JP2005340282A - バンプ形成装置及びバンプ形成方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】
本発明は、所定高さのバンプを簡易かつ短時間に形成できるようにする。
【解決手段】
本発明は、半導体ウェハ1上に設けられた複数の電極パッド3に対応した所定径でなる複数の孔7を有し、当該孔7の開口部及び内周面に撥水性を有するコーティングが施されたスクリーン6と、当該スクリーン6を半導体ウェハ1に重ね合わせ密着させた状態で、当該スクリーン6における複数の孔7を介して複数の電極パッド3にAgペースト9を印刷するスキージ8と、スクリーン6を半導体ウェハ1から版離したときに複数の電極パッド3に転写されたAgペーストバンプを加熱処理することにより硬化させてAgバンプを形成するヒータとを設けることにより、撥水性を有するコーティングが施された孔7によってAgペースト9の印刷性及び版抜け性を格段に向上させ、1回のスクリーン印刷により所定高さのAgバンプを形成することができる。
【選択図】 図3
本発明は、所定高さのバンプを簡易かつ短時間に形成できるようにする。
【解決手段】
本発明は、半導体ウェハ1上に設けられた複数の電極パッド3に対応した所定径でなる複数の孔7を有し、当該孔7の開口部及び内周面に撥水性を有するコーティングが施されたスクリーン6と、当該スクリーン6を半導体ウェハ1に重ね合わせ密着させた状態で、当該スクリーン6における複数の孔7を介して複数の電極パッド3にAgペースト9を印刷するスキージ8と、スクリーン6を半導体ウェハ1から版離したときに複数の電極パッド3に転写されたAgペーストバンプを加熱処理することにより硬化させてAgバンプを形成するヒータとを設けることにより、撥水性を有するコーティングが施された孔7によってAgペースト9の印刷性及び版抜け性を格段に向上させ、1回のスクリーン印刷により所定高さのAgバンプを形成することができる。
【選択図】 図3
Description
本発明は、バンプ形成装置及びバンプ形成方法に関し、例えばスクリーン印刷機によって半導体ウェハの電極パッド上にバンプを形成する場合に適用して好適なものである。
従来、半導体チップの電極とプリント配線基板上の電極とを接合させるためのフリップチップ実装方法として、例えばACF(Anisotropic Conductive Firm)工法、C4(Controlled Collapsed Chip Connection)工法等を用いた実装方法が提案されている。
電極部に形成する突起電極には、ACF工法の場合にはAuバンプ或いはNi−Auメッキバンプ等が用いられ、C4工法の場合にははんだバンプが用いられることが一般的であり、これらのバンプをスクリーン印刷機によって形成するようになされたものがある(例えば、特許文献1参照)。
特開平6-204230号公報
ところでかかる構成のバンプ形成方法においては、スクリーン印刷機によって基板にバンプを形成する際、スクリーンの孔にスキージで金属ペーストを充填し、その後スクリーンを基板から版離させることにより、当該スクリーンの厚さに応じた所定高さのバンプを基板に形成するようになされているが、当該スクリーンを版離させた際に必ずしも所定高さのバンプが形成されないことがあり、スクリーン印刷を複数回繰り返さなければならないという問題があった。
本発明は以上の点を考慮してなされたもので、所定高さのバンプを1回のスクリーン印刷だけで簡易かつ短時間に形成し得るバンプ形成装置及びバンプ形成方法を提案しようとするものである。
かかる課題を解決するため本発明においては、半導体ウェハ上に設けられた複数の電極パッドに対応した所定径でなる複数の孔を有し、当該孔の開口部及び内周面に撥水性を有するコーティングが施されたマスクと、当該マスクを半導体ウェハに重ね合わせ密着させた状態で、当該マスクにおける複数の孔を介して複数の電極パッドに突起電極としての金属ペーストを印刷するスクリーン印刷手段と、マスクを半導体ウェハから版離したときに複数の電極パッドに転写された金属ペーストバンプを加熱処理することにより硬化させて金属バンプを形成する加熱処理手段とを設けることにより、撥水性を有するコーティングが施された孔によって金属ペーストの印刷性及び版抜け性を格段に向上させ、1回のスクリーン印刷により所定高さのバンプを形成することができる。
また本発明においては、半導体ウェハ上に設けられた複数の電極パッドに対応した所定径でなる複数の孔を有し、当該孔の開口部及び内周面に撥水性を有するコーティングが施されたマスクにおける複数の孔を半導体ウェハの電極パッドに対向させた状態で重ね合わせて密着させる位置合わせステップと、マスクにおける複数の孔を介して複数の電極パッドに突起電極としての金属ペーストを印刷するスクリーン印刷ステップと、マスクを半導体ウェハから版離したときに複数の電極パッドに転写された金属ペーストバンプを加熱処理することにより硬化させて金属バンプを形成する加熱処理ステップとを設けることにより、撥水性を有するコーティングが施された孔によって金属ペーストの印刷性及び版抜け性を格段に向上させ、1回のスクリーン印刷により所定高さのバンプを形成することができる。
