JP2005347363A - 物品の自動搬送水切り装置および自動搬送水切り方法、並びに物品の自動洗浄装置及び自動洗浄方法 - Google Patents

Abstract

【課題】物品の水切り、特に折り返し部や凹部等が形成されている物品の水切りを効果的に行ってスループットを向上させることのできる物品の自動搬送水切り装置、及び物品の自動洗浄装置を提供する。
【解決手段】物品を自動的に搬送しながら水切りを行う物品の自動搬送水切り装置であって、少なくとも前記物品を載置して搬送する搬送ベルト部と、該搬送ベルト部を駆動させるベルト駆動部と、前記物品を載置できる櫛歯状の羽根を有する少なくとも１機以上の水切り用羽根車と、該水切り用羽根車を回転させる羽根車回転駆動部とを具備し、前記搬送ベルト部で搬送されてきた物品を前記水切り用羽根車の櫛歯状の羽根に載置して回転させることにより物品の水切りを行うものであることを特徴とする物品の自動搬送水切り装置、及び該物品の自動搬送水切り装置を具備する物品の自動洗浄装置。
【選択図】図１

Description

本発明は、物品を自動的に搬送しながら物品の水切りを行う物品の自動搬送水切り装置及び自動搬送水切り方法、並びにこの物品の自動搬送水切り装置を用いて物品に洗浄及び乾燥処理を行う物品の自動洗浄装置及び自動洗浄方法に関する。

従来、物品に例えば洗浄及び乾燥等の処理を施す際に、物品（被処理物）を搬送しながらその物品に純水や洗浄剤等を吹き付けて洗浄処理を行い、その後加熱処理した清浄空気（クリーンドライエア、以下ＣＤＡと略すことがある）等を吹き付けて乾燥処理を行う方法が広く用いられている。

例えば、半導体ウエーハを出荷する際にウエーハを保持・収納するキャリアボックスには、通常ウエーハへの汚染を防止するために非常に清浄なものが求められている。そのため、一般的にウエーハを収納する前にキャリアボックスに洗浄及び乾燥等の処理を施し、キャリアボックスに付着しているパーティクルや有機物等を除去することが行われている。このようなキャリアボックスを洗浄する方法としては、例えば、特許文献１に開示されているような方法等が知られている。

ここで、キャリアボックスの洗浄方法について簡単に説明する。
通常、このようなキャリアボックスに洗浄及び乾燥処理を行う場合、キャリアボックスは、先ず、ボックス本体、上蓋、インナーボックス、リテイナー、ガスケット等のパーツに分解され、その各パーツに分解されたキャリアボックスに純水による前洗浄を行う。続いて、前洗浄を行ったキャリアボックスに界面活性剤等の薬液を用いた薬液洗浄を行うことによって、付着しているパーティクルや有機物等を除去し、その後純水によるリンス（水洗）を十分に行う。

リンスが行われた後、キャリアボックスを十分に乾燥させる。キャリアボックスの乾燥を行う方法としては、リンス後のキャリアボックスを例えばクリーンオーブン内に搬送し、オーブン内を６０℃程度に保持して温風の循環により乾燥を行う、あるいはキャリアボックスの乾燥装置としてユニット内に組み込まれた回転機構を用いてキャリアボックスを装置内で回転させるとともに清浄な温風を吹き付ける、いわゆるスピンを利用した方法等を用いることによりキャリアボックスの乾燥が行われる。

また、上記のようなキャリアボックスの洗浄及び乾燥処理では、キャリアボックスに洗浄処理を行った後、乾燥を行う前にキャリアボックスの水切りを行うことによって乾燥時間を短縮できることから、リンスが施されたキャリアボックスには、ＣＤＡを高速で吹き付けるＣＤＡブローや、加圧した空気を利用するエアーナイフ等を用いて水切りが行われている。

しかしながら、このような従来のＣＤＡブローやエアーナイフ等による水切りでは、キャリアボックスに付着している水滴を十分に水切りできているとは言えず、水切り後のキャリアボックスの表面や、さらにＣＤＡブローやエアーナイフ等を施すことのできないキャリアボックスの内側には多くの水滴が残存していた。さらに、キャリアボックスが例えば折り返し部を有するものや、複雑な３次元形状を有するものである場合には、キャリアボックスに洗浄処理を行った際にその折り返し部や３次元形状の凹部等に水や薬液が溜まりやすいが、従来の水切り方法ではこのような折り返し部や凹部等に溜まった水や薬液を水切りすることは非常に困難であった。そのため、その後の乾燥処理でキャリアボックスを完全に乾燥させるためには依然長い処理時間が必要とされ、スループットの低下やコストアップの要因の一つとなっている。

また、このような乾燥処理における処理時間の問題等は、半導体ウエーハのキャリアボックスを洗浄する場合に限定されて引き起こされるものではなく、物品を各処理工程に搬送しながら洗浄及び乾燥処理を行う場合に共通する問題であり、有効な水切り方法が望まれる。

