JP2005535264A - フィルタ回路 - Google Patents

Abstract

非対称ゲート（２０２）及び基板（Ｓ）から成るフィルタ回路。対称ゲート（２０４）と非対称ゲート（２０２）との間に、フィルタ段（２０６）及び平衡化部材（２０８）から成る直列回路が挿入されている。平衡化部材（２０８）とフィルタ段（２０６）は基板（Ｓ）上に形成されている。

Description

本発明はフィルタ回路、特に、非対称／対称信号を対称／非対称信号に変換するためのフィルタ回路に係わり、ここでは特にＢＡＷ共振回路（ＢＡＷ（Ｂｕｌｋ Ａｃｏｕｓｔｉｃ Ｗａｖｅ）バルク弾性波）を含むフィルタ回路に関する。本発明はまた、フィルタ回路の入力ゲートと出力ゲートの間のインピーダンス・レベルの変換を可能にする複数のＢＡＷ共振回路を有するフィルタ回路に関する。

共振回路に基づくＨＦフィルタ、例えば、ＢＡＷフィルタには、図１及び２を参照して以下に説明する２つの基本的な形態がある。

第１の形態（図１参照）はいわゆる「ラダーフィルタ」（はしご形フィルタ）である。はしご形フィルタ１００は第１入力接続部１０４及び第２入力接続部１０６を含む入力ゲート１０２を有する。フィルタ１００はまた、第１出力接続部１１０及び第２出力接続部１１２を含む出力ゲート１０８をも有する。入力ゲート１０２の入力接続部１０４には入力信号ＥＩＮが、出力ゲート１０８の第１出力接続部１１０には出力信号ＡＵＳが現れる。図１に示すフィルタ１００では、第１入力接続部１０４と第１出力接続部１１０との間に２つの直列共振回路Ｒ_ｓ１及びＲ_ｓ２が直列に接続されている。２つの並列共振回路Ｒ_ｐ１及びＲ_ｐ２も配設されている。第１並列共振回路Ｒ_ｐ１は入力ゲート１０２及び第１直列共振回路Ｒ_ｓ１と並列である。第２入力接続部１０６及び第２出力部１１２は基準電位１１４、例えばアースに接続している。並列共振回路Ｒ_ｐ１及びＲ_ｐ２も基準電位に接続している。図１に示す公知のフィルタは非対称信号を伝送するための、それぞれが個別の入力ＥＩＮと個別の出力ＡＵＳとを有する２段式はしご形フィルタである。

図２を参照して、単段式（２つの直列共振回路及び２つの並列共振回路）格子形フィルタ（ブリッジ・フィルタ）の詳細を説明する。図２では、図１の構成素子と類似の、または同じ構成素子には図１と同じ符号を付してある。

格子形フィルタ１２０は入力ゲート１０２の第１入力接続部１０４及び第２入力接続部１０６において対称入力信号ＥＩＮを受信する。出力ゲート１０８の出力接続部１１０及び１１２において対称出力信号ＡＵＳが出力される。第１入力接続部１０４と第１出力接続部１１０との間には直列共振回路Ｒ_ｓ１が配設されている。同様に、第２入力接続部１０６と第２出力接続部１１２との間には直列共振回路Ｒ_ｓ２が配設されている。第１入力接続部１０４と第２出力接続部１１２との間には第１並列共振回路Ｒ_ｐ１が接続されている。第２入力接続部１０６と第１出力接続部１１０との間には第２並列共振回路Ｒ_ｐ２が接続されている。図２に示すフィルタ１２０はすべて差動の、即ち、両入力ゲート１０２，１１０が対称（平衡）であるフィルタである。

個々のインピーダンス・エレメント・フィルタ・ブロックまたは段を構成するのに利用されるＢＡＷ共振回路を採用することで、選択度に優れ、且つ挿入損の低いフィルタを製造することができる。このようなフィルタは図１及び２を参照して説明する２つの基本的な形態を呈する。

