JP2005503992A - 原子価補償されたAg含有錯体を有するジルコンチタン酸鉛(PZT)を基礎とする圧電セラミック材料 - Google Patents
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Abstract
ジルコンチタン酸鉛を基礎とする圧電セラミック多層アクチュエーターの特性は、同時燃焼の際のAgPd内部金属被覆との低い焼結温度を有するPZTセラミックの相溶性により大部分が決定される。PZT変態中のAgイオンが(800℃より高い)高い温度で高い拡散性を有し、PZT系に組み込む場合にアクセプタードーパントとして作用することが重要である。拡散を妨げる貴金属パラジウム割合の減少は制限され、圧電セラミックへの銀の拡散が増加して、内部電極で銀の割合が増加する。本発明によりPZT系の原子価補償された組成物の形成にAg+イオンが使用される。高いレベルの変形が維持され、すなわちこの系のアクセプタードナー作用は内部電極を有しない従来の変性されたPZT系の作用にきわめて類似する。
Description
【技術分野】
【0001】
本発明はジルコンチタン酸鉛(PZT)を基礎とする圧電セラミック材料の変態に関する。
【0002】
ジルコンチタン酸鉛を基礎とする圧電セラミック多層アクチュエーターの特性は著しい程度で同時燃焼の際の低焼結PZTセラミックとAgPd内部金属被覆との相溶性により決定される。
【0003】
その際PZT変態内のAgイオンが(800℃より高い)高い温度で高い拡散性を有し、更にPZT系に組み込む際にアクセプタードーパントとして作用することに注意すべきである。Nb5+のようなドナーイオンにより補償されないかまたは部分的にのみ補償されるアクセプター置換は強誘電性を激しく変動し、アクチュエーター材料に変形特性を生じることがある。この作用は内部電極にAgPd合金を選択する場合に考慮される。貴金属パラジウムの割合の減少は制限があり、内部電極内の銀割合の増加とともに銀が圧電セラミックに増加して拡散浸入する。
【0004】
内部金属被覆にAgPd70/30合金を使用することにより同時燃焼工程での圧電セラミックとの相溶性の前提条件がなお満たされる。30%以上のPd割合は銀の拡散を阻止する。
【0005】
本来の原子価補償されたPZT変態へのAg添加は分極特性に影響するアクセプタードーパントとして作用する。これは隣接する電界での変形を減少する。従って変形特性は、従来のやり方で変性されたPZT組成物の組成を形成する場合のAg添加によりAgPd内部金属被覆を有する圧電セラミック積層体の焼結の際にAg+イオンを予め導入することにより安定化されない。
【0006】
本発明の課題は電極材料のPd含量の減少にもかかわらず、セラミック材料へのAgの拡散を広い範囲で阻止することである。
【0007】
前記課題は請求項1または2の特徴部分により解決される。本発明の有利な構成は従属請求項に記載されている。
【0008】
本発明は、一般式PbTiO3−PbZrO3−ΣnAM′αM″βO3で表され、異なる原子価のイオンを有し、少なくとも1個のイオンM″がAg+により表され、M′がSb、Ta、Nbの5価のカチオンであり、nは3以下であり、αは1/4であり、βは3/4であり、それぞれの錯体化合物の割合は20モル%以下であり、A≡A2+であり、元素Pb、Ba、Ca、Srのイオンを有する、多成分系内にn個の錯体化合物を有する原子価補償された組成物としてのジルコンチタン酸鉛を基礎とする圧電セラミック材料の変態にある。
【0009】
異なる原子価のイオンを有する一般式PbTiO3−PbZrO3−ΣnA′αA″βBO3を有する多成分系において、少なくとも1個のイオンA″がAg+により表され、A′がBi、La、Ndの3価のカチオンであり、nは3以下であり、α=β=1/2であり、それぞれの錯体化合物の割合は20モル%以下であり、B≡B4+であり、元素Ti、Zrのイオンを有することにより変性が行われる。
【0010】
変性された系において、例えばAg+アクセプターイオンとNb5+ドナーイオンの結合した置換のために、PZT−SAN系(1−y)Pb(ZrxTi1−x)O3−ySr(Ag0.25Nb0.75)O3中の仮説的錯体Sr(Ag0.25Nb0.75)O3が考慮される。
【0011】