特開２００１−１５６０３４号公報

そこで、本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、物品の水切り、特に折り返し部や凹部等が形成されている物品の水切りを効果的に行ってスループットを向上させることのできる物品の自動搬送水切り装置及び自動搬送水切り方法、並びにこの物品の自動搬送水切り装置を用いることにより物品に付着している水滴の効果的な水切りを行って、その後の乾燥処理を短時間で効率的に行うことができる物品の自動洗浄装置及び自動洗浄方法を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明によれば、物品を自動的に搬送しながら水切りを行う物品の自動搬送水切り装置であって、少なくとも前記物品を載置して搬送する搬送ベルト部と、該搬送ベルト部を駆動させるベルト駆動部と、前記物品を載置できる櫛歯状の羽根を有する少なくとも１機以上の水切り用羽根車と、該水切り用羽根車を回転させる羽根車回転駆動部とを具備し、前記搬送ベルト部で搬送されてきた物品を前記水切り用羽根車の櫛歯状の羽根に載置して回転させることにより物品の水切りを行うものであることを特徴とする物品の自動搬送水切り装置が提供される（請求項１）。

このように、少なくとも搬送ベルト部と、ベルト駆動部と、櫛歯状の羽根を有する少なくとも１機以上の水切り用羽根車と、羽根車回転駆動部とを具備し、搬送ベルト部で搬送されてきた物品を水切り用羽根車で回転させることにより物品の水切りを行う物品の自動搬送水切り装置であれば、物品を自動搬送するとともに水切り用羽根車で物品を回転させることにより、物品に付着している水滴や、特に物品の折り返し部や凹部等に溜まっている水等を容易に落とせるので、物品の水切りを短時間で効果的に行うことができる自動搬送水切り装置とすることができる。

このとき、前記水切り用羽根車を２機以上具備し、該隣り合う水切り用羽根車において、一方の水切り用羽根車が有する櫛歯状の羽根の櫛歯部（山部）と他方の水切り用羽根車が有する櫛歯状の羽根の歯溝部（谷部）とが互いに対向するようにして２機以上の水切り用羽根車が配置されていることが好ましい（請求項２）。

このように、水切り用羽根車を２機以上具備し、隣り合う水切り用羽根車において、一方の水切り用羽根車が有する櫛歯状の羽根の櫛歯部と他方の水切り用羽根車が有する櫛歯状の羽根の歯溝部とが互いに対向するようにして２機以上の水切り用羽根車が配置されていれば、水切り用羽根車を回転させたときに隣り合った水切り用羽根車間でお互いの櫛歯状の羽根が接触せずに交差できるようになるし、また水切り用羽根車間での物品の受け渡しを円滑に安定して行うことができるものとなる。

この場合、前記隣り合う水切り用羽根車において、前段の水切り用羽根車の回転軸が後段の水切り用羽根車の回転軸よりも高い位置に設置されていることが好ましい（請求項３）。
このように、隣り合う水切り用羽根車において、前段の水切り用羽根車の回転軸が後段の水切り用羽根車の回転軸よりも高い位置に設置されていれば、水切り用羽根車間での物品の受け渡しを一層安定して行うことができる自動搬送水切り装置となる。

また、本発明の物品の自動搬送水切り装置は、前記水切り用羽根車を少なくとも４機１組で具備し、該４機の水切り用羽根車がそれぞれ櫛歯状の羽根を９０°の間隔で４枚有しており、該４機の水切り用羽根車で前記物品を３６０°回転させるものであることが好ましい（請求項４）。
本発明の自動搬送水切り装置が上記のような構成を有していれば、物品に水切りを行う際に、１機の水切り用羽根車で物品をそれぞれ９０°ずつ回転させることにより物品を落下させずに３６０°回転させることができるので、例えば物品の折り返し部や凹部に溜まっている水、また開放端を有する物品の内壁面に付着している水等を容易に水切りできる装置となる。

この場合、前記４機１組の水切り用羽根車を１組以上具備するものであることが好ましい（請求項５）。
このように、４機１組の水切り用羽根車を１組以上具備するものであれば、物品に水切りを行う際に物品の３６０°の回転を１回以上行うことができる装置となり、物品に付着している水滴を極めて効果的に落とすことが可能となる。

さらに、本発明の物品の自動搬送水切り装置は、前記搬送ベルト部の水切り用羽根車側の一端が櫛歯状であることが好ましい（請求項６）。
このように搬送ベルト部の水切り用羽根車側の一端が櫛歯状であれば、搬送ベルト部と水切り用羽根車の櫛歯状の羽根とが干渉することなく交差できるようにすることができるので、搬送ベルト部で搬送されてきた物品を搬送ベルト部から水切り用羽根車へ安定して移動させることができるものとなる。

そして、本発明によれば、上記本発明の物品の自動搬送水切り装置を具備する物品の自動洗浄装置を提供することができる（請求項７）。
このような本発明の物品の自動洗浄装置であれば、例えば洗浄処理等が行われた物品の水切りを効果的に行うことができるので、その後の乾燥処理を短時間で効率的に行うことができる物品の自動洗浄装置となる。