図１及び２を参照して説明するフィルタでは、直列共振回路及び並列共振回路が好ましくはＢＡＷ共振回路であり、直列共振回路及び並列共振回路がそれぞれ所定の共振周波数に設定されている。所要のフィルタ作用を得るためには、直列共振回路の共振周波数に対して並列共振回路の共振周波数が離調されていることが好ましい。なお、特にフィルタ特性は実質的に同じであるが、異なる形態を呈するフィルタ回路の場合、はしご形フィルタ１００に使用される直列共振回路及び並列共振回路は格子形フィルタ１２０に使用される直列共振回路及び並列共振回路とは異なる。

はしご形フィルタ１００の場合、非対称入力信号を受信し、これに対応する非対称出力信号を出力することしかできない。同様に、格子形１２０にできるのは、対称入力信号を入力し、対称出力信号を出力することだけである。

しかし、非対称入力信号を対称出力信号に変成／変換したり、対称入力信号を非対称出力信号に変成／変換することを必要とする使用目的も存在する。さらにまた、これに代わって、またはこれに加えて、対称／非対称信号を非対称／対称信号に変換するため、入出力に種々のゲート・インピーダンスが存在し、これをも制御しなければならないような使用目的も存在する。

上記のような変換／変成を行うための公知の方法は、平衡化部材（バラン：平衡不平衡変換器）と呼称される補足的な構成部材を設けるというものであった。平衡化部材としては、磁気伝送器（磁気変成器）またはＬＣ回路またはストリップ導体構造を利用することができ、平衡化部材は図１及び２に示すフィルタ回路の前後に位置するようにプリント回路基板に配置される。もちろん、フィルタ回路の前後に平衡化部材を個々に配置することは可能であるが、必要部品数が増え、プリント回路基板上の必要スペースが広くなる。

表面弾性波フィルタ（ＳＡＷフィルタ）では、構成部材を付加しなくても弾性波平衡化機能を果たすことができるが、フィルタ全体の性能が著しく低下する。しかも、この平衡化機能の結果として、このフィルタは静電気放電に極めて敏感であり、入力処理能力がドラスチックに制限される。即ち、このようなフィルタ構造を介して伝送可能な入力量は極めて少ない。このようなＳＡＷフィルタの１例が日本特許公開第２０００−１１４９１７号公報に記述されている。結合されたＳＷＡフィルタの他の欠点として、このフィルタの応答は一般にインピーダンス・エレメント・フィルタの応答、特に通過帯域付近におけるいわゆるロールオフまたは選択度よりも劣る。

非対称信号を称信号に変換するためのアプローチは、例えば、ヨーロッパ特許第１２０２４５４号に記載されており、その記載によれば、図１及び２に示すものに類似のフィルタ構造を組合わせる。即ち、はしご形フィルタの出力に格子形フィルタを接続する。しかし、このアプローチには、このようなフィルタを実用に供するのに重大な欠点があり、特に、浮遊（フローティング）差動負荷にだけ適用でき、アースへのＨＦ漏れ電流は全く許容しない、という難点がある。

ＢＡＷフィルタに関連して、インピーダンス変成を実施可能な態様あるいは方法を提案したアプローチは知られていない。

このような従来技術に鑑み、本発明の目的は簡単な態様及び方法で、対称／非対称信号から非対称／対称信号への変換を可能にするように改良され、フィルタ段及び平衡化部材が基板上に構成されているフィルタ回路を提供することにある。

この目的は特許請求の範囲第１項に記載のフィルタ回路によって達成される。

本発明は対称ゲート、非対称ゲート、基板及び直列回路を有するフィルタ回路を提供する。直列回路は対称ゲートと非対称ゲートとの間に挿入されたフィルタ段及び平衡化部材から成る。

