JP2007258436A - 配線基板、及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】生産性が良く、安価な配線基板、及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の配線基板において、セラミック基板1とビア導体2との間の空洞部を埋める触媒膜4と金属膜5は、除去されず、従って、従来の研磨工程が不要となって、生産性が良く、安価なものが得られるばかりか、貫通孔1aの近傍に位置するセラミック基板1の表面には、ビア導体2である銀の析出部2aが形成されているため、この析出部2a上に設けられた触媒膜4は、付着性が向上して、触媒膜4の剥がれの無いものが得られる。
【選択図】図1
【解決手段】本発明の配線基板において、セラミック基板1とビア導体2との間の空洞部を埋める触媒膜4と金属膜5は、除去されず、従って、従来の研磨工程が不要となって、生産性が良く、安価なものが得られるばかりか、貫通孔1aの近傍に位置するセラミック基板1の表面には、ビア導体2である銀の析出部2aが形成されているため、この析出部2a上に設けられた触媒膜4は、付着性が向上して、触媒膜4の剥がれの無いものが得られる。
【選択図】図1
Description
本発明は、種々の電気機器や電子回路ユニット等に使用して好適な配線基板、及びその製造方法に関するものである。
従来の配線基板、及びその製造方法に係る図面を説明すると、図7は従来の配線基板の要部断面図、図8は従来の配線基板の製造方法に係る第1工程を示す説明図、図9は従来の配線基板の製造方法に係る第2工程を示す説明図、図10は従来の配線基板の製造方法に係る第3工程を示す説明図、図11は従来の配線基板の製造方法に係る第4工程を示す説明図である。
次に、従来の配線基板の構成を図7〜図11に基づいて説明すると、セラミック基板51には、貫通孔51aが設けられ、この貫通孔51a内には、ビア導体52が設けられている。
また、セラミック基板51とビア導体52が焼成された際、セラミック基板51の表面、ビア導体52の表面、及び貫通孔51aとビア導体52の間には、空洞部53が生じるため、先ず、ベーマイト膜54を設けた上に、ポリイミド膜55を設けて、空洞部53を埋めた状態にしている。
そして、空洞部55以外のベーマイト膜54とポリイミド膜55を除去するための研磨工程を行って、セラミック基板51の表面とビア導体52の露出面が研磨されて平滑状態になった面には、金属薄膜パターン56が形成されて、従来の配線基板が構成されている(例えば、特許文献1参照)。
次に、従来の配線基板の製造方法を図7〜図11に基づいて説明すると、先ず、第1工程として図8に示すように、セラミック基板51とビア導体52を焼成すると、セラミック基板51の表面、ビア導体52の表面、及び貫通孔51aとビア導体52の間には、空洞部53が生じる。
次に、第2工程として図9に示すように、ベーマイト膜54がセラミック基板51の表面とビア導体52の露出面に設けられた後、ポリイミド膜55がベーマイト膜54上に設けられて、空洞部53がベーマイト膜54とポリイミド膜55によって埋められた状態となる。
次に、第3工程として図10に示すように、先ず、ポリイミド膜55が研磨工程によって除去された後、第4工程として図11に示すように、ベーマイト膜54が研磨工程によって除去され、空洞部53がベーマイト膜54とポリイミド膜55によって埋められた状態で、セラミック基板51の表面とビア導体52の露出面を平滑にする。
次に、図7に示すように、平滑となったセラミック基板51の表面とビア導体52の露出面には、金属薄膜パターン56が形成されると、従来の配線基板の製造が完了する(例えば、特許文献1参照)。
特開平9−8456号公報
しかし、従来の配線基板、及びその製造方法にあっては、空洞部53以外のベーマイト膜54とポリイミド膜55を除去し、且つ、セラミック基板51の表面とビア導体52の露出面を平滑にする研磨工程が必要となって、生産性が悪く、コスト高になるという問題がある。
