JP2005517966A - 高密度光ファイバーアレイ - Google Patents
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Abstract
本発明の一実施形態における光ファイバーアレイは、ハウジングと、第1のパターンに従って配される複数の第1の穴が貫通する第1プレートと、第2のパターンに従って配される複数の第2の穴が貫通するシリコン・プレートを備える。第1プレートはハウジングに取り付けられる。シリコン・プレートは、複数の第2の穴のそれぞれが複数の第1の穴における対応する穴と略心合するように第1プレートに取り付けられる。光ファイバーアレイは複数の光ファイバーを更に備え、複数の光ファイバーのそれぞれが、複数の第1の穴における対応する穴を貫通し、複数の第2の穴における対応する穴から突出する。
Description
本発明は光ファイバーに関する。より詳細には、本発明は光ファイバーアレイに関する。
通常、通信ネットワークのような光ファイバーネットワークは、例えば光ファイバースイッチや他の光ファイバーアレイのクロスコネクトのような他の光学デバイスにカップリングされる光ファイバーアレイを備える。
通常、光ファイバーから放射された光は、光ファイバーの開口数(NA=n・sin(θmax)によって決定される円錐形のパターンに発散する。ここで、nはファイバーが光を放射する媒体の屈折率であり、θmaxは円錐形の放射パターンの半値角である。光学系に光ファイバーアレイを接続する際の損失を最小限にするために、アレイ中の光ファイバーによって放射され発散したビームは通常、レンズによってコリメートされ、および/または、再結像する。放射された光を効率よく他の光学系にカップリングするために、光ファイバーアレイの複数のファイバーから放射されたビームを同時にコリメート、および/または、再結像させるには、複数の光ファイバーのそれぞれが、(1)それぞれの光ファイバーからの光が、アレイ中の正確に知られている位置から放射され、(2)それぞれの光ファイバーからの光が、ほぼ同じ角度で放射され(即ち、光ファイバーは相互に平行になるように整列され)、(3)それぞれの光ファイバーからの光が、コリメーションおよび/または再結像用レンズから略等しい距離から放射され、および/または、(4)各光ファイバーは略等しい開口数を有する、という条件を満たすように整列される事が通常必要である。
例えば、特許文献1に開示されているV字溝型光ファイバーアレイのような公知の精密光ファイバーアレイは、単一の平面上に平行に配置された少数の光ファイバー(例えば64本以下)を通常備える。
米国特許第6027253号明細書
光ファイバーの本数が増加するとともに、このような単一平面型アレイは急速に使用しにくいものとなっている。例えば、テレコミュニケーションにおける多くの実施例において、100本以上(もしくは1000本以上)の光ファイバーを備える光ファイバーアレイが必要となると予想される。残念ながら、単一平面型アレイはそのような実施例に対して非実用的である。さらに、少数の光ファイバーのみを取り扱う場合と比べて、大量の光ファイバーを配列する場合、光ファイバーアレイによる光出力を別の光学系へ効率的にカップリングすることがより困難になる。
別の光学のデバイスまたは光学系に効率良く光接続され得る大量の数の光ファイバーを備える光ファイバーアレイが必要となっている。
本発明における光ファイバーアレイは、ハウジングと、第1のパターンに従って配される複数の第1の穴が貫通する第1プレートと、第2のパターンに従って配される複数の第2の穴が貫通するシリコン・プレートを備える。第1プレートはハウジングに取り付けられる。シリコン・プレートは、複数の第2の穴のそれぞれが複数の第1の穴における対応する穴と略心合するように第1プレートに取り付けられる。光ファイバーアレイは複数の光ファイバーを更に備え、複数の光ファイバーのそれぞれが、複数の第1の穴における対応する穴を貫通し、複数の第2の穴における対応する穴から突出する。
一実施形態において、ハウジングはステンレス鋼から製作され、第1プレートはアンバー合金から製作される。例えば、第1プレートはハウジングに鑞付されて良い。シリコン・プレートは、例えばインジウムのようなハンダ材の層を備えた第1プレートに取り付けられて良い。ハンダ材は、第1プレートおよびシリコン・プレート上に配された金属層に付着する。ハンダ材は、光ファイバとシリコン・プレートの間の気密封止を実現しても良い。シリコン・プレートの複数の穴は、深い反応性イオンエッチング(DRIE)および水酸化カリウムによるエッチングの組み合わせによって形成されて良い。1つの実施例において、複数の光ファイバは、ハウジングに挿入されて複数の第1の穴を貫通して複数の第2の穴に挿入されるよりも前に、複数の略平面状のアレイに整形される。