さらに、本発明によれば、物品を自動的に搬送しながら水切りを行う物品の自動搬送水切り方法において、前記物品を搬送ベルト部に載置して自動的に櫛歯状の羽根を有する水切り用羽根車まで搬送し、該物品を前記水切り用羽根車の櫛歯状の羽根に載置して回転させることによって物品の水切りを行うことを特徴とする物品の自動搬送水切り方法が提供される（請求項８）。

このように、物品を搬送ベルト部に載置して自動的に水切り用羽根車まで搬送し、その搬送されてきた物品を水切り用羽根車の櫛歯状の羽根に載置して回転させることによって物品の水切りを行えば、物品に付着している水滴や、特に物品の折り返し部や凹部等に溜まっている水等をすばやく落として物品の水切りを効果的に、また高いスループットで行うことができる。

このとき、前記物品を前記水切り用羽根車を複数用いることによって少なくとも３６０°回転させることが好ましい（請求項９）。
このように水切り用羽根車を複数用いて物品を少なくとも３６０°回転させることにより、例えば物品の折り返し部や凹部に溜まっている水や、開放端を有する物品の内壁面に付着している水等を容易に水切りすることができる。

さらに、前記物品を３６０°回転させることを１周期として、該物品の回転を１周期以上行うことが好ましい（請求項１０）。
このように、物品を３６０°回転させることを１周期とする物品の回転を１周期以上行うことによって、物品の水切りを極めて効果的にまた効率良く行うことができ、水切り後に物品に付着している水滴を非常に低減させることができる。

そして、本発明によれば、上記本発明の物品の自動搬送水切り方法を用いて、少なくとも、前記物品を自動的に搬送しながら洗浄処理を行った後に水切りを行い、その後該水切りされた物品に乾燥処理を行うことを特徴とする物品の自動洗浄方法が提供される（請求項１１）。
このような本発明の物品の自動洗浄方法であれば、洗浄処理が行われた物品の水切りを効果的に行うことができるため、その後物品に乾燥処理を行う際に、乾燥ムラを生じさせず、また短時間で効率的に物品を乾燥させることができるので、洗浄及び乾燥処理のスループットを向上させることができる。

このとき、前記自動洗浄を行う物品をウエーハのキャリアボックスとすることができる（請求項１２）。
このように、本発明の物品の自動洗浄方法は、ウエーハのキャリアボックスを洗浄する際に特に好適に用いることができ、それによって、キャリアボックスの洗浄及び乾燥処理を効率的に高いスループットで行うことができる。

本発明によれば、物品を自動搬送するとともに水切り用羽根車で物品を回転させることにより、物品に付着している水滴や、特に物品の折り返し部や凹部等に溜まっている水等を落として物品の水切りを効果的に行うことができ、スループットの向上を図ることができる。また、本発明の物品の自動洗浄方法によれば、洗浄処理が施された物品の水切りを効果的に行うことができるので、物品の乾燥処理を短時間で効率的に行うことができる。

以下、本発明について実施の形態を説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
本発明者は、物品の洗浄及び乾燥処理において、洗浄処理が行われた物品に付着している水滴や、特に物品が折り返し部や複雑な３次元形状を有するものである場合に、この折り返し部や３次元形状の凹部等に溜まった水等を効果的に水切りできる水切り装置について、鋭意実験及び検討を重ねた。その結果、少なくとも物品を載置して搬送する搬送ベルト部と、その搬送ベルト部を駆動させるベルト駆動部と、櫛歯状の羽根を有する少なくとも１機以上の水切り用羽根車と、その水切り用羽根車を回転させる羽根車回転駆動部とを具備し、搬送ベルト部で搬送されてきた物品を水切り用羽根車の櫛歯状の羽根に載置して回転させることにより物品の水切りを行う物品の自動搬送水切り装置であれば、物品に付着している水や、物品に形成されている折り返し部や凹部等に溜まった水等を振り落として、物品の水切りを効果的に行うことができることを見出して、本発明を完成させた。

先ず、本発明に係る物品の自動搬送水切り装置について、図面を参照しながら説明するが、本発明はこれらに何ら限定されるものではない。図１は、本発明の物品の自動搬送水切り装置の一例を概略的に表す概略説明図を示しており、また図３（ａ）は本発明の物品の自動搬送水切り装置の概略平面図、図３（ｂ）は搬送ベルト部及びベルト駆動部の断面を表す概略断面図を示す。

本発明の物品の自動搬送水切り装置１は、図１に示すように、少なくとも物品２０を載置して搬送する搬送ベルト部２と、搬送ベルト部２を駆動させるベルト駆動部３と、物品２０を載置できる櫛歯状の羽根１６を有する水切り用羽根車１５と、水切り用羽根車１５を回転させる羽根車回転駆動部１８とを具備するものである。尚、図１において、物品２０は、ウエーハのキャリアボックスのような少なくとも一つの面が開放端となり、またこの開放端側に折り返し部２３が形成されているものとする。また、図１に示した４機の水切り用羽根車１５は、物品が搬送されてくる方の水切り用羽根車から順に、第１の水切り用羽根車１５ａ、第２の水切り用羽根車１５ｂ、第３の水切り用羽根車１５ｃ、第４の水切り用羽根車１５ｄとする。

