JP2005336049A5 - - Google Patents
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Description
本発明のさらに他の実施例によれば、マイクロ流体素子を形成する方法が提供され、この方法は、動いている金型全面上に第１の軟質ガラスシートを展開するステップを含む。第１の軟質ガラスシートは金型の反対側に第１の面を有し、第１の面と反対側には金型上にある第２の面を有する。この方法は更に、金型に前記軟質ガラスシートを密着させるようにする真空成形を含み、その結果、第１及び第２の両面上にマイクロチャンネルを有する密着シートを形成する。この方法は更に、第２の軟質ガラスシートを前記密着シートの前記第１の面上に展開することを含み、その結果、前記第２の軟質ガラスシートを前記密着シートに接着させ、前記第１の面上に前記マイクロチャンネルを実質的に閉塞させることになる。この方法は更に、前記金型から前記密着シートを取り外すことを含む。この方法は更に、第３の軟質ガラスシートを前記密着シートの前記第２の面上に展開することを含み、その結果、前記第３の軟質ガラスシートを前記密着シートに接着させ、前記第２の面上に前記マイクロチャンネルを実質的に閉塞させることになる。
本発明のマイクロ流体素子は、コーニング社（Corning Incorporated,Corning,New York,USA）から入手できる「Ｃｏｒｎｉｎｇ０２１１」、「Ｃｏｒｎｉｎｇ７０５９」、「Ｃｏｒｎｉｎｇ１７３７」と、Ｇｌａｖｅｒｂｅｌグループ（Glaverbel Group,1170 Brussels,Belgium）から入手できる「Ｇｌａｖｅｒｂｅｌ Ｄ ２６３」を含む種々のガラス構成物を使用して製造することに成功している。これらの中で、「Ｃｏｒｎｉｎｇ１７３７」は約３７．６ｘ１０-7 という最も小さい熱膨張率を示す。「Ｃｏｒｎｉｎｇ１７３７」から形成されるマイクロ流体素子は、流体温度が６５０℃以下での使用に適している。Ｋｅｒａｇｌａｓｓ社（77 Bagneau sur Loing,France）から入手できる「Ｋｅｒａｂｌａｃｋ」のようなアルミニウムホウ化ケイ酸塩も使用することができる。マイクロ流体素子が上記のように形成された後、「Ｋｅｒａｂｌａｃｋ」をセラミック化することによりセラミックガラス（Vitroceram）になり、約-２ｘ１０-7という超低の熱膨張率を示す。
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