本発明によれば、撥水性を有するコーティングが施された孔によって金属ペーストの印刷性及び版抜け性を格段に向上させ、1回のスクリーン印刷により所定高さのバンプを形成することができ、かくして所定高さのバンプを1回のスクリーン印刷だけで簡易かつ短時間に形成し得るバンプ形成装置及びバンプ形成方法を実現することができる。
以下、図面について、本発明の一実施の形態を詳述する。
(1)バンプ形成対象
図1において、1は全体として本発明のバンプ形成装置としてのスクリーン印刷機によってバンプを形成する対象の半導体ウェハを示し、当該半導体ウェハ1には半導体チップ2が例えば300チップ以上存在する。スクリーン印刷機では、これら半導体チップ2の周縁部に露出された複数の電極パッド3に対してバンプを一括形成し得るようになされている。
図1において、1は全体として本発明のバンプ形成装置としてのスクリーン印刷機によってバンプを形成する対象の半導体ウェハを示し、当該半導体ウェハ1には半導体チップ2が例えば300チップ以上存在する。スクリーン印刷機では、これら半導体チップ2の周縁部に露出された複数の電極パッド3に対してバンプを一括形成し得るようになされている。
(2)バンプ形成方法
(2−1)第1段階
図2に示すように、スクリーン印刷機は、第1段階として、半導体ウェハ1を受台11の上に載置し、当該受台11に対して半導体ウェハ1を所定位置にセットしながら当該受台11の表面に開口された複数の吸着穴5により真空吸着することにより、当該半導体ウェハ1を受台11の上に固定する。
(2−1)第1段階
図2に示すように、スクリーン印刷機は、第1段階として、半導体ウェハ1を受台11の上に載置し、当該受台11に対して半導体ウェハ1を所定位置にセットしながら当該受台11の表面に開口された複数の吸着穴5により真空吸着することにより、当該半導体ウェハ1を受台11の上に固定する。
(2−2)第2段階
図3に示すようにスクリーン印刷機は、第2段階として、受台11に半導体ウェハ1を載置して固定した状態で、位置合わせカメラ12を使用してスクリーン6に設けられた複数の孔7と半導体チップ2における複数の電極パッド3とが対向するように位置合わせを行う。
図3に示すようにスクリーン印刷機は、第2段階として、受台11に半導体ウェハ1を載置して固定した状態で、位置合わせカメラ12を使用してスクリーン6に設けられた複数の孔7と半導体チップ2における複数の電極パッド3とが対向するように位置合わせを行う。
このときスクリーン印刷機は、スクリーン6の孔7と半導体チップ2の電極パッド3との位置合わせを行うに当たって、受台11とスクリーン6とが互いにX軸方向及びY軸方向へ可動な機構であることにより、当該スクリーン6に設けられた複数の孔7と半導体ウェハ1上の全ての半導体チップ2における複数の電極パッド3とが対向すべく位置決めし得るようになされている。
因みにスクリーン印刷機は、スクリーン6の孔7と半導体チップ2の電極パッド3との位置決めが終了すると、位置合わせカメラ12をX軸方向又はY軸方向へ移動させることにより、スクリーン6と半導体ウェハ1とが対向する面上から当該位置合わせカメラ12を除去する。
なおスクリーン6は、ステンレス、ニッケルまたはタングステン等の薄膜からなり、バンプを形成すべき半導体ウェハ1の半導体チップ2における複数の電極パッド3と対応する位置に孔7が設けられている。
またスクリーン6自体の厚さは25〜150[μm]であり、厚過ぎると孔7がスクリーン6に対して垂直に形成されなくなり、また薄過ぎるとバンプの高さが足りなくなるため、最適なバンプ高さになるように設定されている。
さらにスクリーン6は、当該スクリーン6と半導体ウェハ1とが密着する印刷面(裏面)6A、スクリーン6における孔7の開口部及び内周面に対してフッ素(F)樹脂コーティングが施されており、本実施の形態におけるスクリーン印刷機では、このようなフッ素樹脂コーティングが施されたスクリーン6を用いることを大きな特徴としている。
(2−3)第3段階
この後、図4に示すようにスクリーン印刷機は、第3段階として、スクリーン6或いは受台11を互いに近づけるようにZ軸方向へ移動することにより、当該スクリーン6と半導体ウェハ1とを重ね合わせて密着させるようになされている。
この後、図4に示すようにスクリーン印刷機は、第3段階として、スクリーン6或いは受台11を互いに近づけるようにZ軸方向へ移動することにより、当該スクリーン6と半導体ウェハ1とを重ね合わせて密着させるようになされている。
そしてスクリーン印刷機は、スクリーン6上にAgが80ウェット%以上含有する熱硬化型エポキシ樹脂でなるペースト状のAgペースト9を載せ、これをスキージ8によってスクリーン6上をX軸方向及びY軸方向へ動かしながら当該スクリーン6上にAgペースト9が残らないように印刷することにより、スクリーン6の孔7にAgペースト9を完全に充填していく。