本発明の他の形態において、本発明における光ファイバアレイによって用いられるのに適当なシリコン・プレートは、第1面および第2面を備える。シリコン・プレートの複数の穴の複数の側壁は、第1面に近接している複数の第1部分と、第2面に近接している複数の第2部分を備える。複数の側壁の複数の第1部分は相互に略平行である。複数の側壁の複数の第2部分は、シリコン・プレートの第2面に複数の面取りされた穴を形成する。一実施形態において、シリコン・プレートの厚さは約0.5ミリメートルより厚い。また、複数の側壁の複数の第1部分は複数の略円筒状のチャネルを形成する。好都合な事に、複数の光ファイバの複数のストリッピングされた部分は、シリコン・プレートの複数の面取りされた穴に容易に挿入され、複数の略円筒状のチャネルに自動的に案内される。さらに、シリコン・プレートに挿入された複数の光ファイバの位置は約±1μmより高い精度で認識されて良く、複数の光ファイバーの方向は、平行誤差が1ミリラジアン以内になるように維持されて良い。
本発明の他の形態において、本発明における光ファイバアレイによって用いられるのに適当な光ファイバの単一平面型アレイは複数の光ファイバーを備え、複数の光ファイバーのそれぞれは、第1部分および第2部分を有する。単一平面型アレイは例えばポリイミド・フィルムまたはテープのような封入材を更に備える。複数の第1部分が略等間隔に離間しかつ略平行に配置されるような1個のシートを形成するために、複数の光ファイバーの複数の第1部分が封入材に封入さる。複数の光ファイバーの複数の第2部分が複数のリボンを形成するために封入材に封入され、複数のリボンのそれぞれは、複数の光ファイバーの複数の第2部分の部分集合を含む。このような単一平面型のアレイは容易に取り扱う事が出来る。特に、シート形状の複数の光ファイバは、上述したシリコン・プレートの複数の穴に容易に挿入されて良い。さらに、複数のリボンは、複数の標準型の光ファイバリボンに容易に結合されて良い。
図中の寸法は必ずしも一定の縮尺では無い点に留意するべきである。様々な図中の同一の参照番号は、様々な実施形態における同一の部品を示している。
図1を参照して、本発明の一実施形態における光ファイバーアレイ10(本明細書においてはファイバーブロックアセンブリとも称される)は、金属ハウジング12と、金属プレート14と、シリコン・プレート16と、単一平面型アレイ18−1〜18−NのようなN個の単一平面型アレイ中に配列された複数の光ファイバーとを備える。単一平面型アレイ18−1〜18−Nは、部分的にハウジング12に挿入される。従って、ハウジング12の内部にある単一平面型アレイ18−1〜18−Nの一部は、図1において不可視である。単一平面型アレイ18−1〜18−Nのうち2つのみが図1の中で明示的に示されているが、一実施形態において、光ファイバーアレイ10は、相互に平行に配列されるN=30個の単一平面型アレイを備える。他の実施例において、Nは30よりも大きいか、または30未満である。以下に記述されるように、単一平面型アレイの光ファイバーの一部分は金属プレート14中の穴およびシリコン・プレート16中の穴を貫通し、シリコン・プレート16の表面20上で光ファイバーの2次元の配列を形成する。
単一平面型アレイ18−1の例が、図2(a)および図2(b)により詳細に示される。例示された実施形態において、単一平面型アレイ18−1は、40本の光ファイバー22−1〜22−40を備えるが、他の実施形態においては、単一平面型アレイ18−1は、40本を超える、あるいは40本未満の光ファイバーを備える。例えば、光ファイバー22−1〜22−40は、従来型の、コア径8.3μm、クラッド径125±1μmのコーニング社製のシングルモード光ファイバーSMF−28である。ある実施例において、光ファイバー22−1〜22−40は、クラッド径が125±0.2μmのシングルモード光ファイバーである精密型SMF−28である。
光ファイバー製造業者は、同一ロットまたは同一スプールのファイバーの開口数を良好に制御する事は出来るものの、複数ロット間の再現性はそれほど良好ではない。従って、ファイバーブロックアセンブリの全ての光ファイバーがおおよそ同じ開口数を有するように、光ファイバー22−1〜22−40は通常、同一スプールの光ファイバーから得られる。通常、光ファイバー22−1〜22−40の開口数の、平均値からの変動は約10%未満である。また、光ファイバーは通常、光ファイバーのコアの位置を正確に識別するために、クラッドおよびコアが優れた同心度を持つように選定される。1つの実施例において、コア−クラッド間の同心度は±1μm未満である。このような同心度の高い光ファイバーは通常高価なので、光ファイバー22−1〜22−40の長さは通常比較的短い(約15cm未満)。
