JP2005505775A - 三次弾性定数による温度安定sawセンサー - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
この発明は、SAWセンサー、すなわち物理的パラメーターを感知するための表面弾性波(SAW)装置を使用するセンサーに関するものである。
【背景技術】
【0002】
当業者にはわかると思われるが、SAW装置は、そのSAW装置における基板の物理的寸法の変化を検知するために使用することができる。SAW装置の共振周波数(SAW共振器の場合における)またはSAW装置の群遅延あるいは位相遅延(遅延線SAW共振器の場合における)は、そのSAW装置における基板の寸法の変化によって変わる。したがって、SAW装置を、物理的条件の変化によってSAW装置における基板の寸法の変化が生じるように配置することによって、SAW装置は当該物理的条件の測定値をもたらすために使用することができる。典型的には、SAW装置は、このようなやり方で、歪ゲージとして使用することができる。このような技術の一つの特定用途はトルクの測定である。これに関連して、SAW装置の好ましい特性は、SAW装置が、そのSAW装置とそれに関連した応答指令信号発信回路装置との間にハードワイヤードの電気的接続をもたらすことなく、応答指令信号発信を行うことができることである。この事実は、SAW装置が受動的に作動することができる(言い換えると、それらがそのSAW装置に直接関連した電源装置を備えることなく作動することができる)ことと組み合わされて、回転軸におけるトルクの測定のためにそれらを理想的なものにする。
【0003】
二つのSAW共振器に基づいた従来技術の一つのシステムが図1に模式的に示されている。このシステムでは、二つのSAW共振器がシャフトに固定されているが、これらはシャフト軸に対して±45度の角度で方位付けられている。このシャフトにトルクが加わると、これらの共振器の共振周波数は、一方のSAW装置が引張状態にあり、他方のSAW装置が圧縮状態にあるため、反対方向に変化する。前記トルクに比例している二つの周波数の差が応答指令信号発信ユニットによって測定される。これらのSAW装置には遠隔操作可能なRFカプラーを介してRF信号がもたらされる。前記シャフト軸に対して±45度のSAW装置の方位によって、このセンサーの最大感度が保証される。
【0004】
二つのSAW遅延線装置に基づいた別のシステムが図2に模式的に示されている。このシステムでは、反射格子が取り付けられた二つのSAW遅延線が、(シャフト軸に一線配置されている)基板の結晶軸に対して±45度の角度で、配置されてもいる。この場合に、応答指令信号発信ユニットによって、群遅延かあるいは二つの遅延線の衝撃共振におけるパルス同士の間の位相遅延差かのいずれかが測定される。この差もまた、前記トルクに比例している。遅延線装置は、図1に示されたような相異なる二つの基板の上か、あるいは図2に示されたような単一の基板の上かのいずれかに作ることができる。
【0005】
SAW共振器の共振周波数あるいはSAW遅延線装置の遅延特性は、この装置のさまざまな表面要素の相互間隔とこのSAWの位相速度とに左右されるので、基板の物理的寸法におけるあらゆる変化と温度変化によって引き起こされたこのSAWの位相速度とが補正される点を保証することを配慮しなければならない。温度補償の必要性は、測定されるトルクにより引き起こされる歪みによって生じた基板の寸法変化とSAWの位相速度の変化とが小さく、したがって温度変化により引き起こされる寸法変化あるいは位相速度変化に価値が匹敵するであろう高感度トルク測定装置の場合にとりわけ深刻である。
【0006】
従来技術では、温度安定化の問題は、基板の結晶軸に対する装置の表面構成要素の方位を調整することによって解決される程度のものであった。より詳しく説明すると、装置の表面構成要素を、弾性波の伝播方向が、両方のSAW装置について基板の結晶軸に対して同じであるように据え付けることが配慮された。このような方法によって、二つの共振周波数あるいは二つの遅延同士の差を測定することは、周波数の温度係数(TCF)が等しいために結果から自動的に排除された温度変化によるものであるとみなされた。
【0007】
図1に示された型の装置では、周波数の最小絶対温度変化あるいは遅延は、STカットされた水晶と弾性波のX軸伝播とを用いて得られたが、これは、ゼロの一次TCFと転移温度あたりの小さい二次温度変化とがもたらされるからである。図2に示された型の装置では、シャフトのねじり変形によってSAW装置に引き起こされた歪みを最小にするために好ましい±45度の一線配置が考慮された。両方のSAW装置が基板のX軸に対して同じ角度(45度)で配置されたという事実は、二つのSAW軸のTCFが等しいことを意味しており、また、このような排除された温度依存変化は、TCFがゼロでないにもかかわらず、SAW装置の性能におけるものであると、思われていた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0008】
