JP2004305872A - 物品の自動搬送水切り装置および自動搬送水切り方法、並びに物品の自動洗浄装置及び自動洗浄方法 - Google Patents

Abstract

【課題】物品の水切りを効果的に行うことのできる物品の自動搬送水切り装置、及び物品の自動洗浄装置を提供する。
【解決手段】物品を自動的に搬送しながら水切りを行う物品の自動搬送水切り装置であって、少なくとも前記物品を載置して搬送する搬送ベルト部と、該搬送ベルト部を駆動させるベルト駆動部とを具備し、前記搬送ベルト部は網状の構造を有するものであり、かつ該搬送ベルト部には、物品を通過させることにより該物品の水切りを行う傾斜部及び／または段差部が形成されているものであることを特徴とする物品の自動搬送水切り装置、及び該物品の自動搬送水切り装置を具備する物品の自動洗浄装置。
【選択図】 図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、物品を自動的に搬送しながら物品に水切りを行うための物品の自動搬送水切り装置及び自動搬送水切り方法、並びにこの物品の自動搬送水切り装置を用いて物品に洗浄及び乾燥処理を行う物品の自動洗浄装置及び自動洗浄方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、物品に例えば洗浄及び乾燥等の処理を施す際に、物品（被処理物）を搬送しながらその物品に純水や洗浄剤等を吹き付けて洗浄処理を行い、その後加熱した清浄空気（クリーンドライエア、以下、ＣＤＡと略すことがある）等を吹き付けて乾燥処理を行う方法が広く用いられている。
【０００３】
例えば、半導体ウエーハを出荷する際にウエーハを保持・収納するキャリアボックスには、通常ウエーハへの汚染を防止するために非常に清浄なものが求められている。そのため、一般的にウエーハを収納する前にキャリアボックスに洗浄及び乾燥等の処理を施し、キャリアボックスに付着している塵（パーティクル）や有機物等を除去することが行われている。このようなキャリアボックスを洗浄する方法としては、例えば、特許文献１に開示されているような方法等が知られている。
【０００４】
ここで、キャリアボックスの洗浄方法について簡単に説明する。
通常、このようなキャリアボックスに洗浄及び乾燥処理を行う場合、キャリアボックスは、先ず、ボックス本体、上蓋、インナーボックス、リテイナー、ガスケット等のパーツに分解され、その各パーツに分解されたキャリアボックスに純水による前洗浄を行う。続いて、前洗浄を行ったキャリアボックスに界面活性剤等の薬液を用いた薬液洗浄を行うことによって、付着しているパーティクルや有機物等を除去し、その後純水によるリンス（水洗）を十分に行う。
【０００５】
リンスが行われた後、キャリアボックスを十分に乾燥させる。キャリアボックスの乾燥を行う方法としては、リンス後のキャリアボックスを例えばクリーンオーブン内に搬送し、オーブン内を６０℃程度に保持して温風の循環により乾燥を行ったり、あるいはキャリアボックスの乾燥装置としてユニット内に組み込まれた回転機構を用いてキャリアボックスを装置内で回転させるとともに清浄な温風を吹き付ける、いわゆるスピンを利用した方法等を用いることによりキャリアボックスの乾燥が行われる。
【０００６】
また、上記のようなキャリアボックスの洗浄及び乾燥処理では、キャリアボックスに洗浄処理を行った後、乾燥を行う前にキャリアボックスの水切りを行うことによって乾燥時間を短縮できることから、リンスが施されたキャリアボックスには、加熱した清浄空気を高速で吹き付けるＣＤＡブローや、加圧した空気を利用するエアーナイフ等を用いて水切りが行われている。
【０００７】
しかしながら、このような従来のＣＤＡブローやエアーナイフ等によるキャリアボックスの水切りでは、キャリアボックスに付着している水滴を十分に水切りできているとは言えず、水切り後のキャリアボックスの表面や、さらにＣＤＡブローやエアーナイフ等を施すことのできないキャリアボックスの内側には多くの水滴が残存していた。そのため、乾燥処理でキャリアボックスを完全に乾燥させるためには依然長い処理時間が必要とされ、スループットの低下やコストアップの要因の一つとなっている。
【０００８】
また、上記のようなキャリアボックスの洗浄処理では、通常、前洗浄、薬液洗浄、リンスの処理が行われるそれぞれの処理工程において、純水や薬液等の各処理溶液がフィルター等を介して循環して再生利用されている。しかしながら、このような前洗浄や薬液洗浄等の処理が行われたキャリアボックスには処理溶液が付着したまま次工程へ搬送されていくため、当該処理工程から次工程へ処理溶液の持ち出しが起こる。
【０００９】
そして、このように各処理工程で処理溶液の持ち出しが生じると、キャリアボックスの処理数が増加するにつれて当該処理工程で処理溶液が不足するために処理溶液の継ぎ足しが必要となる。また一方、前工程からはキャリアボックスが前工程の処理溶液が付着したまま当該処理工程に搬送されてくるので、当該処理工程で処理溶液を循環して再生利用するときに循環槽内で処理溶液の濃度変化が生じてしまい、処理溶液の調整を行う必要がある。その結果、各処理工程において作業が非常に煩雑となり、処理効率の低下を招くという問題があった。
【００１０】
また、上記のような乾燥処理における処理時間の問題、また処理溶液の持ち出しによる処理効率低下の問題は、半導体ウエーハのキャリアボックスを洗浄する場合に限定されて引き起こされるものではなく、物品を各処理工程に搬送しながら洗浄及び乾燥処理を行う場合に共通する問題である。
【００１１】
さらにこれらの問題に加えて、被処理物を処理工程に搬送して洗浄や乾燥等の各種処理を行うときには、被処理物が搬送中に滑って落下したり、また例えば処理中に処理溶液の吹き付け等によって被処理物が飛散するのを防止して、被処理物を安定して搬送できるようにするため、一般的に専用のバスケットやラック等を用いて被処理物を保持・固定する必要があった。
【００１２】
しかしながら、このように被処理物を専用のバスケットやラックに固定して搬送する場合、被処理物を専用のバスケットやラックに固定する前準備が必要であり、さらに洗浄や乾燥等の各種処理を行った後には搬送されてきたバスケットやラックから被処理物を取り出し、空のバスケットやラックを搬送装置の投入側に移動させて再び上記の前準備を開始しなければならないという手間が必要とされた。そのため、被処理物の搬送を効率的に行なうことができず、各種処理における処理時間の短縮やスループットの向上が妨げられ、大量処理を行うことが非常に困難であった。
