JP2005325449A - タンタル粉末およびそれを用いた固体電解コンデンサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】タンタル粉末の比表面積(m2/g)に対する前記タンタル粉末の水素含有量(ppm)の比が10〜100である水素を含有するタンタル粉末。
【選択図】図1
Description
特許文献1には、タンタルに50〜20000ppmの窒素を固溶させることで静電容量が大きく漏れ電流の少ないアノード(anode)が得られることが開示されている。
特許文献2では、タンタルに50〜10000ppmの窒素を含有させることで高温での焼結収縮率(shrinkage percentage)を小さくしている。その結果、この粉末の焼結体(sintered body)をアノードとしたコンデンサは、静電容量が大きくなりやすく、また、漏れ電流も小さくなり、信頼性の高いコンデンサが得られることが開示されている。
特許文献3には、タンタル粉末に500〜30000ppmの窒素を含有させ、各タンタル粉末の粒子間における窒素含有量のばらつきが、100%以下になるようにさせる技術が開示されている。この材料を焼結させると過剰な焼結が抑えられ、固体電解質(solid electrolyte)の形成に適した大きさの空孔(void)を均一に有する多孔質焼結体(porous sintered body)が得られる。その結果、該多孔質焼結体は、高CV(high capacitance voltage)コンデンサに最適であると開示されている。
特許文献4には比表面積が1.0〜4.0(m2/g)のタンタルに対し、窒素の含有濃度(ppm)の比が、500〜3000になるように、窒素を含有させる例が開示されている。このタンタル粉末を固体電解コンデンサのアノード材料として使用した場合、静電容量が大きく漏れ電流が少なく、長期の信頼性に優れた固体電解コンデンサが得られると記載されている。
本発明の固体電解コンデンサ用アノードおよび該アノードを使用した固体電解コンデンサにおいて、タンタル粉末は、好ましくは水素および窒素を含有し、該タンタル粉末の比表面積(m2/g)が4〜10m2/gであり、該タンタル粉末の比表面積(m2/g)に対する該タンタル粉末の水素含有量(ppm)の比が10〜100であり、該タンタル粉末の比表面積(m2/g)に対する該タンタル粉末の窒素含有量(ppm)の比が500以下である。
したがって、本発明のタンタル粉末の焼結体をアノードとして使用した固体電解コンデンサは、静電容量が大きく、かつ漏れ電流が少ない信頼性の高い固体電解コンデンサである。特に、静電容量200000μFV/g以上、漏れ電流1.0nA/μFV以下のタンタル固体電解コンデンサを得ることができる。
本発明の固体電解コンデンサは、静電容量が大きいため、小型の、より好ましくは薄型のコンデンサとすることができ、電気機器(electric equipment)、電子機器の小型化に大いに寄与する。
(1)本発明のタンタル粉末
本発明のタンタル粉末は、水素を含有するタンタル粉末であり、該タンタル粉末の比表面積(m2/g)に対する該タンタル粉末の水素含有量(ppm)の比が、10〜100の範囲のものである。なお、本発明の比表面積は、BET法により測定された比表面積の値を用いる。また、この比を、以下では「比(H)」と記す場合がある。
本発明のタンタル粉末は、上記の比(H)を満たす量で水素を含有することにより、従来のタンタル粉末よりも比表面積が大きい場合であっても、漏れ電流が低く、長期の信頼性に優れた固体電解コンデンサを提供する。
上記の比(H)が10未満では、固体電解コンデンサの漏れ電流が多く、静電容量が十分大きくならない。一方、上記の比(H)が100超であると、かえって固体電解コンデンサの漏れ電流が増加し、静電容量が減少する。
上記の比(N)を満たす量で窒素を含有すると、固体電解コンデンサの漏れ電流を低くおさえる効果により優れている。上記の比(N)が500以下であれば、固体電解コンデンサの漏れ電流をより低く抑えることができ、しかも固体電解コンデンサの静電容量も大きい。上記の比(N)は、40以上300以下であることがより好ましい。
したがって、本発明のタンタル粉末は、比表面積が4〜10m2/gであることが好ましい。
一方、比表面積が10m2/g超であると、タンタル粉末の表面活性が極めて高くなり、発火の危険性があるため、ハンドリングが困難になる。また、固体電解コンデンサのアノードとして使用するには、粉末の粒径が小さすぎるおそれがある。すなわち、固体電解コンデンサのアノードとして使用する場合、タンタル粉末は、焼結させた後、化成処理して酸化被膜を形成する。この際に、タンタルが酸化膜となって消費されて、酸化されず残るタンタルの量が減少する。比表面積が10m2/g超で、タンタル粉末の粒径が小さすぎると、化成処理後、酸化されずに残るタンタルの量が少なくなる。したがって、電極面積が減少し、静電容量が大きい固体電解コンデンサを製造することが困難になる。タンタル粉末の比表面積は、より好ましくは4〜8.5m2/gである。
