JP2005322940A - 外部接続電極付電子部品及び回路モジュール - Google Patents

外部接続電極付電子部品及び回路モジュール Download PDF

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Abstract

【課題】銀含有下地層を有する外部接続電極を備える電子部品をプリント回路基板にはんだ付け接続した回路モジュールは、高温高湿度下に電圧を引加された状態で長時間保持されると銀がイオンマイグレーションを起こし、回路の信頼性を損なう。
【解決手段】下地層bと中間メッキ層cと錫含有の表面層dを有する外部接続電極の中間メッキ層を下地層縁部先端より延設し、その中間メッキ層で下地層を埋設し、下地層の縁部周辺先端位置におけるセラミック素体に対する垂線の中間メッキ層及び表面層の接触面までの距離h 1 が該縁部周辺先端位置から該中間メッキ層の延長幅分基端側におけるセラミック素体に対する垂線の該下地層及び中間メッキ層の接触面までの距離h 2 の0.9倍以下にする。その外部接続電極を有する電子部品をはんだ付け接続した回路モジュール。【選択図】 図1

Description

本発明は、チップ状積層コンデンサ等の電子部品の外部接続電極の構造及びその電子部品を用いた回路モジュールに関するものである。
積層型磁器コンデンサ、チップ状インダクタ、チップ状サーミスタ、チップ状LC複合部品、各種アレイ等のセラミック電子部品をプリント回路基板に搭載して使用することが行われている。
例えば積層型磁器コンデンサは、図3に示すように、誘電体と内部電極を順次積層したセラミック素体1の両端に外部接続電極2、2を形成したものであるが、プリント回路基板3のはんだ付けランド3a、3aにはんだ付け接続されて使用される。その動作は回路の電圧がはんだ付けランド3a、3aから外部接続電極2、2間に印加されることにより行なわれる、いわゆる電圧印加により動作する電圧動作モードであり、これに属する他の部品としては、トランス部品、LC複合部品、CR複合部品等の各種単品及びアレイがある。
また、チップ状インダクタとしては例えばフェライトビーズは、図4に示すように、角柱状フェライト磁性層の中心に内部導体を設けたセラミック素体4の両端に外部接続電極5、5を形成したものであるが、プリント回路基板6の例えば電源ライン6aの近傍のはんだ付けランド6b、6bにはんだ付け接続されて使用される。その動作は回路の電流がはんだ付けランド6b、6bにより外部接続電極5、5間に流れて動作される、いわゆる電流を流すことにより動作する電流動作モードであり、これに属する他の部品としては抵抗体、バリスタ、サーミスタ、インダクタ等の各種単品及びアレイがある。
このような電子部品の外部接続電極は、図3に示すように、AgあるいはAg−Pdを含む導電材料ペーストをセラミック素体1の両端に塗布し、焼付け処理をして焼付け導電体膜の下地層2aを形成し、その上にNiメッキの中間層2bを形成し、さらにSnあるいはSn−PbのSn含有メッキの表面層2cを形成することにより作成されるのが一般的である。
下地層はセラミック素体に直接電解メッキを施すことができないために設けられるが、Agが高価であるので、コストダウンのためには薄く形成される。中間層は直接Sn含有メッキ層を形成すると下地層のAgがそのメッキ層に溶け込む、いわゆる食われ現象を生じるのでSn含有メッキ層に対するバリアー層として設けられ、下地層を薄くした場合に特に有効である。Sn含有メッキ層は部品をプリント回路基板に実装するときにはんだ付け性を良くするためである。
該当文献見当たらず