しかしながら、われわれは、このような取り組みによってはトルクセンサーの完全な温度安定化がもたらされないこと、すなわち、このような取り組みはシャフトに加わるトルクが存在しないときにだけ機能することをここで発見した。その理由は、一次TCFが基板の歪みに左右されるためである。トルクが加わると、圧縮力を受けたSAW装置のTCFは、引張力を受けたSAW装置のTCFとは異なる。TCFがゼロである、ST−Xカットされた水晶基板の場合には、その歪みによって転移温度が変わる。その結果、トルクセンサーの感度は温度によって変化する。例えば、二つのSAW装置がSTカットされた水晶の上にX方向の方位で作られているときには、その感度は、温度が−40度から+90度まで変化すると37%増大する。この変化は、多くの工業的用途には受け入れることができないほど大きい。
【0009】
感度の温度変化の一因となる主要因子は、
1.膨張線形温度係数
2.ゼロでない三次弾性定数、
3.一次弾性定数の温度変化、
4.基板密度の温度変化、
5.三次弾性定数の温度変化である。
【0010】
従来のST−Xカットされた水晶基板の場合には、これらの因子の最後である三次弾性定数の温度変化は、他の諸因子よりも実質的に大きく、かつ、さまざまな因子の最終結果をしのぐ。大体において、ST−Xカットされた水晶基板の場合には、三次弾性定数の温度変化によって感度の温度変化が引き起こされる。
【0011】
われわれは、全体の温度感度が実質的に減少する手段をここで発見した。この好ましい特性は、基板の三次弾性定数の温度変化をある水準まで、つまり、基板の三次弾性定数が前記の他の四因子における最終結果によって相殺される水準まで、かなりの程度減少させることで達成される。言い換えると、われわれは、前記の因子5が実質的に因子1〜4の総計効果に実質的に等しくて符号が反対である水準まで減少されると、感度の温度変化がきわめて少ない装置を製造することができる、ということを発見した。
【課題を解決するための手段】
【0012】
この発明の好ましい一つの実施形態では、SAW装置の表面構成要素は、表面弾性波がSTカットされた水晶のX軸に対してある角度をなして伝播するように、STカットされた水晶の基板の上に据え付けられており、ここでは、この基板の三次弾性定数の温度変動量は、温度の線膨脹係数、ゼロでない三次弾性定数、一次弾性定数の温度変動量および基板密度の温度変動量の総計に実質的に等しく、かつ、符号が反対である。
【0013】
この発明におけるいくつかの実施形態については、前記五つの因子についての温度変動量の総計によって、−40度〜+90度の温度範囲内で、10%未満、好ましくはおよそ6%の感度変化がもたらされるのが好ましい。このような特性は、ST−Xカットされた水晶が前記基板のために用いられ、かつ、表面弾性波がX軸に沿って伝播するようにSAW装置の表面構成要素が据え付けられた従来のSAW装置の場合におけるものよりも、およそ6倍良好である。
【0014】
表面弾性波の伝播の軸がSTカットされた水晶基板のX軸に対して0度あるいは±45度以外のある角度をなしているという提案は、当業界において容認された教示に反するものであるということ、すなわち、表面弾性波がSTカットされた水晶基板のX軸の方向に伝播するときに達成されるゼロの一次TCF特性、あるいは表面弾性波が前記X軸に対して±45度で伝播するときに得られる最大感度を利用することが好ましいということは、わかるであろう。
【0015】
基板としてSTカットされた水晶を使用するこの発明の好ましい実施形態では、SAW装置の表面構成要素は、表面弾性波が前記X軸に対して30度〜40度におけるある角度で伝播するように、据え付けられている。この発明における特に好ましい実施形態では、弾性波は前記X軸に対して35度に実質的に等しい角度で伝播する。
【0016】
前記伝播角に対して垂直に方位付けされた格子からの反射を最適なものにするために、格子の細長片は、アルミニウムではなく、金あるいは銅、あるいはSTカットされた水晶のX軸に沿って特定方向へ向けて置かれた格子の標準であろうと思われる水晶基板の表面の実質的な質量実装を引き起こす他の材料から作られているのが好ましい。
【0017】
この発明は、例示としてだけ与えられ、添付図面を参照した以下の好ましい実施形態から明らかになるであろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【0018】
まず、図1によれば、シャフト1によって担持された、トルクを測定するための装置が示されている。この装置にはSAW装置2,3が備わっており、これらのSAW装置は前記シャフトの表面に固定されており、それぞれが前記シャフトの回転軸4に対して実質的に45度で方位付けられている。これらのSAW装置には、普通は水晶材料からなる別々の基板がそれぞれ備わっており、これらの基板には、表面弾性波装置を形成するために表面伝導体が据え付けられている。これらの表面弾性波装置は、共振器あるいは遅延線装置であってよい。これらの装置では、遠隔操作可能なRF接続具6、7を介する応答指令信号発信装置5によって応答指令信号が発信される。このような装置は知られている。今までは、これらのSAW装置の表面構成要素は、表面弾性波の方向および伝播がSTカットされた水晶基板結晶のX軸あるいはYカットされたLiNbO3のZ軸に平行であるように、それらの基板に据え付けられていた。
【0019】
