JP2005353613A - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
低真空SEMに於いて、試料周辺の残留ガス分子による二次電子増幅法と吸収電流を利用して画像を形成する方法が試みられており、これによる画像は二次電子像と酷似しているため微細な表面構造や立体像の観察が低真空雰囲気において可能となっている。この特徴から低真空SEM利用者に需要が出てきており、低コスト・簡単な操作性・良好な像質等が要求されている。
【解決手段】
高真空時の観察に用いている二次電子検出器の二次電子コレクタ電極を、本発明の基となっている基本原理に適用した低真空走査電子顕微鏡。また試料微動ステージにリング状電極を設置し収量増大・像質向上を目的として構成される低真空走査電子顕微鏡。またそれら電極構造において、像観察する際の観察条件自動設定機能を用いた低真空走査電子顕微鏡。
【選択図】図1
Description
SEコレクタ電極、5…リング状電極、6…試料・試料台、7…偏向装置、8…試料微動ステージ、9…ガス分子・残留気体分子、10…+イオン、11…吸収電流、12…対物レンズ、13…試料室、14…増幅器・AMP、15…外部電源、16…GND・アース、17…作動距離:ワーキングデイスタンス(W.D.)、G…二次電子のガス増幅作用。
Claims (2)
- 電子ビームを収束する対物レンズと、前記試料を配置するための試料台と、前記電子線を試料上で走査するための偏向装置と、前記電子線照射により試料から放出された二次電子を検出するための二次電子検出器と、前記試料の吸収電流を検出するための吸収電流検出手段を備えた走査電子顕微鏡において、
前記二次電子検出器に二次電子を収集するための電圧が印加されるコレクタ電極を備え、当該コレクタ電極は、前記吸収電流検出手段による電流検出が行われている時に、前記電圧が印加されることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1において、
前記試料と共に移動するリング状電極を備え、当該リング状電極は、前記試料との距離を一定に保つように移動することを特徴とする走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005263171A JP4292176B2 (ja) | 2005-09-12 | 2005-09-12 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005263171A JP4292176B2 (ja) | 2005-09-12 | 2005-09-12 | 走査電子顕微鏡 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP30199999A Division JP2001126655A (ja) | 1999-10-25 | 1999-10-25 | 走査電子顕微鏡 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2008317814A Division JP2009272288A (ja) | 2008-12-15 | 2008-12-15 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005353613A true JP2005353613A (ja) | 2005-12-22 |
JP4292176B2 JP4292176B2 (ja) | 2009-07-08 |
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JP (1) | JP4292176B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010084860A1 (ja) * | 2009-01-22 | 2010-07-29 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010084860A1 (ja) * | 2009-01-22 | 2010-07-29 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡 |
JP5372020B2 (ja) * | 2009-01-22 | 2013-12-18 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡 |
US8947520B2 (en) | 2009-01-22 | 2015-02-03 | Hitachi High-Technologies Corporation | Electron microscope |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP4292176B2 (ja) | 2009-07-08 |
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