JP2005353976A - 電子装置 - Google Patents

電子装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2005353976A
JP2005353976A JP2004175419A JP2004175419A JP2005353976A JP 2005353976 A JP2005353976 A JP 2005353976A JP 2004175419 A JP2004175419 A JP 2004175419A JP 2004175419 A JP2004175419 A JP 2004175419A JP 2005353976 A JP2005353976 A JP 2005353976A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wire
electronic device
connection terminal
circuit unit
wiring board
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004175419A
Other languages
English (en)
Inventor
Takamasa Hayashi
敬昌 林
Hiroshi Kiuchi
寛 木内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denso Corp
Original Assignee
Denso Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Denso Corp filed Critical Denso Corp
Priority to JP2004175419A priority Critical patent/JP2005353976A/ja
Priority to DE102005016830A priority patent/DE102005016830A1/de
Priority to US11/105,548 priority patent/US7843700B2/en
Publication of JP2005353976A publication Critical patent/JP2005353976A/ja
Priority to US12/923,968 priority patent/US8179688B2/en
Priority to US13/359,776 priority patent/US20120120610A1/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L24/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001Core members of the connector
    • H01L2224/4501Shape
    • H01L2224/45012Cross-sectional shape
    • H01L2224/45015Cross-sectional shape being circular
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001Core members of the connector
    • H01L2224/45099Material
    • H01L2224/451Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
    • H01L2224/45117Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 400°C and less than 950°C
    • H01L2224/45124Aluminium (Al) as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001Core members of the connector
    • H01L2224/45099Material
    • H01L2224/451Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
    • H01L2224/45138Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/45144Gold (Au) as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/48247Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/484Connecting portions
    • H01L2224/4847Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a wedge bond
    • H01L2224/48472Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a wedge bond the other connecting portion not on the bonding area also being a wedge bond, i.e. wedge-to-wedge
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/4901Structure
    • H01L2224/4903Connectors having different sizes, e.g. different diameters
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/4905Shape
    • H01L2224/49051Connectors having different shapes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/4911Disposition the connectors being bonded to at least one common bonding area, e.g. daisy chain
    • H01L2224/49111Disposition the connectors being bonded to at least one common bonding area, e.g. daisy chain the connectors connecting two common bonding areas, e.g. Litz or braid wires
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/4912Layout
    • H01L2224/49171Fan-out arrangements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01004Beryllium [Be]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01005Boron [B]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01006Carbon [C]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01013Aluminum [Al]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01014Silicon [Si]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01028Nickel [Ni]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01029Copper [Cu]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01033Arsenic [As]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01046Palladium [Pd]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01047Silver [Ag]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01078Platinum [Pt]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01079Gold [Au]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01082Lead [Pb]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/013Alloys
    • H01L2924/014Solder alloys
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/095Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00 with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials provided in the groups H01L2924/013 - H01L2924/0715
    • H01L2924/097Glass-ceramics, e.g. devitrified glass
    • H01L2924/09701Low temperature co-fired ceramic [LTCC]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/13Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
    • H01L2924/1304Transistor
    • H01L2924/1305Bipolar Junction Transistor [BJT]
    • H01L2924/13055Insulated gate bipolar transistor [IGBT]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/13Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
    • H01L2924/1304Transistor
    • H01L2924/1306Field-effect transistor [FET]
    • H01L2924/13091Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor [MOSFET]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/14Integrated circuits
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/19Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/1901Structure
    • H01L2924/1904Component type
    • H01L2924/19041Component type being a capacitor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/19Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/191Disposition
    • H01L2924/19101Disposition of discrete passive components
    • H01L2924/19107Disposition of discrete passive components off-chip wires
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/20Parameters
    • H01L2924/207Diameter ranges
    • H01L2924/20752Diameter ranges larger or equal to 20 microns less than 30 microns
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/20Parameters
    • H01L2924/207Diameter ranges
    • H01L2924/20753Diameter ranges larger or equal to 30 microns less than 40 microns
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/20Parameters
    • H01L2924/207Diameter ranges
    • H01L2924/2076Diameter ranges equal to or larger than 100 microns

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

【課題】 ボンディングワイヤと接続される複数の接続端子を備え、接続端子と外部との接続を溶接により行うようにした電子装置において、大電流化や接続端子の多ピン化を必要に応じて適切に実現する。
【解決手段】 電子装置100において、ボンディングワイヤ31、32は、AuからなるAuワイヤ31とこのAuワイヤ31よりも太くAlからなるAlワイヤ32とから構成され、複数の接続端子41、42は、Auワイヤ31と接続される第1の接続端子41と、Alワイヤ32と接続される第2の接続端子42とから構成されている。また、第1の接続端子41は、表面に無電解Niメッキが施されたものであって且つAuワイヤ31との接続部において無電解Niメッキの上に最表面層としてAgメッキが施されたものであり、第2の接続端子42は、表面に無電解Niメッキが施されたものである。
【選択図】 図1

