JP2005537466A - 反磁性浮上システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
本発明は、反磁性浮上に基づく慣性センサまたはアクチュエータに関し、慣性センサまたはアクチュエータは、支持手段を備えており、これは、慣性センサまたはアクチュエータ、永久磁石の二次元配列およびその配列に面する反磁性要素のためのメイン支持体本体として役立っており、前記反磁性体が慣性体またはアクチュエータの可動部を構成していることを特徴とするものである。
Description
−反磁性浮上を使用している計測器のベースを通じて、受動的に浮上される(エネルギー入力無しで)
−静電アクチュエータを用いて、慣性感知システムのための力平衡概念を採用して、正確な位置に維持される、
からである。
−双方向性傾斜計(伏角計)
−平電極4(または4'and 4")の代わりに、櫛電極20および21(図11)に印加される交流電圧が付加されたジャイロスコープ
−双方向性アクチュエータ
−重力計
図1、図2、図3、図4および図7に記載されている好ましい実施例において、反磁性ディスク1は、円筒状アルミニウム冠3に囲まれていて、永久磁石10のHalbach-2D配列2(図13-f参照。)を通じて浮上される。
2) 永久磁石の2D配列
3) アルミニウム冠
4) 銅電極
5) 光学センサ
6) 赤外線ダイオード
7) 反磁性ディスクの穴および磁石の配列の穴を通過している赤外線ビーム
8) 単離層
9) 構造的支持体
10) 極性を有する磁石
12) コントローラ
14) 電圧増幅器
b) 位相1電極
c) 位相3電極
20) 位相3電極の正面図
21) 位相3電極の背面図
4'') 外部銅電極
Claims (17)
- 反磁性浮上に基づく慣性センサであって、慣性センサは、永久磁石の二次元配列と、前記配列に面する反磁性要素とを備えている慣性センサにおいて、前記反磁性体が慣性質量体を構成することを特徴とする慣性センサ。
- 請求項1の慣性センサであって、前記配列が、"Halbach 2D"と称される永久磁石の二次元配列である慣性センサであって、
−永久磁石を構成する幾つかが、前記配列を定めているXY面と直交するZ方向に突き出しており、
−磁場線の大部分が前記配列の一方の側に集中させられ、その極めて少ない磁場線が前記配列の他方の側に向けられており、
−永久磁石の"Halbach 2D"を定めている2つの方向XおよびYに沿って、永久磁石の線形Halbach配列を見ることができ、隣接した磁石(一方向に沿って)の極性は、90°の増加だけ相違させられており、
−磁束線の左右対称を壊すことを回避するために、前記配列から若干の磁石が無くなっており、それらの磁石の無い部分は前記磁石のX+Y方向との方向と平行な方向にそって同じ垂直の極を有する2個の磁石の間に位置させられている、
ことを特徴とする慣性センサ。 - 請求項1または2の慣性センサであって、さらに、フィードバックループを備えており、フィードバックループに、
−前記慣性質量体の移動を検出する少なくとも1つの非接触位置センサ
−前記慣性質量体を定位置に保持するか、移動させるための少なくとも3つの静電アクチュエータ
−および、前記支持手段に動作する誘導を引出しかつ前記慣性質量体を移動させるか、定位置に保持するための計算手段、
が組み込まれ、
前記静電アクチュエータは、物理的に前記慣性質量体にシールされている1つの共通電極を有しており、前記静電アクチュエータの各々が、前記共通電極に面しかつ囲むか、または、共通電極によって囲まれている慣性センサ。 - 請求項3に記載の慣性センサであって、
−2対の電極
−4分割光学センサ
−LEDまたはレーザ源
を備えており、
前記慣性質量体が、このように前記共通電極を構成しているアルミニウム冠によって囲まれている反磁性体のディスクであり、
前記対の電極は、前記アルミニウム冠に直径方向に面しており、各対の電極は、その他の対の電極と直交して配置され、
前記4分割光学センサおよび前記LEDまたはレーザ源は、前記慣性ディスク体によって区切られる面と反対の面にそれぞれ面しており、
前記慣性質量体は、前記LEDまたはレーザ源の光が前記4分割光学センサ上の当てられるその中心に穴を有していることを特徴とする慣性センサ。 - 請求項3に記載の慣性センサであって、
−2対の電極
−2対の非接触位置センサ
を備えており、
前記慣性質量体は、前記共通電極を構成しているアルミニウム冠によって囲まれている反磁性体のディスクであり、
前記対の電極は、前記アルミニウム冠に直径方向に面しており、各対の電極は、その他の対の電極と直交して配置され、
非接触位置センサの前記対は前記アルミニウム冠に直径方向に面しており、各対の電極は、その他の対の電極と直交して配置されていることを特徴とする慣性センサ。 - 請求項1〜5のいずれか1つに記載の慣性センサを、双方向性非接触加速度計または双方向性非接触地震計として使用する使用。
- 請求項1〜5のいずれか1つに記載の慣性センサを、非接触双方向性傾斜計または傾斜計として使用する使用。
