JP2005340185A - プラズマ発生用電源装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ガス領域の静電容量値C2が誘電体の静電容量値C1に比べて無視できないような大きさであり、トランス4を介して交流電力を供給するプラズマ発生用電源装置において、放電負荷5に対して並列または直列にインダクタンスを有するように構成すると共に、上記インダクタンスの値を、トランス4の2次側におけるインダクタンスの値Lが、放電期間における放電負荷の静電容量値C1により決定される値と、非放電期間における放電負荷の静電容量値C3=(C1×C2)/(C1+C2)により決定される値との間にあって、下記の式(1)を満足する値となるように設定する。
1/{C1×(2πf)2}≦L≦1/{C3×(2πf)2}…(1)
ここで、f:両電極間に印加される交流電圧の周波数
【選択図】 図1
Description
図12は、従来のオゾン発生器用のプラズマ発生用電源装置の電源回路図である(例えば、非特許文献1参照。)。
図12において、1は交流の入力電源、2は整流器、3はインバータ、4はトランス(変圧器)、5は対向配置する一対の電極間に誘電体を介して放電空間となるガス領域が構成され、上記放電空間のガスが励起されて、プラズマが発生する放電負荷、6は放電負荷5に対して並列に接続された力率改善用の並列インダクタである。
入力電源1の商用の交流電圧は整流器によって直流に変換され、さらにインバータ3によって規定の周波数の交流電圧に変換される。さらにトランス4により放電開始に到る電圧に昇圧され、放電負荷5に高電圧が印加される。この印加された高電圧により放電負荷5で放電が発生し、この放電によりガス粒子が励起される。
ここで、放電電極間に誘電体を挿入した放電負荷を用いた場合、この放電負荷5は電気的にはコンデンサとして働き、電圧に対して電流の位相が進むことが知られている。このため皮相電力と有効電力との比で表される力率が低く、放電負荷5にエネルギーを投入するためには必要以上の電流を流さなければならない。
並列インダクタ6は、放電負荷における電流位相の電圧に対する進みを補償するために、位相遅延素子として放電負荷5と並列に接続されたものである。放電負荷5での電流位相の進み分と並列インダクタ6による電流位相の遅れ分を等しく設定すると、電源装置より供給される電流と電圧の位相が合致し、最も小さな電流で放電負荷5に効率的に電力を投入することができる。各素子が理想的な素子であれば、このとき力率は100%となって、共振と呼ばれる状態となる。
なお、図12では、トランス4の2次側に並列インダクタを接続した場合を示したが、図13に示すようにトランス4の1次側に並列インダクタを接続しても同様の効果が得られる。但し、この場合、耐圧の低い素子を使える反面、トランスの力率は改善されないので必要以上の容量を有するトランスが必要である。
このため非放電状態では、放電負荷5は誘電体静電容量51の値C1とガス静電容量52の値C2が直列に結合して式(3)によって表される値Cを有する容量性負荷であるが、放電時には容量値C1単独の容量性負荷に変化する。
C={C1×C2/(C1+C2)} …(3)
1/{C1×(2πf)2}≦L≦1/{C3×(2πf)2}…(1)
ここで、f:両電極間に印加される交流電圧の周波数
L=1/{C1×(1−V*/Vop)×(2πf)2}…(2)
ここで、V*:放電空間の放電維持電圧
Vop:印加電圧波高値
f:両電極間に印加される交流電圧の周波数
以下、本発明の実施の形態1を図を用いて説明する。
図1は、この発明の実施の形態1によるプラズマ発生用電源装置を示す回路図である。図1において、1は入力用の交流電源、2は整流器、31はインバータ、4はトランス(変圧器)である。5は対向配置する一対の電極間に誘電体を介して放電空間となるガス領域が構成され、上記放電空間のガスが励起されて、プラズマが発生する放電負荷であり、誘電体静電容量51、ガス静電容量52、ツェナーダイオード53により、等価的に図1のように示すことができる。61は放電負荷5およびトランス4の2次側巻線に対して並列に接続され、インダクタンスLp1を有する力率改善用の並列インダクタである。従来技術には明記されていないが、以上のような回路構成とする場合、インバータ31は、出力電流波形が矩形波となる定電流制御方式のインバータを用いる。