図2に示された装置では、二つのSAW装置8、9が単一の水晶基板10の上に据え付けられている。これらの装置8、9は両方とも、それぞれに弾性波送信機/受信機11と二つの反射格子12とが備わっている遅延線装置である。それぞれの装置8、9については、弾性波の方向および伝搬は、STカットされた水晶基板結晶のX軸にそれぞれ沿っている。
【0020】
先に説明したように、図1および図2の装置は従来のものである。
【0021】
さて、図3によれば、この発明における好ましい実施形態が示されている。シャフト20には一対のSAW装置21、22が固定されている。これらの装置にはそれぞれ、共通の基板23の上に据え付けられた表面構成要素が備わっている。この基板は、適切な任意の材料から作ることができ、普通はSTカットされた水晶であるであろう。
【0022】
これらのSAW装置21、22は両方とも、弾性波変換器24および反射格子25が組み込まれている遅延線装置つまり共振装置である。
【0023】
基板23は、この基板のX軸26がシャフトの回転軸27と実質的に一列になるようにシャフト20に固定されている。基板23は、この基板のX軸26に沿ってシャフト20に固定されている。これらのSAW装置21、22を形成している表面構成要素は、弾性波の伝播軸28、29がこの基板のX軸に対してそれぞれ35度の角度になるように、据え付けられている。この装置では、それぞれのSAW装置には、ゼロTCFの従来技術におけるような目に見える利点は備わっていない。しかしながら、われわれは、この型の装置について、三次弾性定数の温度変化によって生じた感度の温度変動量が、膨張線形温度係数、ゼロでない三次弾性定数、一次弾性定数の温度変化および基板密度の温度変化による温度感度の正味変動量に近いものであり、かつ、符号が反対であるということを発見した。実際に、われわれは、そのような装置について、およそ6%の感度全変化を温度範囲−45℃〜+90℃で達成することができることを発見した。さらに、シャフト20の特性を適切に選択することによって、感度の温度依存変動量をさらに減少させることができるが、それは温度によるシャフト弾性定数の変化によって生じた、大きさが等しくて方向が反対である変化により先に概説された残り6%の変化について補償することができるからである、と思われる。
【0024】
この発明は、二つのSAW装置が共通の基板の上に据え付けられている実施形態を特に参照して説明されてきたが、この発明は二つ以上の別々のSAW装置が例えば図1に示されたやり方で利用される装置に適用することができる、ということを認識すべきである。これらの環境では、それぞれのSAW装置は、弾性波の伝播方向がSTカットされた水晶基板のX軸に対して適切な角度になるように、それぞれの基板に上に据え付けられている。
【0025】
さらに、この発明は、トルク測定を特に参照して説明されてきたが、説明されたこれらの技術は、他に存在する感度の温度依存変化を減少するために、他のいくつかの測定に適用することができる、ということが認識されるであろう。
【0026】
この発明は、STカットされた水晶の基板の状況において説明されてきた。そのような基板については、弾性波伝播の好ましい方向は、そのX軸に対して±35度の方向である。しかしながら、この発明は他の基板で実施することができる。他の基板によるこの発明の重要な側面は、その基板の規定軸に対する伝播の方向が、三次弾性定数の変化による温度の周波数感度変動量が、膨張線形温度係数、ゼロでない三次弾性定数、一次弾性定数の温度変化および基板密度の温度変化の合わさった効果による温度の周波数感度変動量に等しいものであり、かつ、符号が反対であるようなものであり、その結果、さまざまな因子の変化によってこの装置の感度の温度変動量が最小になる、ことである。
【0027】
先に記載された実施形態には、温度によるトルク感度の変化が小さい(およそ6%)という利点がある。しかしながら、その実施形態には、室温での周波数線形温度係数(TCF)はゼロでないという不都合がある。このことは、両方の共振器の温度による共振周波数の絶対変動量が、例えばSTカットされた水晶の基板のX軸に沿って方位付けられた装置のそれよりも大きいであろう、ということを意味している。いくつかの用途では、このようなことは好ましくない。
【0028】
図4に示された別の実施形態には、互いに90度で方位付けられた両SAW装置31、32のために単一の基板30を使用する(これによって、前記トルクに対する最大感度がもたらされる)ということと、両方の共振器についての一次TCFがゼロであるということについての利点がある。温度によるトルク感度の変動量は−40℃から+90℃までの間でおよそ12%であり、この値は先の実施形態よりは悪いが、ST−Xカットされた水晶の表面に組み立てられた伝統的な装置よりも良好である。両方のSAW共振器には、Y方向に45度カットされた水晶から作られた基板のX軸に対して45度の方位が付けられた軸33、34がある。IDTの電極および前記格子の反射体は、SAWの位相方向同士の差と群速度同士の差とを説明するために、関連した共振器の軸33、34に対して、3.1度〜3.2度の角度だけ傾けられている。
【0029】