Ag含量0.178質量%を有するPZT−SAN系の組成0.98Pb(Zr0.52Ti0.48)O3−0.02Sr(Ag0.25Nb0.75)O3はアクセプタードナー原子価補償のためのAg+イオンを有しない非化学量論の組成0.98Pb(Zr0.52Ti0.48)O3−0.02Sr(Ag0.00Nb0.75)O3を有するモデル物質に匹敵する。この特性は内部電極からのAgの拡散によるアクセプター不足の排除により原子価補償を達成することが不可能であることを示す。非化学量論の組成物の変形は化学量論の組成物の変形よりはるかに少ない。
【0012】
本発明を1つの実施例により詳細に説明する。内部電極を有しないおよび内部電極を有する積層体の分極特性および変形特性を試験した。積層体を同時燃焼する際の異なるAgPd合金(AgPd70/30およびAgPd85/15)を有する変性されたPZTセラミックの相互作用を評価し、30%未満のPd含量の減少のための解決を示す。
【0013】
PZT系の展開から有効x濃度およびy濃度が認識できる。センサーおよびアクチュエーターに変性されたPZTセラミックを使用するために重要な特性の最適化はy=0.02に対してx=0.46〜0.49の狭い濃度範囲で可能である。それに応じて1つの例でΔx=0.005の段階でx=0.51〜0.55に関してPZT−SAN組成物群0.98Pb(ZrxTi1−x)O3−0.02Sr(Ag0.25Nb0.75)O3を形成し、混合酸化物技術で合成した。
【0014】
すでにPZT−SANセラミックの合成(焼結)の際に焼結温度Tsを約1060℃に低下した場合にNb5+ドナーイオンを結合して置換した場合のアクセプタードーパントとしてのAg+イオンの強化された作用が示される。PZT−SAN系の圧電セラミックの焼結温度は950℃〜1100℃の範囲にある。
【0015】
例としてこれらの組成物群からの組成0.98Pb(Zr0.52Ti0.48)O3−0.02Sr(Ag0.25Nb0.75)O3および0.98Pb(Zr0.53Ti0.47)O3−0.02Sr(Ag0.25Nb0.75)O3に関して特徴的な機能特性(圧電係数および誘電係数)を以下の表に記載する。
【0016】
【表1】
【0017】
PZT−SANセラミックの誘電特性および電気機械特性
PZT−SAN系の原子価補償した組成を形成する場合に、分極の際に高いレベルの変形が維持される。
【0018】
異なるPd含量の内部電極を有する積層体を同時燃焼する際の銀の拡散の影響は明らかに少なく特徴付けられる。抗磁力および変形の値は、例えばPZT−SAN系の組成0.98Pb(Zr0.52Ti0.48)O3−0.02Sr(Ag0.25Nb0.75)O3の場合に、図1および図2から明らかなように、2つの内部金属被覆に関してほぼ同じである。
【0019】
内部電極を有する積層体の同時燃焼の際の銀の拡散の減少によりPd含量が減少したAgPd合金の使用が可能である。抗磁力および変形の値はPZT−SAN系の0.98Pb(Zr0.52Ti0.48)O3−0.02Sr(Ag0.25Nb0.75)O3の組成の場合に内部金属被覆AgPd70/30およびAgPd85/15に関してほぼ同じである。PZT系の原子価補償した組成物を形成するためのAg+イオンの使用により高いレベルの変形が維持され、すなわちこの系のアクセプタードナー作用は、図2から明らかなように、内部電極を有しない従来の変性されたPZT系にきわめて類似する。
【図面の簡単な説明】
【0020】
【図1】AgPd内部電極を有しないおよびAgPd内部電極を有する(Zr0.52Ti0.48)O3−0.02Sr(Ag0.25Nb0.75)O3セラミックからなる焼結した積層体の分極特性を示す図である。
【0021】
【図2】前記積層体の変形特性を示す図である。
【0001】
本発明はジルコンチタン酸鉛(PZT)を基礎とする圧電セラミック材料の変態に関する。
【0002】
ジルコンチタン酸鉛を基礎とする圧電セラミック多層アクチュエーターの特性は著しい程度で同時燃焼の際の低焼結PZTセラミックとAgPd内部金属被覆との相溶性により決定される。
【0003】
その際PZT変態内のAgイオンが(800℃より高い)高い温度で高い拡散性を有し、更にPZT系に組み込む際にアクセプタードーパントとして作用することに注意すべきである。Nb5+のようなドナーイオンにより補償されないかまたは部分的にのみ補償されるアクセプター置換は強誘電性を激しく変動し、アクチュエーター材料に変形特性を生じることがある。この作用は内部電極にAgPd合金を選択する場合に考慮される。貴金属パラジウムの割合の減少は制限があり、内部電極内の銀割合の増加とともに銀が圧電セラミックに増加して拡散浸入する。