【００１３】
【特許文献１】
特開２００１−１５６０３４号公報
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、物品の水切りを効果的に行うことのできる物品の自動搬送水切り装置、及びその物品の自動搬送水切り装置を用いることにより物品に付着している処理溶液の水切りを効果的に行って、その後の乾燥処理を短時間で効率的に行うことができ、さらには各処理工程からの処理溶液の持ち出しを防止することも可能となる物品の自動洗浄装置を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明によれば、物品を自動的に搬送しながら水切りを行う物品の自動搬送水切り装置であって、少なくとも前記物品を載置して搬送する搬送ベルト部と、該搬送ベルト部を駆動させるベルト駆動部とを具備し、前記搬送ベルト部は網状の構造を有するものであり、かつ該搬送ベルト部には、物品を通過させることにより該物品の水切りを行う傾斜部及び／または段差部が形成されているものであることを特徴とする物品の自動搬送水切り装置が提供される（請求項１）。
【００１６】
このように、少なくとも物品を載置して搬送する搬送ベルト部と搬送ベルト部を駆動させるベルト駆動部とを具備し、搬送ベルト部は網状の構造を有するものであり、かつ搬送ベルト部には傾斜部及び／または段差部が形成されている物品の自動搬送水切り装置であれば、物品を自動搬送しながら、搬送ベルト部に形成されている傾斜部及び／または段差部を利用して物品に付着している水や薬液等を落として、物品の水切りを効果的に行うことができる自動搬送水切り装置とすることができる。
【００１７】
このとき、前記搬送ベルト部が、Ｏ−リングベルトで構成されているものであることが好ましい（請求項２）。
このように、搬送ベルト部がＯ−リングベルトで構成されているものであれば、搬送ベルト部が容易に網状の構造を有するものとなるだけでなく、搬送ベルト部に傾斜部及び／または段差部を形成することも容易であり、また物品を安定して載置して搬送することができるものとなる。尚、ここで言うＯ−リングベルトとは、円筒状の弾性樹脂やゴムなどを環状に一体成形あるいは接着により形成した、いわゆるＯ−リングを物品搬送用のベルトとして用いたものを言う。
【００１８】
さらに、前記ベルト駆動部が、少なくとも、前記搬送ベルト部を駆動させる駆動シャフトと、該駆動シャフトの両端に取り付けられた駆動チェーンと、該駆動チェーンを介して前記駆動シャフトに回転を与えるモーターと、該モーターの回転速度を制御して前記搬送ベルト部の搬送速度を制御する制御装置とを具備することが好ましい（請求項３）。
ベルト駆動部が、このように、少なくとも駆動シャフト、駆動チェーン、モーター、制御装置を具備するものであれば、構成が簡単で組立ても容易であり、また搬送ベルト部の搬送速度を制御して安定して搬送ベルト部を駆動させることができるものとなる。
【００１９】
また、前記物品を上方から押さえるとともに、前記搬送ベルト部の搬送速度と同期させて物品を搬送する上部ネット機構を有することが好ましい（請求項４）。
このように、本発明の物品の自動搬送水切り装置が上部ネット機構を有するものであれば、従来のようなバスケットやラック等の専用の治具を用いずに、物品を上方から押さえて物品の落下や飛散を防止し、物品を連続的に安定して自動搬送して効率的に水切りを行うことができる自動搬送水切り装置とすることができる。
【００２０】
さらに、前記搬送ベルト部に形成されている傾斜部及び／または段差部の前段に、物品に水を吹き掛けるウォーターカーテン処理手段が設けられていることが好ましい（請求項５）。
このように、傾斜部及び／または段差部の前段に、物品に水を吹き掛けるウォーターカーテン処理手段が設けられていれば、水切りを行う前に物品に付着する水滴の量は一旦多くなるものの、その後物品を傾斜部及び／または段差部に通過させて水切りを行う際に、物品に付着している水滴が大きくなっているために物品から落としやすくなり、一層効果的に物品を水切りできる自動搬送水切り装置とすることができる。
【００２１】
また、本発明の物品の自動搬送水切り装置では、前記搬送ベルト部の傾斜部が、前記搬送ベルト部の搬送方向に向かって物品を上昇または下降させるような昇降傾斜、前記搬送ベルト部の搬送方向に対して搬送面全体を片側に傾斜させる片側傾斜、搬送ベルト部の搬送方向に対して搬送面を左右交互に傾斜させる交互傾斜、またはそれらが組合わされた傾斜となるように形成されていることが好ましい（請求項６）。
自動搬送水切り装置において、搬送ベルト部の傾斜部がこのような傾斜となるように形成されているものであれば、物品の水切りを容易にかつより一層効果的に行うことができる装置となる。
【００２２】
このとき、前記搬送ベルト部に形成されている傾斜部及び／または段差部の傾斜角度が２°以上であることが好ましい（請求項７）。
搬送ベルト部に形成されている傾斜部及び／または段差部の傾斜角度が２°以上であれば、物品を傾斜部及び／または段差部に通過させた際に物品表面に付着している水滴や、物品の内側に付着している水滴等を物品から落としやすくすることができるので、水切りの効果をさらに向上させることができる。
【００２３】
また、前記搬送ベルト部に、前記搬送される物品の滑り落ちを防止するための滑り落ち防止手段が設けられていることが好ましい（請求項８）。
このように搬送ベルト部に滑り落ち防止手段が設けられていることによって、搬送ベルト部に傾斜部及び／または段差部が形成されていても、物品を搬送ベルト部から滑り落とさずに安定して搬送し、水切りすることができる。
【００２４】
そして、本発明によれば、上記本発明の物品の自動搬送水切り装置を具備する物品の自動洗浄装置を提供することができる（請求項９）。
このような本発明の物品の自動洗浄装置であれば、洗浄処理が行われた物品の水切りを効果的に行うことができるので、その後の乾燥処理を短時間で効率的に行うことができる物品の自動洗浄装置となる。さらに、例えば、本発明の物品の自動搬送水切り装置を、前洗浄、薬液洗浄、リンス等の各処理が行われるそれぞれの処理工程にも具備する物品の自動洗浄装置であれば、各処理工程での処理溶液の持ち出しを低減させることができる。そのため、洗浄及び乾燥処理が施される物品の処理数が増加しても、各処理工程内で処理溶液が減少するのを抑制できるので、処理溶液の継ぎ足しを行う量を低減できるし、また前工程からの処理溶液の持ち込みによる処理溶液の濃度変化も小さくなるので処理溶液の調整を行う必要もない。したがって、各処理工程での作業が簡便になり、物品の洗浄及び乾燥処理を効率的に安定して行うことのできる自動洗浄装置となる。