最後に、前記SAWセンサーの基板は、接着用(接着剤)ハンダあるいは、図3および図4に示されたような他の任意の結合技術によって、前記シャフトに直接取り付けることができ、また、これらの装置の作業面は、好ましくは水晶から作られて例えば接着剤によってそれらの基板に取り付けられた蓋によって、保護することができる。いっそう丈夫な設計によれば、図5および図6に示されたようなパッケージ35を使うことができる。このパッケージ35は皿(好ましくは円筒形状のもの)であり、また、SAW装置36、37(別々の基板の上におけるものかあるいは単一の基板38の上におけるもの)は、パッケージ35の底部に所要角度でしっかり取り付けられる。パッケージ35は、蓋39で封止されて、接着剤あるいはハンダを用いるか、あるいはこのパッケージの周縁周りでそれを溶接するかのいずれかによって、シャフト40に取り付けられる。
【図面の簡単な説明】
【0030】
【図1】図1は、別々の基板に据え付けられた二つのSAW共振器を使用する従来技術のトルク測定装置を示している。
【図2】図2は、共通の基板に据え付けられた二つのSAW遅延線装置を使用する従来技術のトルク測定装置を示している。
【図3】図3は、この発明の好ましい第一実施形態を示している。
【図4】図4は、この発明の第二実施形態を示している。
【図5】図5は、二つ以上のSAW共振器のための、分解された保護パッケージを示している。
【図6】図6は、SAW共振器のための、組み立てられた保護パッケージを示している。
Claims (9)
- 基板の上に設けられた変換器を備えている表面弾性波(SAW)センサーであって、基板の三次弾性定数の温度変動量に関連したセンサー出力の温度変動量が、基板の膨張線形温度係数と基板の一次弾性定数および基板の密度の温度変動量とに関連したセンサー出力の温度変動量の総計に実質的に等しいが符号が反対となる弾性波伝播の方向に向けて、その変換器が置かれているSAWセンサー。
- 前記基板が、STカットされた水晶であり、かつ、前記基板の上に置かれた二つの変換器のそれぞれの弾性波伝播の方向が前記基板のX軸に対してそれぞれ30度〜42度の角度をなしており、これらの変換器が前記X軸に対して対称的に配置されている、請求項1記載のSAWセンサー。
- 前記角度が30度〜40度である請求項2記載のSAWセンサー。
- 前記角度が35度である請求項3記載のSAWセンサー。
- 前記基板が、Y+34度カットされた水晶であり、かつ、前記基板上の二つの変換器のそれぞれの弾性波伝播の方向が前記基板のX軸に対してそれぞれ45度の角度をなしている請求項1記載のSAWセンサー。
- このセンサーが、互いに平行にかつ前記変換器の電極に対して平行に方位付けされた材料細長片の形態にある反射格子をさらに備えている先行請求項のいずれか1つに記載のSAWセンサー。
- 前記反射格子は、一本の直線がその格子およびその変換器を二分するように、かつ、その直線が弾性波伝播の方向へある角度で延びるように、前記基板の上に配置されている請求項6記載のSAWセンサー。
- 前記直線が、前記基板のX軸に対して45度の角度で延びている請求項7記載のSAWセンサー。
- 弾性波伝播の方向への垂線に対して3.1度〜3.2度の角度で傾けられた材料細長片の形態にある反射格子をさらに備えている請求項5記載のSAWセンサー。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2008541121A (ja) * | 2005-05-20 | 2008-11-20 | トランセンス テクノロジーズ ピーエルシー | 弾性表面波トルク・温度センサ |
JP2009109495A (ja) * | 2007-10-29 | 2009-05-21 | Schott Ag | ひずみセンサ用パッケージ |
JP2010530959A (ja) * | 2007-06-15 | 2010-09-16 | トランセンス テクノロジーズ ピーエルシー | 温度感度を向上させた弾性表面波トルク・温度センサ |
WO2014112355A1 (ja) * | 2013-01-21 | 2014-07-24 | 株式会社デンソー | トルクセンサ及びその製造方法 |
JP2016095260A (ja) * | 2014-11-17 | 2016-05-26 | 株式会社日本自動車部品総合研究所 | トルクセンサ |
JP2022525814A (ja) * | 2019-03-29 | 2022-05-19 | フレクエンシス | 共振器デバイス |
Families Citing this family (34)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2864618B1 (fr) * | 2003-12-24 | 2006-03-03 | Temex Sa | Capteur de temperature ou de temperature et de pression interrogeable a distance |
US8015886B2 (en) * | 2004-08-16 | 2011-09-13 | Transense Technologies Plc | Torque measurement within a powertrain |
