JP2005354102A - 熱処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】処理空間30に処理ガスが供給されるのと同時に、機構部61が配置された機構部空間60に不活性ガスが供給される。排気口80は、処理空間30と機構部空間60との連通部分90から排気を行うように設けられている。従って、処理空間30に供給された処理ガスは連通部分90を通過して排気口80から排気される。一方、機構部空間60に供給された不活性ガスは連通部分90を通過して排気口80から排気される。すなわち、処理空間30からの処理ガスと機構部空間60からの不活性ガスとが連通部分90にて合流し、排気口80から排気される。その結果、腐食性の処理ガスが機構部空間60に流入することがなくなり、機構部61の腐食を防止することができる。
【選択図】図1
Description
12 下部チャンバ
20 ガス導入部
25 機構部供給口
30 処理空間
35 パンチング板
60 機構部空間
61 機構部
80 排気口
90 連通部分
W 基板
Claims (2)
- 基板に熱処理を行う熱処理装置であって、
前記熱処理を行うための処理空間と、
前記処理空間において基板を保持する保持手段と、
前記保持手段を駆動させるのに使用される機構部と、
前記処理空間と連通され、前記機構部が配置される機構部空間と、
前記処理空間に処理ガスを供給するための処理ガス供給手段と、
前記処理空間と前記機構部空間との連通部分から排気する排気口と、
を備え、
前記連通部分の流体抵抗は、前記処理空間および前記機構部空間の流体抵抗よりも大きいことを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1記載の熱処理装置において、
前記機構部空間に不活性ガスを供給するための不活性ガス供給手段をさらに備えることを特徴とする熱処理装置。
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