光ファイバー22−1〜22−40は、可撓性テープ24の中に封入され、テープ24は光ファイバーの相互の位置を維持する。テープ24は、例えば従来のポリイミド・フィルムあるいは市販のカプトン(登録商標)テープのようなテープである。光ファイバーをリボン状にするのに適当な他の材料が使用されてもよい。図解の便宜のために、テープは、図2Aにおいては透明な様態で、図2Bにおいては不透明な様態で示される。
単一平面型アレイ18−1の一部分18aにおいて、光ファイバー22−1〜22−40の先頭部分は、相互に略平行かつ隣接する光ファイバー間の間隙が1±0.1ミリメートル(mm)となるように、略平面状の可撓性シート中に配列される。他の実施例においては、他の間隙の値が使用されてもよい。爾後、光ファイバーの先頭部分の一部分が、ファイバーアレイ10の組立ての際中に金属ハウジング12に挿入される。通常、単一平面型アレイの一部分18aにおける光ファイバー間の間隔は、金属プレート14およびシリコン・プレート16における一列に配列された穴の間隔と略一致するように選択される。このように間隔を選択することによって、ファイバーアレイ10を容易に組み立てる事が可能になる。
単一平面型アレイ18−1の一部分18gにおいて、テープ24は光ファイバーから取り除かれる(あるいは最初から貼付されない)。光ファイバー22−1〜22−40のこれらの開放部分は、光ファイバーの外側のバッファ層の一部分が取り除かれた後に、金属プレート14およびシリコン・プレート16に挿入されても良い。いくつかの実施例において、シリコン・プレート16の穴に挿入される光ファイバーの一部分は、従来のメタライゼーション・プロセスを使用して、例えば金によって金属化される。このようなメタライゼーションによって、後続のハンダ付けプロセスの際に、ファイバーとシリコン・プレートの16の間に気密性のあるソルダーシールを形成することが容易になる。適切な光ファイバーメタライゼーション・プロセスは、当業者にとって公知である。光ファイバー22−1〜22−40の後続部分は、それぞれ8本の光ファイバーを備える5つの従来型の光ファイバーリボン18b〜18fとして配列される。好都合なことに、これらの従来型の光ファイバーのリボンは、任意のタイプのシングルモードのリボン状の光ファイバーに接合し得る。
光ファイバー22−1〜22−40が単一平面型アレイ18に高精度に配列されることによって、40本の光ファイバーのクラッド層およびバッファ層を同時に取り除く(ストリッピングする)ことが出来る。従って、破損の危険を伴う個々の光ファイバーの取り扱いを最小限に抑える。さらに、40本の光ファイバーは、1グループとして金属ハウジング12、金属プレート14およびシリコン・プレート16に挿入され得、それによって、挿入ステップの複雑さを低減する。
例えば、単一平面型アレイ18は、バックプレーン技術用のリボン状の光ファイバーを製作するために通常使用される従来型のリボナイザを使用して製造されても良い。このようなリボン化工程およびリボナイザは、当業者にとって公知である。多くのベンダーがこのようなリボン化に関するサービスを提供することができる。
図3(a)〜図3(c)においてより詳細に示される金属ハウジング12は、例えば、従来の方法でステンレス鋼から機械加工されても良い。例示された実施形態において、金属ハウジング12は矩形状の断面を有し、側面24Aおよび24Bの長さL1は43.5mmであり、側面24Cおよび24Dの長さL2は33.5mmである。4つの側面の高さH1は35.0mmであり、厚さT1は3.0mmである。金属ハウジング12は、高さH2=5mm、幅W1=7.0mmのフランジ26を備える。フランジ26は、深さD1=1.0mm、幅W2=2.0mmの凹部28を備える。他の寸法が適宜使用され得るのは明らかである。組み立てられた光ファイバーアレイ10(図1)において、金属プレート14が凹部28(図3A〜3C)に設置される。複数のネジが切られていない穴30(図中では、そのうちの1つのみに参照番号が付される)がフランジ26を貫通し、光ファイバーアレイ10を、例えばボルト、ねじ、ピンによって別の光学部材または光学系に取り付け可能なようになされている。一実施形態において、穴30の直径は通常3.0mmであり、フランジ26の各エッジに沿って8.0mmの間隔を有する。フランジ26の対抗するコーナ部分に2個のネジが切られていない穴32が貫通している。通常、穴32の直径は1.0mmであり、金属ハウジング12を光ファイバーアレイ10の他の構成要素と再現的に整列させ、または、光ファイバーアレイ10を光学系の他の光学部材および光学系に再現的に整列させるためのアライメントピン(図示せず)と一緒に用いられて良い。