【００２５】
さらに、本発明によれば、物品を自動的に搬送しながら水切りを行う物品の自動搬送水切り方法において、前記物品を網状の構造を有する搬送ベルト部に載置して自動的に搬送し、該物品の自動搬送時に物品を搬送ベルト部に形成した傾斜部及び／または段差部に通過させることによって物品の水切りを行うことを特徴とする物品の自動搬送水切り方法が提供される（請求項１０）。
【００２６】
このように、物品を網状の構造を有する搬送ベルト部に載置して自動的に搬送し、該物品の自動搬送時に物品を搬送ベルト部に形成した傾斜部及び／または段差部に通過させることによって物品の水切りを行うことによって、物品に付着している水や薬液等をすばやく落として物品の水切りを効果的に行うことができる。
【００２７】
このとき、前記物品を搬送する際に、上部ネット機構を用いて物品を上方から押さえつつ、該上部ネット機構と前記搬送ベルト部との搬送速度を同期させて物品を搬送することが好ましい（請求項１１）。
【００２８】
このように上部ネット機構を用いて物品を上方から押さえつつ、該上部ネット機構と前記搬送ベルト部との搬送速度を同期させて物品を搬送することにより、バスケットやラック等の専用の治具を用いずに物品の落下や飛散を防止して、物品を安定して自動搬送しながら水切りを行うことができる。さらに、このように上部ネット機構を用いれば、物品を連続的に搬送して水切りを行うことができるため、処理時間を短縮させてスループットを著しく向上させることができ、処理量の大幅な増加を図ることが可能となる。
【００２９】
また、前記物品を搬送ベルト部に形成した傾斜部及び／または段差部に通過させる前に、該物品に水を吹き掛けるウォーターカーテン処理を行うことが好ましい（請求項１２）。
このように、物品を傾斜部及び／または段差部に通過させる前に、物品に水を吹き掛けるウォーターカーテン処理を行えば、水切りを行う前に物品に付着する水滴の量は一旦多くなるものの、その後物品を傾斜部及び／または段差部に通過させて水切りを行う際に、物品に付着している水滴が大きくなっているために物品から落としやすくなり、物品の水切りを一層効果的に行うことができる。
【００３０】
そして、本発明によれば、上記本発明の物品の自動搬送水切り方法を用いて、少なくとも、前記物品を自動的に搬送しながら洗浄処理を行った後に水切りを行い、その後該水切りされた物品に乾燥処理を行うことを特徴とする物品の自動洗浄方法が提供される（請求項１３）。
このような本発明の物品の自動洗浄方法であれば、洗浄処理が行われた物品の水切りを効果的に行うことができるため、その後物品に乾燥処理を行う際に、乾燥ムラを生じさせず、また短時間で効率的に物品を乾燥させることができるので、洗浄及び乾燥処理のスループットを向上させることができる。
【００３１】
このとき、前記自動洗浄を行う物品をウエーハのキャリアボックスとすることができる（請求項１４）。
このように、本発明の物品の自動洗浄方法は、ウエーハのキャリアボックスを洗浄する際に特に好適に用いることができ、それによって、キャリアボックスの洗浄及び乾燥処理を効率的に高いスループットで行うことができる。
【００３２】
この場合、前記乾燥処理をＣＤＡブローまたはエアーナイフにより行うことが好ましい（請求項１５）。
このように、乾燥処理をＣＤＡブローまたはエアーナイフにより行うことによって、ウエーハのキャリアボックス等のような物品を搬送しながら乾燥処理を効率的に、また効果的に行うことができる。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について実施の形態を説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
本発明者は、物品の洗浄及び乾燥処理において、洗浄処理が行われた物品に付着している処理溶液の液滴を効果的に水切りできる水切り装置について、鋭意実験及び検討を重ねた。その結果、少なくとも物品を載置して搬送する搬送ベルト部と、その搬送ベルト部を駆動させるベルト駆動部とを具備し、その搬送ベルト部は網状の構造を有するものであり、かつこの搬送ベルト部には、物品を通過させることにより物品の水切りを行う傾斜部及び／または段差部が形成されている物品の自動搬送水切り装置であれば、物品を網状の構造を有する搬送ベルト部に載置して自動的に搬送し、その物品の自動搬送時に物品を搬送ベルト部に形成した傾斜部及び／または段差部に通過させることによって、物品に付着している水や薬液等を落として、物品の水切りを効果的に行うことができることを見出して、本発明を完成させた。
【００３４】
先ず、本発明に係る物品の自動搬送水切り装置について、図面を参照しながら説明するが、本発明はこれらに何ら限定されるものではない。図１は、本発明の物品の自動搬送水切り装置の一例を示す概略説明図である。
本発明の物品の自動搬送水切り装置１は、図１（ａ）に示すように、少なくとも物品２０を載置して搬送する搬送ベルト部２と、搬送ベルト部２を駆動させるベルト駆動部３とを具備するものである。尚、この図１（ａ）において、物品２０は、ウエーハのキャリアボックスのような少なくとも一つの面（下側の面）が開放端となるものとする。
【００３５】
上記の搬送ベルト部２は、網状の構造を有するものであり、例えば図１（ｂ）に示すように、Ｏ−リングベルト４を用いることによって容易に構成することができる。このように搬送ベルト部２がＯ−リングベルト４で構成されているものであれば、搬送ベルト部に物品を安定して載置し、搬送することができる。なお、このＯ−リングベルト４としては、例えば弾性を有するゴム製のものを使用することができる。
【００３６】
ベルト駆動部３は、図１（ｂ）及び（ｃ）に示すように、搬送ベルト部２を駆動させる駆動シャフト５と、駆動シャフト５の両端にチェーンボックス６内でギア７を介して取り付けられた駆動チェーン８と、駆動チェーン８を介して駆動シャフト５に回転を与えるモーター９と、モーター９の回転速度を制御して搬送ベルト部２の搬送速度を制御する制御装置１０とを具備するものである。