Description

本発明は、ボンディングワイヤと接続される複数の接続端子が備えられている電子装置に関し、特に、大電流が流れるものであって接続端子と外部との接続を溶接により行うようにした電子装置に関する。
従来より、ボンディングワイヤと接続され且つ外部との接続を溶接で行うようにした複数の接続端子が備えた電子装置が知られている。具体的には、このような電子装置としては、モールドイグナイタなどが知られている。
このような電子装置は、一般に、たとえば回路基板あるいはICチップなどと接続端子とを、Al(アルミニウム)太線からなるボンディングワイヤを介して電気的に接続した構成を有するものである。
ここで、ボンディングワイヤとしてAl太線を用いるのは、パワーMOS素子などによる大電流化に対応するためであり、たとえば線径がφ250μm〜φ500μm程度のAl太線が用いられる。
また、接続端子としては、Cu(銅)やFe(鉄)などからなるリードフレームに無電解Ni(ニッケル)メッキを施してなるものが用いられるが、これは、接続端子を、外部との接続を溶接で行うのに適した構成としたものである。
通常、この種の電子装置において、大電流が流れる接続端子は、接続性を確保するために、外部たとえばアクチュエータなどとの接続は、溶接により行われる。
ちなみに、従来では、接続端子であるリードフレームとして、ボンディングエリアとはんだ付け部に無電解Ni/Pd/Au膜を形成し、良好なはんだ付け性とPbフリーを実現したものが提案されている(たとえば、特許文献1参照)が、このものでは、Auワイヤボンディングしかできなく、また、外部とははんだ付けで接続するものである。
特開平2003−23132号公報
しかしながら、この種の電子装置において、高機能化を図るためには、マイコンやメモリ素子などの制御素子を備えることになるが、このような制御素子を備える場合、接続端子の数が多くなる、いわゆる多ピン化することになる。
このような多ピン化が要求される場合、ボンディングワイヤとしてAl太線を用いると、接続端子間のスペースを大きくとるか、接続端子のボンディング部のサイズを大きくするなどの必要があり、装置の体格の増大、ひいてはコストアップにつながる。また、サイズが小さく且つ多くのワイヤ接続を必要とするような素子に対しては、Al太線では対応することが難しい。
このような問題に対して、ボンディングワイヤとして、Al太線に代えて、たとえば線径がφ20μm〜φ30μm程度のAu(金)細線を用いることで、解決を図ろうとすることが考えられる。
しかし、Au細線では、大電流化に対応することができないし、また、一般的に、無電解Niメッキされた接続端子に対しては、Au細線をボンディングすることができないという問題もある。
ここで、接続端子表面の無電解Niメッキではなく、接続端子の表面に電気Niメッキを施しさらにその上にAg(銀)メッキを施した構成とすれば、Au細線のボンディングが可能となる。
なお、このことは、電気Niメッキ上にAgメッキするモノリシックICにおいて実績のある組合せであり、この構成においてAgメッキにAuワイヤを接続することは容易である。
しかしながら、上述したように、接続端子は、その表面が無電解Niメッキでないと、外部との接続において溶接性が確保できない。また、電気NiメッキにAlワイヤをボンディングすることは、平坦性の確保が無電解Niメッキに比べて困難であるため、容易ではない。
したがって、この種の電子装置においては、接続端子の表面に無電解Niメッキが施されていることは必須の要素であり、このような無電解Niメッキを省略することはできない。
本発明は、上記したような事情に鑑みてなされたものであり、ボンディングワイヤと接続される複数の接続端子を備え、接続端子と外部との接続を溶接により行うようにした電子装置において、大電流化や接続端子の多ピン化を必要に応じて適切に実現できるようにすることを目的とする。
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、ボンディングワイヤ(31、32)と接続される複数の接続端子(41、42)が備えられている電子装置において、次のような点を特徴としている。
・ボンディングワイヤ(31、32)は、AuからなるAuワイヤ(31)とこのAuワイヤ(31)よりも太くAlからなるAlワイヤ(32)とから構成されていること。
・複数の接続端子(41、42)は、Auワイヤ(31)と接続される第1の接続端子(41)と、Alワイヤ(32)と接続される第2の接続端子(42)とから構成されていること。
・第1の接続端子(41)は、表面に無電解Niメッキが施されたものであって且つAuワイヤ(31)との接続部では無電解Niメッキの上に最表面層としてAgメッキが施されたものであり、第2の接続端子(42)は、表面に無電解Niメッキが施されたものであること。本発明の電子装置(100、110、120)は、これらの点を特徴としている。
それによれば、第1の接続端子(41)および第2の接続端子(42)ともに、表面に無電解Niメッキが施されたものであるから、外部との接続を溶接により適切に行うことができる。
また、第1の接続端子(41)は、Auワイヤ(31)との接続部の表面がAgメッキであるため、Auワイヤ(31)を適切にボンディングすることができ、第2の接続端子(42)は、表面が無電解Niメッキであるため、Alワイヤ(32)を適切にボンディングすることができる。
このように、本発明では、比較的細く接続端子の多ピン化に適したAuワイヤ(31)用の第1の接続端子(41)、比較的太く大電流化に適したAlワイヤ(32)用の第2の接続端子(42)を備えることで、各ワイヤの用途に対応した接続端子の構成が実現できている。
したがって、本発明によれば、ボンディングワイヤ(31、32)と接続される複数の接続端子(41、42)を備え、接続端子(41、42)と外部との接続を溶接により行うようにした電子装置において、大電流化や接続端子の多ピン化を必要に応じて適切に実現することができる。
請求項2に記載の発明では、第1の回路部(10)と、第2の回路部(20)と、第1の回路部(10)および第2の回路部(20)とボンディングワイヤ(31、32)を介して接続される複数の接続端子(41、42)とを備え、第2の回路部(20)は第1の回路部(10)よりも大きい電流が流れるものである電子装置において、次のような点を特徴としている。
・複数の接続端子(41、42)のうち第1の回路部(10)と接続される第1の接続端子(41)に対しては、ボンディングワイヤとしてAuからなるAuワイヤ(31)が用いられ、第2の回路部(20)と接続される第2の接続端子(42)に対しては、ボンディングワイヤとしてAuワイヤ(31)よりも太くAlからなるAlワイヤ(32)が用いられていること。
・第1の接続端子(41)は、表面に無電解Niメッキが施されたものであって且つAuワイヤ(31)との接続部では無電解Niメッキの上に最表面層としてAgメッキが施されたものであり、第2の接続端子(42)は、表面に無電解Niメッキが施されたものであること。本発明の電子装置(100、110)はこれらの点を特徴としている。
それによれば、第1の接続端子(41)および第2の接続端子(42)ともに、表面に無電解Niメッキが施されたものであるから、外部との接続を溶接により行うことができる。
また、第1の接続端子(41)は、Auワイヤ(31)との接続部の表面がAgメッキであるため、Auワイヤ(31)を適切にボンディングすることができ、第2の接続端子(42)は、表面が無電解Niメッキであるため、Alワイヤ(32)を適切にボンディングすることができる。
そして、比較的小電流であるが故に多ピン化が要求されやすい第1の回路部(10)と第1の接続端子(41)との間では、比較的細いAuワイヤ(31)を用いることができ、大電流が流れる第2の回路部(20)と第2の接続端子(42)との間では、比較的太いAlワイヤ(32)を用いることができている。つまり、本発明においても、各ワイヤの用途に対応した接続端子の構成が実現できている。