金属プレート14が、図4(a)、図4(b)により詳細に示される。例示された実施形態において、矩形状に、縦30行・横40列に配列された1200個の穴34(図中では、そのうちの1つのみに参照番号が付される)が金属プレート14を貫通している。組み立てられた光ファイバーアレイ10において、単一平面型アレイ18−1〜18−Nに含まれる光ファイバーの一部分は、穴34を貫通し、以下に記述されるようにシリコン・プレート16の対応する穴に達する。穴34の直径はそれぞれ0.45±0.05mmであり、隣接する穴との間隔は1.00mm±0.01mmである。他の穴径および間隔が使用されてもよい。本実施形態において、金属プレート14は通常、各辺の長さL3=45.0mm、L4=35.0mm、および厚さT2=3.0mmの矩形形状を有するように、アンバー合金(〜36%ニッケル、鉄64%〜)から従来の方法で機械加工される。穴34は、当業者にとっては公知である従来のレーザー穴あけ技術によって作り上げられる。このような従来のレーザー穴あけ技術によって、小口径穴の精度良い位置決め、および累積位置決め誤差を伴わないアンバープレートの高アスペクト比を達成する事が出来る。アンバー合金は、シリコンと略等しい熱膨張率を有するので、本実施形態において選定されている。
図4(a)、(b)において、金属プレート14を貫通する1200個の穴34が示されているが、他の実施例においては、1200個よりも多い、または少ない数の穴を金属プレート14に形成しても良い。さらに、ある特定の行列パターンで配置された穴34が例示されているが、他のパターンが使用されても良い。図4(a)、(b)において、穴34を備える金属プレート14は単体で示されているが、以下に記述されるファイバーアレイ10の組立てにおいて、穴34が金属プレート14に形成されるのは、金属プレート14が金属ハウジング12に取り付けられた後である、と言う事が理解されるべきである。
一実施形態において、以下に記述するように、ファイバーアレイ10の組立て中に、金属プレート14の上部の表面36が、ハンダ材による層38によってコーティングされる。1つの実施例において、層38は、金属プレート14の上に堆積した厚さ1000マイクロインチのニッケル層と、ニッケル層の上に堆積した厚さ500マイクロインチのインジウム層を備える。インジウムは、比較的低温でハンダとして用いられ得る柔らかい材料であるので、本実施例において選定されている。例えば、ニッケルとインジウムは、当業者にとっては公知である従来の無電解ニッケルメッキ技術によって堆積される。
組み立てられた光ファイバーアレイ10(図1)において、シリコン・プレート16に機械的に取り付けられた金属プレート14はシリコン・プレート16を支持・補強する。これによって、シリコン・プレート16が、特に以下に記述される研摩プロセスの間に湾曲・変形する事を防ぐ。
図5は、2つのシリコン・プレート16の製作が可能なシリコン・ウェーハ40の概略図である。点線は、完成したシリコン・プレート16の形状を示す。例示された実施形態において、各シリコン・プレート16は、辺の長さがL3およびL4の矩形であり、その寸法は金属プレート14と同一である。金属プレート14の穴34のパターンと合致するようなパターンで配置されている穴42が、各シリコン・プレート16を貫通する。好都合にも、シリコン・プレート16は、以下に記述される当業者にとって公知の従来のプロセスによってバッチ製作されても良い。さらに、これらの公知のプロセスによって、略平行なチャネルを有し、位置および直径の精度の高い穴42を、シリコン・プレート16に形成することが出来る。
穴42のうちの1つを含んだシリコン・ウェーハ40の一部分の断面図が図6に示される。本実施形態において、シリコン・ウェーハ40の厚さT3は約700μmである。穴42のそれぞれは、垂直な壁に囲まれた(例えば、円筒状の)チャネル部分42Aおよび面取りされた部分42Bを備える。穴42のチャネル部分42Aの壁43はそれぞれ互いに略平行である。具体的には、チャネル部分42Aの平行誤差は約1ミリラジアン未満である。例示された実施形態において、チャネル部分42Aの壁43はウェーハ40の表面44対して略垂直であるが、チャネル部分42Aが、表面44に関して他の角度を有するようになされてもよい。
チャネル部分42Aは、ウェーハ40の表面44に従来型の深い反応性イオンエッチング(DRIE)プロセスを施す事によって製作される。このようなDRIEプロセスは当業者にとって公知であり、詳述する必要は無い。例示された実施形態において、チャネル部分42Aの長さL5は約400μmであり、表面44に対して平行な平面における断面は略円形であり、その直径L6は約127μm±1μmである。L6の大きさは、爾後に穴42に挿入される光ファイバーの直径よりもわずか大きくなるように通常は選択される。表面44のチャネル部分42Aの開口部の位置は、通常±1μmより高い精度で認識される。