しかしながら、上記外部接続電極を有するセラミック電子部品においては、例えば図3に示すように、両外部接続電極間2、2に電圧が印加された状態、あるいは図4に示すように、電源ライン6aと電流の流れているフェライトビーズの間に電圧差がある状態で、高温、高湿度下の過酷な環境下に長期間使用された場合には、外部接続電極の下地層に含まれているAgがはんだ付け接続部を通してプリント回路基板3、6のはんだ付けランド側に逐次拡散する、いわゆる銀のイオンマイグレーション現象が起こり、対向するはんだ付けランド3a、3a間、6b、6b間あるいは図示省略した隣接する他の回路配線との間において耐電圧の低下、さらには短絡するという問題が生じ易い。
本発明の第1の目的は、外気等の接触から下地層を保護した外部接続電極付電子部品及びこれを用いた回路モジュールを提供することにある。
本発明の第2の目的は、プリント回路基板に実装されて電圧印加され長時間使用されても下地層の金属のイオンマイグレーションの生じ難い外部接続電極を有する外部接続電極付電子部品及びこれを用いた回路モジュールを提供することにある。
本発明は、上記課題を解決するために、(1)、セラミック素体に外部接続電極を有する電子部品において、該外部接続電極は下地層と、該下地層を被覆する少なくとも1層からなる中間メッキ層と、該中間メッキ層を被覆するメッキの表面層を有し、かつ該中間メッキ層は該下地層の縁部周辺先端より該セラミック素体表面上まで延設され、該下地層は該中間メッキ層により埋設されている外部接続電極付電子部品であって、該下地層の縁部周辺先端位置におけるセラミック素体に対する垂線の中間メッキ層及び表面層の接触面までの距離が該縁部周辺先端位置から該中間メッキ層の延長幅分基端側におけるセラミック素体に対する垂線の該下地層及び中間メッキ層の接触面までの距離の0.9倍以下である外部接続電極付電子部品を提供するものである。
また、本発明は、(2)、下地層は銀含有層であり、中間メッキ層はニッケル層及び銅層の少なくとも1層であり、メッキの表面層は錫含有層である上記(1)の外部接続電極付電子部品、(3)、電子部品実装ランドにはんだ接続された電子部品を有する回路モジュールにおいて、該電子部品はセラミック素体に外部接続電極を有し、該外部接続電極は下地層と、該下地層を被覆する少なくとも1層からなる中間メッキ層と、該中間メッキ層を被覆する表面層を有し、かつ該中間メッキ層は該下地層の縁部周辺先端より該セラミック素体表面上まで延設され、該下地層は該中間メッキ層により埋設されている回路モジュールであって、該下地層の縁部周辺先端位置におけるセラミック素体に対する垂線の中間メッキ層及び表面層の接触面までの距離が該縁部周辺先端位置から該中間メッキ層の延長幅分基端側におけるセラミック素体に対する垂線の該下地層及び中間メッキ層の接触面までの距離の0.9倍以下である回路モジュール、(4) 電子部品実装ランド近傍に電源ラインを有する上記(3)の回路モジュール、(5)、下地層は銀含有層であり、中間メッキ層はニッケル層及び銅層の少なくとも1層であり、表面層は該中間メッキ層上の錫含有メッキ層とはんだ付け時のはんだと一体の層である上記(3又は(4)の回路モジュールを提供するものである。
また、(6)、セラミック素体に外部接続電極を有する電子部品において、該外部接続電極は下地層と、該下地層を被覆する少なくとも1層からなる中間メッキ層と、該中間メッキ層を被覆するメッキの表面層を有し、かつ該中間メッキ層は該下地層の縁部周辺先端より該セラミック素体表面上まで延設され、該下地層は該中間メッキ層により埋設されている外部接続電極付電子部品であって、上記中間メッキ層がセラミック素体表面上まで延設されるその延長幅の寸法は下地層の縁部周辺先端位置における該中間メッキ層の膜厚の寸法より大きく、かつ該延長幅は3μm以上である外部接続電極付電子部品、(7)、中間メッキ層がセラミック素体表面上まで延設されるその延長幅は5μm以上である上記()の外部接続電極付電子部品、(8)、中間メッキ層の延長幅の寸法は下地層の縁部周辺先端位置における該中間メッキ層の膜厚の寸法の1.1倍以上