したがって、本発明によれば、ボンディングワイヤ(31、32)と接続される複数の接続端子(41、42)を備え、接続端子(41、42)と外部との接続を溶接により行うようにした電子装置において、大電流化や接続端子の多ピン化を必要に応じて適切に実現することができる。
ここで、請求項3に記載の発明のように、請求項2に記載の電子装置においては、第1の回路部(10)は、第1の電子素子(11、12)を備え、第2の回路部(20)は、第1の電子素子(11、12)よりも大きい電流が流れ且つ大きい発熱を行う第2の電子素子(21、22、23、24)を備えるものにできる。
さらに、請求項4に記載の発明のように、請求項3に記載の電子装置においては、第1の電子素子は制御素子(11、12)であり、第2の電子素子は、制御素子(11、12)によって制御される駆動素子(21〜24)であるものにできる。
また、請求項5に記載の発明のように、請求項3または請求項4に記載の電子装置において、第1の回路部(10)は第1の配線基板(51)を備えて構成されたものであり、第2の回路部(20)は、第1の配線基板(51)とは分離して配置された第2の配線基板(52)を備えて構成されたものであり、第1の電子素子(11、12)は第1の配線基板(51)に実装され、第2の電子素子(21〜24)は第2の配線基板(52)に実装されているものにできる。
そして、請求項6に記載の発明のように、請求項5に記載の電子装置においては、第1の配線基板(51)および第2の配線基板(52)は、それぞれ、アイランド部(40)の上に搭載されているものにできる。
さらに、請求項7に記載の発明では、請求項5または請求項6に記載の電子装置において、第1の配線基板(51)は多層基板であり、第2の配線基板(52)は単層基板であることを特徴としている。
制御素子(11、12)を有する第1の回路部(10)は、駆動素子(21〜24)を有する駆動部としての第2の回路部(20)を制御する制御部として機能するが、この制御部は駆動部に比べて構成が複雑である。そのため、小型化するためには、制御部としての第1の回路部(10)については、配線などが立体的に構成可能な多層基板を使用することが好ましい。
しかしながら、制御部と駆動部とで、別々の配線基板を使用する場合、両方の配線基板について多層基板を適用すると、多層基板は比較的高価であるため、コストが高いものになってしまう。
その点、本発明のように、制御部としての第1の回路部(10)に使用される第1の配線基板(51)を多層基板とし、駆動部としての第2の回路部(20)に使用される第2の配線基板(52)を比較的安価な単層基板とすれば、コストの面で有利である。
また、請求項8に記載の発明のように、請求項3または請求項4に記載の電子装置においては、第1の回路部(10)および第2の駆動部(20)は、共通の配線基板(50)を有するものであり、第1の電子素子(11、12)および第2の電子素子(21〜24)は、配線基板(50)に実装されているものであってもよい。
また、請求項9に記載の発明のように、請求項1〜請求項8に記載の電子装置においては、Alワイヤ(32)の線径は250μm以上であり、Auワイヤ(31)の線径は30μm以下であるものにできる。
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。
(第1実施形態)
限定するものではないが、本実施形態の電子装置100は、自動車のパワーウィンドウにおけるモータ(後述の図5参照)を駆動制御するためのHIC(混成集積回路)に適用されるものとして説明する。
図1は、本発明の第1実施形態に係る電子装置100の概略平面構成を示す図であり、図2は図1に示される電子装置100の概略断面構成を示す図である。さらに、図3(a)および(b)は、本電子装置100における接続端子41、42の詳細を示す拡大断面図である。
[装置構成等]
図1に示されるように、本実施形態の電子装置100は、大きくは、第1の回路部10と、第2の回路部20と、これら第1の回路部10および第2の回路部20とボンディングワイヤ31、32を介して接続される複数の接続端子41、42とを備えて構成されている。
本実施形態では、第1の回路部10は制御部として構成されるものである。この第1の回路部10は、マイコン11、制御IC12といった制御素子などからなる第1の電子素子を有するものであって、これらの第1の電子素子11、12およびこれら素子11、12が搭載される第1の配線基板51を含んで構成されている。
なお、上記したような制御素子11、12はシリコン半導体などの半導体基板(半導体チップ)に対して半導体プロセスを用いて形成されるものである。
本実施形態では、第2の回路部20は、制御部としての第1の回路部10により駆動が制御される駆動部として構成されるものである。この第2の回路部20は、パワーMOS素子21、22、23、24やIGBTなどの駆動素子などからなる第2の電子素子を有するものであって、これら第2の電子素子21〜24およびこれら素子が搭載される第2の配線基板52を含んで構成されている。
この第2の回路部20を構成する第2の電子素子21〜24は、第1の回路部10を構成する第1の電子素子11、12よりも大きい電流が流れ且つ大きい発熱を行うパワー素子である。そのため、第2の回路部20は第1の回路部10よりも大きい電流が流れるものとなっている。
本例では、第2の回路部20を構成する第2の電子素子は、パワー素子としての4個のパワーMOS素子21、22、23、24から構成されている。そして、これら駆動素子およびパワー素子としてのパワーMOS素子21〜24は、第1の回路部10を構成する制御素子11、12により制御されるものである。
そして、各回路部10、20を構成する各電子素子11、12、21〜24は、図1、図2に示されるように、ボンディングワイヤ31や図示しないダイボンド材などにより、それぞれの配線基板51、52上に実装されている。
なお、図1および図2に示されるような第1の回路部10および第2の回路部20における各素子11、12、21〜24の構成は、あくまで一例を示すものであり、第1の回路部10および第2の回路部20の構成は、これら図に示される例に限定されるものではない。
このように、本実施形態の電子装置100では、第1の回路部10および第2の回路部20は、それぞれ別個の異なる配線基板51、52を有するものとしている。そして、図1、図2に示されるように、分離された第1の配線基板51および第2の配線基板52は、リードフレームのアイランド部40上に搭載されている。
ここで、各々の配線基板51、52は、たとえば、電気絶縁性を有し且つ熱伝導性に優れた樹脂などからなる図示しない接着剤などを介して、アイランド部40上に固定されている。そして、第1の配線基板51と第2の配線基板52とは、ボンディングワイヤ31により結線され、電気的に接続されている。
ここで、第1の配線基板51としては、3層以上の層が積層されたセラミック積層基板またはプリント配線基板などを採用することができる。一方、第2の配線基板52としては、単層または2層程度のセラミック層が積層されてなる厚膜配線基板などを採用することが好ましい。
さらに言うならば、本実施形態の電子装置100においては、第1の回路部10を構成する第1の配線基板51としては多層基板を採用し、第2の回路部20を構成する第2の配線基板52としては単層基板を採用することが好ましい。
また、これら第1および第2の配線基板51、52の材質としては、放熱性に優れたアルミナ基板であることが望ましい。より具体的には、第1の配線基板51には、実装密度を高められるアルミナ積層基板を用い、第2の配線基板52には、比較的安価に製造できる厚膜単層アルミナ基板を用いることができる。
図4は、各配線基板51、52の詳細構成を示す概略断面図であり、(a)は多層基板としての第1の配線基板51を示し、(b)は単層基板としての第2の配線基板52を示している。