なおスクリーン印刷機では、Agペースト9のAg粒子を球径粉1[μm]程度にしたものを用いるようになされている。これによりスクリーン印刷機では、従来用いられていたような球径粉5[nm]程度のAg粒子を用いる場合と比較して転写後のAgペーストバンプ10がダレたり、滲みが発生することを防止し得るようになされている。
(2−4)第4段階
図5に示すように、スクリーン印刷機はスクリーン6の孔7にAgペースト9を充填した後、当該スクリーン6を半導体ウェハ1から版離させることにより、半導体チップ2における複数の電極パッド3上に当該スクリーン6の孔7の形状に対応したAgペーストバンプ10を形成する。
図5に示すように、スクリーン印刷機はスクリーン6の孔7にAgペースト9を充填した後、当該スクリーン6を半導体ウェハ1から版離させることにより、半導体チップ2における複数の電極パッド3上に当該スクリーン6の孔7の形状に対応したAgペーストバンプ10を形成する。
ここでAgペースト9としては、ペースト粘度の高いもの、例えば100[Pa・s(パスカル秒)]以上が使用されるようになされている。これによりスクリーン印刷機は、半導体チップ2の電極パッド3に転写後のAgペーストバンプ10の形状を維持した状態で保持することができるので、当該Agペーストバンプ10と隣接する電極パッド3とを短絡させることなくAgペーストバンプ10を半導体チップ2上に均一に転写し得るようになされている。
ところでスクリーン印刷機は、上述したようにスクリーン6の印刷面(裏面)、スクリーン6における孔7の開口部及び内周面対してフッ素(F)樹脂コーティングが施された撥水性を有するものを用いてスクリーン印刷を行っていることにより、当該スクリーン6を半導体ウェハ1から版離させる際におけるAgペースト9の印刷性及び版抜け性を大幅に向上し得、かくして1度のスクリーン印刷処理だけで所定高さのAgペーストバンプ10を半導体チップ2の電極パッド3上に確実に形成し得るようになされている。
またスクリーン印刷機は、スクリーン6の印刷面6Aにフッ素樹脂コーティングが施されているので当該印刷面6Aが撥水性を有し、そのためスクリーン印刷後にスクリーン6を洗浄する必要性がなく、スクリーン印刷過程における洗浄工程を省くことができるようになされている。
(2−5)第5段階
図6に示すようにスクリーン印刷機は、第5段階として、受台11を半導体ウェハ1から版離した後、当該半導体ウェハ1を上方向及び下方向から挟むようにヒータ13及び14を配置し、所定のキュア温度(例えば約150度)に設定することにより加熱準備を行う。
図6に示すようにスクリーン印刷機は、第5段階として、受台11を半導体ウェハ1から版離した後、当該半導体ウェハ1を上方向及び下方向から挟むようにヒータ13及び14を配置し、所定のキュア温度(例えば約150度)に設定することにより加熱準備を行う。
(2−6)第6段階
図7に示すようにスクリーン印刷機は、第6段階として、ヒータ13及び14によって約150度程度に設定したキュア温度の雰囲気環境下の中で約1分〜10分程度の加熱処理を半導体ウェハ1に施し、Agペーストバンプ10を硬化させることにより、強度が高くAuバンプ等よりも電気抵抗が小さいAgバンプ10Aを生成し得るようになされている。
図7に示すようにスクリーン印刷機は、第6段階として、ヒータ13及び14によって約150度程度に設定したキュア温度の雰囲気環境下の中で約1分〜10分程度の加熱処理を半導体ウェハ1に施し、Agペーストバンプ10を硬化させることにより、強度が高くAuバンプ等よりも電気抵抗が小さいAgバンプ10Aを生成し得るようになされている。
なお、このとき得られるAgバンプ10Aについては、Agペーストバンプ10内に含まれるエポキシ樹脂が熱硬化する際、エポキシ樹脂が熱反応する際にエポキシ樹脂から発生するガスが抜け出すことにより脱泡作用が働いてAgペーストバンプ10内のガス(ボイド)は除去されるので、Agペーストバンプ10内のガスが完全に除去されるという効果もある。
(3)動作及び効果
以上の構成において、スクリーン印刷機は、マスク6における複数の孔7の開口部及び内周面がフッ素樹脂コーティングされていることにより、当該マスク6を用いてスクリーン印刷を行ったときには、撥水性を有する孔7によってAgペーストバンプ10の印刷性及び版抜け性を格段に向上させることができるので、半導体ウェハ1の半導体チップ2における複数の電極パッド3に対して1回のスクリーン印刷だけで所定高さのAgバンプ10Aを形成することができる。
以上の構成において、スクリーン印刷機は、マスク6における複数の孔7の開口部及び内周面がフッ素樹脂コーティングされていることにより、当該マスク6を用いてスクリーン印刷を行ったときには、撥水性を有する孔7によってAgペーストバンプ10の印刷性及び版抜け性を格段に向上させることができるので、半導体ウェハ1の半導体チップ2における複数の電極パッド3に対して1回のスクリーン印刷だけで所定高さのAgバンプ10Aを形成することができる。