である上記()の外部接続電極付電子部品、()、中間メッキ層の延長幅の寸法は下地層の縁部周辺先端位置における該中間メッキ層の膜厚の寸法の1.5倍以上である上記()の外部接続電極付電子部品、(10)、下地層の縁部周辺先端位置におけるセラミック素体に対する垂線の中間メッキ層及びメッキの表面層の接触面までの距離が該縁部周辺先端位置から該中間メッキ層の延長幅分基端側におけるセラミック素体に対する垂線の該下地層及び中間メッキ層の接触面までの距離より小さい上記()ないし()のいずれかの外部接続電極付電子部品、(11)、下地層の縁部周辺先端位置におけるセラミック素体に対する垂線の中間メッキ層及び表面層の接触面までの距離が該縁部周辺先端位置から該中間メッキ層の延長幅分基端側におけるセラミック素体に対する垂線の該下地層及び中間メッキ層の接触面までの距離の0.9倍以下である上記(10)の外部接続電極付電子部品、(12)、下地層は銀含有層であり、中間メッキ層はニッケル層及び銅層の少なくとも1層であり、メッキの表面層は錫含有層である上記()ないし(11)のいずれかの外部接続電極付電子部品、(13)、電子部品実装ランドにはんだ接続された電子部品を有する回路モジュールにおいて、該電子部品はセラミック素体に外部接続電極を有し、該外部接続電極は下地層と、該下地層を被覆する少なくとも1層からなる中間メッキ層と、該中間メッキ層を被覆する表面層を有し、かつ該中間メッキ層は該下地層の縁部周辺先端より該セラミック素体表面上まで延設され、該下地層は該中間メッキ層により埋設されている回路モジュールであって、上記中間メッキ層がセラミック素体表面上まで延設されるその延長幅の寸法は下地層の縁部周辺先端位置における該中間メッキ層の膜厚の寸法より大きく、かつ該延長幅は3μm以上である回路モジュール、(14)、中間メッキ層がセラミック素体表面上まで延設されるその延長幅は5μm以上である上記(13)の回路モジュール、(15)、中間メッキ層の延長幅の寸法は下地層の縁部周辺先端位置における該中間メッキ層の膜厚の寸法の1.1倍以上である上記(13)の回路モジュール、(16)、中間メッキ層の延長幅の寸法は下地層の縁部周辺先端位置における該中間メッキ層の膜厚の寸法の1.5倍以上である上記(13)の回路モジュール、(17)、下地層の縁部周辺先端位置におけるセラミック素体に対する垂線の中間メッキ層及び表面層の接触面までの距離が該縁部周辺先端位置から該中間メッキ層の延長幅分基端側におけるセラミック素体に対する垂線の該下地層及び中間メッキ層の接触面までの距離より小さい上記(13)ないし(16)のいずれかの回路モジュール、(18)、下地層の縁部周辺先端位置におけるセラミック素体に対する垂線の中間メッキ層及び表面層の接触面までの距離が該縁部周辺先端位置から該中間メッキ層の延長幅分基端側におけるセラミック素体に対する垂線の該下地層及び中間メッキ層の接触面までの距離の0.9倍以下である上記(13)ないし(16)のいずれかの回路モジュール、(19)、電子部品実装ランド近傍に電源ラインを有する上記(13)ないし(18)のいずれかの回路モジュール、(20)、下地層は銀含有層であり、中間メッキ層はニッケル層及び銅層の少なくとも1層であり、表面層は該中間メッキ層上の錫含有メッキ層とはんだ付け時のはんだと一体の層である上記(13)ないし(19)のいずれかの回路モジュールを提供するものである。
本発明によれば、例えば銀含有の下地層を例えばニッケルメッキ層、銅メッキ層の中間層に埋設し、下地層の縁部周辺先端位置におけるセラミック素体に対する垂線の中間メッキ層及び表面層の接触面までの距離が該縁部周辺先端位置から該中間メッキ層の延長幅分基端側におけるセラミック素体に対する垂線の該下地層及び中間メッキ層の接触面までの距離の0.9倍以下にしたので、銀含有の下地層は外気と遮断され、その湿分や酸素の影響を受けることがなく、したがって高温高湿度の大気下において長期間その構造を有する外部接続電極に電圧が印加された状態でも銀はイオン化することを避けられ、マイグレーションすることを避けることができる。これにより、その外部接続電極を有する電子部品を用いた回路モジュールの信頼性と寿命を長くすることができる。