チャネル部分42Aが形成された後、側壁47を有する面取りされた部分42Bを形成するために、水酸化カリウム(KOH)による異方性エッチングがシリコン・ウェーハ40の裏側の表面46(表面44の反対の面)に施される。このような水酸化カリウムによる異方性エッチング・プロセスは当業者にとって公知であり、詳述される必要は無い。例示された実施例において、面取りされた部分42Bの深さL7は約300μmである。面取りされた部分42Bのシリコン・ウェーハ40の表面46に対して平行な平面における断面は略正方形である。面の位置が表面46の方向へ移動するにつれて、正方形断面の一辺の長さは増加する。表面46において、面取りされた部分42Bの正方形断面の一辺の長さL8は、通常約700μmである。即ち、穴42のチャネル部分42Aへの光ファイバーの容易な挿入およびセルフアライメントを考慮に入れて、穴42は、シリコン・ウェーハ40(即ちシリコン・プレート16)の裏側の表面において広くなっている。通常、面取りされた部分42Bの側壁47は、光ファイバーが穴42へ挿入されている間に如何なる障害物にも引っかかる事がないように、光ファイバーをチャネル部分42Aへ案内する。
シリコン・ウェーハ40、シリコン・プレート16および穴42の部分42Aおよび42Bは、適宜他の寸法を有してもよい。通常、シリコン・プレート16の厚さおよび穴42の部分42Aおよび42Bの寸法は、光ファイバーが容易に挿入可能であり、かつ光ファイバーの方向を平行誤差1ミリラジアン以内に保つように選択される。通常、シリコン・ウェーハ40およびシリコン・プレート16の厚さT3は、約500μmよりも大きい。
一実施形態において、穴42が上述されたように成形された後に、金属層48が例えばスパッタリングによってシリコン・ウェーハ40の表面46に堆積される。金属層48によって、シリコン・プレート16を金属プレート14に容易にハンダ付けすることが出来る。いくつかの実施例において、側壁47の一部分を覆うために、金属層48が穴42の面取りされた部分42Bへ延長する。このような実施例において、側壁47上の金属層48の一部分によって、後に続くハンダ付けプロセスの際に、光ファイバーとシリコン・プレート16の間の気密性のあるソルダーシールの形成が容易になる。いくつかの実施例において、金属層48は、表面46上へ堆積する厚さ約500Åのチタン層と、チタン層の上に堆積する厚さ約2000Åのニッケルの層と、ニッケル層の上に堆積する厚さ約2000Åの金の層を備える。従って、通常このような実施例においては、金属層48の全体の厚さT4は約4500Åとなる。シリコン・プレート16と金属プレート14の接合を容易にする他の金属が組み合わされた金属層が使用されても良い。いくつかの実施例において、金属層48は、従来の無電界めっき法によって堆積されるニッケルとインジウムの層を更に備える。
穴42が形成された後、シリコン・プレート16は公知の方法、例えば、切断、またはケガキと劈開によって、シリコン・ウェーハ40から分離させられ得る。
図7に示されるフローチャートを参照して、光ファイバーアレイ10は、本発明の一実施形態に係る以下の方法49によって上述された構成要素から組み立てられ得る。最初に、ステップ50において、金属プレート14が金属ハウジング12に取り付けられる。例示された実施形態において、図8に示されるように、金属プレート14は金属ハウジング12の凹部28に設置され、凹部28を形成する金属ハウジング12の表面に従来の方法で鑞付けされる。次に、ステップ52において、穴34が金属プレート14の中に上述された様態で形成される。図8は、ステップ52が終了した時点における部分的に組み立てられた光ファイバーアレイを示す。
次に、ステップ54において、金属プレート14の表面36(図4B)は、穴34の形成によって生じた屑を取り除くために研摩される。通常、表面36は、従来の方法によって機械的に研摩されるかラッピングされ、続いて、従来の方法によって電解研摩される。ステップ54に続くステップ56において、ハンダ材の層38(例えば、上述されたようなニッケルとインジウムの層)が、例えば上述さたような従来の無電界めっき法によって表面36上に堆積する。
次に、ステップ58において、シリコン・プレート16の穴42が金属プレート14の穴34と心合するように、シリコン・プレート16が金属プレート14上のハンダ材層38に接触して配置される。さらに、シリコン・プレート16は、シリコン・プレート16上の金属層48が金属プレート14のハンダ材層38と面するように配向される(図1)。このような穴35と穴42のアラインメントは、図8に示されるアラインメントリング68によって達成され得る。アラインメントリング68は例えば従来の方法でステンレス鋼から機械加工され、金属プレート14に関して所望の位置にシリコン・プレート16を一時的に保持するために、金属ハウジング12から突出する金属プレート14の一部の周囲に嵌め込まれる。いくつかの実施例において、後続するハンダリフロープロセスを容易にするために、従来のハンダ溶剤が組立て前に金属層48に配される。