本発明は、このような従来技術の実情に鑑みてなされたもので、その目的は、生産性が良く、安価な配線基板、及びその製造方法を提供することにある。
上記の目的を達成するために、貫通孔を有するセラミック基板と、貫通孔内に設けられたビア導体と、このビア導体に接続された状態で、セラミック基板の表面に形成された金属薄膜パターンとを備え、ビア導体は、銀、又は銀を主成分とする材料で形成されると共に、貫通孔の近傍に位置するセラミック基板の表面には、ビア導体である銀の析出部が形成され、ビア導体の露出面と析出部を含む貫通孔の近傍に位置するセラミック基板の表面には、金属材を含む触媒膜が設けられると共に、触媒膜上には、金属膜が設けられ、金属膜上を含むセラミック基板の表面には、金属薄膜パターンが形成されたことを特徴としている。
このように構成した本発明は、セラミック基板とビア導体との間の空洞部を埋める触媒膜と金属膜は、除去されず、従って、従来の研磨工程が不要となって、生産性が良く、安価なものが得られる。
また、貫通孔の近傍に位置するセラミック基板の表面には、ビア導体である銀の析出部が形成されているため、この析出部上に設けられた触媒膜は、付着性が向上して、触媒膜の剥がれの無いものが得られると共に、触媒膜と金属膜は、ビア導体の露出面を覆った状態で、セラミック基板上までなだらかな形状に延びているため、ビア導体の損傷が無くなる上に、金属薄膜パターンは、剥がれの無い状態で確実に形成できる。
また、本発明は、上記発明において、触媒膜は、パラジウムで形成されたことを特徴としている。
このように構成した本発明は、パラジウムの触媒膜の存在によって、ビア導体への付着性、及び触媒膜への金属膜の付着性の良好なものが得られる。
また、本発明は、上記発明において、金属膜がニッケル・リンで形成されたことを特徴としている。
このように構成した本発明は、ニッケル・リンの金属膜の存在によって、ビア導体や金属薄膜パターンのマイグレーションを抑えることができる。
また、本発明は、上記発明において、セラミック基板は、低温焼成セラミック基板で形成されると共に、金属薄膜パターンは、銅、又は銅を主成分とする材料で形成されたことを特徴としている。
このように構成した本発明は、低温焼成セラミック基板であるため、比較的低い温度で、銀の析出部が容易に形成できると共に、銅材によって、導電性の良い金属薄膜パターンが形成できる。
上記の目的を達成するために、セラミック材からなるグリーンシートに貫通孔を設ける工程と、貫通孔内に銀、又は銀を主成分とする導体ペーストを設ける工程と、グリーンシートと導体ペーストを焼成して、グリーンシートによってセラミック基板が、また導体ペーストによってビア導体が形成されると共に、導体ペースト中の銀をセラミック基板に拡散させ、貫通孔の近傍に位置するセラミック基板の表面に銀を析出させて析出部を設ける工程と、ビア導体の露出面と析出部を含む貫通孔の近傍に位置するセラミック基板の表面に、金属材を含む触媒膜を設ける工程と、触媒膜上に金属膜を設ける工程を備えたことを特徴としている。
このように構成した本発明は、セラミック基板とビア導体との間の空洞部を埋める触媒膜と金属膜は、除去されず、従って、従来の研磨工程が不要となって、生産性が良く、安価なものが得られるばかりか、貫通孔の近傍に位置するセラミック基板の表面には、ビア導体である銀の析出部が形成されているため、この析出部上に設けられた触媒膜は、付着性が向上して、触媒膜の剥がれの無いものが得られる。
また、本発明は、上記発明において、金属膜上には、銅、又は銅を主成分とする材料からなる金属薄膜パターンが形成されたことを特徴としている。
このように構成した本発明は、銅材によって、導電性の良い金属薄膜パターンが形成できる。
また、本発明は、上記発明において、触媒膜は、パラジウムで形成されたことを特徴としている。
このように構成した本発明は、パラジウムの触媒膜の存在によって、ビア導体への付着性、及び触媒膜への金属膜の付着性の良好なものが得られる。
