JP2005334979A - ブラスト加工装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 CO2ブラスト加工装置において、加工後に加工屑を残さず、CO2および加工屑を高い回収率で回収できる装置を提供する。
【解決手段】 ノズル部とCO2と加工屑の回収部をチャンバ構造とし、チャンバ構造の加工対象面に対向する開口部を額縁状に囲うブレード部の底面を非接触変位センサのフィードッバックによるクリアランス一定制御で微小間隙を維持して封止し、CO2ブラストの衝突噴流の流れる方向をブレード部で上方に変えることでブレード部に形成した加工対象面からチャンバ内部に通じる孔内部がブレード部の上面を流れる衝突噴流の動圧で負圧になり、さらに、ブローノズルで積極的に加工面に残留した加工屑を吹き飛ばし、吸引する構造とした。
【選択図】 図1
【解決手段】 ノズル部とCO2と加工屑の回収部をチャンバ構造とし、チャンバ構造の加工対象面に対向する開口部を額縁状に囲うブレード部の底面を非接触変位センサのフィードッバックによるクリアランス一定制御で微小間隙を維持して封止し、CO2ブラストの衝突噴流の流れる方向をブレード部で上方に変えることでブレード部に形成した加工対象面からチャンバ内部に通じる孔内部がブレード部の上面を流れる衝突噴流の動圧で負圧になり、さらに、ブローノズルで積極的に加工面に残留した加工屑を吹き飛ばし、吸引する構造とした。
【選択図】 図1
Description
本発明は、微細加工を行うCO2ブラスト装置に係り、特に、マスクを持って選択的にCO2ブラストエッチングを行うブラスト加工装置に関する。
従来、特許文献1に示される、固体CO2粒子、氷粒子及びこれらの混合粒子をブラスト材とし、プラズマディスプレイパネル(PDP)の隔壁形成に用いるブラスト加工法が提案されている。
上記特許文献1には固体CO2粒子を用いて加工することは開示されているが、具体的にどのような装置構成で加工を行うかに関する記載はない。
ところで、液体CO2から断熱膨張によって得られた微細な固体CO2粒子、氷粒子及びこれらの混合物をブラスト材に使用するCO2ブラスト法では、加工屑が加工パターンの凹凸の隙間に残留する課題がある。CO2ブラスト法における加工後の洗浄は、加工面上に付着している加工屑の除去となるため、エアブロー等で吹き飛ばせば良いが、飛ばした加工屑の回収及び再付着を防止する対策が必要となる。
また、CO2は温室効果ガスであるために、大気中への放出を極力低減することが環境の面からも望ましいため、加工で使用したCO2を回収し再使用する必要がある。
それゆえ本発明の目的は、CO2ブラスト加工装置において、加工後に加工屑を残さず、CO2及び加工屑を高い回収率で回収できる装置を提供することにある。
上記目的を達成するために本発明では、ノズル部とCO2と加工屑の回収部をチャンバ構造とし、チャンバ構造の加工対象面に対向する開口部を額縁状に囲うシャープエッジ形状を有するブレード部を設け、前記ブレード部の底面と加工対象面間の間隙を非接触変位センサで計測し、そのフィードッバックによるクリアランス一定制御で微小間隙を維持し、噴射したCO2ブラストの衝突噴流方向をシャープエッジで上方に変え、加工で使用したCO2及び加工で出た加工屑の微小間隙からの漏れを減少させる構造としたものである。また、チャンバで回収した加工屑や気体CO2等は、一旦集塵部に集めて、そこで加工屑とCO2ガスとを分離後CO2ガスは再度液体CO2にして再利用する構成としている。
本発明によれば、CO2ブラスト法による微細加工において、加工屑とCO2を高い比率で回収し、加工屑の再付着防止とCO2の再使用を可能とし、CO2排出が少なく、廃棄物の出ない微細加工装置を提供できる。
以下、図1に示す一実施例を用いて本発明を説明する。
図1は、PDP背面パネル(以下基板という場合もある)1の隔壁形成加工を対象として、CO2ブラストノズル部近傍の断面図を示すものである。図1には、CO2ブラストノズル部140と、CO2ブラストノズル部140を上下させるノズル昇降ユニット部130と、ノズル昇降ユニット部130及び回収チャンバ170と回収チャンバ170の開口部に設けたブレード部160を上下させるチャンバ昇降ユニット180の断面構造を示している。この回収チャンバ170は、固体CO2ブラストと気体や液体のCO2及び加工屑を回収するものである。