【００３７】
また、このベルト駆動部３では、駆動チェーン８とモーター９とが変速ギアボックス１１を介して連結されており、搬送ベルト部の搬送速度を容易にかつ円滑に制御することができるようになっている。さらに、上記のような駆動シャフト５や駆動チェーン８等は、強化プラスチックやクリーン塩ビなどの塩化ビニル樹脂製とすることで、発塵の問題や物品の金属汚染を防止することができる。このとき、駆動シャフト５の幅Ｗ及び各駆動シャフト５間の間隔Ｄ１の大きさは搬送する物品の寸法や形状を考慮して調整すれば良く、特に限定されるものではない。
【００３８】
このようなベルト駆動部３において、各駆動シャフト５は、図１（ｃ）に示すように、チェーンボックス６内で支持体１２に支持されている中空ベアリング１３で保持されている。この中空ベアリング１３としては、例えば図２に示すような転がり接触させる構造のものを用いることができ、駆動シャフト５を回転可能に保持することができる。さらに、中空ベアリング１３の外側には、ずり落ち防止ガイド１４がギア７及び駆動チェーン８を挟み込むようにして配置されている。
【００３９】
そして、本発明の自動搬送水切り装置１の搬送ベルト部２には、図１（ａ）に示すように、物品を通過させることにより物品の水切りを行う段差部１５が形成されている。このような段差部１５は、例えばチェーンボックス６内で例えば支持体１２の長さを調節して駆動シャフト５の高さを変えることにより容易に形成することができる。尚、このように駆動シャフト５の高さを変えて段差部１５を形成する場合、予めＯ−リングベルト４に若干の余裕を持たせて搬送ベルト部２を構成しておき、図３に示すようなテンション機構１６を利用したり、ベルト駆動部３の駆動シャフトが搬送方向に微調整できるようにして、駆動シャフトの高さを調節しても搬送ベルト部にたわみ等が生じないようにすることが好ましい。さらに、本発明では、図３に示すテンション機構１６を利用して、例えば図４に示すようにテンション機構１６を上方に持ち上げることによっても、搬送ベルト部２に物品の水切りを行う段差部を容易に形成することができる。
【００４０】
そして、このようにして搬送ベルト部２に段差部１５が形成されている場合、段差部１５の傾斜角度θは２°以上、特に３°〜５°程度であることが好ましい。このように傾斜角度θが２°以上となるように搬送ベルト部に段差部を形成しておくことによって、物品を円滑に段差部に通過させることができるとともに、物品を段差部に通過させた際に物品に付着している水滴を落としやすくすることができるので、物品の水切り効果を向上させることができる。
【００４１】
また、上記本発明の自動搬送水切り装置は、例えば図１（ａ）に示すように、物品を上方から押さえるとともに、搬送ベルト部の搬送速度と同期させて物品を搬送する上部ネット機構１７が設けられていることが好ましい。この上部ネット機構１７の構成は特に限定されるものではないが、例えば、網状の構造を有して物品を上方から押さえる押さえネット部と、押さえネット部の両端に取り付けられた押さえネット駆動チェーンと、押さえネット駆動チェーンを駆動させる押さえネット駆動ギアとからなるものとすることができる。このような上部ネット機構１７が自動搬送水切り装置１に設置されていることにより、物品を搬送する際に、従来のようなバスケットやラック等の専用の治具を用いずに、物品を上方から押さえて物品の落下や飛散を防止し、物品を連続的に安定して自動搬送するこができる。
【００４２】
さらに、本発明の自動搬送水切り装置１には、段差部１５の前段に物品２０に水等を吹き掛けるウォーターカーテン処理手段１８が設けられていることが好ましい。それによって、物品に付着している水滴１９の大きさを大きくして、物品に水切りを行う際に水滴１９を落としやすくすることができ、一層効果的な物品の水切りを行なうことができる自動搬送水切り装置となる。
【００４３】
次に、本発明の物品の自動搬送水切り方法について、図１に示した物品の自動搬送水切り装置１を参照しながら詳細に説明する。
本発明の物品の自動搬送水切り方法は、物品２０を網状の構造を有する搬送ベルト部２に載置して自動的に搬送し、その物品２０の自動搬送時に物品２０を搬送ベルト部２に形成した段差部１５に通過させることによって、物品２０の水切りを行うものである。このようにして物品を自動搬送しながら水切りを行うことによって、物品に付着している水や薬液等をすばやく落として物品の水切りを効果的に行うことができる。
【００４４】
また、この自動搬送水切り装置１には、上述のように上部ネット機構１７が設置されているので、搬送ベルト部２に載置した物品２０を上部ネット機構１７を用いて上方から押さえつつ、この上部ネット機構１７と搬送ベルト部２との搬送速度を同期させて物品２０を自動的に搬送することによって、物品が様々な形状を有していたり、また種類の全く異なるものであっても、バスケットやラック等の専用の治具を用いずに物品の落下や飛散を防止でき、物品を連続的に安定して自動搬送することができる。
【００４５】
さらに、搬送ベルト部２に形成した段差部１５の前段にはウォーターカーテン処理手段１８が設けられており、このウォーターカーテン処理手段１８により、物品２０を段差部１５に通過させる前に物品２０に水等を吹き掛けるウォーターカーテン処理を行うことができる。このようにウォーターカーテン処理を行うことによって、水切りを行う前に物品２０に付着する水滴１９の量は一旦多くなるものの、その後物品２０を段差部１５に通過させて水切りを行う際に、物品２０に付着している水滴が大きくなっているために水滴の重心移動で水滴を落としやすくすることができ、物品の水切りを一層効果的に行って水切り後の物品に付着している水滴の量を著しく減少させることができる。
【００４６】
ウォーターカーテンは、例えば、約１〜２ｍｍ、あるいはそれ以下の幅を有するスリットからカーテン状に純水を流したり、管状パイプの側部に数ｍｍ間隔で直径１〜２ｍｍ程度の穴を形成し、管内に純水を供給して側部の穴から噴射したりすることにより形成できる。
【００４７】
続いて、本発明の自動搬送水切り装置の別の形態について、図５を参照しながら詳細に説明する。