ステップ58に続くステップ60において、例えば図1、図2(a)および図2(b)に示される単一平面型光ファイバーアレイ18−1のような複数の単一平面型光ファイバーアレイが金属ハウジング12に挿入され、光ファイバーの自由端(図2の18g)が、金属プレートの穴14と、金属プレート14の穴と対応するシリコン・プレート16の穴を貫通してシリコン・プレート16から突出するようなされる。自由端を金属プレート14およびシリコン・プレート16に挿入するのに先立って、光ファイバーの自由端のクラッド層を露出させるために、光ファイバーの外側のバッファ層が取り除かれる。いくつかの実施例において、自由端における露出したクラッド層の表層面が、挿入に先立って上述されたように金属化される。光ファイバーは、例えば手によって容易に取り付けられる。例示された実施形態において、40本の光ファイバーをそれぞれ備える30個の単一平面型光ファイバーアレイが、金属ハウジング12に挿入される。本実施形態において、単一平面型アレイ内の40本の光ファイバーは、金属プレート14中の同一の段にある40個の離間用の穴34に挿入され、また、シリコン・プレート16中の同一の段にある40個の離間用の穴42に挿入される
ステップ60に続くステップ62おいて、シリコン・プレート16は金属プレート14に取り付けられる。例示された実施形態において、金属プレート14およびシリコン・プレート16は、従来のハンダリフロープロセスによって相互にハンダ付けされ、ハンダ材層38のインジウムが金属層48に付着することになる(図1、図5、図6)。いくつかの実施形態において、穴42の面取りされた部分42Bの側壁47(あるいは側壁47上の金属化層48)(図6)と同様に、シリコン・プレート16に挿入された光ファイバーの一部分(または光ファイバーの金属化された部分)が、インジウムによって濡らされても良い。このような実施形態において、ハンダによって光ファイバーおよびシリコン・プレート16の間の気密封止を実現する。シリコン・プレート16が金属プレート14に取り付け付けられた後、アラインメントリング62が撤去され得る。
光ファイバーがシリコン・プレート16に挿入され、シリコン・プレート16が金属プレートに取り付けられた後、ステップ64において、光ファイバーは、金属ハウジング12の中の適当な箇所に固定される。一実施形態において、当業者にとって公知の従来の方法によってエポキシ樹脂が金属ハウジング12に注入され、その後、光ファイバーを固定するために養生される。いくつかの実施例において、エポキシ樹脂は金属プレート14の穴34に浸透し、シリコン・プレート16の穴42の一部分に侵入しても良い。
いくつかの実施形態において、ステップ58および60の順序は逆になっても良い。即ち、シリコン・プレート16は、光ファイバーの挿入に先立って金属プレート14に取り付けられてもよい。このような実施形態において、ファイバーは、例えばステップ64において注入されるエポキシ樹脂によって金属プレート14およびシリコン・プレート16内に固定されて良い。
光ファイバーが適当な箇所に固定された後、ステップ66において、シリコン・プレート16から突出する光ファイバーの一部分を、表面20(図1)と同一平面上に位置させるために、従来の機械研磨方法によって研磨する。
本発明が特定の実施形態によって例示される一方、本発明は添付の特許請求の範囲に属する全ての相違および変更を含むことが意図されている。例えば、例示された実施形態において、金属プレート14に形成される光ファイバーのための穴の数はシリコン・プレート16に形成される光ファイバーのための穴の数と等しいが、他の実施形態において、金属プレート14に形成される光ファイバーのための穴の数がシリコン・プレート16に形成される光ファイバーのための穴の数と異なっても良い。このような実施形態において、使用する光ファイバーの数は、光ファイバーのための穴の数がより少ない方のプレートによって通常は制限されるであろう。さらに、ハウジング12およびプレート14が金属で製作されると記載したが、他の実施形態においては、ハウジング12およびプレート14はセラミックやガラスのような他の材料から形成されてもよい。加えて、例示された実施形態は特定のハンダ材および特定の金属層を使用したが、他のハンダ材および他の金属層を使用しても良い。
本発明における光ファイバアレイは、大量の光ファイバーと、光学的スイッングファブリックのような光学系とを、効率的かつ確実にカップリングすることが出来る。アレイ中の光ファイバーの位置を認識し得る精度が高いと言う事などの理由により、このように効率的なカップリングが実現される。また、光ファイバアレイ中の光ファイバは、略同一方向に光を放射し、効率的な光学的カップリングを容易にするように配列され得る。さらに、光ファイバは略同一の開口数を有するように選択され得る。従って、放射された光は効率的コリメートされ、および/または、再結像し得る。本発明のいくつかの実施形態おける光ファイバアレイの更なる利点は、ハンダリフロープロセスによって実現される光ファイバとシリコン・プレートの間の気密封止である。この気密封止によって、光ファイバアレイがカップリングされる光学系または光学デバイスに水分が侵入するのを防ぐ事が出来る。