入力電源1の商用交流電圧は整流器2によって直流に変換され、さらにインバータ31によって規定の周波数の交流に変換される。インバータ31は、この場合、定電流制御インバータを用いる。インバータ31からの出力電圧は、トランス4により昇圧された後、誘電体静電容量51とガス静電容量52とに、それぞれの静電容量値の逆比に応じて分圧される。そして、ガス静電容量52に分圧された電圧がツェナー電圧Vzに達した時、放電負荷5で放電が発生する。
また、図2において、tanαは放電期間における放電負荷5の静電容量値を表しており、放電期間ではガス静電容量52(容量値C2)は短絡され、誘電体静電容量51(容量値C1)のみが寄与するので、
tanα=C1 …(4)
となる。
さらに、角度βで表された傾きを有する領域は非放電期間である。非放電時の等価回路は、回路の浮遊容量を無視すると、誘電体静電容量51とガス静電容量52とが直列に接続されたものとなるので、
tanβ=C1×C2/(C1+C2) …(5)
で表される。
Qmax=(Vop−V*)×tanα
=C1×(Vop−V*) …(6)
と表すことができる。したがって、この一点鎖線で示された直線の傾き角γは、図2より、
tanγ=Qmax/Vop=C1×(1−V*/Vop)…(7)
で与えられる。
C=Qmax/Vop=C1×(1−V*/Vop) …(8)
となる。この値は、前述した非放電期間と放電期間とを含めた放電負荷の平均的な静電容量(tanγ)の値と等しい。すなわち電源側からは、1サイクルを通じて放電負荷5があたかも式(8)で表される静電容量値Cを有する容量成分のように見える。よって、放電負荷5に対して効率良く電力を投入するには、次式(9)で表される電源側から見た放電負荷の容量成分Cをキャンセルするだけのインダクタンスを有するインダクタを付加すれば良い。
L=1/[C×(2πf)2] …(9)
ここで、L:付加するインダクタのインダクタンス[H]
C:C1×(1−V*/Vop)で与えられる静電容量値[F]
C1:誘電体の静電容量値[F]
V* :放電空間の放電維持電圧[V]
Vop:印加電圧波高値[V]
f:両電極間に印加される交流電圧の周波数[Hz]
W=4・f・C1・V*×{Vop−(1+C2/C1)・V*} …(10)
である。これらの中で、Vop以外の物理量は電極材質および形状と、ガス圧力などの動作条件が決定されれば自明となる。したがって、所望の放電電力Wを得るための印加電圧波高値Vopは、式(10)で求められる。Vopが決定されれば、C1およびV*も既知であるから、電源から見た放電負荷5の容量成分Cも式(8)により求めることができ、放電負荷5の容量に関わらず、式(9)により力率改善用のインダクタを容易に設計することができる。
図6は、この発明の実施の形態2によるプラズマ発生用電源装置を示す回路図である。図6において、62は放電負荷5およびトランス4の2次側巻線に対して並列に接続され、インダクタンス値Lp2を有する力率改善用の並列インダクタであり、基本回路構成は実施の形態1と全く同様である。従来技術には明記されていないが、以上のような回路構成とする場合、実施の形態1と同様、インバータ31は、出力電流波形が矩形波となる定電流制御方式のインバータを用いる。なお、実施の形態1と同等あるいは同一要素については、同一符号を付して説明を省略する。
本実施の形態2においては、図6に示すように、放電負荷5に対して並列に接続された並列インダクタ62のインダクタンス値Lp2を次式を満足するように設定する。
1/{C1×(2πf)2}≦Lp2≦1/{C3×(2πf)2}…(11)
ここで、C1:誘電体の静電容量値[F]
f:両電極間に印加される交流電圧の周波数[Hz]
C3:(C1×C2)/(C1+C2)で与えられる静電容量値[F]
C2:ガス領域の静電容量値[F]
である。C3は、誘電体の静電容量とガス領域の静電容量の直列合成容量であり、電源側から見た非放電時の放電負荷5の容量成分である。
C3<C<C1 …(12)
(ここで、CはC1×(1−V*/Vop)で与えられる静電容量値)
の関係があるので、共振点をわずかに外したところに、インダクタ62のインダクタンスを設定することが可能である。また、力率改善の度合いは実施の形態1には及ばないが、放電負荷5の変化に対し、安定して力率改善度合いを高く維持することができる。