図５に示した物品の自動搬送水切り装置２１は、上記自動搬送水切り装置１と同様の物品２０を載置して搬送する搬送ベルト部２と、搬送ベルト部２を駆動させるベルト駆動部３とを具備するものである。そして、この自動搬送水切り装置２１の搬送ベルト部２には、図５に示すような物品２０を傾斜角度θで上昇させた後に物品が落下するような段差部２２が形成されている。このような段差部２２は、例えばチェーンボックス内で駆動シャフトの配置を調整すること等によって容易に形成することができる。このとき、段差部２２の傾斜角度は、上述したように２°以上、特に３°〜５°程度であることが好ましい。
【００４８】
また、このように物品を上昇させた後に落下させるような段差部は、例えば図５に示すように、駆動シャフトを上下に平行して配置することによって形成することができる。このとき、これらの上下に平行に配置した駆動シャフトは、段差部２２のようにＯ−リングベルトで連結しても良いし、また段差部２３のようにそれぞれの駆動シャフトをＯ−リングベルトで連結せずに独立して駆動させても良く、目的に応じて任意に構成することができる。例えば、駆動シャフトを段差部２２のようにＯ−リングベルトで連結する場合、搬送ベルト部の搬送速度を安定して制御でき、また物品が落下した際に上下に平行に配置された駆動シャフト間に物品が巻き込まれるのを確実に防止することができる。
【００４９】
そして、本発明は、このような自動搬送水切り装置２１を用いることにより、物品に一層効果的に水切りを行うことができる。すなわち、物品２０を網状の構造を有する搬送ベルト部に載置して自動搬送しながら、段差部２２で物品を先ず傾斜角度θで上昇させることにより、物品に付着している水や薬液等をすばやく落とすことができ、さらにその後物品を落下させることにより、物品を傾けても落としきれなかった水滴を落下の際の衝撃によって落とすことが可能となるので、物品の水切りを一層効果的に行うことができる。
【００５０】
また、この自動搬送水切り装置２１には、上述のような上部ネット機構を設置することができ、それによって物品の搬送ベルトの外への落下や飛散を防止して、物品を連続的に安定して自動搬送することができる。さらに、段差部２２の前段にはウォーターカーテン処理手段を設けることもでき、物品２０を段差部２２に通過させる前に物品２０にウォーターカーテン処理を行うことにより、物品の水切りを更に効果的に行うことができる。
【００５１】
次に、本発明の自動搬送水切り装置の更に別の形態として、搬送ベルト部に傾斜部が形成されている自動搬送水切り装置について、図６を参照しながら詳細に説明する。尚、この図６は、本発明の自動搬送水切り装置の構成を解かりやすくするために簡便に図示した構成概略図であり、駆動シャフトの傾き等については理解を容易にする為に、意図的に部分的に視点を変えて図示されている（以下に参照するその他の図面にも、図６と同様に、意図的に部分的に視点を変えて構成を解かりやすく図示したものがある）。
【００５２】
図６（ａ）に示した物品の自動搬送水切り装置３１は、物品を載置して搬送する搬送ベルト部３２と、搬送ベルト部３２を駆動させるベルト駆動部３３とを具備するものである。この搬送ベルト部３２は、網状の構造を有するものであり、例えば図６（ｂ）に示すように、Ｏ−リングベルト４を用いることによって容易に構成することができる。
【００５３】
そして、この搬送ベルト部３２には、図６（ｃ）に示すように各駆動シャフトを傾斜角度θで傾けることによって、すなわち図６（ａ）に示すように駆動シャフトの一端を他方の端の高さよりも全て高くなるようにしてチェーンボックス６内で駆動シャフト５を保持することによって、搬送ベルト部の搬送方向に対して搬送面全体を片側に傾斜させる片側傾斜となるような傾斜部が搬送ベルト部３２に形成されている。このとき、傾斜部の傾斜角度θは２°以上、特に３°〜５°程度であることが好ましい。
【００５４】
この自動搬送水切り装置３１のベルト駆動部３３は、図１に示した自動搬送水切り装置１と同様の構成を有し、搬送ベルト部３２を駆動させる駆動シャフト５と、駆動シャフト５の両端にチェーンボックス６内でギア７を介して取り付けられた駆動チェーン８と、駆動チェーン８を介して駆動シャフト５に回転を与えるモーター９と、モーター９の回転速度を制御して搬送ベルト部３２の搬送速度を制御する制御装置１０とを具備しており、また駆動チェーン８とモーター９との間には変速ギアボックス１１が設置されている。
【００５５】
また、このように片側傾斜の傾斜部を有する自動搬送水切り装置３１には、物品を傾斜部に通過（搬送）させる際に、物品を搬送ベルト部から滑り落ちないようにするために滑り落ち防止手段３４が搬送ベルト部３２に設置されていることが好ましい。滑り落ち防止手段３４は、チェーンボックス６の外壁にボルト等により固定することができ、その材質は、例えばステンレスにフッ素樹脂をコートしたものを用いれば、金属等の汚染を防止すると同時に、搬送物品が接触しても滑りやすい表面なので摩擦による引っ掛かりがなく、スムーズな搬送ができる。
【００５６】
そして、このような片側傾斜の傾斜部が形成されている自動搬送水切り装置３１を用いて物品に水切りを行う場合、図７に示したように、物品２０を網状の構造を有する搬送ベルト部３２に形成した片側傾斜部に通過（搬送）させることによって、物品に付着している水滴１９を物品２０の傾斜方向に向かってすばやく落として効果的に物品の水切りを行うことができる。
【００５７】
このとき、搬送ベルト部３２には、上述のように滑り落ち防止手段３４が設置されているので、物品が傾斜方向に滑り落ちずに安定して自動搬送して、水切りを行うことができる。
【００５８】
また、このような搬送ベルト部３２に片側傾斜の傾斜部が形成されている自動搬送水切り装置３２にも、図１に示したような上部ネット機構１７やウォーターカーテン処理手段１８が設けられていることが好ましい。例えば、上部ネット機構を片側傾斜している搬送ベルト部の傾斜角度θに合わせて傾けて設置することにより、物品の搬送を更に安定して行うことができる。また、ウォーターカーテン処理手段が設けられていれば、物品に付着している水滴を大きくして物品の水切りを一層効果的に行うことができる。
【００５９】
更に、搬送ベルト部に傾斜部が形成されている自動搬送水切り装置の別の形態としては、搬送ベルト部の傾斜部が搬送ベルト部の搬送方向に対して搬送面を左右交互に傾斜させる交互傾斜となるように形成されている自動搬送水切り装置がある。
【００６０】