またスクリーン印刷機では、従来のようにスクリーン印刷を複数回行うことなく1回のスクリーン印刷だけで所定高さのAgバンプ10Aを精度良く形成することができるので、所定高さがでるまでスクリーン印刷を複数回行う必要がなく、バンプ形成時の生産性を大幅に向上することができる。
さらにスクリーン印刷機では、スクリーン6の印刷面及び孔7の開口部及び内周面に施されたフッ素樹脂コーティングにより撥水性を発揮するので、スクリーン印刷後に孔7の開口部及び内周面にAgペースト9が付着してしまうことを未然に防止することができる。これによりスクリーン印刷機は、イソプロピルアルコールやアセトン等の溶剤を用いたスクリーン6の洗浄工程を省き、環境に配慮しながら、少ない工程数でバンプを形成することができる。
なおスクリーン印刷機では、金属ペーストとしてAgペースト9を用いるようにしたことにより、他の金属で(Au、Sn、Ni等)に比べて電気的抵抗が小さいため、配線基板との接続抵抗が低くて済み、電気特性の向上や消費電流の低減を図ることができる。
以上の構成によれば、スクリーン印刷機はバンプ形成に用いる孔7の開口部及び内周面及び印刷面にフッ素樹脂コーティングが施されたマスク6を用いてスクリーン印刷することにより、当該フッ素樹脂コーティングによる撥水性を有するので、Agペーストバンプ10の印刷性及び版抜け性を向上させ、一度のスクリーン印刷だけで所定高さのAgバンプ10を半導体チップ2の電極パッド3に転写することができる。
(4)他の実施の形態
なお上述の実施の形態においては、撥水性を有するコーティングとしてフッ素樹脂コーティングが施されたマスク6を用いるようにした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、撥水性を有するコーティングであれば、シリコンを用いたコーティング等のその他種々のコーティングが施されたマスク6を用いるようにしても良い。
なお上述の実施の形態においては、撥水性を有するコーティングとしてフッ素樹脂コーティングが施されたマスク6を用いるようにした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、撥水性を有するコーティングであれば、シリコンを用いたコーティング等のその他種々のコーティングが施されたマスク6を用いるようにしても良い。
また上述の実施の形態においては、球径粉1[μm]程度のAg粒子を含むAgペースト9を用いるようにした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、転写後のAgペーストバンプ10がダレたり、滲みが発生することを防止し得る程度の大きさであれば球径粉1.5[μm]程度や球径粉0.5[μm]程度のAg粒子を含むAgペースト9を用いるようにしても良い。
さらに上述の実施の形態においては、金属ペーストとしてAgペースト9を用いるようにした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、Auペースト、Cuペースト等の他の種々の金属ペーストを用いるようにしても良い。
さらに上述の実施の形態においては、マスクとしてのスクリーン6、スクリーン印刷手段としてのスキージ8、加熱処理手段としてのヒータ13及び14によって本発明のバンプ形成装置を構成するようにした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、他の種々の構造でなるマスク、スクリーン印刷手段及び加熱処理手段によってバンプ形成装置を構成するようにしても良い。
本発明のバンプ形成装置及びバンプ形成方法は、例えば半導体ウェハにおける複数の電極パッドに突起電極でなる所定高さのバンプを容易かつ短時間で一括形成する用途に適用することができる。
1……半導体ウェハ、2……半導体チップ、3……電極パッド、4……ダイシングライン、5……吸着穴、6……スクリーン、6A……印刷面、7……孔、8……スキージ、9……Agペースト、10……Agペーストバンプ、10A……Agバンプ、11……受台。
Claims (12)
- 半導体ウェハ上に設けられた複数の電極パッドに対応した所定径でなる複数の孔を有し、当該孔の開口部及び内周面に撥水性を有するコーティングが施されたマスクと、
上記マスクを上記半導体ウェハに重ね合わせ密着させた状態で、当該マスクにおける上記複数の孔を介して上記複数の電極パッドに突起電極としての金属ペーストを印刷するスクリーン印刷手段と、
上記マスクを上記半導体ウェハから版離したときに上記複数の電極パッドに転写された金属ペーストバンプを加熱処理することにより硬化させて金属バンプを形成する加熱処理手段と
を具えることを特徴とするバンプ形成装置。 - 上記マスクは、当該マスクと上記半導体ウェハとが重ね合わせされる印刷面に対しても上記コーティングが施されている
ことを特徴とする請求項1に記載のバンプ形成装置。 - 上記金属ペーストは、Agペーストであり、上記転写後におけるAgペーストバンプの形状を維持した状態で保持可能な所定数以上の粘度を有する