直列回路のフィルタ段は好ましくは複数のＢＡＷ共振回路を含み、その場合、少なくとも１つの直列ＢＡＷ共振回路と少なくとも１つの並列ＢＡＷ共振回路を含む。

第１の好ましい実施形態では、フィルタ段が非対称ゲートと接続している非対称フィルタ段であり、平衡化部材が対称ゲートと接続している。

他の実施形態では、フィルタ段が対称ゲートと接続している対称フィルタ段であり、平衡化部材が非対称ゲートと接続している。

さらに他の実施形態では、フィルタ段が対称ゲートと接続している対称フィルタ段であり、直列回路が非対称ゲートと接続している非対称フィルタ段をも含む。この実施形態では、平衡化部材が対称フィルタ段と非対称フィルタ段との間に挿入されている。フィルタ段も平衡化部材もすべて同一基板上に形成されている。

直列回路には整合素子をも組み込むことができ、整合素子はフィルタ段と非対称ゲートまたは対称ゲートとの間に挿入され、フィルタ段の構成素子及び平衡化部材の構成素子と一緒に基板上に形成される。

平衡化部材は基板上に形成された少なくとも２つのコイルを含む伝送素子であることが好ましい。

本発明の他の実施形態では、平衡化部材を構成するコイルとして、互いに異なる巻き数を有し、フィルタ回路の両ゲート間のインピーダンス変成が可能となるように巻き数比を適正に設定されたコイルを採用する。

基板は高い抵抗値を有し、たとえば金属導体路を材料とするコイルをその表面に形成できるような基板であることが好ましい。あるいは、弾性波反射素子が配設される基板上の領域にコイルを形成することも可能である。

従って、本発明はＨＦフィルタ、特に、ＢＡＷ技術を利用することによって、例えば変換器（平衡化部材）のほかコイル、コンデンサまたは抵抗素子のような受動素子をも一体的に含むＨＦフィルタを提供する。

本発明は、フィルタチップ（基板）上にこれと一体に平衡化部材（バラン）を追加形成できるようにＢＡＷ共振回路の基本的製法を修正することによって、インピーダンス・エレメント・フィルタの望ましい特徴と、非対称／対称信号から対称／非対称信号への変換能力とを組合わせることができるとの所見に基づいている。これにより、フィルタの入力ゲート間のインピーダンス変成も可能になる。

本発明はインピーダンス・エレメント・フィルタの利用を可能にすると同時に、対称／非対称信号から非対称／対称信号への変換を、さらには必要に応じて、モノリシックな態様のフィルタチップ内で、即ち、外部素子を使用せずにインピーダンスの変換を可能にする。平衡化部材は互いに重なり合い、且つ互いに電磁結合している２つの渦巻きコイルであることが好ましい。

本発明の利点は、平衡化部材の製造に利用される製法によって、平衡化部材の構成素子としてまたは整合素子として追加的に利用できる高品質（高Ｑ値）のモノリシック・コイル（渦巻きインダクタンス）をも形成できることにある。今のところ、公知のフィルタ回路において、この整合素子は依然としてフィルタチップ外の外部素子として実施されており、このことが上述した問題を伴うことになる。

本発明の他の利点は、インダクタンスのほかに、コンデンサをも簡単な態様及び方法で形成でき、ＢＡＷ共振回路の製造に際して絶縁材から成る種々の層が使用されるから、これもフィルタチップ上にモノリシックな素子として形成できることにある。このように形成されたコンデンサは整合コンデンサまたは結合コンデンサとして利用することができる。

（平衡化部材、インダクタンス、コンデンサ）のような素子の形成に必要な厚い金属の周りに複数のマスク層を形成するために公知のＢＡＷ製法に加えるべき修正はごく僅かであるから、製造コストの増大は取るに足らない。

