JP2005326344A5 - - Google Patents

Claims (16)

1. 被測定物を回転させながら回転軸方向から測定を行う形状測定ステップと、前記回転軸方向と直交する方向から測定を行う補正値測定ステップと、前記形状測定ステップの測定結果と前記補正値測定ステップの測定結果から前記被測定物の３次元形状を得る算出ステップとを備えた３次元形状測定方法であって、
   前記補正値測定ステップは、保持部材と回転機構の位置を第１の相対位置にして測定を行う第１サブステップと、前記第１の相対位置とは異なる第２の相対位置にして測定を行う第２サブステップを少なくとも有することを特徴とする３次元形状測定方法。
2. 前記補正値測定ステップにおける測定は、前記回転軸に沿う所定の位置で行われ、
   前記第２の相対位置における前記保持部材の位置は、前記第１の相対位置における前記保持部材の位置から、前記回転軸の周りに前記保持部材を１８０度回転させた位置であり、
   前記第１サブステップにおける測定と前記第２サブステップにおける測定が、時間差を伴って行われることを特徴とする請求項１に記載の３次元形状測定方法。
3. 前記補正値測定ステップにおける測定は更に別の位置を含む２つの位置で行われ、
   前記別の位置は、前記所定の位置から前記回転軸方向に沿って所定の距離だけ離れた位置であることを特徴とする請求項２に記載の３次元形状測定装置。
4. 保持部材と回転機構の位置関係を、前記第１の相対位置及び前記第２の相対位置とは異なる第３の相対位置にして測定を行う第３サブステップを備え、
   前記補正値測定ステップにおける測定は前記回転軸に沿う所定の位置で行われ、
   前記第２の相対位置における前記保持部材の位置は、前記第１の相対位置における前記保持部材の位置から前記回転軸の周りに前記保持部材をΦ度回転させた位置であり、
   前記第３の相対位置における前記保持部材の位置は、前記第１の相対位置における前記保持部材の位置から前記回転軸の周りに前記保持部材を２Φ度回転させた位置であり、
   前記第１サブステップにおける測定、前記第２サブステップにおける測定及び前記第３サブステップにおける測定が、時間差をもって行われることを特徴する請求項１に記載の３次元形状測定方法。
5. 被測定物を回転させながら回転軸方向から測定を行う形状測定ステップと、前記回転軸方向と直交する方向から測定を行う補正値測定ステップと、前記形状測定ステップの測定結果と前記補正値測定ステップの測定結果から前記被測定物の３次元形状を得る算出ステップとを備えた３次元形状測定方法において、
   前記補正値測定ステップは、第１の方向から測定を行う第１サブステップと、前記第１の方向とは異なる第２の方向から測定を行う第２サブステップを少なくとも有し、
   前記補正値測定ステップにおける測定は前記回転軸に沿う所定の位置で行われ、
   前記第１サブステップにおける測定と前記第２サブステップにおける測定が同時に行われることを特徴とする３次元形状測定方法。
6. 前記第１の方向と前記第２の方向が互いに平行で、いずれも前記回転軸と交差することを特徴とする請求項５に記載の３次元刑状測定方法。
7. 前記補正値測定ステップは前記第１の方向及び前記第２の方向とは異なる第３の方向から測定を行う第３サブステップを有し、
   前記第１の方向、前記第２の方向及び前記第３の方向がいずれも前記回転軸と交差し、
   前記第１サブステップにおける測定、前記第２サブステップにおける測定及び前記第３サブステップにおける測定が同時に行われることを特徴とする請求項５に記載の３次元形状測定方法。
8. 前記補正値測定ステップは、前記回転軸に沿う異なる位置において測定を行う第４サブステップを少なくとも有し、
   該第４サブステップは、第１サブステップと第２サブステップ及び第３サブステップとを同時に行うことを特徴とする請求項７に記載の３次元形状測定方法。
9. 被測定物を回転させながら回転軸方向から測定を行う形状測定ステップと、前記形状測定ステップと同じ方向から測定を行う補正値測定ステップと、前記形状測定ステップの測定結果と前記補正値測定ステップの測定結果から前記被測定物の３次元形状を得る算出ステップとを備えた３次元形状測定方法において、
   前記補正値測定ステップは前記形状測定ステップで行う測定領域の周辺部を測定し、
   前記形状測定ステップにおける測定と前記補正値測定ステップにおける測定が同時に行われることを特徴とする３次元形状測定方法。
10. 前記補正値測定ステップは、前記周辺部における４つの位置を測定することを特徴とする請求項９に記載の３次元形状測定方法。
11. 前記補正値測定ステップにより、真円度形状誤差やラジアル方向の運動誤差を算出することを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の３次元形状測定方法。
12. 前記所定の位置における測定が、前記保持部材を測定する位置であることを特徴とする請求項２、４及び５のいずれか１項に記載の３次元形状測定方法。
13. 前記別の位置における測定が、前記回転機構を測定する位置であることを特徴とする請求項３又は５に記載の３次元形状測定方法。
14. 互いに直交する２つの軸のうちの一方の軸に沿って移動するＸステージと、
    前記２つの軸のうちの他方の軸に沿って移動するＺステージと、
    前記Ｚ軸ステージに設置されたプローブと、
    該前記プローブと対向する位置に配置された定盤と、
    前記定盤上に配置され、所定の回転軸の周りに回転するエアースピンドルと、
    前記エアースピンドルに設置された治具と、
    前記所定の回転軸に対して直交する方向に検出軸を有する位置検出器を有し、
    前記検出軸が前記治具と交差する位置に、前記位置検出器が配置されていることを特徴とする３次元形状測定装置。
15. 前記回転軸の周りに前記位置検出器を移動させる移動機構を有することを特徴とする請求項１４に記載の３次元形状測定装置。
16. 前記回転軸の周りであって前記位置検出器とは異なる位置に、別の位置検出器が配置されていることを特徴とする請求項１４に記載の３次元形状測定装置。