上記の搬送ベルト部２は、物品２０を載置して搬送できる構造であれば特に限定されるものではないが、例えば図３（ａ）に示すような弾性を有するゴム製のＯ−リングベルト４を用いて網状の構造を有するように構成することができる。搬送ベルト部２をこのような網状の構造を有するように構成することにより、物品２０を搬送ベルト部２上に載置して安定して搬送することができ、さらに、例えば物品２０の搬送中に物品２０から水滴が流れ落ちてきても、搬送ベルト部２からすばやく滴下することができるものとなる。

ベルト駆動部３は、図３（ａ）及び（ｂ）に示すように、例えば、搬送ベルト部２を駆動させる駆動シャフト５と、駆動シャフト５の両端にチェーンボックス６内でギア７を介して取り付けられた駆動チェーン８と、駆動チェーン８を介して駆動シャフト５に回転動力を与えるモーター９と、モーター９の回転速度を制御して搬送ベルト部２の搬送速度を制御する制御装置１０とで構成することができる。

また、このベルト駆動部３では、駆動チェーン８とモーター９とが変速ギアボックス１１を介して連結されており、搬送ベルト部の搬送速度を容易にかつ円滑に制御することができるようになっている。さらに、上記のような駆動シャフト５や駆動チェーン８等は、強化プラスチックやクリーン塩ビなどの塩化ビニル樹脂製とすることで、発塵の問題や物品の金属汚染を防止することができる。

このようなベルト駆動部３において、各駆動シャフト５は、図３（ｂ）に示すように、チェーンボックス６内で支持体１２に支持されている中空ベアリング１３で保持されている。この中空ベアリング１３としては、例えば図４に示すような転がり接触させる構造のものを用いることができ、駆動シャフト５を回転可能に保持することができる。さらに、中空ベアリング１３の外側には、ずり落ち防止ガイド１４がギア７及び駆動チェーン８を挟み込むようにして配置されている。また、駆動シャフト５の表面には、Ｏ−リングベルト４のズレを防止するための突起物２９や溝等を形成しておくことが好ましい。

また、本発明の自動搬送水切り装置１では、物品を搬送する際に物品が搬送ベルト部の外部へ落ちないようにするために滑り落ち防止手段２５を搬送ベルト部に設置することができる。滑り落ち防止手段２５は、チェーンボックス６の外壁にボルト等により固定することができ、その材質は、例えばステンレスにフッ素樹脂をコートしたものを用いれば、金属等の汚染を防止すると同時に、搬送物品が接触しても滑りやすい表面なので摩擦による引っ掛かりがなく、スムーズな搬送ができる。

さらに、本発明の自動搬送水切り装置１は、上述のように、水切り用羽根車１５と羽根車回転駆動部１８とを具備するものである。
水切り用羽根車１５は、例えば図１及び図３（ａ）に示したように、物品を載置できる櫛歯状の羽根１６と、その櫛歯状の羽根１６を９０°の間隔で４枚取り付ける回転軸１７とを有しており、搬送ベルト部２で搬送されてきた物品２０を櫛歯状の羽根１６に載置して、回転軸１７を中心として回転できるようになっている。

そして、この水切り用羽根車１５は、回転軸１７の一端が羽根車回転駆動部１８に接続されており、他方の一端は上記で説明した中空ベアリング等によって回転可能に保持されている。このとき、羽根車回転駆動部１８は、図３（ａ）に示したように、水切り用羽根車１機毎にそれぞれ設置することができる。そして、これらの各羽根車回転駆動部１８は回転制御手段１９に接続されており、この回転制御手段１９で羽根車回転駆動部１８の駆動を制御することにより、水切り用羽根車１５の回転及び停止を行ったり、羽根車１５を回転させる時の回転速度を調節することができ、さらには、全ての水切り用羽根車の回転条件を同期させることも、またそれぞれの水切り用羽根車の回転条件を個別に制御することも容易に行うことができる。

上記の櫛歯状の羽根を有する水切り用羽根車１５は、自動搬送水切り装置に少なくとも１機以上設置されていれば良いが、例えば図１に示したように、櫛歯状の羽根１６を９０°の間隔で４枚有する第１〜第４の水切り用羽根車１５ａ〜１５ｄを４機１組として自動搬送水切り装置に設置することが好ましい。このように櫛歯状の羽根を９０°の間隔で４枚有する水切り用羽根車１５ａ〜１５ｄが４機１組で設置されていれば、１機の水切り用羽根車で物品をそれぞれ９０°ずつ回転させることにより、４機の水切り用羽根車全体でで物品を３６０°回転させることができるし、また各水切り用羽根車間での物品の移動（受け渡し）も容易となる。

また、水切り用羽根車１５を２機以上具備する場合（例えば、上記のように４機１組で具備する場合）、図３（ａ）に示すように、隣り合う水切り用羽根車において、一方の水切り用羽根車が有する櫛歯状の羽根の櫛歯部２６（山部）と他方の水切り用羽根車が有する櫛歯状の羽根の歯溝部２７（谷部）とが互いに対向するようにして水切り用羽根車が配置されていることが好ましい。

