JP2005332663A - X線発生装置および電子ビーム制御方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 陰極11から発生した電子ビームBはターゲット12に衝突してX線が発生するまでに、各段の集束コイル131,132によって集束しながらターゲット12に向かう。このとき、コントローラ32は、第1、第2集束コイル131,132の間に電子ビームBが結像しないように、すなわち中間クロスオーバが形成されないように各段の集束コイル13を操作することで、結像することなく陰極11からターゲット12に電子ビームBは向かう。したがって、陰極11からターゲット12にわたって、電子ビームB中の電子同士の平均相対距離は常に十分に長くなり、クーロン相互作用による影響を小さくすることができる。
【選択図】 図3
Description
実験物理学講座23 電子顕微鏡, 上田良二 編 共立出版(1982),P328-330
2 … X線検出器
11 … 陰極
12 … ターゲット
13 … 集束コイル
131 … 第1集束コイル
132 … 第2集束コイル
31 … レンズ電源
311 … 第1レンズ電源
312 … 第2レンズ電源
32 … コントローラ
C … 中間クロスオーバ
B … 電子ビーム
Claims (2)
- 電子ビームを発生させる電子源と、前記電子源に対向配置され、電子源からの電子ビームの衝突によりX線を発生させるターゲットと、電子源と前記ターゲットとの間に配置され、電子ビームを集束させる複数の集束手段とを備えたX線発生装置であって、前記集束手段を操作することで電子ビームの集束を制御する制御手段を備え、その制御手段は、隣接する各集束手段の間に電子ビームが結像しないように各集束手段を操作することを特徴とするX線発生装置。
- 複数の集束手段により電子ビームを集束させて、電子ビームのターゲットへの衝突によりX線を発生させる際に、それらの集束手段を操作することで電子ビームの集束を制御する電子ビーム制御方法であって、隣接する各集束手段の間に電子ビームが結像しないように各集束手段を操作することを特徴とする電子ビーム制御方法。
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JP2004149078A JP2005332663A (ja) | 2004-05-19 | 2004-05-19 | X線発生装置および電子ビーム制御方法 |
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JP2004149078A JP2005332663A (ja) | 2004-05-19 | 2004-05-19 | X線発生装置および電子ビーム制御方法 |
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