CO2ブラストノズル部140内には、図示していない液体CO2供給部から液体CO2を供給する供給配管143が接続されている。供給配管143より供給される液体CO2は、オリフィス146から膨張室147内へ噴射される。膨張室147内に噴射された液体CO2は、急減圧により気体CO2と微細化した液体CO2粒子になる。そして気体と液体粒子のCO2が、補助気体供給配管144から膨張室147内へ供給されるCO2ガス等の気体と混合される。混合された液体CO2粒子と気体CO2は、絞り148で流速が上昇しながら噴射口(開放端149)より噴射される。この絞り148を通過した後に、液体CO2粒子は、大気圧まで断熱膨張することで固体CO2の微粒子が生成される。固体CO2の微粒子と気体CO2と補助気体の混合流体は開放端149からPDP背面パネル1に噴射される。なお、絞り148を形成している部分145(吐出口付近)は、絶縁材で形成した部材をはめ込んでいる。
CO2ブラストの条件の一例としては、液体CO2の圧力/温度の範囲は(5.5/291K〜7.3MPa/304K)であり、オリフィス146から膨張室147に噴射される。膨張室147の圧力は、補助気体圧力/流量をコントロールすることで0.55〜3MPaの範囲に維持される。このため、膨張室147に噴射された液体CO2は一部が気化する。気液混合状態にあるCO2は、絞り148で流速を上昇し、開放端149を有する拡大管で断熱膨張しながらさらに加速して噴射される。噴射されるCO2は、断熱膨張しながら(大気圧/194K)で固体CO2粒子が生成される。
ノズルの開放端149から噴射される気体と等しい速度を有する固体CO2粒子は、PDP背面パネル1の加工面に衝突し、固体CO2粒子の衝突エネルギー、固体CO2の昇華エネルギー等で加工対象面の切削を行う。PDP背面パネル1を一定速度で矢印8方向に移動することで、CO2ブラスト流の衝突する部分が一定の加工速度で加工される。CO2ブラストは、固体CO2粒子サイズのコントロールや、衝突の速度のコントロールにより、微細加工を可能とする特徴があり、また、噴射された固体CO2は、加工対象物や外気からの熱で気化するために加工対象面に残留しない特徴も有している。
CO2ブラストノズル部140の昇降ユニット部130は、リニアガイド133で支持されたCO2ブラストノズル部140が、制御線135からの信号に基づいて回転されるサーボモータ131により移動する。すなわち、サーボモータ131の回転がボールネジ132に伝達され、ボールネジ132に取り付けられたCO2ブラストノズル部140がPDP背面パネル1の面に対し垂直方向に位置決めされるものである。なお、このCO2ブラストノズル部140は回収チャンバ170とは独立して、別体で上下できるように回収チャンバ170とCO2ブラストノズル間に設けたブレードユニットシール172a,172bによりスライド可能になっている。
チャンバ昇降ユニット180は、門型支柱184に取り付けられている。そして、チャンバ昇降ユニット180は、CO2ブラストノズル部140を上下させるノズル昇降ユニット部130と、ノズル昇降ユニット部130を固定する固定台に固定された回収チャンバ170を同時に上下させるものである。すなわち、制御ライン185からの信号によりサーボモータ181を回転さることで、ボールネジ182を駆動し、ボールネジ182部に取り付けられた支持部材に固定されている回収チャンバ170を移動する。これにより、回収チャンバ170に設けてあるブレード部160の底面がPDP背面パネル1面に対して鉛直方向に所定間隔を維持するように位置決めを行う。チャンバ昇降ユニット180による位置決めは、非接触の変位センサ186のフィードバック量に対し、ブレード部160の底面とPDP背面パネル1間の間隔を微小で、一定に制御するギャップ一定制御である。
回収チャンバ170は、底面が額縁状に形成されたブレード部160の中央部が加工対象面に対して開口し、その上部がノズルユニットシール172により、外気に対し密閉した構造となる。また、図のようにブレード部160は、開口側がシャープエッジ形状になるように形成されている。回収チャンバ170の開口部は、上述の通り額縁状に形成されたブレード部160の底面と、加工対象面間の間隔を微小で、かつ一定に制御し、微小間隙によるシールを行う。このように加工対象面とブレード部の底面とは近接させるため、静電気による帯電を防止するためにブレード部は絶縁材で形成されている。
なお、基板移動方向8に対し、進行方向の、ブレード部160の各構成部品の記号には添え字bを、進行方向と逆方向の構成部品の記号には添え字aを付けており、以下の説明は主として加工終了側の添え字bについて行っているが、加工前側の添え字a側も加工終了側と同様である。