Claims (32)
- 装置であって、
ハウジングと、
第1のパターンに従って配される複数の第1の穴が貫通し、前記ハウジングに取り付けられる第1プレートと、
第2のパターンに従って配される複数の第2の穴が貫通し、前記複数の第2の穴のそれぞれが、前記複数の第1の穴における対応する穴と略心合するように前記第1プレートに取り付けられるシリコン・プレートと、
複数の光ファイバーを備え、前記複数の光ファイバーのそれぞれが、前記複数の第1の穴における対応する穴を貫通し、前記複数の第2の穴における対応する穴から突出する、
装置。 - 前記ハウジングがステンレス鋼から製作される、請求項1に記載の装置。
- 前記第1プレートがアンバー合金から製作される、請求項1に記載の装置。
- 前記第1プレートが前記ハウジングに鑞付される、請求項1に記載の装置。
- 前記複数の第2の穴のそれぞれの直径が、前記複数の光ファイバーにおける対応する光ファイバーの直径と略等しい、請求項1に記載の装置。
- 前記複数の第2の穴のそれぞれの、前記第1プレートに近接する部分が面取りされる、請求項1に記載の装置。
- 前記シリコン・プレートの、前記第1プレートに隣接している側の表面の上に配される金属層を更に備える、請求項1に記載の装置。
- 前記第1プレートと前記シリコン・プレートの間に配されるハンダ材の層を更に備える、請求項1に記載の装置。
- 前記ハンダ材が、前記光ファイバーと前記シリコン・プレートの間の気密封止を実現する、請求項8に記載の装置。
- 前記ハンダ材がインジウムを含む、請求項8に記載の装置。
- 前記金属ハウジング中において前記複数の光ファイバーを固定するエポキシ材を更に備える、請求項1に記載の装置。
- 前記複数の光ファイバーの一部分が複数の略平面状のアレイに整形され、前記複数の略平面状のアレイのそれぞれが複数本の光ファイバーを含む、請求項1に記載の装置。
- ステンレス鋼のハウジングと、
第1のパターンに従って配される複数の第1の穴が貫通し、前記金属ハウジングに鑞付けされるアンバー合金のプレートと、
第2のパターンに従って配される複数の第2の穴が貫通し、前記複数の第2の穴のそれぞれが面取りされた部分およびチャネル部分を備え、前記複数の第2の穴のそれぞれが前記複数の第1の穴における対応する穴と略心合するように前記アンバー合金のプレートに取り付けられるシリコン・プレートと、
複数の光ファイバーを備え、
前記複数の光ファイバーのそれぞれが、前記複数の第1の穴における対応する穴を貫通し、前記複数の第2の穴における対応する穴から突出する、
装置。 - ハウジングに第1プレートを取り付けるステップと、
シリコン・プレートと前記第1プレートを、前記第1プレートを貫通する複数の第1の穴のそれぞれが前記シリコン・プレートを貫通する複数の第2の穴における対応する穴と略心合するように取り付けるステップと、
複数の光ファイバーのそれぞれを、前記ハウジングに挿入し、前記複数の第1の穴における対応する穴を貫通させ、前記複数の第2の穴における対応する穴に挿入するステップと
を備える、光ファイバーアレイを製作する方法。 - 前記ハウジングをステンレス鋼から製作し、前記第1プレートをアンバー合金から製作するステップを更に備える、請求項14に記載の方法。
- 前記第1プレートを前記ハウジングへ鑞付けするステップを更に備える、請求項14に記載の方法。
- 前記第1プレートを、前記シリコン・プレート上に配された金属層に、ハンダ材を用いてハンダ付けするステップを更に備える、請求項14に記載の方法。
- 前記ハンダ材がインジウムを含む、請求項17に記載の方法。
- 深い反応性イオンエッチングによって前記複数の第2の穴のそれぞれの一部分を形成するステップを更に備える、請求項14に記載の方法。
- 水酸化カリウムによるエッチングによって前記複数の第2の穴のそれぞれの面取りされた部分を形成するステップを更に備える、請求項14に記載の方法。
- エポキシ材によって前記複数の光ファイバーを前記金属ハウジングの内部において固定するステップを更に備える、請求項14に記載の方法。
- 前記複数の光ファイバーの端部が前記シリコン・プレートの表面と略同一平面上に位置するようになされるために、前記複数の光ファイバーの端部を研磨するステップを更に備える、請求項14に記載の方法。
- 前記複数の光ファイバーを前記ハウジングに挿入する前に、前記複数の光ファイバーを複数の略平面状のアレイに整形するステップを更に備える、請求項14に記載の方法。