上記した本発明のタンタル粉末を製造するには、比表面積が大きいタンタル粉末が得られる限り、公知の製造方法から広く選択することができる。好ましくはBET比表面積が4〜10m2/gのタンタル粉末である。
このような製造方法としては、具体的には、フッ化タンタル酸カリウムのナトリウム還元法、酸化タンタルのマグネシウム還元法、五塩化タンタルの気相水素還元法(Gas Phase Hydrogen Reduction Process)、タンタル金属の粉砕法等が挙げられる。
これらの製造方法により、所望の比表面積を有するタンタル粉末を製造し、得られたタンタル粉末を、上記した比を満たす量の水素、好ましくは水素および窒素を含有するよう後処理して本発明のタンタル粉末を得ることができる。
上記で得られたタンタル粉末を、水素、アルゴン、ヘリウム、ネオン等の希ガス(noble gas)気流中(水素含有タンタル粉末を得る場合)あるいは、水素、窒素、およびアルゴン、ヘリウム、ネオン等の希ガス気流中(水素および窒素含有タンタル粉末を得る場合)で加熱処理することで、所定量の水素を含有する、または所在量の水素および窒素を含有するタンタル粉末を得ることができる。タンタル粉末に含まれる水素量および窒素量は、加熱処理温度、加熱処理時間もしくは加熱処理時に流通するガス組成のいずれか、またはこれらの組み合わせにより調整することができる。
好適な処理条件は、加熱処理温度が300〜1000℃、加熱処理時間が1〜60分である。
次に本発明のタンタル粉末を用いて固体電解コンデンサを製造する。図1に固体電解コンデンサの縦断面図を模式的に示す。固体電解コンデンサ10は、タンタル焼結体11、酸化タンタル12、固体電解質層13、グラファイト層14、銀層15が積層された構造となっている。
まず始めに、上記で得られたタンタル粉末に、バインダーを合計で3〜5質量%添加して、充分に混合させた後、プレス成形し、長さ2.4mm、幅3.4mm、厚さ1.8mmの直方体のぺレットに調製する。プレス時の荷重は、3〜15MN(Mega Newton)/m2、プレス体の嵩密度は、3200〜4000kg/m3が好ましい。好ましいバインダーとして、ショウノウ、ステアリン酸、ポリビニルアルコール、ナフタレン等から選ばれる少なくとも1種を例示できる。
該ぺレットを、炉内圧力1×10−3Pa以下の真空中で、約1000〜1400℃で0.3〜1時間程度加熱して焼結させる。なお、焼結温度は、比表面積に応じて適宜設定できる。これにより、多孔性のタンタルの焼結体が得られる。
次に、該焼結体の表面上にポリピロール(polypyrrole)、ポリチオフェン(polythiophen)等の固体電解質層13、グラファイト層14、銀層15をこの順で順次形成する。
最後にタンタルの焼結体11に外部端子18(アノード)を接続し、銀層15に導電性接着剤16を介して外部端子19(カソード)を接続する。
最後に、全体を樹脂17で被覆し、エージング(aging)を行うことにより、固体電解コンデンサ10が得られる。
(実施例1)
出力20kWのDCプラズマCVD装置に電極ガス(electrode working gas)としてアルゴン20NL(Normal Litter)/minを供給し、大気圧下でプラズマアークを発生させた。このプラズマアーク中に、350℃で気化させた五塩化タンタルのガス(五塩化タンタルの重量換算で15g/min)をアルゴン10NL/minに同伴させた混合ガスと還元用の水素ガス80NL/minをプラズマアーク中に導入し、気相水素還元反応を行いタンタル粉末を得た。
実施例1の気相水素還元法で得られたタンタル粉末を、アルゴン5NL/minと窒素1NL/minとの混合ガス気流下で処理する際の処理温度を表1に示す温度に変えたこと以外は実施例1と同様に実施した。なお、比較例2で無処理とあるのは、アルゴン5NL/minと窒素1NL/minとの混合ガス気流中で加熱処理していないことを示す。結果を表1に示す。
本発明の範囲の実施例1および2〜4は、いずれも漏れ電流は、0.5nA/μFV以下、静電容量は、160,000μFV/g以上が得られたが、比較例1〜2は、比表面積に対する水素含有量の比が本発明の範囲を外れているので、実施例に比べ、大きな漏れ電流と、小さな静電容量となった。
出力20kWのDCプラズマCVD装置に電極ガスとしてアルゴン20NL/minを供給し、大気圧下でプラズマアークを発生させた。このプラズマアーク中に、350℃で気化させた五塩化タンタルのガス(五塩化タンタルの重量換算で10g/min)をアルゴン10NL/minに同伴させた混合ガスおよび水素ガス100NL/minをプラズマアーク中に導入し、気相水素還元反応を行いタンタル粉末を得た。