ブレード部160のシャープエッジ161bは、CO2ブラストの衝突噴流が加工対象面に沿った流れをブレード部160の上面へ方向を変え、排気管122bに導入する効果を有し、ブレード部160の底面と、加工対象面間の間隔からのCO2や加工屑の漏れを減少させる。
また、CO2ブラスト中は、PDP背面パネル1の加工部に対し、図示していない表面除電装置で、静電気の帯電を防止している。特に、CO2ブラストノズル部140はPDP背面パネル1に近接して位置決めされるため、吐出口部分は絶縁材で形成され、静電気の帯電による放電を防止する。
図2は、図1で示したCO2ブラストノズル部140とブレード部160の一部(右側部)を拡大した図である。下記の説明は反対側(図1のブレード部左側)のブレード部も同じ構成作用をするものである。
ブレード部160は中空構造となっており、ブレードの底面板165bに、中空部と導通する複数の孔166bが形成されており、気体供給管164bから加圧した気体CO2や空気等の加圧気体を供給し、ブレード部の底面に設けた複数の孔166bから噴出することで、上記したブレード部の底面と加工対象面との間の間隙に流れ5cが生じる。ここで、シャープエッジ161b方向の流れ5cは、CO2ブラスト吐出による衝突噴流のうち、シャープエッジ161bで分流した微小間隙方向への流れ4bを止める効果を発生するため、ブレード部160の底面と加工対象面間の間隔からのCO2や加工屑の漏れを封止する。
図3は、ブレード部160に、ブロー洗浄機能を付加した構造を説明する図である。本構成で、図2と異なる点は、ブレード部160がブレード底面板165を設けず開口状態とした点と、気体供給管164に接続されブレード開口部に気体を吹き付けるブローノズル162bを設けた構成とした点である。
固体CO2と気体CO2を含む気体からなる高い流速を持つCO2ブラスト流4は、最適な間隔7を持ち、PDP背面パネル1のガラス基板1a上に形成されたPDP隔壁となる加工対象2及びその上にパターン状に形成されたマスク3に衝突する。高速で衝突するCO2ブラスト中の固体CO2粒子は、CO2粒子の衝突のエネルギー及びPDP背面パネル1等からの熱による昇華エネルギー等によりマスク3の開口部の加工対象2を切削加工する。CO2ブラスト流4の衝突流は加工対象面に沿った方向に流れ、CO2ブラスト流4の近傍に配したブレード部160のシャープエッジ161bに当たることにより、ブレード部160の上方の流れ4aと、ブレード部160の底面と加工対象面の隙間の流れ4bに分かれる。ブレード部160の底面と加工対象面の隙間6は、微小間隔に制御されているために流れ4bの流量は小さいが、CO2ブラストで加工した0.1〜0.2mm程度の凹凸に加工屑や固体CO2が残留する。ブレード部160の上方の流れ4aは高速のため、動圧を発生し、ブレード部160の底面の開口部と排出孔163b内は減圧され、残留している加工屑や固体CO2を排出孔163bから吸引する効果が生じる。このように、ブレード部160に開口5とチャンバ側に排気孔163bを設けるだけでも加工屑や固体CO2を加工面から除去できるが、さらに効果を増すために図3に示すようにブローノズル162bを設けると良い。
すなわち、ブレード部160内に加工対象面に対し45°に傾斜して配したブローノズル162bより、ブロー用気体供給管164から供給される気体CO2等の気体を噴射5し、加工対象面の凹凸に残留する加工屑や固体CO2を積極的に吹き飛ばし、減圧された排出孔163bからブレード部上方を流れる噴流の効果により吸引し、排出される。
この構成とすることで、単にブレード部に開口と排出孔を設ける場合よりも加工屑等の回収効果が向上する。
図4は、排出された加工屑の回収と、使用済のCO2を回収し液化して再使用するリサイクルシステム系統の一例である。
排出された加工屑は、排気管122中を気体CO2等と共に気体搬送され、集塵部にて集塵フィルタ121により加工屑と気体CO2とに分離され、集められた加工屑は排出バルブ124にて系外に排出される。排出された加工屑には、ブラスト材等の異物が無いため、再生が容易となる。
集塵フィルタ121にて分離された気体CO2を主とする気体は、液化ユニット500と、コンプレッサ125に送られる。
コンプレッサ125に送られた気体CO2を主とする気体は加圧され、補助気体供給部144及びブロー用気体供給部164に送られ、それぞれ図示していない減圧弁で適切な圧力に調整され使用される。
液化ユニット500に送られる気体CO2を主とする気体は、乾燥器501に送られ、気体中の水分が分離除去される。
水分が除去された気体CO2を主とする気体は、次にCO2分離器502に送られCO2以外の気体が分離除去され、高純度の気体CO2を得る。