C<C’<C1 …(13)
(ここで、CはC1×(1−V*/Vop)で与えられる静電容量値)
の範囲にあるとして力率改善用インダクタを設計すれば、上述のとおり放電負荷の静電容量が減少しても、あらかじめ負荷の容量成分を共振条件を満足する値よりも大きく見積もっているため、力率が大幅に悪化することを回避できる。この場合、容量の減少がわずかであれば、その時の力率が設計時よりも改善されることもあり得る。
さらに、あらかじめ放電負荷5の容量成分C’が式(13)を満足する範囲にあるとしてインダクタ62のインダクタンスを決定すれば、放電負荷の容量が誘電体の絶縁破壊等によって減少しても、力率が極端に悪化することを回避でき、安定して力率改善度合いを高く維持することができる。
図7は、この発明の実施の形態3によるプラズマ発生用電源装置を示す回路図である。図7において、7は放電負荷5およびトランス4の2次側巻線に対して直列に接続され、インダクタンスLs1を有する力率改善用の直列インダクタである。従来技術には明記されていないが、以上のような回路構成とする場合、本実施の形態ではインバータ32は、出力電圧波形が矩形波となる定電圧制御方式のインバータを用いる。なお、前述の実施の形態と同等あるいは同一要素については、同一符号を付して説明を省略する。
図8は、この発明の実施の形態4によるプラズマ発生用電源装置を示す回路図である。本実施の形態4ではトランス4の1次側巻線と並列に並列インダクタ63を接続している。なお、実施の形態1と同等あるいは同一要素については、同一符号を付して説明を省略する。
Lp3=Lp1/m2 …(14)
Lp3=Lp2/m2 …(15)
のうちのいずれかを満足するように構成されている。このようにすれば、実施の形態1または2に示されたものと等価的に同じLC並列回路となるため、同様の効果が得られる。即ち、トランス4の2次側で放電負荷5に対して並列に、式(1)または式(2)を満足するインダクタンスを有するように構成できる。
図9は、この発明の実施の形態5によるプラズマ発生用電源装置を示す回路図である。本実施の形態5ではトランス4の1次側巻線と直列に直列インダクタ71を接続している。なお、実施の形態3と同等あるいは同一要素については、同一符号を付して説明を省略する。
Ls3=Ls1/m2 …(16)
Ls3=Ls2/m2 …(17)
のうちのいずれかを満足するように構成されている。このようにすれば、実施の形態3に示されたものと等価的に同じLC並列回路となるため、同様の効果が得られる。即ち、トランス4の2次側で放電負荷5に対して直列に、式(1)または式(2)を満足するインダクタンスを有するように構成できる。
図10は、この発明の実施の形態6によるプラズマ発生用電源装置を示す回路図である。図10において、64はトランス4の1次側巻線に対して等価的に並列接続された並列インダクタであり、トランス4の励磁インダクタンスに相当するものである。なお、実施の形態1と同等あるいは同一の要素については同一符号を付し、説明を省略する。
実施の形態1では、トランス4の2次側巻線と並列に並列インダクタ61を接続するようにしたが、この並列インダクタ61の代わりにトランス4の励磁インダクタンスを用いるようにしても同じように作用する。この場合、トランス4の1次側で力率を改善するので、並列インダクタ64のインダクタンスLp4は、実施の形態1、2に示されたトランス4の2次側に接続された並列インダクタ61、62のインダクタンスLp1、Lp2に対して、トランス4の巻数比をmとした時、
Lp4=Lp1/m2 …(18)
Lp4=Lp2/m2 …(19)
のうちのいずれかを満足するように構成される。
具体的には、トランスの1次側鉄心と2次側鉄心とのギャップの長さを増減することにより、励磁インダクタンスの値を調整し(ギャップが大きいと励磁インダクタンスは小さくなる)、上式のいずれかを満足する所定値に設定する。
図11は、この発明の実施の形態7によるプラズマ発生用電源装置を示す回路図である。図11において、72はトランス4の1次側巻線に対して等価的に直列接続された直列インダクタであり、トランス4の漏れインダクタンスに相当するものである。なお、実施の形態3と同等あるいは同一の要素については同一符号を付し、説明を省略する。