実施例5の気相水素還元法で得られたタンタル粉末をアルゴン5NL/minと窒素1NL/minとの混合ガス気流中で処理する際の処理温度を表2に示す温度に変えたこと以外は実施例5と同様に実施した。比較例4で無処理とはタンタル粉未をアルゴン5NL/minと窒素1NL/minとの混合ガス気流中で加熱処理していないことを示す。結果を表2に示す。
本発明の範囲の実施例5および6〜8は、いずれも漏れ電流は、0.9nA/μFV以下、静電容量は360,000μFV/g以上が得られたが、比較例3〜4は、比表面積に対する水素含有量の比が本発明の範囲を外れているので、実施例に比べ、大きな漏れ電流と、小さな静電容量となった。
出力40kWのDCプラズマCVD装置に電極ガスとしてアルゴン20NL/minを供給し、大気圧下でプラズマアークを発生させた。このプラズマアーク中に、350℃で気化させた五塩化タンタルのガス(五塩化タンタルの重量換算で20g/min)をアルゴン10NL/minに同伴させた混合ガスおよび水素ガス100NL/minをプラズマアーク中に導入し、気相水素還元反応を行いタンタル粉末を得た。
実施例9の気相水素還元法で得られたタンタル粉末をアルゴン5NL/minと窒素1NL/minとの混合ガス気流中で処理する際の処理温度を表3に示す温度に変えたこと以外は実施例9と同様に行った。比較例6で無処理とはタンタル粉末をアルゴン5NL/minと窒素1NL/minとの混合ガス気流中で加熱処理していないことを示す。結果を表3に示す。
本発明の範囲の実施例9および10〜11は、いずれも漏れ電流は、0.5nA/μFV以下、静電容量は、144,000μFV/g以上が得られたが、比較例5〜6は、比表面積に対する水素含有量の比が本発明の範囲を外れているので、実施例に比べ、大きな漏れ電流と、小さな静電容量となった。
実施例6と比較例3のタンタル粉末を使って、漏れ電流の経時変化を1000時間まで測定した結果を図2に示す。
その結果、本発明実施例6の固体電解コンデンサの漏れ電流は、長期間にわたって、経時変化が小さく、非常に信頼性のあることが示された。
一方、比較例3の場合は、試験開始直後から漏れ電流が増加し始めていることが分かった。
実施例1においてプラズマアーク中に導入する水素ガス量を80NL/minから40NL/minに変えた以外は、実施例1と同一の装置および反応条件で反応を行いタンタル粉末を得た。この粉末はその後の熱処理をしなかった。結果を表4に示す。
このような実質的に窒素が含有しないタンタル粉末でも、本発明の範囲であり、漏れ電流が小さく、静電容量の高いものが得られた。
実施例1においてプラズマアーク中に導入する水素ガス量を80NL/minのかわりに、水素ガス量40NL/minおよび窒素ガス量10NL/minの混合ガスに変えた以外は、実施例1と同一の装置および反応条件で反応を行いタンタル粉末を得た。この粉末はその後の熱処理をしなかった。結果を表4に示す。
気相水素還元反応の際、水素とともに窒素を同伴させた水素のみを含有したタンタル粉末でも、本発明の範囲であり、漏れ電流が小さく、静電容量の高いものが得られた。
実施例13においてプラズマアーク中に導入する水素ガス量を80NL/minのかわりに、水素ガス量120NL/minに変えた以外は、実施例1と同ーの装置および反応条件で反応を行いタンタル粉末を得た。この粉末はその後の熱処埋をしなかった。結果を表4に示す。
このような実質的に窒素を含有しないタンタル粉末でも、本発明の範囲を外れると、実施例13に比べて、漏れ電流が大きく、静電容量が低いものとなった。
11 タンタル焼結体
12 酸化タンタル
13 固体電解質層
14 グラファイト層
15 銀層
16 導電性接着剤
17 樹脂
18 外部端子(アノード)
19 外部端子(カソード)
Claims (5)
- タンタル粉末の比表面積(m2/g)に対する前記タンタル粉末の水素含有量(ppm)の比が10〜100である水素を含有するタンタル粉末。
- 請求項1において、前記タンタル粉末がさらに窒素を含有し、前記タンタル粉末の比表面積(m2/g)に対する前記タンタル粉末の窒素含有量(ppm)の比が500以下であるタンタル粉末。
- 請求項1または2において、前記タンタル粉末の比表面積が4〜10m2/gであるタンタル粉末。
- 請求項1〜3の任意のいずれかに記載のタンタル粉末を用いた固体電解コンデンサ用アノード。
- 請求項4に記載の固体電解コンデンサ用アノードを含む固体電解コンデンサ。
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