例えば、図８（ａ）及び（ｂ）に示したように、駆動シャフトの一端を搬送面よりも高くなるように保持して１段目の傾斜を作り、次に２段目の傾斜を１段目の傾斜の向きと反対になるように駆動シャフトのもう一端を搬送面よりも高くなるように保持して形成する。そして、この１段目の傾斜と２段目の傾斜を交互に繰り返し形成していくことによって、搬送面を左右交互に傾斜させる交互傾斜の傾斜部を搬送ベルト部に形成することができる。尚、図８（ａ）において、点線で示された駆動シャフトの一端は、傾斜させた駆動シャフトの紙面奥側の端面を示している。
【００６１】
このとき、１段目の傾斜と２段目の傾斜の間隔Ｄ２は、搬送する物品の寸法や重量、また必要とされる水切りの効果等に応じて調節することができ、例えば図８に示したように一定の間隔で１段目と２段目の傾斜を交互に形成することにより、ゆっくりとした周期で物品を左右交互に傾けて水切りを行うことができる。また、例えば図９に示したように、１本の駆動シャフト毎に１段目と２段目の傾斜を交互に作って傾斜部を形成することにより、物品を通過させた際に物品を左右に激しく揺らすことができるので、物品の水切りを一層効果的に行うことができる。
【００６２】
また、本発明の自動搬送水切り装置では、搬送ベルト部に形成した図６に示すような片側傾斜の傾斜部や図８に示すような交互傾斜の傾斜部にさらに段差部を形成しておき、物品が傾斜部を通過中、または物品が傾斜部を通過した直後に物品の落下が生じるようにすれば、物品の水切り効果を一層向上させることができる。
【００６３】
すなわち、例えば図１０に示したように、片側傾斜の傾斜部に段差部を形成しておくことによって、物品に付着している水滴を先ず傾斜部で傾斜方向に向かってすばやく落とした後、さらに段差部で物品を落下させることにより、物品を傾けても落としきれなかった水滴を落下の際の衝撃によって落とすことができるため、物品の水切りを更に効果的に行うことができる。
【００６４】
また、搬送ベルト部に交互傾斜となるような傾斜部と段差部とを形成する場合、例えば図１１に示すように、一定の間隔で１段目と２段目の傾斜を交互に形成し、さらにそれぞれの傾斜毎に段差部を形成することによって、物品を傾斜部に通過させる際に落下させることができる。また、傾斜させる駆動シャフトの間隔を、搬送物品の形状や搬送速度に合わせて適切に調節することにより、水切りの効果を更に向上させることができる。
【００６５】
また、本発明の自動搬送水切り装置のさらに別の形態としては、例えば図１２に示すように搬送ベルト部に搬送方向に向かって物品を下降（または上昇）させるような昇降傾斜を設けた装置、図１３に示すように固定ポール３５を利用して搬送ベルト部に段差部を形成した装置、図１４に示すように一組の搬送ベルト部及びベルト駆動部毎に設置高さを調節して段差部を形成した装置、さらには上記に説明した種々の傾斜部及び／または段差部を組合せた装置等がある。
【００６６】
そして、上記に説明した何れの形態の自動搬送水切り装置であっても、物品を網状の構造を有する搬送ベルト部に載置して自動搬送しながら、物品を傾斜部及び／または段差部を通過させることによって、物品に付着している水滴等をすばやく落として物品の水切りを従来よりも非常に効果的に行うことが可能となる。
【００６７】
さらには、本発明に係る何れの形態の自動搬送水切り装置であっても、必要に応じて、上述した上部ネット機構やウォーターカーテン処理手段をそれぞれ具備することができ、物品の搬送を安定して行ったり、水切りの効果を一層高めたりすることができる。さらに、物品を傾斜部及び／または段差部に通過させる際に、例えば従来の水切りを行う際に用いられているＣＤＡブローやエアーナイフ等を併用することによっても、より一層効果的に物品の水切りを行うことができる。
【００６８】
そして、本発明では、上記本発明の自動搬送水切り装置を具備する物品の自動洗浄装置を提供することができる。
以下、本発明に係る物品の自動洗浄装置について、図面を参照しながら説明するが、本発明はこれらに何ら限定されるものではない。図１５は、本発明の物品の自動洗浄装置の一例を示す概略説明図である。
【００６９】
本発明の物品の自動洗浄装置は、物品２０を自動的に搬送しながら、例えば前洗浄、薬液洗浄、リンス等の洗浄処理を行った後、この洗浄処理が施された物品２０に少なくとも上記本発明の自動搬送水切り装置を用いて、例えば洗浄処理後の物品を搬送面を左右交互に傾斜させる交互傾斜が形成されている傾斜部４２に通過させることにより水切りを行い、さらにその後、エアーナイフやＣＤＡブローによる乾燥処理を物品を交互傾斜部４２に通過させながら行うものである。
【００７０】
このように、洗浄処理が施された物品に本発明の自動搬送水切り装置を用いて水切りを行えば、物品表面の水切りや従来できなかった物品内側の水切りを非常に効果的に行うことができるため、その後エアーナイフ等による乾燥処理を行った際に、乾燥時間を大幅に短縮して、スループットを従来に比べて著しく向上させることができるし、また乾燥ムラを生じさせずに均一に物品を乾燥させることもできる。さらに、上記のように、物品に乾燥処理を行う際にも物品を傾斜部に通過させながら行うことによって、より効果的に物品を乾燥させることができる。
【００７１】
さらに、本発明の自動洗浄装置は、前洗浄、薬液洗浄、リンス等の各処理が行われた直後にも前記本発明の自動搬送水切り装置を用いることが好ましい。例えば図１５に示したように、前洗浄、薬液洗浄、リンスの各処理工程内で物品が搬出される前に搬送ベルト部に段差部４１が形成されていれば、前洗浄が施された物品に付着している各処理溶液の液滴（純水や界面活性剤溶液）をそれぞれの処理工程内で効果的に落とすことができるので、各処理工程からの処理溶液の持ち出し、及び次工程への処理溶液の持ち込みを防止することができる。
【００７２】
したがって、例えば薬液洗浄の工程では、前洗浄から物品が搬送されてくるときに物品に純水が付着してないため、処理数が増加しても洗浄溶液の濃度を変化させずに安定して維持することができる。また、物品に薬液洗浄を行った後に段差部４１を通過させることによって、薬液洗浄工程内で洗浄溶液を落とすことができるので洗浄溶液の持ち出しを防止することができる。そのため、洗浄溶液をフィルター等を介して再生利用することにより、洗浄処理中に洗浄溶液の継ぎ足しを行う量を低減させることができ、効率的な薬液洗浄工程を簡便にかつ安定して行うことができる。
【００７３】
また、リンス工程では、薬液洗浄工程からの洗浄溶液の持ち出しを防止するとともに、リンス工程内で純水の水切りを行い、その水切りされた純水をフィルター等で浄化することによって、純水の継ぎ足しをあまり行わずに純水を高純度に維持して容易に再生利用することができるので、リンス工程の処理効率を向上させることができる。