また、本発明は、上記発明において、金属膜がニッケル・リンで形成されたことを特徴としている。
このように構成した本発明は、ニッケル・リンの金属膜の存在によって、ビア導体や金属薄膜パターンのマイグレーションを抑えることができる。
また、本発明は、上記発明において、グリーンシートは、低温焼成セラミック基板用の材料で形成されると共に、グリーンシートと導体ペーストは、800℃〜900℃の温度で焼成されたことを特徴としている。
このように構成した本発明は、低温焼成セラミック基板が使用され、焼成温度を800℃〜900℃にすると、銀の析出部の良好なものが得られる。
本発明は、セラミック基板とビア導体との間の空洞部を埋める触媒膜と金属膜は、除去されず、従って、従来の研磨工程が不要となって、生産性が良く、安価なものが得られるばかりか、貫通孔の近傍に位置するセラミック基板の表面には、ビア導体である銀の析出部が形成されているため、この析出部上に設けられた触媒膜は、付着性が向上して、触媒膜の剥がれの無いものが得られる。
発明の実施の形態について図面を参照して説明すると、図1は本発明の配線基板の要部断面図、図2は本発明の配線基板の製造方法に係る第1工程を示す説明図、図3は本発明の配線基板の製造方法に係る第2工程を示す説明図、図4は本発明の配線基板の製造方法に係る第3工程を示す説明図、図5は本発明の配線基板の製造方法に係る第4工程を示す説明図、図6は本発明の配線基板の製造方法に係る第5工程を示す説明図である。
次に、本発明の配線基板に係る構成を図1〜図6に基づいて説明すると、低温焼成セラミック基板(LTCC)等からなるセラミック基板1には、貫通孔1aが設けられ、この貫通孔1a内には、銀、又は銀を主成分とする材料からなるビア導体2が設けられると共に、貫通孔1aの近傍に位置するセラミック基板1の表面には、ビア導体2である銀の析出部2aが形成されている。
即ち、セラミック基板1とビア導体2が焼成された際、銀の析出部2aが形成されると共に、貫通孔1aとビア導体2との間には、空洞部3が生じた状態となり、先ず、パラジウム、又はパラジウムを主成分とする金属材からなる触媒膜4が空洞部3を埋めるように、ビア導体2の露出面を含む貫通孔1aの近傍に位置するセラミック基板1の析出部2aに設けられる。
ニッケル・リンの金属材からなる金属膜5は、触媒膜4上に設けられると共に、銅、又は銅を主成分とする金属材からなる金属薄膜パターン6は、金属膜5上を含むセラミック基板1の表面に設けられる。
また、金属薄膜パターン6を形成したセラミック基板1の反対面には、厚膜によって形成された導電パターン7がビア導体2に接続された状態で形成されて、本発明の配線基板が構成されている。
なお、上記実施例では、厚膜からなる導電パターン7を使用したもので説明したが、この厚膜導電パターン7に代えて、金属薄膜パターンを使用しても良い。
次に、本発明の配線基板の製造方法を図2〜図6に基づいて説明すると、先ず、第1工程として図2に示すように、低温焼成セラミック基板を形成するためのグリーンシート8に貫通孔1aを設ける工程を行った後、貫通孔1a内にビア導体2を形成するための、銀、又は銀を主成分とする金属材からなる導体ペースト9を設ける工程を行う。
次に、第2工程として図3に示すように、グリーンシート8と導体ペースト9を800℃〜900℃の温度で焼成し、グリーンシート8によって低温焼成のセラミック基板1が、また導体ペースト9によってビア導体2が形成されると共に、導体ペースト9中の銀をセラミック基板1に拡散させ、貫通孔1aの近傍に位置するセラミック基板1の表面に銀を析出させて析出部2aを設ける工程が行われると、貫通孔1aとビア導体2との間には、空洞部3が生じる。
次に、第3工程として図4に示すように、パラジウム、又はパラジウムを主成分とする触媒用の水溶液にセラミック基板1を漬して、ビア導体2の露出面と析出部2aを含む貫通孔1aの近傍に位置するセラミック基板1の表面、及び、空洞部3を埋めるように触媒膜4を設ける工程を行う。