このように隣り合う水切り用羽根車において、それぞれの櫛歯状の羽根の櫛歯部２６と歯溝部２７とが互いに対向するように配置されていれば、水切り用羽根車が回転するときに隣り合う水切り用羽根車間でお互いの櫛歯状の羽根が接触せずに交差できるようになるし、また水切り用羽根車間で物品を移動させる際に、物品を移動させるための他の手段を別途に設けなくても、物品の受け渡しを円滑に安定して行うことが可能となる。もちろん、本発明では、水切りを行う物品の大きさや形状等に応じて、例えば図２に示した物品の自動搬送水切り装置３０のように、水切り用羽根車１５間に物品の受け渡しを一層安定して行うための受け渡し補助手段２８を設置することもできる。

さらに、上記のように物品の自動搬送水切り装置１が２機以上の水切り用羽根車１５を具備する場合、図１に示したように、隣り合う第１の水切り用羽根車１５ａと第２の水切り用羽根車１５ｂにおいて、前段の第１の水切り用羽根車１５ａの回転軸１７が、後段の第２の水切り用羽根車１５ｂの回転軸１７よりも高い位置に設置されていることが好ましい。このように前段の水切り用羽根車の回転軸を後段よりも高く設置することによって、隣り合う水切り用羽根車１５ａ、１５ｂ間での物品２０の受け渡しを一層安定して行うことが可能となる。また同様に、水切り用羽根車１５ｂ、１５ｃ間、及び水切り用羽根車１５ｃ、１５ｄ間においても、前段の水切り用羽根車の回転軸を後段よりも高い位置に設置することにより、各水切り用羽根車間において物品２０の受け渡しを一層安定させることができる。

また、本発明の物品の自動搬送水切り装置１では、図３（ａ）に示したように、上記の搬送ベルト部２における水切り用羽根車側の一端が櫛歯状のベルト部２１で構成されていることが好ましい。このように搬送ベルト部の水切り用羽根車側の一端が櫛歯状であれば、水切り用羽根車が回転するときに搬送ベルト部と水切り用羽根車の櫛歯状の羽根とが接触せずに交差できるようになるし、また搬送ベルト部２で物品を櫛歯状のベルト部２１まで搬送し、この搬送されてきた物品を櫛歯状のベルト部２１から水切り用羽根車１５へ安定して移動させることが可能となる。このような櫛歯状のベルト部２１は、例えばＯ−リングベルト４の水切り用羽根車側の端をそれぞれ別々に従動ローラー２２で保持することによって容易に構成することができる。

次に、本発明の物品の自動搬送水切り方法について、図１に示した物品の自動搬送水切り装置１を参照しながら詳細に説明する。
本発明の物品の自動搬送水切り方法は、物品２０を搬送ベルト部２に載置して自動的に櫛歯状の羽根を有する水切り用羽根車１５まで搬送し、この搬送されてきた物品２０を水切り用羽根車１５の櫛歯状の羽根１６に載置して回転させることによって、物品２０の水切りを行うことができるものである。

以下具体的に説明すると、先ず、洗浄処理等が施されて水滴が付着している物品２０は搬送ベルト部２に載置されて自動的に櫛歯状の羽根１６を有する水切り用羽根車１５まで搬送される。このとき、ベルト駆動部３で搬送ベルト部２の速度を調節することにより、水切り用羽根車１５の回転に合わせて物品２０の搬送を適切に行うことができる。

次に、搬送ベルト部２で搬送されてきた物品２０を、搬送ベルト部２の水切り用羽根車側に設けられている櫛歯状のベルト部２１で、回転する第１の水切り用羽根車１５ａの櫛歯状の羽根１６に載置する（例えば、図５（ａ）の工程（１））。

そして、このように水切り用羽根車１５ａの羽根１６に載置された物品２０は、図５（ａ）に示すように、先ず水切り用羽根車１５ａで９０°回転される（工程（２））。このとき、物品２０には回転により衝撃が加えられ、物品２０がこの衝撃を受けることによって物品に付着している水滴を効果的に振り落とすことができる。

続いて、物品２０は第２の水切り用羽根車１５ｂに受け渡され、この第２の水切り用羽根車１５ｂでさらに９０°回転させられる（工程（３））。このとき、第１及び第２の水切り用羽根車１５ａ、１５ｂは、上記のように櫛歯状の羽根の山部と谷部とが互いに対向するように配置されているので、お互いの櫛歯状の羽根が接触せずに交差することができ、また物品の受け渡しも円滑に安定して行うことができる。

第２の水切り用羽根車１５ｂで回転した物品２０は、その後同様にして、第３の水切り用羽根車１５ｃ（工程（４））、第４の水切り用羽根車１５ｄ（工程（５））に順次受け渡されて９０°ずつ回転する。このように４機の水切り用羽根車でそれぞれ物品を９０°ずつ回転させることによって、搬送ベルト部２で搬送されてきた物品２０を落下させずに安定して３６０°回転させることができる。