本発明において、「下地層を被覆する少なくとも1層の中間メッキ層」とは、例えばニッケル含有層及び銅含有層の少なくとも1層からなる中間メッキ層であり、その場合ニッケルメッキ層、銅メッキ層のいずれか一方でも良いが、両者を積層したものでも良い。
また、本発明において、「下地層」としては銀含有層、例えばAgやAg−Pdを含有する層が挙げられ、「メッキの表面層」としてはSn含有層、例えばSn単独層、Sn−Pbのはんだ層が挙げられ、「メッキ」とは電解メッキ、無電解メッキのいずれでも良く、両者を併用しても良い。
本発明において、例えば銀含有の下地層から銀がイオンマイグレーションを起こさないためには、図1に示すように、中間メッキ層cがセラミック素体a表面上まで延設されるその延長幅Lは、3μm以上、好ましくは5μm以上であり、また、その延長幅Lの寸法は下地層の縁部周辺先端位置の該中間メッキ層cの膜厚Dの寸法より大きく、1.1倍、好ましくは1.5倍以上が良く、また、下地層bの縁部周辺先端位置におけるセラミック素体aに対する垂線の中間メッキ層c及び表面層dの接触面までの距離h1 がその縁部周辺先端位置から上記延長幅L寸法分基端側におけるセラミック素体aの垂線の下地層b及び中間メッキ層cとの接触面までの距離h2 より小さく、0.9倍以下であることが好ましい。
電子部品としては、上記の「従来の技術」の項で挙げた電圧動作モードのもの、電流動作モードのもののいずれも使用できる。
また、本発明においては、電子部品を実装した回路モジュールを提供するが、この回路モジュールにおける電子部品の外部接続電極はプリント回路基板のはんだ付けランドにはんた付けされているので、上記電子部品における外部接続電極のメッキの表面層ははんだ付け時のはんだにより溶融されこれと一体になっているので、これを「表面層」と言い、電子部品の外部接続電極の「メッキの表面層」と区別する。回路モジュールには、上記「従来の技術」の項で説明した図3、図4に示されたもの等が含まれ、電源ラインが設けられているものも含む。
〔作用〕
下地層は中間メッキ層に埋設されたので、外気等の接触から遮断され、大気中の湿気や酸素による影響を受けることがなく、外部接続電極に電圧が印加された状態で長期保持されても、例えば下地層に銀含有層を用いても銀のイオンマイグレーションをないようにできる。
次に本発明の実施例を説明する。
実施例1
図2(イ)に示すように、銀導体を中心軸として有するチップ型のフェライトビーズのセラミック素体11を作成し、同図(ロ)に示すようにその両端に導電体材料ペースト(Ag−Pd粉末75重量部、エチルセルロース5重量部、テルピネオール20重量部)をスクリーン印刷により塗布し、800℃、10分間焼付けてAg−Pd焼付導電体膜12を形成し、Ag−Pd焼付導電体膜付セラミック素体13を作成する。
ついで、図5に示すように、メッシュのバレル21の中に陰極22を設け、これに対応してバレルの外部に設けた陽極23との間にニッケルのメッキ浴24を介在させたバレル電解メッキ装置を用い、バレル21中に上記Ag−Pd焼付導電体膜付セラミック素体13、13・・・、あるいはこれらが少ない場合には粒状の導体のダミー(メディアボール)25、25・・・を入れ、これらを一緒にして撹拌しながら電解ニッケルメッキを行なう。その際のメッキ条件は、液温50℃、電流密度0.3A/cm2 、通電時間60分にする。26は直流電源である。
この電解ニッケルメッキにより、図2(ハ)に示すように上記Ag−Pd焼付導電体膜付セラミック素体13のAg−Pd焼付導電体膜12の全体を被覆し、さらにその縁部周辺の先端側のセラミック素体11上に延設したNiメッキ膜14を形成した。