本電子装置100においては、制御部としての第1の回路部10は駆動部としての第2の回路部20に比べて構成が複雑であるため、小型化するためには、第1の回路部10における第1の配線基板51として、配線などが立体的に構成可能な多層基板を使用することが好ましい。
しかしながら、第1の回路部10と第2の回路部20とで、別々の配線基板51、52を使用する場合、両方の配線基板51、52について多層基板を採用すると、コストが高いものになってしまう。
その点、制御部としての第1の回路部10に使用される第1の配線基板51を多層基板とし、駆動部としての第2の回路部20に使用される第2の配線基板52を、多層基板に比べて安価な単層基板とすれば、コストの面で有利である。
また、本実施形態では、配線基板を分割しているが、両配線基板51、52間の電気的接続をボンディングワイヤ31によって行うことにより、配線基板を分割したことによる大型化を最小限に抑制している。
特に、本実施形態では、両配線基板51、52間の電気的接続を、後述するような比較的細いAuからなるボンディングワイヤ31を介して行っているため、大型化の抑制をより効果的に実現している。
また、図1、図2に示されるように、リードフレームのアイランド部40の周囲には、複数本の接続端子41、42が配置されている。ここで、接続端子41、42は、通常のCu(銅)やFe(鉄)または42アロイなどからなるリードフレームを用いて、アイランド部40とともに形成することができる。
ここで、複数の接続端子41、42のうち第1の回路部10とボンディングワイヤ31を介して結線され電気的に接続されている接続端子41を、第1の接続端子41とし、第2の回路部20とボンディングワイヤ32を介して結線され電気的に接続されている接続端子42を、第2の接続端子42とする。
そして、第1の接続端子41に対しては、ボンディングワイヤ31としてAu(金)からなるAuワイヤ31が用いられ、第2の接続端子42に対しては、ボンディングワイヤ32としてAuワイヤ31よりも太くAl(アルミニウム)からなるAlワイヤ32が用いられている。
ここで、Alワイヤ32の線径は、たとえばφ250μm以上φ500μmであり、Auワイヤ31の線径はφ20μm以上φ30μm以下である。Alワイヤ32は、たとえばウェッジボンディング法など、Auワイヤ31は、たとえばボールボンディング法など、ワイヤボンディングにより形成される。
ここにおいて、本実施形態の電子装置100では、図3(a)に示されるように、Auワイヤ31と接続される第1の接続端子41は、全表面に無電解Niメッキ膜43が施されたものであって且つAuワイヤ31との接続部では無電解Niメッキ膜43の上に最表面層としてAgメッキ膜44が施されたものである。
また、図3(b)に示されるように、Alワイヤ32と接続される第2の接続端子42は、全表面に無電解Niメッキ膜43が施されたものである。
上述したように、これら接続端子41、42はリードフレームから形成可能なものであり、母材としてはCuやFeや42アロイなどであり、この母材の表面に上記した各種のメッキ膜43、44が施されるのである。
なお、図1、図2では、無電解メッキ膜43は図示していないが、第1の接続端子41におけるAgメッキ膜44は示してある。図1では、Agメッキ膜44は、識別の容易化のために斜線ハッチング領域にて示してあるが、この領域が断面を示すものでないことはもちろんである。
また、たとえば、第1の回路部10と接続される第1の接続端子41は、上記した制御素子11、12の信号端子などとして機能し、第2の回路部20と接続される第2の接続端子42は、駆動素子21〜24の電流端子あるいは上記モータ(図5参照)を駆動するために上記モータへ接続される端子などとして機能する。
また、図4(a)に示されるように、たとえばアルミナ積層基板などの多層基板としての第1の配線基板51において、Auワイヤ31と接続されるパッド53は、第1の配線基板51上に設けられたCuからなる配線54の上に形成されている。このパッド53は、配線54の上に形成されたAuメッキ膜からなる。Auメッキからなるパッド53とAuワイヤ31とをボンディングする構造であるので、接続信頼性は高い。
また、図4(b)に示されるように、厚膜単層アルミナ基板などの単層基板としての第2の配線基板52において、Auワイヤ31と接続されるパッド55は、第2の配線基板52の上に形成されたAg−Pt(銀と白金の合金)膜などからなるものである。
一方、図4(b)に示されるように、第2の配線基板52においてAlワイヤ32と接続されるパッド57は、Ag−Pt導体膜、または厚膜Ag−Pd(銀とパラジウムの合金)導体膜からなる。ここでは、このパッド57は、第2の配線基板52の上に、Ag−Pt膜55、Ag−Pd膜56を順次積層した膜からなるものである。
これらAg−Pt導体またはAg−Pd導体から無電解Niメッキへの接続は、Al太線ワイヤボンディングに適した構造であり、大電流経路を確保することができる。
このように、各配線基板51、52において、上記したようなパッドの構成を採用することにより、各パッド53、55、57とAuワイヤ31、Alワイヤ32のそれぞれとの接合性が適切に確保されている。
そして、図1、図2に示されるように、本電子装置100においては、第1の回路部10、第2の回路部20、各ボンディングワイヤ31、32、アイランド部40および第1、第2の接続端子41、42におけるボンディングワイヤ31、32との接続部は、モールド樹脂60により封止されている。
ここで、図2に示されるように、アイランド部40のうち両回路部10、20が搭載されている上面すなわち搭載面とは反対側の下面は、モールド樹脂60から露出している。それにより、電子装置100内にて発生する熱は、このアイランド部40の露出部から外部へと放熱されるため、装置の放熱性の向上が図られている。
したがって、本電子装置100におけるアイランド部40は、ヒートシンクとしての機能をも有する。
なお、このアイランド部40は、図1に示されるように、リードフレームに一体に成形されたものであってもよいが、当該リードフレームとは別体のヒートシンクを用意し、このヒートシンクとリードフレームとをかしめや溶接などによって固定してなるものであってもよい。
すなわち、本実施形態でいうアイランド部40とは、半導体装置などで通常使用されるCuやFe、アルミニウムなどからなるヒートシンク、あるいは放熱板をも含むものである。
これらリードフレームのアイランド部、ヒートシンク、放熱板については、装置における部品の搭載部として機能するだけでなく、通常、放熱部材としても機能することができるものである。
また、この電子装置100は、上記したパワーウィンドウの駆動装置に取り付けられる。たとえば、電子装置100は、モールド樹脂60から突出する第1の接続端子41、第2の接続端子42のそれぞれが、当該駆動装置のコネクタ、モータ(図5参照)と電気的に接続されるようになっている。
これら第1の接続端子41とコネクタとの接続、第2の接続端子42とモータとの接続は、溶接により行われる。このようにして上記駆動装置に取り付けられた電子装置100は、モータを駆動制御するようになっている。
このような電子装置100は、たとえば、上記各メッキを施したリードフレームを用意し、上記した各電子素子11、12、21〜24などが実装された各配線基板51、52を、アイランド部40の搭載面上に搭載し、その周囲に配置された各接続端子41、42との間でAuワイヤ31およびAlワイヤ32のワイヤボンディングを行った後、これを樹脂モールドすることにより、製造することができる。
[回路構成および作動等]
本実施形態の電子装置100の回路構成等について、図5および図6を参照して述べておく。図5は、本電子装置100の回路構成の概略図であり、図6は、図5中のモータの作動状態における各パワーMOS素子21〜24のゲート入力のON・OFF状態を示す図である。