このようにして搬送ベルト部２で搬送されてきた物品２０を複数の水切り用羽根車１５を用いて３６０°回転させることによって、物品２０に付着している水滴や、特に物品２０の折り返し部２３に溜まっている水、及び内壁面に付着している水滴等をすばやく落として物品２０の水切りを効果的に行うことができる。また、本発明の自動搬送水切り方法では、物品がそれぞれの水切り用羽根車で回転する際に上述のように物品に衝撃を与えるため、この衝撃によって物品に付着している水滴を非常に効果的に振り落とすことができる。したがって、物品の水切りを極めて効果的にかつ短時間で行うことが可能となり、スループットの向上を図ることができる。

尚、本発明において水切り用羽根車１５で物品２０を回転させる際、水切り用羽根車１５の回転条件（羽根車回転駆動部１８の駆動条件）は特に限定されず、物品２０を円滑に安定して回転させることができれば様々な条件で水切り用羽根車１５を回転させることができる。しかしながら、例えば図１に示したように物品２０を４機１組の水切り用羽根車１５ａ〜１５ｄを用いて回転させる場合、水切り用羽根車１５ａ〜１５ｄを全て同じ回転速度で連続的に回転させていると、場合によっては、物品２０が互いに隣り合う水切り用羽根車の羽根と羽根との間に挟まれたり、また引っ掛かったりしてしまい、その結果、水切り用羽根車の回転を停止させたり、また物品を潰したりする恐れがあることが考えられる。

したがって、上記のように４機１組の水切り用羽根車で物品を３６０°回転させる場合等では、例えば、図５（ａ）及び（ｂ）に示すように第１及び第３の水切り用羽根車１５ａ、１５ｃの回転と第２及び第４の水切り用羽根車１５ｂ、１５ｄの回転とを交互に行うことが好ましい。このようにして各水切り用羽根車の回転及び停止を制御することによって、物品を潰さずに確実に回転させることが可能となる。また、水切り用羽根車がこのように規則的に回転すれば、水切り用羽根車の回転に合わせて物品を搬送ベルト部から連続的に投入することが容易に可能となるので、物品の水切りを高いスループットで行うことができるようになる。

また、このように物品２０を回転させる場合、水切り用羽根車の回転速度は特に限定されるものではなく、水切り用羽根車の回転速度を物品２０が水切り用羽根車から外部へ落下せずに安定して回転できる範囲で制御すれば良い。例えば、上記のように隣り合う水切り用羽根車を交互に回転させる場合であれば、それぞれの水切り用羽根車を９０°あたり１．５秒前後で回転させることができる。

また、物品の安定した回転が得られるその他の方法として、第１及び第３の水切り用羽根車１５ａ、１５ｃの回転速度（回転条件）と第２及び第４の水切り用羽根車１５ｂ、１５ｄの回転速度（回転条件）とが異なるように条件の制御を行って水切り用羽根車を回転させるようにしても良い。例えば、第１及び第３の水切り用羽根車１５ａ、１５ｃを連続的にゆっくり回転させ、一方第２及び第４の水切り用羽根車１５ｂ、１５ｄを短い時間で９０°回転させた後、第１及び第３の水切り用羽根車が９０°回転するまで停止させておくといった間欠的に回転させるようにして水切り用羽根車の回転を繰り返し行うことによっても、物品を潰すことなく安定して回転させることができる。

さらに、本発明では、自動搬送水切り装置が４機１組の水切り用羽根車を１組以上具備して、物品に水切りを行う際に、物品を３６０°回転させることを１周期として物品を水切り用羽根車で１周期以上回転させることができる。そして、このように物品の３６０°の回転を１回以上、例えば２組計８機の水切り用羽根車によって物品に７２０°の回転（２周期）を行うことによって、物品に付着している水滴、特に物品の折り返し部や凹部に溜まっている水や開放端を有する物品の内壁面に付着している水滴等を極めて効果的に水切りすることができ、水切り後の物品に付着している水滴を大幅に低減することができる。

そして、本発明では、上記本発明の自動搬送水切り装置を具備する物品の自動洗浄装置を提供することができる。
以下、本発明に係る物品の自動洗浄装置について、図面を参照しながら説明するが、本発明はこれらに何ら限定されるものではない。図６は、本発明の物品の自動洗浄装置の一例を示す概略説明図である。

本発明の物品の自動洗浄装置は、例えば折り返し部２３を有する物品２０を自動的に搬送しながら、先ず各洗浄処理室で前洗浄、薬液（界面活性剤）による洗浄、リンス等の洗浄処理を行う。そして物品２０に洗浄処理を行った後、少なくとも上記本発明の自動搬送水切り装置１を用いて水滴２４等が付着している物品２０を搬送ベルト部２で水切り用羽根車１５まで搬送し、水切り用羽根車１５で物品２０を回転させることによって水切りを行い、さらにその後、水切りが行われた物品２０に乾燥処理を行うものである。尚、本発明において、水切り後に行う乾燥処理の処理方法は特に限定されず、例えばエアーナイフやＣＤＡブローによる乾燥、前述したスピン乾燥、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）溶液への浸漬・引上げによる乾燥等の公知の方法を用いることができる。