高純度の気体CO2は、予冷熱交換器503で冷却され、図示していないが多段のインタークーラを備えたコンプレッサ504で加圧し、熱交換器505で冷却し液化器506に送られる。
液化器506に送られた気体CO2は、冷凍器507で冷却した冷媒を冷媒移送ポンプ511で液化器506送り、気体CO2を過冷却して気体CO2を液化する。液化器506を通過した冷媒は、上述した予冷熱交換器503の冷却に使用される。
液化CO2は、タンク移送用ポンプ510にて圧送され、熱交換器505の冷却に使用された後に、タンク508に貯蔵される。タンク508内の液体CO2は、液化状態となる圧力/温度を維持するための断熱構造と、放出するガスを冷凍器512で再液化しタンク508に戻す構造を有する。
タンク508に貯蔵された液体CO2は、液体CO2定圧移送ポンプ509にて、CO2ブラスト装置の液体CO2供給部に送られ、再使用される。
なお、上記システムの液化条件の例は、2MPa/248Kであるが、CO2ブラストの条件である5.5/291K〜7.3MPa/304Kでも可能である。
本CO2リサイクルシステムは、CO2を再使用して装置外へのCO2排出量を抑えることができるが、液化ユニットや加工機本体が使用する電気エネルギーを発生させるために発電所からCO2が排出される。そのため、ブラストに必要なCO2の使用量を抑制する高効率の液化・加工システムを構築する必要がある。
図5は、本発明を適用した微細加工装置の図である。加工対象となるPDP背面パネル1は、ベースとなるガラス基板上にアドレス電極や保護膜等が形成されている。さらに、その表面を加工対象であるバリアリブペースト材が額縁状に塗布、乾燥して形成されており、最表面にはドライコート及びエッチングで形成されたマスクがある。本微細加工装置は加工対象物の加工を行う加工室を形成する加工機本体100や予備加熱及びドライガス置換ユニット200に、ドライガス、補助気体、液体CO2を供給したり、大気置換ユニットに大気等を供給する供給管群110が設けてある。加工機本体100内部の処理室から使用後のCO2や加工屑を排出するための排気管120が回収チャンバに一端が接続されており、その他端は集塵部に接続されている。先に述べたように、排気管122は、排気ポンプ及び集塵フィルタ121に、加工に使用したCO2や加工屑を送るためのものである。加工機本体100内部(加工室内)にドライガスを導入するためのドライガス供給管123が設けてあり、供給管群110の1つにつながっている。予備加熱及びドライガス置換ユニットには内部の大気を排出するための排気管201が設けて有り、その末端はハウスラインに接続される。さらに、予備加熱及びドライガス置換ユニット内部にドライガスを導入するためのドライガス供給管202が設けてあり、予備加熱及びドライガス置換ユニット200の上部からシャワー状に内部へドライガスを供給する。なおこのドライガス供給202は先に述べた供給管群110の一つに接続されている。
大気置換ユニット300は加工終了した加工対象物を搬入し、大気状態に戻すための部分で、このように加工機本体と別ユニットとすることで、加工室内の雰囲気を少しでもドライガス状態に保つためのものである。この大気置換ユニット300は、図が煩雑化するため記載していないが、予備加熱及びドライガス置換ユニット200と同様に、内部の気体を排出する排気管を持っており、その末端は、排気管201と同様にハウスラインに接続される。302は大気供給管で、大気置換ユニット300の上部からシャワー状に内部へ大気を供給する。加工対象物(PDP背面パネル1)は入り口コンベアユニット400上に搭載後、位置決め機構401により、適切な位置に位置決めされる。なお、予備加熱及びドライガス置換ユニット200及び加工装置本体100、大気置換ユニット300の上流及び下流側には、シャッタを備えており、PDP背面パネル1の搬入及び搬出の際には、本シャッタを開閉する機構となっている。
図6は、加工機本体100内に設けてある、ノズル周辺部の図である。
ノズル部は、PDP背面パネル1の幅を有するフラット状に構成され、液体CO2遮断弁151と補助気体遮断弁152を複数有し、フラット状に形成されたノズルへの液体CO2供給150及び補助気体の供給153の開閉制御を行う。ノズル回収部昇降ユニット180のリニアガイド183は、フラットノズル構造の両端に配されており、非接触変位センサ186もフラットノズル構造の端に配されている。
以上の構成の微細加工機を用いてPDP背面パネルの加工を行うことで、高精度のブラスト加工を行うことができ、加工に際して使用するCO2も回収再利用することで環境への影響も小さくできる効果がある。