この図5に示される回路構成において、制御部としての第1の回路部10は、主としてマイコン11と、制御回路12a、駆動回路12b、コンパレータ12cを含む制御IC12とから構成されており、駆動部としての第2の回路部20は、4個のパワーMOS素子21〜24により構成されている。
ここで、4個のパワーMOS素子21〜24は、Hブリッジ回路を構成している。また、本電子装置100において、窓ガラスを駆動させるための上記モータ80や装置の電源81が設けられている。
このような電子装置100においては、図示しないマイコンから通信(たとえばLIN)によってマイコン11に信号を伝え、その指示に従い、マイコン11は制御回路12aと駆動回路12bを介して、各パワーMOS素子21〜24を制御する。駆動回路12bの出力は、各パワーMOS素子21〜24のゲートに入力される。
ここで、車の窓ガラスを上昇・下降するのがモータ80であり、モータ停止時、窓ガラスの上昇時、窓ガラスの下降時の各時におけるゲート入力の状態は、図6に示されるようなものになる。
すなわち、図6に示されるように、モータ停止時では、4個のパワーMOS素子21〜24のすべてがOFF状態であり、上昇時では、Hブリッジにおける一方の対角線上に位置する2個のパワーMOS素子21、23がON状態、他方の対角線上に位置する2個のパワーMOS素子22、24がOFF状態となる。
また、下降時では、Hブリッジにおける一方の対角線上に位置する2個のパワーMOS素子21、23がOFF状態、他方の対角線上に位置する2個のパワーMOS素子22、24がON状態となる。つまり、上昇時と下降時とでは、Hブリッジ回路によってモータ80へ流れる電流が逆転し、モータ80の回転も逆転する。
また、コンパレータ12cは、たとえば図示しないホールセンサなどにより検出されたモータ回転情報とマイコン11の指令とを比較し、状況に応じて制御回路12aへ信号をフィードバックさせるものである。それによって、より適切な制御を行うことが可能となる。
[効果等]
ところで、本実施形態によれば、第1の回路部10と、第2の回路部20と、第1の回路部10および第2の回路部20とボンディングワイヤ31、32を介して接続される複数の接続端子41、42とを備え、第2の回路部20は第1の回路部10よりも大きい電流が流れるものである電子装置において、次のような点を特徴とする電子装置100が提供される。
・複数の接続端子41、42のうち第1の回路部10と接続される第1の接続端子41に対しては、ボンディングワイヤとしてAuからなるAuワイヤ31が用いられ、第2の回路部20と接続される第2の接続端子42に対しては、ボンディングワイヤとしてAuワイヤ31よりも太くAlからなるAlワイヤ32が用いられていること。
・第1の接続端子41は、表面に無電解Niメッキが施されたものであって、且つ、Auワイヤ31との接続部では無電解Niメッキの上に最表面層としてAgメッキが施されたものであり、第2の接続端子42は、表面に無電解Niメッキが施されたものであること。
これらの点を特徴とする本実施形態の電子装置100によれば、第1の接続端子41および第2の接続端子42ともに、表面に無電解Niメッキが施されたものであるから、外部との接続を溶接により適切に行うことができる。
また、第1の接続端子41では、Auワイヤ31との接続部の表面がAgメッキであるため、Auワイヤ31を適切にボンディングすることができ、第2の接続端子42では、表面が無電解Niメッキであるため、Alワイヤ32を適切にボンディングすることができる。
そして、比較的小電流であるが故に多ピン化が要求されやすい第1の回路部10と第1の接続端子41との間では、比較的細いAuワイヤ31を用いることができ、大電流が流れる第2の回路部20と第2の接続端子42との間では、比較的太いAlワイヤ32を用いることができている。つまり、各ワイヤの用途に対応した接続端子の構成が実現できている。
したがって、本実施形態によれば、ボンディングワイヤ31、32と接続される複数の接続端子41、42を備え、接続端子41、42と外部との接続を溶接により行うようにした電子装置において、大電流化や接続端子の多ピン化を必要に応じて適切に実現することができる。
さらに言うならば、本実施形態によれば、Au細線であるAuワイヤ31とAl太線であるAlワイヤ32とを用途に応じて使い分けるので、実装スペースを効率よく使うことができる。
また、接続端子41、42を形成するにあたっては、リードフレームに施されるメッキを使い分けることで各接続端子41、42を形成することができるため、部品点数はアップしない。
また、Alワイヤ32、Auワイヤ31の接続端子との接合性について言うならば、無電解Niメッキ上にAl太線ボンディングを行うので、Alワイヤ32の接続端子との接合性は、従来と同程度であり、それよりも低下することはない。
また、Agメッキ上にAu細線ボンディングを行っているため、Auワイヤ31の接続端子との接合性は、従来のモノリシックICにおけるレベルと同程度であり、それよりも低下することはない。
また、上述したが、本実施形態の電子装置100においては、第2の回路部20は、第1の回路部10を構成する第1の電子素子11、12よりも大きい電流が流れ且つ大きい発熱を行う第2の電子素子21、22、23、24を備えている。
具体的には、第1の電子素子は制御素子11、12であり、第2の電子素子は、制御素子11、12によって制御される駆動素子21〜24としている。それにより、第2の回路部20は第1の回路部10よりも大きい電流が流れるものとなっている。
また、上述したが、本実施形態においては、第1の回路部10、第2の回路部20は、それぞれ別個の分離された第1の配線基板51、第2の配線基板52を備えて構成され、第1の電子素子11、12は第1の配線基板51に実装され、第2の電子素子21〜24は第2の配線基板52に実装されていることも特徴点である。
そして、本例においては、第1の配線基板51および第2の配線基板52は、それぞれ、アイランド部40の上に搭載されている。また、上述したように、第1の配線基板51を多層基板とし、第2の配線基板52を単層基板とすることにより、基板コストの面で有利である。
また、上述したが、本実施形態の電子装置100においては、Alワイヤ32の線径は250μm以上500μm以下であり、Auワイヤ31の線径は20μm以上30μm以下であるものにできる。Al太線、Au細線としては、通常、このようなサイズのものが用いられる。
また、上述したように、本実施形態の半導体装置100においては、モータ停止時では、Hブリッジ構成となっている4個のパワーMOS素子21〜24のすべてがOFF状態であり、上昇時(下降時)では、2個のパワーMOS素子21、23がON状態(下降時ではOFF状態)、2個のパワーMOS素子22、24がOFF状態(下降時ではON状態)となる。
このような作動状態を鑑みて、本半導体装置100においては、図1に示されるように、4個のパワーMOS素子21〜24は、隣り合うパワー素子同士が同時にON状態とならないように配置されている。
つまり、本実施形態では、図1に示されるように、上昇時および下降時において、ON状態となるパワーMOS素子とOFF状態となるパワーMOS素子とが、交互に配置された形となっている。
この配置形態について、さらに言うならば、本実施形態では、4個のパワー素子21〜24の少なくとも1つの素子をONさせるときにおいて、同時期に隣り合うパワー素子同士の一方がON状態、他方がOFF状態となるように、4個のパワー素子21〜24の配置がなされている。
それによれば、4個のパワーMOS素子21〜24において隣り合うパワーMOS素子同士が同時にON状態とならないため、局所的に熱がこもるのを極力防止することができる。そして、パワーMOS素子21〜24の熱を第2の配線基板52に広く分散させ、アイランド部40に放熱可能な構成を実現することができ、好ましい。
(第2実施形態)
