に電送する伝送回路と、電源回路と、を設け、前記ひずみセンサより前記シリコン基板端部側に前記伝送回路が配置されたことを特徴とする力学量測定装置。
- 単結晶半導体基板の一主面上に、ひずみセンサ抵抗としての抵抗送を含む複数の抵抗層を備えたホイートストンブリッジ回路と、該ホイートストンブリッジ回路からの信号に基いてデジタル信号に変換する変換回路と、該デジタル信号を前記半導体基板の外部に伝送する伝送回路と、電源回路と、を備え、前記ひずみセンサ抵抗の長手方向に沿って形成され、前記ホイートストンブリッジ回路を構成しない抵抗層を備えることを特徴とする力学量測定装置。
- 請求項15において、前記ホイートストンブリッジ回路を構成しない抵抗層は、前記ホイートストンブリッジの前記抵抗層の長手方向の両側に形成されることを特徴とする力学量測定装置。
- 単結晶半導体基板の一主面上に、ひずみセンサ抵抗を含む複数の抵抗層を備えたホイートストンブリッジ回路と、該ホイートストンブリッジ回路からの信号に基いてデジタル信号に変換する変換回路と、該デジタル信号を前記半導体基板の外部に伝送する伝送回路と、電源回路と、を備え、前記抵抗層は長手方向が同方向に向いた奇数本の線状部と前記線状部同士をつなぐ偶数個所の連絡部とを備えることを特徴とする力学量測定装置。
- 単結晶半導体基板と、前記半導体基板の主面上に、ひずみセンサおよびダミー抵抗を備えたホイートストンブリッジ回路と、該ひずみセンサからの信号を増幅するオペアンプと、増幅された信号をデジタル信号に変換する変換回路と、該デジタル信号を該シリコン基板の外部に電送するための伝送回路と、該シリコン基板の外部から受けた電磁波エネルギを該回路の電源とする回路、を設け、前記オペアンプ回路の出力は前記ホイートストンブリッジ回路からの出力に基く値に予め設定された値を加算した値になるよう構成したことを特徴とする力学量測定装置
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