本発明の好ましい実施形態の詳細を添付の図面を参照しながら以下に説明する。

本発明の好ましい実施形態に関する以下の説明において、同じまたは類似の作用を有する素子には共通の参照符号を付してある。

図３は、本発明のフィルタ回路２００の第１実施形態を示す。フィルタ回路２００は非対称接続部２０２と、２つの対称ゲート２０４ａ、２０４ｂを有する対称接続部２０４を含む。非対称接続部２０２と対称接続部２０４との間には、フィルタ段２０６と平衡化部材（バラン）２０８から成る直列回路が挿入されている。図３に示す実施形態におけるフィルタ段２０６は、例えば図１に関連して述べたようなはしご形フィルタの形態を呈する非対称フィルタ段である。フィルタ段２０６は２つの直列共振回路Ｒ_ｓ１、Ｒ_ｓ２及び２つの並列共振回路Ｒ_ｐ１、Ｒ_ｐ２を含む。

非対称接続部２０２は第１接続点２１０及び第２接続点２１２を含む。第２接続点２１２は基準電位２１４、例えばアースと接続している。フィルタ段２０６は、第１接続点２１０と第３接続点２１６の間に挿入された２つの直列共振回路Ｒ_ｓ１、Ｒ_ｓ２から成る直列回路を含む。第１並列共振回路Ｒ_ｐ１は基準電位２１４と、第１直列共振回路Ｒ_ｓ１及び第２直列共振回路Ｒ_ｓ２間の接続点２１８との間に挿入されている。第２並列共振回路Ｒ_ｐ２は第３接続点２１６と基準電位２１４の間に挿入されている。

平衡化部材２０８は２つの結合コイル２２０ａ、２２２ａによって構成され、第１コイル２２０ａの第１接続部２２０ｂが第３接続部２１６と接続している。第１コイル２２０ａの第２接続部２２０ｃは基準電位２１４と接続している。

対称接続部２０４の第１ゲート２０４ａは第１接続点２２４と、基準電位２１４と接続している第２接続点２２６とを含む。同様に、第２ゲート２０４ｂは第１接続部２２８と、第１ゲート２０４ａと共用される接続点２２６を含む。

接続点２２４、２２６間で、または接続点２２８、２２６間で、対称信号がピックアップまたは受信される。

平衡化部材２０８の第２コイル２２２ａの第１接続部２２２ｂは第１対称ゲート２０４ａの第１接続点２２４と接続している。第２コイル２２２ａの第２接続部２２２ｃは第２対称ゲート２０４ｂの第１接続点と接続している。

従って、図３に示すのは平衡化部材（バラン）と組合わせたはしご形フィルタの形態である。フィルタ自体ははしご形構造を有し、選択度を高めるために、図示の２つの段よりも多い段を設けることができる。選択度をさらに高めるためには、それぞれの段に種々の大きさの直列‐及び並列共振回路を補足すればよい。本発明の好ましい実施形態の場合、平衡化部材は本質的には磁気的に互いに結合された２つの渦巻きコイルである。

抵抗に起因する損失と寄生キャパシタンスを低く抑えるには、修正されたＢＡＷ製法を利用することによって充分な厚さのコイル素子用金属を製造することが望ましい。使用される金属導体路または金属面の厚さは８００ｎｍ〜１０μｍ、またはＢＡＷ共振回路に使用される電極金属の厚さの２〜２０倍とする。

図３に示すフィルタ段２０６の素子も平衡化部材２０８の素子も、図３に略示するように、共にチップまたは基板Ｓ上に形成されている。このためには、既に述べたように、ＢＡＷ共振回路の製法を僅かに修正するだけでよく、これによってコストはやや高くなるが、回路基板上に外部構成素子を設け、この上にチップＳを配置するという手間が省かれるという利点が得られる。これによって、製造工程全体が簡単になる。

基板Ｓは高い抵抗値を有する基板であることが好ましく、コイルは１層または２層以上の絶縁層によって基板から隔離されていることが好ましい。本発明の好ましい実施形態では、ＢＡＷ共振回路のための必要な弾性波反射素子が基板Ｓ内に形成され、その上方に平衡化部材２０８が形成されるように反射素子の広がり範囲を選択できるから、簡単な態様及び方法で実施することができる。