図7は、本発明の第2実施形態に係る電子装置110の概略平面構成を示す図である。以下、上記第1実施形態との相違点を中心に述べることにする。
上記第1実施形態の電子装置100では、上記図1および図2に示されるように、第1の回路部10および第2の回路部20は、それぞれ別個の異なる配線基板51、52を有するものであり、これら配線基板51、52は、アイランド部40の搭載面上に搭載されていた。
それに対して、本実施形態の電子装置110では、第1の回路部10および第2の回路部20は、共通の配線基板50を有するものであり、この配線基板50はアイランド部40の搭載面上に搭載されているものとしている。そして、第1の電子素子11、12および第2の電子素子21〜24は、配線基板50に実装されている。
この配線基板50も、たとえば、電気絶縁性を有し且つ熱伝導性に優れた樹脂などからなる接着剤などを介して、アイランド部40の搭載面上に固定されている。この配線基板50としては、単層または複数の層が積層されたセラミック積層基板またはプリント配線基板などを採用することができる。
本実施形態では、第1の回路部10は、上記第1の電子素子11、12およびこれら素子11、12が搭載される配線基板50を含んで構成されており、第2の回路部20は、第2の電子素子21、22およびこれら素子21、22が搭載される配線基板50を含んで構成されている。
なお、本実施形態でも、上記第1実施形態に示される電子装置(図1参照)と同様に、パワーMOS素子は4個設けられHブリッジを構成しているが、ただし、図7においては、4個の素子のうちの2個のパワーMOS素子21、22が示され、残りの2個は省略している。
また、本実施形態において、この共通の配線基板50における各ワイヤ31、32との接続部すなわちパッドの構成は、この配線基板50が多層基板である場合、または単層基板である場合の各場合について、上記図4に示されるようなパッドの構成を採用することができる。
そして、本実施形態の電子装置110によっても、上記第1実施形態の電子装置100と同様に、ボンディングワイヤ31、32と接続される複数の接続端子41、42を備え、接続端子41、42と外部との接続を溶接により行うようにした電子装置110において、大電流化や接続端子の多ピン化を必要に応じて適切に実現することができる。
(第3実施形態)
上記各実施形態は、上記図1、図7などに示されるように、複数の素子11、12、21〜24を有する電子装置への適用例を説明した。
ここで、電子装置としては、1個の素子を有するもの、いわゆる1チップの電子装置であっても、本発明を採用することができる。
図8は、本発明の第3実施形態に係る電子装置120の概略平面構成を示す図である。以下、上記各実施形態との相違点を中心に述べることにする。
本電子装置120では、アイランド部40の搭載面上に、1個の電子素子90のみが実装されている。この電子素子90としては、たとえば、1個の半導体チップにおいて回路部が高度に集積化されたインテリジェントパワーMOSFET素子などを採用することができる。
この電子素子90に対して、その周囲には第1の接続端子41、第2の接続端子42が設けられており、第1の接続端子41にはAuワイヤ31が接合され、第2の接続端子42にはAlワイヤ32が接合されている。
ところで、本実施形態および上記各実施形態に共通して言えることは、ボンディングワイヤ31、32と接続される複数の接続端子41、42が備えられている電子装置100、110、120において、次のような点を特徴とする電子装置100、110、120が提供されるということである。
・ボンディングワイヤ31、32は、AuからなるAuワイヤ31とこのAuワイヤ31よりも太くAlからなるAlワイヤ32とから構成されており、複数の接続端子41、42は、Auワイヤ31と接続される第1の接続端子41と、Alワイヤ32と接続される第2の接続端子42とから構成されていること。
・第1の接続端子41は、表面に無電解Niメッキが施されたものであって且つAuワイヤ31との接続部において無電解Niメッキの上に最表面層としてAgメッキが施されたものであり、第2の接続端子42は、表面に無電解Niメッキが施されたものであること(図3参照)。
これらの点を特徴する電子装置100、110、120によれば、第1および第2の接続端子41、42ともに、表面に無電解Niメッキが施されたものであるから、外部との接続を溶接により適切に行うことができる。
また、第1の接続端子41は、Auワイヤ31との接続部の表面にAgメッキを施してあるため、Auワイヤ31を適切にボンディングすることができ、第2の接続端子42は、表面の実質全体が無電解Niメッキであるため、Alワイヤ32を適切にボンディングすることができる。
いずれにせよ、本第3実施形態でも上記実施形態と同様に、比較的細く接続端子の多ピン化に適したAuワイヤ31用の第1の接続端子41、比較的太く大電流化に適したAlワイヤ32用の第2の接続端子42を備えることで、各ワイヤの用途に対応した接続端子の構成が実現できている。
したがって、本第3実施形態によっても、ボンディングワイヤ31、32と接続される複数の接続端子41、42を備え、接続端子41、42と外部との接続を溶接により行うようにした電子装置において、大電流化や接続端子の多ピン化を必要に応じて適切に実現することができる。
(他の実施形態)
なお、上記実施形態では、第1の回路部は制御部、第2の回路部は制御部としての第1の回路部によって制御される駆動部としていたが、第2の回路部は第1の回路部よりも大きい電流が流れるものであればよい。
また、上記第3実施形態に示したように、1チップの構成であっても、要は、ボンディングワイヤが、比較的細いAuワイヤと比較的太いAlワイヤとから構成され、接続端子が、Auワイヤ用の第1の接続端子とAlワイヤ用の第2の接続端子とから構成されている電子装置であれば、本発明は適用可能である。
また、上記各実施形態では、本発明の電子装置を、パワーウィンドウの駆動モータを駆動するHICに適用したものとして説明したが、本発明の電子装置の用途は、これに限定されるものではないことはもちろんである。
要するに、本発明は、ボンディングワイヤと接続される複数の接続端子を備える電子装置において、ボンディングワイヤを、AuワイヤとこのAuワイヤよりも太いAlワイヤとから構成し、複数の接続端子をAuワイヤと接続される第1の接続端子と、Alワイヤと接続される第2の接続端子とから構成し、第1の接続端子は、表面に無電解Niメッキが施されたものであって且つAuワイヤとの接続部において無電解Niメッキの上に最表面層としてAgメッキが施されたものとし、第2の接続端子42は、表面に無電解Niメッキが施されたものとしたことを要部とするものである。そして、その以外の部分については、適宜、設計変更可能であることはもちろんである。
本発明の第1実施形態に係る電子装置の概略平面構成を示す図である。 図1に示される電子装置の概略断面構成を示す図である。 (a)は図1中の電子装置における第1の接続端子の拡大断面図であり、(b)は図1中の電子装置における第2の接続端子の拡大断面図である。 (a)は多層基板としての第1の配線基板を示す概略断面図、(b)は単層基板としての第2の配線基板を示す概略断面図である。 第1実施形態に係る電子装置の回路構成の概略図である。 図5中のモータの作動状態における各パワーMOS素子のゲート入力のON・OFF状態を示す図である。 本発明の第2実施形態に係る電子装置の概略平面構成を示す図である。 本発明の第3実施形態に係る電子装置の概略平面構成を示す図である。
符号の説明
10…第1の回路部、
11…第1の電子素子および制御素子としてのマイコン、
12…第1の電子素子および制御素子としての制御IC、
20…第2の回路部、
21〜24…第2の電子素子および駆動素子としてのパワーMOS素子、
31…ボンディングワイヤとしてのAuワイヤ、
32…ボンディングワイヤとしてのAlワイヤ、
41…第1の接続端子、42…第2の接続端子。