このように、洗浄処理が施された物品に本発明の自動搬送水切り装置を用いて水切りを行えば、上述のように物品２０に付着している水滴等を非常に効果的に水切りすることができ、特に図６に示したように４機１組の水切り用羽根車１５で物品２０を３６０°回転させることによって、物品２０の折り返し部２３に溜まっている水や物品の内壁面に付着している水滴も非常に効果的にまた効率的に水切りすることができる。したがって、その後乾燥処理にて物品の乾燥を行った際に、乾燥時間を大幅に短縮して、スループットを従来に比べて著しく向上させることができるし、また乾燥ムラを生じさせずに均一に物品を乾燥させることもできる。

そして、このような本発明の自動洗浄方法は、前述のようなウエーハを保持・収納するキャリアボックスを洗浄する際に特に好適に用いることができる。ウエーハのキャリアボックスの洗浄・乾燥を上記本発明の自動洗浄方法で行うことによって、キャリアボックスの洗浄処理及び乾燥処理を効率的に非常に高いスループットで行うことができる。

以下、実施例及び比較例を示して本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
（実施例１）
先ず、直径２００ｍｍのシリコンウエーハを収納できるキャリアボックスに前洗浄、界面活性剤洗浄、リンスによる洗浄処理を行った。次に、図１に示した物品の自動搬送水切り装置１を用いて、洗浄処理が行われたキャリアボックスを搬送ベルト部２に載置して水切り用羽根車１５ａまで搬送し、４機１組の水切り用羽根車１５ａ〜１５ｄでキャリアボックスを３６０°回転させることによってキャリアボックスの水切りを行った。

尚、実施例１では、水切り用羽根車でキャリアボックスを３６０°回転させる際にキャリアボックスの回転を安定して行うために、第１及び第３の水切り用羽根車１５ａ、１５ｃについては３秒で９０°回転するように回転条件を設定し、また第２及び第４の水切り用羽根車１５ｂ、１５ｄについては１秒で９０°回転した後２秒停止するように回転条件を設定して、キャリアボックスの水切りを行った。

この自動搬送水切り装置１による水切りの効果を確かめるために、洗浄処理が行われる前のキャリアボックスの重量を予め求めておき、そして洗浄処理直後の水滴の付着したキャリアボックスの重量、及び水切りを行った直後のキャリアボックスの重量を測定して洗浄処理前のキャリアボックスの重量との差を算出することによって、それぞれの段階でキャリアボックスに付着している水滴の量を求めた。

その結果、洗浄処理直後にキャリアボックスに付着している水滴の量はおよそ７３ｇ、水切り直後の水滴の量は１８ｇであることが分かった。また、水切り直後にキャリアボックスに形成されている折り返し部を目視で観察したところ、水滴はほとんど観察されなかった。

（実施例２）
先ず、上記実施例１と同様に、直径２００ｍｍのシリコンウエーハを収納できるキャリアボックスに前洗浄、界面活性剤洗浄、リンスによる洗浄処理を行った。次に、櫛歯状の羽根を４枚有する水切り用羽根車を８機（２組）具備する物品の自動搬送水切り装置を用いて、洗浄処理が行われたキャリアボックスを８機の水切り用羽根車で７２０°回転させることによってキャリアボックスの水切りを行った。

尚、実施例２では、水切り用羽根車でキャリアボックスを７２０°回転させる際にキャリアボックスの回転を安定して行うために、第１、第３、第５、第７の水切り用羽根車については３秒で９０°回転するように回転条件を設定し、また第２、第４、第６、第８の水切り用羽根車については１秒で９０°回転した後２秒停止するように回転条件を設定して、キャリアボックスの水切りを行った。

そして、その水切りの効果を確かめるために、上記実施例１と同様にして洗浄処理直後及び水切り直後のキャリアボックスに付着している水滴の量を求めた。その結果、洗浄処理直後にキャリアボックスに付着している水滴の量はおよそ７３ｇ、水切り直後の水滴の量は１ｇ未満であることが分かった。また、水切り直後にキャリアボックスの表面を目視で詳細に観察したところ、ボックス表面に非常に微小な水滴が若干観察されただけであった。

（比較例）
比較例として、先ずキャリアボックスに前洗浄、界面活性剤洗浄、リンスによる洗浄処理を行った後、ＣＤＡを高速で吹き付けるＣＤＡブローを行うことによってキャリアボックスの水切りを行った。

そして、このＣＤＡブローによる水切りの効果を確かめるために、上記実施例１と同様にして洗浄処理直後及びＣＤＡブロー直後のキャリアボックスに付着している水滴の量を求めた。その結果、洗浄処理後にキャリアボックスに付着している水滴の量はおよそ７３ｇ、ＣＤＡブロー直後の水滴の量は６１ｇであることが分かった。また、キャリアボックスに形成されている折り返し部を目視で観察したところ、折り返し部に水が溜まっており、上記実施例１及び実施例２に比べて水切りの効果が非常に低いことがわかった。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は単なる例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。

例えば、上記では主に物品を水切り用羽根車で３６０°回転させて水切りを行う場合を例に挙げて説明を行っているが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば水切り用羽根車によって物品を９０°、１８０°または５４０°等の様々な角度で回転させて水切りすることができる。