US7293476B2 (en) * | 2004-08-20 | 2007-11-13 | Honeywell International Inc. | Power sensor module for engine transmission and driveline applications |
GB0421383D0 (en) * | 2004-09-27 | 2004-10-27 | Melexis Nv | Monitoring device |
US7165455B2 (en) * | 2004-12-18 | 2007-01-23 | Honeywell International Inc. | Surface acoustic wave sensor methods and systems |
US7347106B2 (en) * | 2005-04-26 | 2008-03-25 | Honeywell International Inc. | Torque sensor with inverted sensing element and integral shaft housing |
GB0511458D0 (en) * | 2005-06-06 | 2005-07-13 | Melexis Nv | Monitoring device for a rotatable shaft |
US7095198B1 (en) * | 2005-06-16 | 2006-08-22 | Honeywell International Inc. | Speed sensor for a power sensor module |
US20070028692A1 (en) * | 2005-08-05 | 2007-02-08 | Honeywell International Inc. | Acoustic wave sensor packaging for reduced hysteresis and creep |
US20070028700A1 (en) * | 2005-08-08 | 2007-02-08 | Liu James Z | Acoustic wave torque sensor |
US7395724B2 (en) * | 2005-08-22 | 2008-07-08 | Honeywell International Inc. | Torque sensor packaging systems and methods |
US7389682B2 (en) * | 2006-03-17 | 2008-06-24 | Gm Global Technology Operations, Inc. | Method and apparatus for engine torque sensing |
US20080196478A1 (en) * | 2007-02-20 | 2008-08-21 | Honeywell International Inc. | Transition metals doped zeolites for saw based CO2 gas sensor applications |
US8132314B2 (en) | 2008-10-29 | 2012-03-13 | Honeywell International Inc. | Method and system for packaging and mounting surface acoustic wave sensor elements to a flex plate |
US9408537B2 (en) * | 2008-11-14 | 2016-08-09 | At&T Intellectual Property I, Lp | System and method for performing a diagnostic analysis of physiological information |
GB2480628A (en) * | 2010-05-25 | 2011-11-30 | Horstman Defence Systems Ltd | A suspension unit for use on a tracked vehicle including a load sensor |
KR101711204B1 (ko) * | 2010-10-29 | 2017-03-13 | 삼성전자주식회사 | 단일입력 다중출력 표면탄성파 디바이스 |
DE102010056053B4 (de) * | 2010-12-23 | 2014-12-18 | Epcos Ag | Drehmomentsensor und Anordnung mit einem Gegenstand und einem Drehmomentsensor |
US20120165616A1 (en) * | 2010-12-27 | 2012-06-28 | Nir Geva | Portable monitoring unit and a method for monitoring a monitored person |
CN102288339A (zh) * | 2011-05-04 | 2011-12-21 | 北京理工大学 | 温度、振动自补偿的无源无线声表面波扭矩传感器 |