Claims (9)

  1. ボンディングワイヤ(31、32)と接続される複数の接続端子(41、42)が備えられている電子装置において、
    前記ボンディングワイヤ(31、32)は、AuからなるAuワイヤ(31)とこのAuワイヤ(31)よりも太くAlからなるAlワイヤ(32)とから構成されており、
    前記複数の接続端子(41、42)は、前記Auワイヤ(31)と接続される第1の接続端子(41)と、前記Alワイヤ(32)と接続される第2の接続端子(42)とから構成されており、
    前記第1の接続端子(41)は、表面に無電解Niメッキが施されたものであって且つ前記Auワイヤ(31)との接続部では前記無電解Niメッキの上に最表面層としてAgメッキが施されたものであり、
    前記第2の接続端子(42)は、表面に無電解Niメッキが施されたものであることを特徴とする電子装置。
  2. 第1の回路部(10)と、第2の回路部(20)と、前記第1の回路部(10)および前記第2の回路部(20)とボンディングワイヤ(31、32)を介して接続される複数の接続端子(41、42)とを備え、
    前記第2の回路部(20)は前記第1の回路部(10)よりも大きい電流が流れるものである電子装置において、
    前記複数の接続端子(41、42)のうち前記第1の回路部(10)と接続される第1の接続端子(41)に対しては、前記ボンディングワイヤとしてAuからなるAuワイヤ(31)が用いられ、前記第2の回路部(20)と接続される第2の接続端子(42)に対しては、前記ボンディングワイヤとして前記Auワイヤ(31)よりも太くAlからなるAlワイヤ(32)が用いられており、
    前記第1の接続端子(41)は、表面に無電解Niメッキが施されたものであって且つ前記Auワイヤ(31)との接続部では前記無電解Niメッキの上に最表面層としてAgメッキが施されたものであり、
    前記第2の接続端子(42)は、表面に無電解Niメッキが施されたものであることを特徴とする電子装置。
  3. 前記第1の回路部(10)は、第1の電子素子(11、12)を備え、前記第2の回路部(20)は、前記第1の電子素子(11、12)よりも大きい電流が流れ且つ大きい発熱を行う第2の電子素子(21、22、23、24)を備えるものであることを特徴とする請求項2に記載の電子装置。
  4. 前記第1の電子素子は制御素子(11、12)であり、前記第2の電子素子は、前記制御素子(11、12)によって制御される駆動素子(21〜24)であることを特徴とする請求項3に記載の電子装置。
  5. 前記第1の回路部(10)は第1の配線基板(51)を備えて構成されたものであり、前記第2の回路部(20)は、前記第1の配線基板(51)とは分離して配置された第2の配線基板(52)を備えて構成されたものであり、
    前記第1の電子素子(11、12)は、前記第1の配線基板(51)に実装され、前記第2の電子素子(21〜24)は、前記第2の配線基板(52)に実装されていることを特徴とする請求項3または4に記載の電子装置。
  6. 前記第1の配線基板(51)および前記第2の配線基板(52)は、それぞれ、アイランド部(40)の上に搭載されていることを特徴とする請求項5に記載の電子装置。
  7. 前記第1の配線基板(51)は多層基板であり、前記第2の配線基板(52)は単層基板であることを特徴とする請求項5または6に記載の電子装置。
  8. 前記第1の回路部(10)および前記第2の駆動部(20)は、共通の配線基板(50)を有するものであり、
    前記第1の電子素子(11、12)および前記第2の電子素子(21〜24)は、前記配線基板(50)に実装されていることを特徴とする請求項3または4に記載の電子装置。
  9. 前記Alワイヤ(32)の線径は250μm以上であり、前記Auワイヤ(31)の線径は30μm以下であることを特徴とする請求項1ないし8のいずれか1つに記載の電子装置。
JP2004175419A 2004-04-14 2004-06-14 電子装置 Pending JP2005353976A (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004175419A JP2005353976A (ja) 2004-06-14 2004-06-14 電子装置
DE102005016830A DE102005016830A1 (de) 2004-04-14 2005-04-12 Halbleitervorrichtung und Verfahren zu ihrer Herstellung
US11/105,548 US7843700B2 (en) 2004-04-14 2005-04-14 Semiconductor device
US12/923,968 US8179688B2 (en) 2004-04-14 2010-10-19 Semiconductor device
US13/359,776 US20120120610A1 (en) 2004-04-14 2012-01-27 Semiconductor device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004175419A JP2005353976A (ja) 2004-06-14 2004-06-14 電子装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2005353976A true JP2005353976A (ja) 2005-12-22