【0004】
内部金属被覆にAgPd70/30合金を使用することにより同時燃焼工程での圧電セラミックとの相溶性の前提条件がなお満たされる。30%以上のPd割合は銀の拡散を阻止する。
【0005】
本来の原子価補償されたPZT変態へのAg添加は分極特性に影響するアクセプタードーパントとして作用する。これは隣接する電界での変形を減少する。従って変形特性は、従来のやり方で変性されたPZT組成物の組成を形成する場合のAg添加によりAgPd内部金属被覆を有する圧電セラミック積層体の焼結の際にAg+イオンを予め導入することにより安定化されない。
【0006】
本発明の課題は電極材料のPd含量の減少にもかかわらず、セラミック材料へのAgの拡散を広い範囲で阻止することである。
【0007】
前記課題は請求項1または2の特徴部分により解決される。本発明の有利な構成は従属請求項に記載されている。
【0008】
本発明は、一般式PbTiO3−PbZrO3−ΣnAM′αM″βO3で表され、異なる原子価のイオンを有し、少なくとも1個のイオンM″がAg+により表され、M′がSb、Ta、Nbの5価のカチオンであり、nは3以下であり、αは1/4であり、βは3/4であり、それぞれの錯体化合物の割合は20モル%以下であり、A≡A2+であり、元素Pb、Ba、Ca、Srのイオンを有する、多成分系内にn個の錯体化合物を有する原子価補償された組成物としてのジルコンチタン酸鉛を基礎とする圧電セラミック材料の変態にある。
【0009】
異なる原子価のイオンを有する一般式PbTiO3−PbZrO3−ΣnA′αA″βBO3を有する多成分系において、少なくとも1個のイオンA″がAg+により表され、A′がBi、La、Ndの3価のカチオンであり、nは3以下であり、α=β=1/2であり、それぞれの錯体化合物の割合は20モル%以下であり、B≡B4+であり、元素Ti、Zrのイオンを有することにより変性が行われる。
【0010】
変性された系において、例えばAg+アクセプターイオンとNb5+ドナーイオンの結合した置換のために、PZT−SAN系(1−y)Pb(ZrxTi1−x)O3−ySr(Ag0.25Nb0.75)O3中の仮説的錯体Sr(Ag0.25Nb0.75)O3が考慮される。
【0011】
Ag含量0.178質量%を有するPZT−SAN系の組成0.98Pb(Zr0.52Ti0.48)O3−0.02Sr(Ag0.25Nb0.75)O3はアクセプタードナー原子価補償のためのAg+イオンを有しない非化学量論の組成0.98Pb(Zr0.52Ti0.48)O3−0.02Sr(Ag0.00Nb0.75)O3を有するモデル物質に匹敵する。この特性は内部電極からのAgの拡散によるアクセプター不足の排除により原子価補償を達成することが不可能であることを示す。非化学量論の組成物の変形は化学量論の組成物の変形よりはるかに少ない。
【0012】
本発明を1つの実施例により詳細に説明する。内部電極を有しないおよび内部電極を有する積層体の分極特性および変形特性を試験した。積層体を同時燃焼する際の異なるAgPd合金(AgPd70/30およびAgPd85/15)を有する変性されたPZTセラミックの相互作用を評価し、30%未満のPd含量の減少のための解決を示す。
【0013】
PZT系の展開から有効x濃度およびy濃度が認識できる。センサーおよびアクチュエーターに変性されたPZTセラミックを使用するために重要な特性の最適化はy=0.02に対してx=0.46〜0.49の狭い濃度範囲で可能である。それに応じて1つの例でΔx=0.005の段階でx=0.51〜0.55に関してPZT−SAN組成物群0.98Pb(ZrxTi1−x)O3−0.02Sr(Ag0.25Nb0.75)O3を形成し、混合酸化物技術で合成した。
【0014】
すでにPZT−SANセラミックの合成(焼結)の際に焼結温度Tsを約1060℃に低下した場合にNb5+ドナーイオンを結合して置換した場合のアクセプタードーパントとしてのAg+イオンの強化された作用が示される。PZT−SAN系の圧電セラミックの焼結温度は950℃〜1100℃の範囲にある。
【0015】
例としてこれらの組成物群からの組成0.98Pb(Zr0.52Ti0.48)O3−0.02Sr(Ag0.25Nb0.75)O3および0.98Pb(Zr0.53Ti0.47)O3−0.02Sr(Ag0.25Nb0.75)O3に関して特徴的な機能特性(圧電係数および誘電係数)を以下の表に記載する。