130…ノズル昇降ユニット、140…CO2ブラストノズル部、160…ブレード部、170…回収チャンバ、180…チャンバ昇降ユニット、186…非接触センサ。
Claims (7)
- ドライガスを導入された加工室内において、加工対象物に液体CO2を急減圧することによって生成した微細な固体CO2を吹き付けて加工するブラスト加工装置において、
CO2粒子を生成するブラストノズル部と、前記加工室とは別体に形成され、前記ブラストノズル部から加工対象物に噴射したCO2及び加工屑とを回収する回収部を前記ブラストノズル部と加工対象物の表面の一部を覆うチャンバ構造とし、前記チャンバの加工対象面に対向する開口部を額縁状に囲うシャープエッジ形状を有するブレード部を備え、前記ブレード部の底部と加工対象面間の間隙を計測する変位センサを設け、前記変位センサの計測結果に基づいて、加工対象物と前記ブレード部の底部との間隙を一定に維持する構成としたことを特徴とするブラスト加工装置。 - 請求項1記載のブラスト加工装置において、
前記ブレード部を中空構造とし、前記ブレード部の底面に前記中空部に導通する複数の孔と、前記中空部に加圧気体を供給する供給口を形成し、加圧気体を前記ブレード部底面の複数の孔からブレード部底面と加工対象面間の微小間隙内に噴出させ、微小間隙内において前記ブレード部のシャープエッジ方向の流れを生じさせる構成としたことを特徴とするブラスト加工装置。 - 請求項1記載のブラスト加工装置において、
前記ブレード部に加工対象面からチャンバ内部に通じる開口部を形成し、前記ブレード部上面を流れる衝突噴流の動圧効果でブレード部の開口部を減圧し、加工面に残留した加工屑を吸引する構成としたことを特徴とするブラスト加工装置。 - 請求項1記載のブラスト加工装置において、前記ブレード部の加工対象面からチャンバ内部に通じる開口部の加工対象面に対し、加工部側に傾斜させたノズルから気体CO2や空気等の気体を噴射することで、残留している加工屑を吹き飛ばし、前記ブレード部上面を流れる衝突噴流で吸引するように構成したことを特徴とするブラスト加工装置。
- 請求項1記載のブラスト加工装置において、
前記チャンバの前記額縁状に囲うブレード部を絶縁材で形成することを特徴とするブラスト加工装置。 - 請求項1記載のブラスト加工装置において、
前記回収部が加工対象面の近傍かつ加工対象面に平行に設けた排気管を有することを特徴とするブラスト加工装置。 - 請求項1記載のブラスト加工装置において、
前記ブラストノズル部が前記チャンバに対して可動できる構成としたことを特徴とするブラスト加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004152692A JP2005334979A (ja) | 2004-05-24 | 2004-05-24 | ブラスト加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004152692A JP2005334979A (ja) | 2004-05-24 | 2004-05-24 | ブラスト加工装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005334979A true JP2005334979A (ja) | 2005-12-08 |
Family
ID=35489083
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004152692A Pending JP2005334979A (ja) | 2004-05-24 | 2004-05-24 | ブラスト加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005334979A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101642896A (zh) * | 2008-08-07 | 2010-02-10 | 株式会社不二制作所 | 喷砂方法和装置,薄膜太阳能电池板及其加工方法 |
KR20100019341A (ko) * | 2008-08-07 | 2010-02-18 | 후지 세이사쿠쇼 가부시키가이샤 | 연마재 회수 시스템을 갖는 블라스트 가공 방법 및 장치, 박막 태양전지 패널의 가공 방법 및 이에 의해 가공된 박막 태양전지 패널 |