１実施形態では平衡化部材巻き数比が１：１であるが、接続部２０２、２０４間に所要のインピーダンスレベルの変換が得られるように、１次巻線と２次巻線における巻き数に変化を持たせることができる。

本発明は、平衡化部材だけでなく、コイルやコンデンサも、ＢＡＷ共振回路をベースとするフィルタ構造内の、同一基板Ｓ上に集積すればよく、必要なマスキング工程が少なくて済むという点で有益である。平衡化部材とフィルタ段の組み合わせは多様な形態を取ることができ、フィルタリングが変換の前に行われるべきか、変換の後に行われるべきかによって選択される。前者の場合、フィルタ段ははしご形フィルタ構造を含み、後者の場合、格子形フィルタ構造を含む。通過帯域外での減衰に優れている点では格子形フィルタ構造の方がはしご形フィルタ構造よりも有利である。

次に図４〜６を参照して本発明の他の実施形態の詳細を説明する。図４は第２実施形態を示し、ここでは図３に使用されたはしご形フィルタ構造に代わって、フィルタ回路の対称入力２０４と接続する格子形フィルタ構造が採用されている。フィルタ段２０６と非対称入力２０２の間には平衡化部材２０８が挿入されている。

図４に示す実施形態の場合、フィルタ段２０６において、平衡化部材２０８の第２コイル２２２ａの第１接続部２２２ｂと対称出力２０４の接続部２２４との間に第１直列共振回路Ｒ_ｓ１が挿入されている。平衡化部材２０８の第２コイル２２２ａの第２接続部２２２ｃと対称出力２０４の第２接続部２２８との間に第２直列共振回路Ｒ_ｓ２が挿入されている。第２コイル２２２ａの第１接続部２２２ｂと対称接続部２０４の第２接続部２２８との間に第１並列共振回路Ｒ_ｐ１が挿入され、第２コイル２２２ａの第２接続部２２２ｃと対称接続部２０４の第１接続点２２４との間に第２並列共振回路Ｒ_ｐ２が挿入されている。

非対称接続部２０２の第１接続点２１０は平衡化部材２０８の第１コイル２２０ａの第１接続部２２０ｂと接続し、第１コイル２２０ａの第２接続点２２０ｃは非対称接続部２０２の第１接続点２１２と同様に基準電位２１４と接続している。

図３に示す実施形態の場合と同様に、ここでもＢＡＷ共振回路Ｒ_ｓ１，Ｒ_ｓ２，Ｒ_ｐ１，Ｒ_ｐ２が平衡化部材２０８の各素子と一緒に共通の基板またはチップ上に形成されている。

図５は本発明の他の実施形態を示し、この実施形態が図４に示す実施形態と異なる点は、非対称接続部２０２と平衡化部材２０８との間に追加のフィルタ段２３０が挿入されており、この実施形態では、フィルタ段２３０は単段はしご形フィルタの形態を呈する非対称フィルタ段である。フィルタ段２３０は非対称接続部２０２の第１接続点２１０と平衡化部材２０８の第１コイル２２０ａの第１接続部２２０ｂとの間に挿入された直列共振回路Ｒ_ｓ１を含む。さらに、第１コイル２２０ａの第１接続部２２０ｂと基準電位２１４の間には並列共振回路Ｒ_ｐ１が挿入されている。