【0016】
【表1】
【0017】
PZT−SANセラミックの誘電特性および電気機械特性
PZT−SAN系の原子価補償した組成を形成する場合に、分極の際に高いレベルの変形が維持される。
【0018】
異なるPd含量の内部電極を有する積層体を同時燃焼する際の銀の拡散の影響は明らかに少なく特徴付けられる。抗磁力および変形の値は、例えばPZT−SAN系の組成0.98Pb(Zr0.52Ti0.48)O3−0.02Sr(Ag0.25Nb0.75)O3の場合に、図1および図2から明らかなように、2つの内部金属被覆に関してほぼ同じである。
【0019】
内部電極を有する積層体の同時燃焼の際の銀の拡散の減少によりPd含量が減少したAgPd合金の使用が可能である。抗磁力および変形の値はPZT−SAN系の0.98Pb(Zr0.52Ti0.48)O3−0.02Sr(Ag0.25Nb0.75)O3の組成の場合に内部金属被覆AgPd70/30およびAgPd85/15に関してほぼ同じである。PZT系の原子価補償した組成物を形成するためのAg+イオンの使用により高いレベルの変形が維持され、すなわちこの系のアクセプタードナー作用は、図2から明らかなように、内部電極を有しない従来の変性されたPZT系にきわめて類似する。
【図面の簡単な説明】
【0020】
【図1】AgPd内部電極を有しないおよびAgPd内部電極を有する(Zr0.52Ti0.48)O3−0.02Sr(Ag0.25Nb0.75)O3セラミックからなる焼結した積層体の分極特性を示す図である。
【0021】
【図2】前記積層体の変形特性を示す図である。
Claims (7)
- 異なる原子価のイオンを有する一般式PbTiO3−PbZrO3−ΣnAM′αM″βO3で表される多成分系内にn個の錯体化合物を有する原子価補償された組成物としてのジルコンチタン酸鉛を基礎とする圧電セラミック材料の変態において、少なくとも1個のイオンM″がAg+により表され、M′がSb、Ta、Nbの5価のカチオンであり、nは3以下であり、αは1/4であり、βは3/4であり、それぞれの錯体化合物の割合は20モル%以下であり、A≡A2+であり、元素Pb、Ba、Ca、Srのイオンを有することを特徴とする、ジルコンチタン酸鉛を基礎とする圧電セラミック材料の変態。
- 異なる原子価のイオンを有する一般式PbTiO3−PbZrO3−ΣnA′αA″βBO3で表される多成分系内にn個の錯体化合物を有する原子価補償された組成物としてのジルコンチタン酸鉛を基礎とする圧電セラミック材料の変態において、少なくとも1個のイオンA″がAg+により表され、A′がBi、La、Ndの3価のカチオンであり、nは3以下であり、α=β=1/2であり、それぞれの錯体化合物の割合は20モル%以下であり、B≡B4+であり、元素Ti、Zrのイオンを有することを特徴とする圧電セラミック材料の変態。
- ベース系PbTiO3−PbZrO3(PZT)中のPbイオンが部分的に10モル%まで2価のイオンBa、CaまたはSrに置換されている請求項1または2記載のジルコンチタン酸鉛を基礎とする圧電セラミック材料の変態。
- ジルコンチタン酸鉛を基礎とする圧電セラミック材料の変態において、基礎組成物
(1−y)(ZrxTi1−x)O3−yA2+(AgαBβ 5+)O3を有し、A2+が元素Pb、Ba、CaまたはSrのイオンを有し、B5+が元素Sb、TaまたはNbのイオンを有し、yは0.001〜0.10であり、xは0.45〜0.55であり、αは1/4であり、βは3/4であることを特徴とするジルコンチタン酸鉛を基礎とする圧電セラミック材料の変態。 - 基礎組成物が0.98Pb(ZrxTi1−x)O3−0.02Sr(Ag1/4Nb3/4)O3であり、xが0.51〜0.55である請求項4記載のジルコンチタン酸鉛を基礎とする圧電セラミック材料の変態。
- PZT−SAN系の圧電セラミックの焼結温度が950℃〜1100℃の範囲である請求項1から5までのいずれか1項記載のジルコンチタン酸鉛を基礎とする圧電セラミック材料の変態。
- 特に多層アクチュエーターに使用する請求項1から6までのいずれか1項記載のジルコンチタン酸鉛を基礎とする圧電セラミック材料の変態。
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