US9673777B2 (en) * | 2011-11-17 | 2017-06-06 | Transense Technologies Plc | Quartz substrate orientations for compact monolithic differential temperature sensor, and sensors using same |
GB2508186B (en) | 2012-11-22 | 2017-09-20 | Transense Tech Plc | SAW sensor arrangements |
DE102013209262A1 (de) | 2013-05-17 | 2014-11-20 | Robert Bosch Gmbh | Motorisch und mit Muskelkraft betreibbares Fahrzeug mit verbessertem Drehmomentsensor |
CN103728070A (zh) * | 2014-01-10 | 2014-04-16 | 中国船舶重工集团公司第七0四研究所 | 自动补偿温度和弯矩影响的扭矩测试系统 |
DE102014218699A1 (de) * | 2014-09-17 | 2016-03-17 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Batteriesensor basierend auf akustischen Oberflächenwellen |
US10005551B2 (en) | 2015-07-06 | 2018-06-26 | General Electric Company | Passive wireless sensors for rotary machines |
CN105716759A (zh) * | 2016-02-02 | 2016-06-29 | 上海交通大学 | 基于表面横波的转轴扭矩测量装置 |
US10450863B2 (en) | 2016-06-02 | 2019-10-22 | General Electric Company | Turbine engine shaft torque sensing |
CN106840056A (zh) * | 2016-12-28 | 2017-06-13 | 电子科技大学 | 一种双声表面波应变传感器及其设计方法 |
CN106895803A (zh) * | 2017-02-20 | 2017-06-27 | 电子科技大学 | 一种利用两个声表面波谐振器分离温度影响的装置及方法 |
CN107289883B (zh) * | 2017-07-25 | 2019-09-03 | 中国科学院声学研究所 | 一种差分式谐振器型的无线无源声表面波应变传感器 |
US11621694B2 (en) * | 2018-12-06 | 2023-04-04 | Texas Instruments Incorporated | Lamb wave resonator-based torque sensor |
DE102020104135B4 (de) * | 2020-02-18 | 2023-09-14 | Thyssenkrupp Ag | OFW-Drehmomentsensor für eine Lenkwelle einer elektromechanischen Hilfskraftlenkung eines Kraftfahrzeuges |
FR3114875B1 (fr) * | 2020-10-01 | 2023-01-20 | Frecnsys | Dispositif à résonateurs |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1449841A (en) * | 1973-04-09 | 1976-09-15 | Mullard Ltd | Oscillators |
US4323809A (en) * | 1979-12-19 | 1982-04-06 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Surface acoustic wave substrate having orthogonal temperature compensated propagation directions and device applications |
US4325038A (en) * | 1980-09-26 | 1982-04-13 | Bell Telephone Laboratories, Incorporated | SAW Resonator filters with improved temperature stability |
US4434383A (en) * | 1981-02-09 | 1984-02-28 | Motorola Inc. | Temperature stable surface acoustic wave device |