Family

ID=35588161

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004175419A Pending JP2005353976A (ja) 2004-04-14 2004-06-14 電子装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2005353976A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011039795A1 (ja) * 2009-09-29 2011-04-07 パナソニック株式会社 半導体装置とその製造方法
WO2012071299A3 (en) * 2010-11-23 2012-10-04 Microchip Technology Incorporated Vertical field effect transistor
JP2014093431A (ja) * 2012-11-05 2014-05-19 Renesas Electronics Corp 半導体装置およびその製造方法
JP2017069584A (ja) * 2017-01-10 2017-04-06 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体装置およびその製造方法

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011039795A1 (ja) * 2009-09-29 2011-04-07 パナソニック株式会社 半導体装置とその製造方法
JPWO2011039795A1 (ja) * 2009-09-29 2013-02-21 パナソニック株式会社 半導体装置とその製造方法
US8581378B2 (en) 2009-09-29 2013-11-12 Panasonic Corporation Semiconductor device and method of manufacturing the same
WO2012071299A3 (en) * 2010-11-23 2012-10-04 Microchip Technology Incorporated Vertical field effect transistor
JP2014093431A (ja) * 2012-11-05 2014-05-19 Renesas Electronics Corp 半導体装置およびその製造方法
JP2017069584A (ja) * 2017-01-10 2017-04-06 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体装置およびその製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8179688B2 (en) Semiconductor device
KR101505552B1 (ko) 복합 반도체 패키지 및 그 제조방법
US5394298A (en) Semiconductor devices
US20070075419A1 (en) Semiconductor device having metallic lead and electronic device having lead frame
JPH02285646A (ja) 半導体装置
WO2021251126A1 (ja) 半導体装置
JP2009054690A (ja) リードフレーム構造体
CN113169161A (zh) 半导体封装件、其制造方法及半导体装置
JP4552810B2 (ja) 半導体装置
US20130199827A1 (en) Mounting Board and Circuit Device Using the Same
JP3437477B2 (ja) 配線基板および半導体装置
JP2008218688A (ja) 半導体装置
JP3553849B2 (ja) 半導体装置及びその製造方法
JP5257229B2 (ja) 半導体装置およびヒートシンク
JP2005353976A (ja) 電子装置
JP2009141150A (ja) 半導体装置
JP2007294863A (ja) 回路装置
JP4333505B2 (ja) 半導体装置
JP2620611B2 (ja) 電子部品搭載用基板
JP4534613B2 (ja) 電子装置
JP2010050288A (ja) 樹脂封止型半導体装置およびその製造方法
JP4400575B2 (ja) 電子装置の製造方法
JP2008300390A (ja) 半導体装置
JP2005353742A (ja) 電子装置
JP2001110936A (ja) 半導体装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060707

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20081022

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090519

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090625

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20091104

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20091207

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20100202