JP2010120134A (ja) * | 2008-11-20 | 2010-06-03 | Fuji Seisakusho:Kk | ブラスト加工方法及びブラスト加工装置における研磨材噴射回収部構造 |
WO2010122851A1 (ja) * | 2009-04-21 | 2010-10-28 | シャープ株式会社 | ブラスト装置およびブラスト加工方法 |
US11306385B2 (en) * | 2019-02-19 | 2022-04-19 | Safran Aircraft Engines | Tooling for the coating of lips |
-
2004
- 2004-05-24 JP JP2004152692A patent/JP2005334979A/ja active Pending
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101642896A (zh) * | 2008-08-07 | 2010-02-10 | 株式会社不二制作所 | 喷砂方法和装置,薄膜太阳能电池板及其加工方法 |
KR20100019341A (ko) * | 2008-08-07 | 2010-02-18 | 후지 세이사쿠쇼 가부시키가이샤 | 연마재 회수 시스템을 갖는 블라스트 가공 방법 및 장치, 박막 태양전지 패널의 가공 방법 및 이에 의해 가공된 박막 태양전지 패널 |
CN101642896B (zh) * | 2008-08-07 | 2014-07-09 | 株式会社不二制作所 | 喷砂方法和装置,薄膜太阳能电池板及其加工方法 |
KR101653222B1 (ko) * | 2008-08-07 | 2016-09-01 | 후지 세이사쿠쇼 가부시키가이샤 | 연마재 회수 시스템을 갖는 블라스트 가공 방법 및 장치, 박막 태양전지 패널의 가공 방법 및 이에 의해 가공된 박막 태양전지 패널 |
JP2010120134A (ja) * | 2008-11-20 | 2010-06-03 | Fuji Seisakusho:Kk | ブラスト加工方法及びブラスト加工装置における研磨材噴射回収部構造 |
US8523632B2 (en) | 2008-11-20 | 2013-09-03 | Fuji Manufacturing Co., Ltd. | Blasting method and apparatus having abrasive recovery system, processing method of thin-film solar cell panel, and thin-film solar cell panel processed by the method |
CN101740664B (zh) * | 2008-11-20 | 2013-10-02 | 株式会社不二制作所 | 喷砂方法和装置,薄膜太阳能电池板及其加工方法 |
KR101776575B1 (ko) * | 2008-11-20 | 2017-09-08 | 후지 세이사쿠쇼 가부시키가이샤 | 연마재 회수 시스템을 갖는 블라스트 가공 방법 및 장치, 박막 태양전지 패널의 가공 방법 및 이에 의해 가공된 박막 태양전지 패널 |
WO2010122851A1 (ja) * | 2009-04-21 | 2010-10-28 | シャープ株式会社 | ブラスト装置およびブラスト加工方法 |
US8801499B2 (en) | 2009-04-21 | 2014-08-12 | Sharp Kabushiki Kaisha | Blasting apparatus and method for blast processing |
US11306385B2 (en) * | 2019-02-19 | 2022-04-19 | Safran Aircraft Engines | Tooling for the coating of lips |
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Date | Code | Title | Description |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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A711 | Notification of change in applicant |
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