実施の形態3では、トランス4の2次側巻線と直列に直列インダクタ7を接続するようにしたが、この直列インダクタ7の代わりにトランス4の漏れインダクタンスを用いるようにしても同じように作用する。この場合、トランス4の1次側で力率を改善するので、直列インダクタ72のインダクタンスLs4は、実施の形態3に示されたトランス4の2次側に接続された直列インダクタ7のインダクタンスLs1、またはLs2に対して、トランス4の巻数比をmとした時、
Ls4=Ls1/m2 …(20)
Ls4=Ls2/m2 …(21)
のうちのいずれかを満足するように構成される。
具体的には、トランスの鉄心の量(断面積)を増減することにより、漏れインダクタンスの値を調整し(断面積が大きいと漏れインダクタンスは大きくなる)、上式のいずれかを満足する所定値に設定する。
Claims (6)
- 対向配置する一対の電極間に誘電体を介して放電空間となるガス領域が構成され、上記両電極間に印加される交流高電圧により生じる電界によって上記放電空間のガスを励起してプラズマを発生する放電負荷に対し、トランスを介して交流電力を供給するプラズマ発生用電源装置において、上記ガス領域の静電容量値C2が上記誘電体の静電容量値C1に比べて無視できないような大きさであり、上記放電負荷に対して並列または直列にインダクタンスを有するように構成すると共に、上記インダクタンスの値を、上記トランスの2次側におけるインダクタンスの値Lが、放電期間における放電負荷の静電容量値C1により決定される値と、非放電期間における放電負荷の静電容量値C3=(C1×C2)/(C1+C2)により決定される値との間にあって、下記の式(1)を満足する値となるように設定したことを特徴とするプラズマ発生用電源装置の製造方法。
1/{C1×(2πf)2}≦L≦1/{C3×(2πf)2}…(1)
ここで、f:両電極間に印加される交流電圧の周波数 - 対向配置する一対の電極間に誘電体を介して放電空間となるガス領域が構成され、上記両対向配置する一対の電極間に誘電体を介して放電空間となるガス領域が構成され、上記両電極間に印加される交流高電圧により生じる電界によって上記放電空間のガスを励起してプラズマを発生する放電負荷に対し、トランスを介して交流電力を供給するプラズマ発生用電源装置において、上記ガス領域の静電容量値C2が上記誘電体の静電容量値C1に比べて無視できないような大きさであり、上記放電負荷に対して並列または直列にインダクタンスを有するように構成すると共に、上記インダクタンスの値を、上記トランスの2次側におけるインダクタンスの値Lが、非放電期間と放電期間とを含めた放電負荷の平均的な静電容量値C1×(1−V*/Vop)により決定され、下記の式(2)を満足する値となるように設定したことを特徴とするプラズマ発生用電源装置の製造方法。
L=1/{C1×(1−V*/Vop)×(2πf)2}…(2)
ここで、V*:放電空間の放電維持電圧
Vop:印加電圧波高値
f:両電極間に印加される交流電圧の周波数 - トランスの2次側に、放電負荷に対して並列または直列にインダクタを接続すると共に、上記インダクタのインダクタンスを、式(1)または式(2)を満足するインダクタンスの値Lに設定したことを特徴とする請求項1または2記載のプラズマ発生用電源装置の製造方法。
- 式(1)または式(2)で示されるインダクタンスをL、トランスの巻数比をmとした時、トランスの1次側に、放電負荷に対して並列または直列にインダクタを接続すると共に、上記インダクタのインダクタンスの値をL/m2に設定したことを特徴とする請求項1または2記載のプラズマ発生用電源装置の製造方法。
- 式(1)または式(2)で示されるインダクタンスをL、トランスの巻数比をmとした時、トランスの励磁インダクタンスが、L/m2を満足するようにしたことを特徴とする請求項1または2記載のプラズマ発生用電源装置の製造方法。
- 式(1)または式(2)で示されるインダクタンスをL、トランスの巻数比をmとした時、トランスの漏れインダクタンスが、L/m2を満足するようにしたことを特徴とする請求項1または2記載のプラズマ発生用電源装置の製造方法。
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