【００７４】
そして、このような本発明の自動洗浄方法は、前述のようなウエーハを保持・収納するキャリアボックスを洗浄する際に特に好適に用いることができ、ウエーハのキャリアボックスの洗浄を本発明の自動洗浄方法で行うことによって、キャリアボックスの洗浄処理及び乾燥処理を効率的に非常に高いスループットで行うことができる。
【００７５】
尚、本発明の物品の自動洗浄装置は、図１５に示した構造に限定されるものではなく、洗浄処理を行った後の水切り処理には、上記のような交互傾斜の傾斜部の他に片側傾斜部や昇降傾斜部、また段差部等を形成することができる。また、洗浄処理における前洗浄、薬液洗浄、リンスの各処理工程にも、上記段差部の他に種々の傾斜部を形成することができる。
【００７６】
【実施例】
以下、実施例及び比較例を示して本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
（実施例１）
実施例１として、先ず、直径２００ｍｍのシリコンウエーハを収納できるキャリアボックスに前洗浄、薬液洗浄、リンスによる洗浄処理を行った後、図１に示した物品の自動搬送水切り装置１を用いて、洗浄処理が行われたキャリアボックスを搬送ベルト部２に載置し自動的に搬送しながら、搬送ベルト部に形成した段差部１５に通過させることによってキャリアボックスの水切りを行った。このとき、段差部１５は、傾斜角度θが５°となるように形成されている。
【００７７】
この自動搬送水切り装置１による水切りの効果を確かめるために、洗浄処理が行われる前のキャリアボックスの重量を予め求めておき、そして洗浄処理後の水滴の付着したキャリアボックスの重量、ウォーターカーテン処理直後のキャリアボックスの重量、及び段差部１５を通過して水切りが行われたキャリアボックスの重量を測定して洗浄処理前のキャリアボックスの重量との差を算出することによって、それぞれの段階でキャリアボックスに付着している水滴の量を求めた。
【００７８】
その結果、洗浄処理後にキャリアボックスに付着している水滴の量はおよそ６８ｇ、ウォーターカーテン処理直後の水滴の量は１０５ｇ、段差部の通過後（水切り後）の水滴の量は４９ｇであることが分かった。したがって、本発明によれば、洗浄処理後にウォーターカーテン処理を行うことによってキャリアボックスに付着する水滴の量は一旦増加するものの、その後キャリアボックスを搬送ベルト部に形成した段差部に通過させて水切りを行うことによって、効果的にかつ簡便にキャリアボックスの水切りを行うことができることがわかった。
【００７９】
（実施例２）
実施例２として、上記実施例１と同様に、先ずキャリアボックスに前洗浄、薬液洗浄、リンスによる洗浄処理を行った後、図５に示した物品の自動搬送水切り装置２１を用いて、洗浄処理が行われたキャリアボックスを搬送ベルト部２に載置し自動的に搬送しながら、キャリアボックスを上昇させた後に落下させるような段差部２２に通過させることによって物品の水切りを行った。このとき、段差部２２は、傾斜角度θが５°となるように形成されている。
【００８０】
この自動搬送水切り装置２１による水切りの効果を確かめるために、上記実施例１と同様に、洗浄処理が行われる前のキャリアボックスの重量を予め求めておき、そして洗浄処理後の水滴の付着したキャリアボックスの重量、及び段差部２２を通過して水切りが行われたキャリアボックスの重量を測定することによって、それぞれの段階でキャリアボックスに付着している水滴の量を求めた。
【００８１】
その結果、洗浄処理後にキャリアボックスに付着している水滴の量はおよそ６８ｇ、段差部の通過後（水切り後）の水滴の量は３８ｇであることが分かった。したがって、キャリアボックスを段差部２２に通過させることにより、すなわちキャリアボックスを５°の傾斜角度で上昇させて付着している水滴をすばやく落とし、その後キャリアボックスを落下させて衝撃を与えることにより、キャリアボックスの水切りを更に効果的に行うことができることがわかった。
【００８２】
（比較例）
比較例として、先ずキャリアボックスに前洗浄、薬液洗浄、リンスによる洗浄処理を行った後、ＣＤＡを高速で吹き付けるＣＤＡブローのみを用いてキャリアボックスの水切りを行った。
【００８３】
このＣＤＡブローによる水切りの効果を確かめるために、洗浄処理が行われる前のキャリアボックスの重量を予め求めておき、そして洗浄処理後の水滴の付着したキャリアボックスの重量、及びＣＤＡブロー直後のキャリアボックスの重量を測定することによって、それぞれの段階でキャリアボックスに付着している水滴の量を求めた。
【００８４】
その結果、洗浄処理後にキャリアボックスに付着している水滴の量はおよそ６８ｇ、ＣＤＡブロー直後の水滴の量は５８ｇであることが分かった。このように、ＣＤＡブローによるキャリアボックスの水切りでは、実施例１及び実施例２に比べて水切りの効果が非常に低いことがわかった。
【００８５】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【００８６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、物品を自動搬送しながら搬送ベルト部に形成されている傾斜部及び／または段差部に通過させることにより、物品に付着している水を落として物品の水切りを効果的に行うことができる。また、本発明の物品の自動洗浄方法によれば、洗浄処理が施された物品に水切りを効果的に行うことができるので、物品の乾燥処理を短時間で効率的に行うことができる。さらに、本発明の物品の自動洗浄装置では、前洗浄、薬液洗浄、リンス等の各処理工程にも上記本発明の物品の自動搬送水切り装置を具備することによって、各処理工程での処理溶液の持ち出しを低減させることができるため、処理溶液の継ぎ足しや処理溶液の調整を少なくすることができ、物品の洗浄及び乾燥処理を簡便にかつ効率的に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は、本発明の物品の自動搬送水切り装置の一例を示す構成概略図であり、（ｂ）及び（ｃ）は、ベルト駆動部の構成を示す構成概略図である。
【図２】中空ベアリングの構成を示す構成概略図である。
【図３】テンション機構の構成を示す構成概略図である。
【図４】テンション機構を利用して形成された段差部の構成を示す構成概略図である。