ことを特徴とする請求項1に記載のバンプ形成装置。 - 上記金属ペーストは、Agペーストであり、含有するAg粒子の球径粉が1[μm]程度である
ことを特徴とする請求項1に記載のバンプ形成装置。 - 上記撥水性を有するコーティングは、フッ素樹脂コーティングである
ことを特徴とする請求項1に記載のバンプ形成装置。 - 上記撥水性を有するコーティングは、シリコンコーティングである
ことを特徴とする請求項1に記載のバンプ形成装置。 - 半導体ウェハ上に設けられた複数の電極パッドに対応した所定径でなる複数の孔を有し、当該孔の開口部及び内周面にフッ素樹脂コーティングが施されたマスクにおける上記複数の孔を上記半導体ウェハの電極パッドに対向させた状態で重ね合わせて密着させる位置合わせステップと、
上記マスクにおける上記複数の孔を介して上記複数の電極パッドに突起電極としての金属ペーストを印刷するスクリーン印刷ステップと、
上記マスクを上記半導体ウェハから版離したときに上記複数の電極パッドに転写された金属ペーストバンプを加熱処理することにより硬化させて金属バンプを形成する加熱処理ステップと
を具えることを特徴とするバンプ形成方法。 - 上記マスクは、当該マスクと上記半導体ウェハとが重ね合わせされる印刷面に対しても上記フッ素樹脂コーティングが施されている
ことを特徴とする請求項7に記載のバンプ形成方法。 - 上記金属ペーストは、Agペーストであり、上記転写後における上記Agペーストバンプの形状を維持した状態で保持可能な所定数以上の粘度を有する
ことを特徴とする請求項7に記載のバンプ形成方法。 - 上記金属ペーストは、Agペーストであり、含有するAg粒子の球径粉が1[μm]程度である
ことを特徴とする請求項7に記載のバンプ形成方法。 - 上記撥水性を有するコーティングは、フッ素樹脂コーティングである
ことを特徴とする請求項7に記載のバンプ形成方法。 - 上記撥水性を有するコーティングは、シリコンコーティングである
ことを特徴とする請求項7に記載のバンプ形成方法。
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JP2004153569A JP2005340282A (ja) | 2004-05-24 | 2004-05-24 | バンプ形成装置及びバンプ形成方法 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2007125841A1 (en) * | 2006-04-27 | 2007-11-08 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device, method for manufacturing semiconductor device, and electronic appliance having the semiconductor device |
JP2007318114A (ja) * | 2006-04-27 | 2007-12-06 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置及び半導体装置の作製方法、並びに当該半導体装置を有する電子機器 |
JP2011060964A (ja) * | 2009-09-09 | 2011-03-24 | Tamura Seisakusho Co Ltd | バンプの形成方法 |
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2004
- 2004-05-24 JP JP2004153569A patent/JP2005340282A/ja active Pending
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JP2007318114A (ja) * | 2006-04-27 | 2007-12-06 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置及び半導体装置の作製方法、並びに当該半導体装置を有する電子機器 |
CN101432869B (zh) * | 2006-04-27 | 2011-09-14 | 株式会社半导体能源研究所 | 半导体器件及其方法、以及具有半导体器件的电子装置 |
US8378484B2 (en) | 2006-04-27 | 2013-02-19 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device, method for manufacturing semiconductor device, and electronic appliance having the semiconductor device |
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