- 請求項1〜5のいずれか1つに記載の慣性センサを、非接触重力計として使用する使用。
- 請求項3、4または5のいずれか1つの慣性センサであって、
慣性センサは、円筒形状を有しており、
前記静電電極は、前記静電アクチュエータの前記共通電極に面するシリンダの表面に等間隔をおいて配置され、
前記静電アクチュエータの前記共通電極は、予め充電されたエレクトレット層によってカバーされ、そして、前記静電アクチュエータの他の電極は、前記慣性質量体を回転させうる回転電界を作成するために少なくとも3つの独立静電交代櫛状のものでできている慣性センサ。 - 請求項9に記載の慣性センサを、非接触ジャイロスコープとして使用する使用。
- 反磁性浮上に基づく双方向性アクチュエータあって、双方向性アクチュエータは、双方向性アクチュエータ、永久磁石の二次元配列およびその配列に面する反磁性体のためのメイン支持体として役立つ支持手段を有している双方向性アクチュエータにおいて、前記反磁性体がアクチュエータの可動部分を構成していることを特徴とする双方向性アクチュエータ。
- 請求項11の双方向性アクチュエータであって、前記配列が"Halbach 2D"と称される永久磁石の2次元配列であり、この配列は、
−磁石を構成している幾つかが、その配列を画定しているXY平面に対して直交する方向Zに突き出しており、
−磁場線の大部分が前記配列の一方の側に集中させられ、その極めて少ない磁場線が前記配列の他方の側に向けられており、
−永久磁石の"Halbach 2Dを定めている2つの方向XおよびYに沿って、永久磁石の線形Halbach配列を見ることができ、隣接した磁石(一方向に沿って)の極性は、90°の増加だけ相違させられており、
−磁束線の左右対称を壊すことを回避するために、前記配列から若干の磁石が無くなっており、それらの磁石の無い部分は前記磁石のX+Y方向との方向と平行な方向にそって同じ垂直の極を有する2個の磁石の間に位置させられている、
ことを特徴とする双方向性アクチュエータ。 - 請求項11または12の双方向性アクチュエータであって、さらに、フィードバックループを備えており、フィードバックループに、
−アクチュエータの可動部の移動を検知する少なくとも1つの位置センサ
―アクチュエータの前記可動部を定位置に保持するか、移動させるための少なくとも3つの静電アクチュエータ
―アクチュエータの前記可動部を移動させるか、定位置に保持するための計算手段
とが組み込まれており、
前記静電アクチュエータは、前記慣性質量体に物理的にシールされた1つの共通電極を有しており、各前記静電アクチュエータの他の電極は、共通電極に面しかつ部分的に囲むか、共通電極によって部分的に囲まれている双方向性アクチュエータ。 - 請求項13の双方向性アクチュエータであって、
−2対の電極
−4分割光学センサ
−LEDまたはレーザ源
を備えており、
前記慣性質量体が、このように前記共通電極を構成しているアルミニウム冠によって囲まれている反磁性体のディスクであり、
前記対の電極は、前記アルミニウム冠に直径方向に面しており、各対の電極は、その他の対の電極と直交して配置され、
前記4分割光学センサおよび前記LEDまたはレーザ源は、前記慣性ディスク体によって、区切られる面と反対の面にそれぞれ面しており、
前記慣性質量体は、前記LEDまたはレーザ源の光が前記4分割光学センサ上の当てられるその中心に穴を有している双方向性アクチュエータ。 - 請求項13の双方向性アクチュエータであって、
−2対の電極
−2対の非接触位置センサ
前記慣性質量体は、前記共通電極を構成しているアルミニウム冠によって囲まれている反磁性体のディスクであり、
前記対の電極は、前記アルミニウム冠に直径方向に面しており、各対の電極は、その他の対の電極と直交して配置され、
非接触位置センサの前記対は前記アルミニウム冠に直径方向に面しており、各対の電極は、その他の対の電極と直交して配置されている双方向性アクチュエータ。 - 請求項13、14または16のいずれか1つの双方向性アクチュエータであって、
−2つの付加的静電電極の間に前記反磁性体が位置させられるように位置させられる付加的静電電極であって、前記付加的静電電極および前記反磁性体の関連により構成される2つの新規な静電アクチュエータにおいて、共通電極の役割を前記反磁性体が果たしている少なくとも2つの付加的静電電極
−前記付加的な電極に関して前記反磁性体の位置を測定する少なくとも1つの付加的な非接触位置センサ
を備えており、
前記反磁性要素は、平坦に成形された反磁性体であり、
そして、前記位置センサは、前記付加的静電アクチュエータおよび前記計算手段を有するフィードバックループ組み込まれている双方向性アクチュエータ。 - 請求項16の双方向性アクチュエータを、原子間力顕微鏡プルーブのためのスキャン・モジュールとして使用する方法であって、原子間力顕微鏡プルーブが永久磁石の前記2D配列の前記穴に面する前記反磁性体に固定され、原子間力顕微鏡プルーブの下で、スキャンされる要素が前記穴の内側に位置させられる使用。
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