JP2005349551A - 切削装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】カットステージ2は、直動移動体4と回転移動体6を有する。カットステージ2の下側にX軸方向に傾斜するパン22が設けられる。パン22の加工粉を加圧された洗浄水で除去する洗浄水ノズル52はカットステージ2の直動移動体4に取り付けられる取付台8に固定され、カットステージ2とともにX軸方向に移動する。直動移動体4を駆動するリニアモータの電機子コイルを冷却する使用済の冷却水が洗浄水ノズルに供給される。カットステージ2の直動移動体4の移動を案内するガイド12は、ガイドベース14の上下両端が横向きに突出した構造を有し、突出した構造部分14A、14Bにガイドレール16、18が設けられる。
【選択図】図1
Description
4 直動移動体
6 回転移動体
8 取付台
10 交流モータ
12 ガイド
14 ガイドベース
16、18 ガイドレール
20 ガイド軸受
22 パン
30 ベルトコンベア
32 リニアモータ
34 可動子
36 固定子
46 冷却管
50 冷却水供給装置
52 洗浄液ノズル
Claims (4)
- 回転ブレードによって薄板状の被切削物を格子状に切削して分割する切削装置において、被切削物を水平1軸方向に往復移動させる直動移動体を含んでなるカットステージと、前記カットステージの下側に前記水平1軸方向に沿って傾斜して設けられるパンと、前記カットステージに固定され前記水平1軸方向に移動し加圧された洗浄水を前記パンに供給するノズルと、を備えた切削装置。
- 前記パンの上側に設けられ切削部位から洗浄水とともに流下される切削粉を受けて回収槽に搬送するベルトコンベアを含んでなる請求項1に記載の切削装置。
- 前記直動移動体を駆動するリニアモータと、前記リニアモータの電機子コイルを冷却する冷却装置と、前記冷却装置の使用済の冷却水を前記ノズルに供給する供給管路とを含んでなる請求項1に記載の切削装置。
- 上下両端が横向きに突出した構造を有し、前記突出した構造部分にそれぞれにガイドレールが設けられ、前記直動移動体の前記水平1軸方向の往復移動を案内するガイドを含んでなる請求項1に記載の切削装置。
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WO2009028364A1 (ja) * | 2007-08-28 | 2009-03-05 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | ダイシング装置 |
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