次に、第4工程として図5に示すように、触媒膜4上に、無電解メッキによってニッケル・リンからなる金属膜5を設ける工程を行うと、触媒膜4と金属膜5は、ビア導体2の露出面を覆った状態で、セラミック基板1上までなだらかな形状に延びた状態になる。
次に、第5工程として図6に示すように、スパッタ蒸着法等によって銅、又は銅を主成分とする金属薄膜パターン6が金属膜5上を含むセラミック基板1の表面に形成されて、金属薄膜パターン6が金属膜5と触媒膜4を介してビア導体2に導通すると、本発明の配線基板の製造が完了する。
1 セラミック基板
1a 貫通孔
2 ビア導体
2a 銀の析出部
3 空洞部
4 触媒膜
5 金属膜
6 金属薄膜パターン
7 導電パターン
8 グリーンシート
9 導体ペースト
1a 貫通孔
2 ビア導体
2a 銀の析出部
3 空洞部
4 触媒膜
5 金属膜
6 金属薄膜パターン
7 導電パターン
8 グリーンシート
9 導体ペースト
Claims (9)
- 貫通孔を有するセラミック基板と、前記貫通孔内に設けられたビア導体と、このビア導体に接続された状態で、前記セラミック基板の表面に形成された金属薄膜パターンとを備え、前記ビア導体は、銀、又は銀を主成分とする材料で形成されると共に、前記貫通孔の近傍に位置する前記セラミック基板の表面には、前記ビア導体である銀の析出部が形成され、前記ビア導体の露出面と前記析出部を含む前記貫通孔の近傍に位置する前記セラミック基板の表面には、金属材を含む触媒膜が設けられると共に、前記触媒膜上には、金属膜が設けられ、前記金属膜上を含む前記セラミック基板の表面には、前記金属薄膜パターンが形成されたことを特徴とする配線基板。
- 前記触媒膜は、パラジウムで形成されたことを特徴とする請求項1記載の配線基板。
- 前記金属膜がニッケル・リンで形成されたことを特徴とする請求項2記載の配線基板。
- 前記セラミック基板は、低温焼成セラミック基板で形成されると共に、前記金属薄膜パターンは、銅、又は銅を主成分とする材料で形成されたことを特徴とする請求項1から3の何れか1項に記載の配線基板。
- セラミック材からなるグリーンシートに貫通孔を設ける工程と、前記貫通孔内に銀、又は銀を主成分とする導体ペーストを設ける工程と、前記グリーンシートと前記導体ペーストを焼成して、前記グリーンシートによってセラミック基板が、また前記導体ペーストによってビア導体が形成されると共に、前記導体ペースト中の銀を前記セラミック基板に拡散させ、前記貫通孔の近傍に位置する前記セラミック基板の表面に銀を析出させて析出部を設ける工程と、前記ビア導体の露出面と前記析出部を含む前記貫通孔の近傍に位置する前記セラミック基板の表面に、金属材を含む触媒膜を設ける工程と、前記触媒膜上に金属膜を設ける工程を備えたことを特徴とする配線基板の製造方法。
- 前記金属膜上には、銅、又は銅を主成分とする材料からなる金属薄膜パターンが形成されたことを特徴とする請求項5記載の配線基板の製造方法。
- 前記触媒膜は、パラジウムで形成されたことを特徴とする請求項5,又は6記載の配線基板の製造方法。
- 前記金属膜がニッケル・リンで形成されたことを特徴とする請求項7記載の配線基板の製造方法。
- 前記グリーンシートは、低温焼成セラミック基板用の材料で形成されると共に、前記グリーンシートと前記導体ペーストは、800℃〜900℃の温度で焼成されたことを特徴とする請求項5から8の何れか1項に記載の配線基板の製造方法。
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Legal Events
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080815 |
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A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20090902 |