図５に示す実施形態においても、すべてのＢＡＷ共振回路及びすべての平衡化部材素子が共通の基板上に形成されている。

図６は、図４に示した実施形態に整合・ブロック２３２を追加した実施形態であり、整合・ブロック２３２はフィルタ段２０６と対称出力２０４との間に挿入されている。

ブロック２３２は誘導性素子Ｌ及び２つの容量性素子Ｃ_１及びＣ_２を含む。容量性素子も誘導性素子も平衡化部材２０８の素子及びフィルタ段２０６のＢＡＷ共振回路と一緒にフィルタチップ上に形成されている。図４の場合とは異なり、フィルタ段２０６の第１直列共振回路Ｒ_ｓ１と代償出力２０４の第１接続点２２４との間に容量性素子Ｃ_１が挿入されている。第２容量性素子Ｃ_２はフィルタ段２０６の第２直列共振回路Ｒ_ｓ２と対称接続部２０４の接続点２２８の間に挿入されている。誘導性素子Ｌは第１直列共振回路Ｒ_ｓ１と第１容量性素子Ｃ_１との接続点と、第２直列共振回路Ｒ_ｓ２と第２容量性素子Ｃ_２との接続点との間で、対称出力接続部２０４と並列である。

次に、図７を参照して、平面的な平衡化部材構造の実施形態の詳細を説明する。図７に示す平面的構造は複数のらせん状に配置された金属導体路３００、３０２及び３０４から形成され、導体路３０２、３０４は基準電位２１４及び結線３０６と互いに接続している。上記のように接続している導体路３０２、３０４が平衡化部材２０８の第２コイル２２２ａを形成し、その接続部２２２ｂ、２２２ｃを図７に示した。同様に、導体路３００が第１コイル２２０ａを形成し、図７にはその接続部２２０ｂをも示した。

以上の説明において、入力及び出力に関する限り、両者は基本的に置き換え可能である。即ち、信号の流れ方向を逆向きにすることができ、流れ方向にあわせて、例えば、非対称信号供給源と対称負荷、または非対称負荷と対称信号供給源を使用するというように構造全体を適応させることになる。

本発明の利点は、公知技術とは異なり、フィルタ段の素子と一体に構成された小型の磁気変成回路を追加素子として含むことにある。

好ましい実施形態を以上に説明したが、本発明が上記実施形態に制限されないことはいうまでもない。上記実施態様に加えて、本発明のフィルタ回路が入力側及び／または出力側に１つまたは２つ以上の段を含むことも可能である。

２つの直列共振回路と２つの並列共振回路から成る２つの段を有する公知のはしご形フィルタ。 ２つの直列列共振回路と２つの並列共振回路から成る１つの段を有する公知の格子形フィルタ。 非対称入力ゲートに接続する非対称フィルタ段と対称出力に接続する平衡化部材を有する本発明のフィルタ回路の第１実施形態。 対称ゲートに接続する対称フィルタ回路段と非対称ゲートに接続する平衡化部材を有する本発明のフィルタ回路の第２実施形態。 対称ゲートに接続する対称フィルタ回路段、非対称ゲートに接続する非対称フィルタ回路段及び２つのフィルタ回路段間に挿入された平衡化部材を有する本発明のフィルタ回路の第３実施形態。 図４に示したのと同様の構成に整合素子を補足した、本発明のフィルタ回路の第４実施形態。 平面的な平衡化部材構造を例示する配線略図。

符号の説明

１００ はしご形フィルタ
１０２ 入力ゲート
１０４ 入力ゲートの第１入力接続部
１０６ 入力ゲートの第２入力接続部
１０８ 出力ゲート
１１０ 出力ゲートの第１出力接続部
１１２ 出力ゲートの第２出力接続部
１１４ 基準電位
１２０ 格子形フィルタ
２００ フィルタ回路
２０２ 非対称接続部
２０４ 対称接続部
２０４ａ 対称ゲート
２０４ｂ 対称ゲート
２０６ フィルタ段
２０８ 平衡化部材
２１０、２１２ 接続点
２１４ 基準電位
２１６、２１８ 接続点
２２０ａ 第１コイル
２２０ｂ 第１コイルの第１接続部
２２０ｃ 第１コイルの第２接続部
２２２ａ 第２コイル
２２２ｂ 第２コイルの第１接続部
２２２ｃ 第２コイルの第２接続部
２２４、２２６ 対称接続部２０４の接続点
２２８ 対称接続部２０４の接続点
２３０ 追加のフィルタ段
２３２ 整合段
３００、３０２ 金属導体路
３０４ 金属導体路
３０６ 接続素子
Ｒ_ｓ１，Ｒ_ｓ２ 直列共振回路
Ｒ_ｐ１，Ｒ_ｐ２ 並列共振回路