また、水切り用羽根車の羽根の数についても、１機に４枚の場合に限られるものではなく、水切りされる物品の形状等に応じ、枚数を増減できる。

本発明は、水切りまたは自動洗浄の処理を行う必要のある様々な物品に対して同様に適用することができるものである。

本発明の物品の自動搬送水切り装置の一例を概略的に表す概略説明図である。 本発明の物品の自動搬送水切り装置の別の例を概略的に表す概略説明図である。 （ａ）は本発明の物品の自動搬送水切り装置の概略平面図であり、（ｂ）は搬送ベルト部及びベルト駆動部の断面を表す概略断面図である。 中空ベアリングの構成を示す構成概略図である。 （ａ）は水切り用羽根車による物品の回転を概略的に説明する概略説明図であり、（ｂ）は水切り用羽根車の回転条件と物品の回転角度を示した図である。 本発明の物品の自動洗浄装置の一例を示す構成概略図である。

符号の説明

１…物品の自動搬送水切り装置、 ２…搬送ベルト部、
３…ベルト駆動部、 ４…Ｏ−リングベルト、 ５…駆動シャフト、
６…チェーンボックス、 ７…ギア、 ８…駆動チェーン、
９…モーター、 １０…制御装置、 １１…変速ギアボックス、
１２…支持体、 １３…中空ベアリング、 １４…ずり落ち防止ガイド、
１５（１５ａ〜１５ｄ）…水切り用羽根車、 １６…櫛歯状の羽根、
１７…回転軸、 １８…羽根車回転駆動部、 １９…回転制御手段、
２０…物品、 ２１…櫛歯状のベルト部、 ２２…従動ローラー、
２３…折り返し部、 ２４…水滴、 ２５…滑り落ち防止手段、
２６…櫛歯部、 ２７…歯溝部、 ２８…受け渡し補助手段、
２９…突起物、 ３０…物品の自動搬送水切り装置。

Claims (12)

1. 物品を自動的に搬送しながら水切りを行う物品の自動搬送水切り装置であって、少なくとも前記物品を載置して搬送する搬送ベルト部と、該搬送ベルト部を駆動させるベルト駆動部と、前記物品を載置できる櫛歯状の羽根を有する少なくとも１機以上の水切り用羽根車と、該水切り用羽根車を回転させる羽根車回転駆動部とを具備し、前記搬送ベルト部で搬送されてきた物品を前記水切り用羽根車の櫛歯状の羽根に載置して回転させることにより物品の水切りを行うものであることを特徴とする物品の自動搬送水切り装置。
2. 前記水切り用羽根車を２機以上具備し、該隣り合う水切り用羽根車において、一方の水切り用羽根車が有する櫛歯状の羽根の櫛歯部（山部）と他方の水切り用羽根車が有する櫛歯状の羽根の歯溝部（谷部）とが互いに対向するようにして２機以上の水切り用羽根車が配置されていることを特徴とする請求項１に記載の物品の自動搬送水切り装置。
3. 前記隣り合う水切り用羽根車において、前段の水切り用羽根車の回転軸が後段の水切り用羽根車の回転軸よりも高い位置に設置されていることを特徴とする請求項２に記載の物品の自動搬送水切り装置。
4. 前記水切り用羽根車を少なくとも４機１組で具備し、該４機の水切り用羽根車がそれぞれ櫛歯状の羽根を９０°の間隔で４枚有しており、該４機の水切り用羽根車で前記物品を３６０°回転させるものであることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の物品の自動搬送水切り装置。
5. 前記４機１組の水切り用羽根車を１組以上具備するものであることを特徴とする請求項４に記載の物品の自動搬送水切り装置。
6. 前記搬送ベルト部の水切り用羽根車側の一端が櫛歯状であることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の物品の自動搬送水切り装置。
7. 請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の物品の自動搬送水切り装置を具備する物品の自動洗浄装置。
8. 物品を自動的に搬送しながら水切りを行う物品の自動搬送水切り方法において、前記物品を搬送ベルト部に載置して自動的に櫛歯状の羽根を有する水切り用羽根車まで搬送し、該物品を前記水切り用羽根車の櫛歯状の羽根に載置して回転させることによって物品の水切りを行うことを特徴とする物品の自動搬送水切り方法。
9. 前記物品を前記水切り用羽根車を複数用いることによって少なくとも３６０°回転させること特徴とする請求項８に記載の物品の自動搬送水切り方法。
10. 前記物品を３６０°回転させることを１周期として、該物品の回転を１周期以上行うことを特徴とする請求項８または請求項９に記載の物品の自動搬送水切り方法。
11. 請求項８ないし請求項１０のいずれか一項に記載の物品の自動搬送水切り方法を用いて、少なくとも、前記物品を自動的に搬送しながら洗浄処理を行った後に水切りを行い、その後該水切りされた物品に乾燥処理を行うことを特徴とする物品の自動洗浄方法。
12. 前記自動洗浄を行う物品をウエーハのキャリアボックスとすることを特徴とする請求項１１に記載の物品の自動洗浄方法。

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