【図５】本発明の物品の自動搬送水切り装置の別の例を示す構成概略図である。
【図６】（ａ）は、搬送ベルト部に傾斜部が形成されている本発明の自動搬送水切り装置の一例を示す構成概略図であり、（ｂ）及び（ｃ）は、ベルト駆動部の構成を示す構成概略図である。
【図７】本発明の自動搬送水切り方法の一例を説明する概略説明図である。
【図８】（ａ）搬送ベルト部に傾斜部が形成されている本発明の自動搬送水切り装置の別の例を示す構成概略図であり、（ｂ）は、ベルト駆動部の構成を示す構成概略図である。
【図９】搬送ベルト部に形成されている傾斜部の一例を示す構成概略図である。
【図１０】搬送ベルト部に傾斜部と段差部とを形成した一例を示す構成概略図である。
【図１１】搬送ベルト部に傾斜部と段差部とを形成した別の例を示す構成概略図である。
【図１２】本発明の自動搬送水切り装置の別の形態を示す構成概略図である。
【図１３】本発明の自動搬送水切り装置のまた別の形態を示す構成概略図である。
【図１４】本発明の自動搬送水切り装置のさらに別の形態を示す構成概略図である。
【図１５】本発明の物品の自動洗浄装置の一例を示す構成概略図である。
【符号の説明】
１…物品の自動搬送水切り装置、 ２…搬送ベルト部、
３…ベルト駆動部、 ４…Ｏ−リングベルト、
５…駆動シャフト、 ６…チェーンボックス、
７…ギア、 ８…駆動チェーン、
９…モーター、 １０…制御装置、
１１…変速ギアボックス、 １２…支持体、
１３…中空ベアリング、 １４…ずり落ち防止ガイド、
１５…段差部、 １６…テンション機構、
１７…上部ネット機構、 １８…ウォーターカーテン処理手段、
１９…水滴、 ２０…物品、
２１…物品の自動搬送水切り装置、 ２２，２３…段差部、
３１…物品の自動搬送水切り装置、 ３２…搬送ベルト部、
３３…ベルト駆動機構、 ３４…滑り落ち防止手段、
３５…固定ポール、 ４１…段差部、 ４２…傾斜部、
Ｄ１…駆動シャフトの間隔、 Ｄ２…１段目の傾斜と２段目の傾斜との間隔、
Ｗ…駆動シャフトの幅。

Claims (15)

1. 物品を自動的に搬送しながら水切りを行う物品の自動搬送水切り装置であって、少なくとも前記物品を載置して搬送する搬送ベルト部と、該搬送ベルト部を駆動させるベルト駆動部とを具備し、前記搬送ベルト部は網状の構造を有するものであり、かつ該搬送ベルト部には、物品を通過させることにより該物品の水切りを行う傾斜部及び／または段差部が形成されているものであることを特徴とする物品の自動搬送水切り装置。
2. 前記搬送ベルト部が、Ｏ−リングベルトで構成されているものであることを特徴とする請求項１に記載の物品の自動搬送水切り装置。
3. 前記ベルト駆動部が、少なくとも、前記搬送ベルト部を駆動させる駆動シャフトと、該駆動シャフトの両端に取り付けられた駆動チェーンと、該駆動チェーンを介して前記駆動シャフトに回転を与えるモーターと、該モーターの回転速度を制御して前記搬送ベルト部の搬送速度を制御する制御装置とを具備することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の物品の自動搬送水切り装置。
4. 前記物品を上方から押さえるとともに、前記搬送ベルト部の搬送速度と同期させて物品を搬送する上部ネット機構を有することを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の物品の自動搬送水切り装置。
5. 前記搬送ベルト部に形成されている傾斜部及び／または段差部の前段に、物品に水を吹き掛けるウォーターカーテン処理手段が設けられていることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の物品の自動搬送水切り装置。
6. 前記搬送ベルト部の傾斜部が、前記搬送ベルト部の搬送方向に向かって物品を上昇または下降させるような昇降傾斜、前記搬送ベルト部の搬送方向に対して搬送面全体を片側に傾斜させる片側傾斜、搬送ベルト部の搬送方向に対して搬送面を左右交互に傾斜させる交互傾斜、またはそれらが組合わされた傾斜となるように形成されていることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の物品の自動搬送水切り装置。
7. 前記搬送ベルト部に形成されている傾斜部及び／または段差部の傾斜角度が２°以上であることを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の物品の自動搬送水切り装置。
8. 前記搬送ベルト部に、前記搬送される物品の滑り落ちを防止するための滑り落ち防止手段が設けられていることを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載の物品の自動搬送水切り装置。
9. 請求項１ないし請求項８のいずれか一項に記載の物品の自動搬送水切り装置を具備する物品の自動洗浄装置。
10. 物品を自動的に搬送しながら水切りを行う物品の自動搬送水切り方法において、前記物品を網状の構造を有する搬送ベルト部に載置して自動的に搬送し、該物品の自動搬送時に物品を搬送ベルト部に形成した傾斜部及び／または段差部に通過させることによって物品の水切りを行うことを特徴とする物品の自動搬送水切り方法。
11. 前記物品を搬送する際に、上部ネット機構を用いて物品を上方から押さえつつ、該上部ネット機構と前記搬送ベルト部との搬送速度を同期させて物品を搬送すること特徴とする請求項１０に記載の物品の自動搬送水切り方法。
12. 前記物品を搬送ベルト部に形成した傾斜部及び／または段差部に通過させる前に、該物品に水を吹き掛けるウォーターカーテン処理を行うことを特徴とする請求項１０または請求項１１に記載の物品の自動搬送水切り方法。
13. 請求項１０ないし請求項１２のいずれか一項に記載の物品の自動搬送水切り方法を用いて、少なくとも、前記物品を自動的に搬送しながら洗浄処理を行った後に水切りを行い、その後該水切りされた物品に乾燥処理を行うことを特徴とする物品の自動洗浄方法。
14. 前記自動洗浄を行う物品をウエーハのキャリアボックスとすることを特徴とする請求項１３に記載の物品の自動洗浄方法。
15. 前記乾燥処理をＣＤＡブローまたはエアーナイフにより行うことを特徴とする請求項１３または請求項１４に記載の物品の自動洗浄方法。

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