Claims (11)

1. 対称ゲート（２０４）と、
   非対称ゲート（２０２）と、
   基板（Ｓ）と、
   フィルタ段（２０６、２３０）及び平衡化部材（２０８）を備えた、対称ゲート（２０４）と非対称ゲート（２０２）との間に挿入される直列回路と
   を有し、
   平衡化部材（２０８）及びフィルタ段（２０６）が基板（Ｓ）上に形成される
   ことを特徴とするフィルタ回路。
2. 前記フィルタ段（２０６）が少なくとも１つの直列ＢＡＷ共振回路（Ｒ_s1、Ｒｓ₂）及び少なくとも１つの並列ＢＡＷ共振回路（Ｒ_p1、Ｒ_p2）を含むことを特徴とする請求項１に記載のフィルタ回路。
3. 前記フィルタ段（２０６）が前記非対称ゲート（２０２）と接続する非対称フィルタ段であり、前記平衡化部材（２０８）が前記対称ゲート（２０４）と接続することを特徴とする請求項１又は２に記載のフィルタ回路。
4. 前記フィルタ段（２０６）が前記対称ゲート（２０４）と接続している対称フィルタ段であり、前記平衡化部材（２０８）が前記非対称ゲート（２０２）と接続することを特徴とする請求項１又は２に記載のフィルタ回路。
5. 前記フィルタ段（２０６）が前記対称ゲート（２０４）と接続する対称フィルタ段であり、前記直列回路が非対称ゲート（２０２）と接続する非対称フィルタ段（２３０）をも含み、前記平衡化部材（２０８）が対称フィルタ段（２０６）と非対称フィルタ段（２３０）との間に挿入され、フィルタ段（２０６、２３０）及び平衡化部材（２０８）が基板（Ｓ）上に形成されることを特徴とする請求項１又は２に記載のフィルタ回路。
6. 前記直列回路が、前記フィルタ段（２０６）と前記非対称ゲート（２０２）または対称ゲート（２０４）との間に挿入される１つまたは２つ以上の整合素子（２３２、Ｌ、Ｃ₁、Ｃ₂）をも含み、
   該整合素子が基板（Ｓ）上に形成されることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のフィルタ回路。
7. 前記平衡化部材（２０８）が２つのコイル（２２０ａ、２２２ａ）を有する伝送素子であり、該コイル（２２０ａ、２２２ａ）が基板（Ｓ）上に形成されることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のフィルタ回路。
8. 前記コイル（２２０ａ、２２２ａ）が、前記非対称ゲート（２０２）と対称ゲート（２０４）間のインピーダンス変換を可能にする巻き数比を有することを特徴とする請求項７に記載のフィルタ回路。
9. 前記基板（Ｓ）が高い抵抗値を有し、前記コイル（２２０ａ、２２２ａ）が金属導体路（３００，３２０，３０４）を材料として該基板（Ｓ）上に形成されていることを特徴とする請求項７又は８に記載のフィルタ回路。
10. 前記基板（Ｓ）が弾性波反射素子を有し、ＢＡＷ−共振回路（Ｒ_s1、Ｒ_s2、Ｒ_p1、Ｒ_p2）及びコイル（２２０ａ、２２２ａ）が該弾性波反射素子の上方に形成されていることを特徴とする請求項７又は８に記載のフィルタ回路。
11. コイル（２２０ａ、２２２ａ）の金属導体路（３００，３０２，３０４）が８００ｎｍ〜１０μｍの厚さに形成されていることを特徴とする請求項９又は１０に記載のフィルタ回路。

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