- 装置であって、
第1面および第2面を有し、複数の側壁をそれぞれに有する複数の穴が貫通するシリコン・プレートを備え、
前記複数の側壁の、前記第1面に近接する側の複数の第1部分が相互に略平行であり、前記複数の側壁の、前記第2面に近接する側の複数の第2部分が複数の面取りされた開口部を前記第2面に形成する、
装置。 - 前記シリコン・プレートが、約0.5ミリメートルより大きい厚さを有する、請求項24に記載の装置。
- 前記複数の側壁の前記複数の第1部分が略円筒状の複数のチャネルを形成する、請求項24に記載の装置。
- 前記複数の面取りされた開口部が略正方形状の断面を有する、請求項24に記載の装置。
- 前記第2面上に配される金属層を更に備える、請求項24に記載の装置。
- 装置であって、
複数の光ファイバーと、
封入材と
を備え、
前記複数の光ファイバーのそれぞれが第1部分および第2部分を備え、
前記複数の第1部分が略等間隔に離間しかつ略平行に配置されるような1個のシートを形成するために、前記複数の光ファイバーの前記複数の第1部分が前記封入材に封入され、
前記複数の光ファイバーの前記複数の第2部分が複数のリボンを形成するために前記封入材に封入され、前記複数のリボンのそれぞれが、前記複数の光ファイバーの前記複数の第2部分の部分集合を含んでいる、
装置。 - 前記シートが略平面状である、請求項28に記載の装置。
- 前記シートが可撓性を有する、請求項28に記載の装置。
- 前記複数の光ファイバーの開口数の、前記複数の光ファイバーの開口数の平均値からの変動が、約10%未満である、請求項28に記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US86606301A | 2001-05-25 | 2001-05-25 | |
PCT/US2002/015042 WO2002097500A2 (en) | 2001-05-25 | 2002-05-10 | High density optical fiber array |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005517966A true JP2005517966A (ja) | 2005-06-16 |
Family
ID=25346849
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003500624A Withdrawn JP2005517966A (ja) | 2001-05-25 | 2002-05-10 | 高密度光ファイバーアレイ |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20030202768A1 (ja) |
EP (1) | EP1395864A2 (ja) |
JP (1) | JP2005517966A (ja) |
CN (1) | CN1549942A (ja) |
AU (1) | AU2002256525A1 (ja) |
PL (1) | PL373874A1 (ja) |
WO (1) | WO2002097500A2 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2002
- 2002-05-10 JP JP2003500624A patent/JP2005517966A/ja not_active Withdrawn
- 2002-05-10 WO PCT/US2002/015042 patent/WO2002097500A2/en not_active Application Discontinuation
- 2002-05-10 AU AU2002256525A patent/AU2002256525A1/en not_active Abandoned
- 2002-05-10 CN CNA028128494A patent/CN1549942A/zh active Pending
- 2002-05-10 EP EP02725995A patent/EP1395864A2/en not_active Withdrawn
- 2002-05-10 PL PL02373874A patent/PL373874A1/xx unknown
-
2003
- 2003-05-06 US US10/431,042 patent/US20030202768A1/en not_active Abandoned
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Publication number | Publication date |
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