US4609843A (en) * | 1983-01-27 | 1986-09-02 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Temperature compensated berlinite for surface acoustic wave devices |
US4602182A (en) * | 1984-05-25 | 1986-07-22 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | X33 cut quartz for temperature compensated SAW devices |
US4661738A (en) * | 1985-09-26 | 1987-04-28 | Crystal Technology, Inc. | Compensation techniques for temperature effects and non-uniform amplitude distributions in saw devices |
GB9004822D0 (en) | 1990-03-03 | 1990-04-25 | Lonsdale Anthony | Method and apparatus for measuring torque |
US5895996A (en) * | 1994-09-29 | 1999-04-20 | Seiko Epson Corporation | Saw device |
GB2358927A (en) * | 1999-11-01 | 2001-08-08 | Transense Technologies Plc | Torque measurement using single Surface Acoustic Wave (SAW) device |
-
2002
- 2002-10-16 JP JP2003536702A patent/JP2005505775A/ja active Pending
- 2002-10-16 EP EP02801409A patent/EP1438555B1/en not_active Expired - Lifetime
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- 2002-10-16 US US10/492,724 patent/US7202589B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-10-16 BR BR0212721-0A patent/BR0212721A/pt not_active Application Discontinuation
- 2002-10-16 CN CNB028203755A patent/CN1267715C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2002-10-16 DE DE60204161T patent/DE60204161T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2002-10-16 AT AT02801409T patent/ATE295533T1/de not_active IP Right Cessation
- 2002-12-26 TW TW091137480A patent/TWI251077B/zh not_active IP Right Cessation
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008541121A (ja) * | 2005-05-20 | 2008-11-20 | トランセンス テクノロジーズ ピーエルシー | 弾性表面波トルク・温度センサ |
JP4904549B2 (ja) * | 2005-05-20 | 2012-03-28 | トランセンス テクノロジーズ ピーエルシー | 弾性表面波トルク・温度センサ |
JP2010530959A (ja) * | 2007-06-15 | 2010-09-16 | トランセンス テクノロジーズ ピーエルシー | 温度感度を向上させた弾性表面波トルク・温度センサ |
JP2009109495A (ja) * | 2007-10-29 | 2009-05-21 | Schott Ag | ひずみセンサ用パッケージ |
WO2014112355A1 (ja) * | 2013-01-21 | 2014-07-24 | 株式会社デンソー | トルクセンサ及びその製造方法 |
JP2016095260A (ja) * | 2014-11-17 | 2016-05-26 | 株式会社日本自動車部品総合研究所 | トルクセンサ |
JP2022525814A (ja) * | 2019-03-29 | 2022-05-19 | フレクエンシス | 共振器デバイス |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200305009A (en) | 2003-10-16 |
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