そして、上記と同様な別のバレル電解メッキ装置を用い、メッキ液にはんだメッキ液を使用し、液温40℃、電流密度0.3A/cm2 ではんだの電解メッキを行い、図2(ニ)に示すようにはんだメッキ膜15を形成した。
このようにして、セラミック素体11の両端にAg−Pd焼付導電体膜12の下地層、Niメッキ膜14の中間層、はんだメッキ膜15の表面層からなる外部接続電極16、16を有する大きさが3.2mm×1.6mm×1.1mmのチップ型のフェライトビーズを作成した。
このチップ型のフェライトビーズの一方の外部電極について、研磨を行ない、図2(ニ)に図示の○で囲った部分の断面を3500倍の電子顕微鏡写真を撮ったところ、Ag−Pd焼付導電体膜12の膜厚は30μm(一定部分)、その先端位置のNiメッキ膜14の膜厚(図1のDに相当)は2.5μm、はんだメッキ膜15の膜厚(一定部分)は3.2μmであり、また、Niメッキ膜14のAg−Pd焼付導電体膜12の縁部周辺先端よりの延長幅(図1のLに相当)は3.5μmであり、また、Ag−Pd焼付導電体膜12の縁部周辺先端におけるセラミック素体11における垂線のNiメッキ膜14とはんだメッキ膜15との接触面までに到る距離(図1のh1 に相当)は2.8μmであり、上記Ag−Pd焼付導電体膜12位置から上記延長幅寸法分基端側のセラミック素体11の垂線のAg−Pd焼付導電体膜12とNiメッキ膜14との接触面までに到る距離(図1のh2 に相当)は3.2μmであり、両者の比(図1のh1 /h2 に相当)は0.875であった。
上記と同様にして作成したフェライトビーズを10個、図4に示すようにプリント回路基板6にはんだ付けを行ない、試験用回路基板を作成した。この回路基板を85℃、85%RH(相対湿度)条件下におき、電源ライン6aと、はんだ付けランド6b、6b間に直流10Vの電圧を100時間印加し、銀のマイグレーションの有無を拡大鏡により観察を行った結果、マイグレーションの発生が一個も確認されなかった。
比較例1
実施例1において、ニッケル電解メッキ条件を電流密度0.15A/cm2 、通電時間60分とした以外は同様にしてチップ状のフェライトビーズを作成し、実施例1と同様に電子顕微鏡写真を撮って調べたところ、図1のDに相当する膜厚は1.3μm、図1のLに相当する延長幅は1.8μm、図1のh1 に相当する距離は1.4μm、図1のh2 に相当する距離は1.5μm、図1のh1 /h2 に相当する比は0.93であった。
また、実施例1と同様に試験用回路基板を作成し、これについても同様に銀のマイグレーションを観察したところ、8個についてマイグレーションの発生が確認された。
実施例2
実施例1において、電解メッキ条件の電流密度を比較例1と同じ電流密度0.15A/cm2 とし、通電時間を120分にした以外は同様にしてチップ状のフェライトビーズを作成し、実施例1と同様に電子顕微鏡写真を撮って調べたところ、図1のDに相当する膜厚は2.8μm、図1のLに相当する延長幅は5.2μm、図1のh1 に相当する距離は3.1μm、図1のh2 に相当する距離は4.0μm、図1のh1 /h2 に相当する比は0.775であった。
また、実施例1と同様に試験用回路基板を作成し、これについても同様に銀のマイグレーションを観察したところ、マイグレーションの発生が一個も確認されなかった。
実施例3
実施例1において、Niメッキ膜の代わりに、Cuメッキ膜を下記組成の無電解銅メッキ液に図2(ロ)のAg−Pd焼付導電体膜付セラミック素体13を40分浸漬することにより形成した以外は同様にしてチップ状のフェライトビーズを作成し、実施例1と同様に電子顕微鏡写真を撮って調べたところ、図1のDに相当する膜厚は2.0μm、図1のLに相当する延長幅は3.1μm、図1のh1 に相当する距離は2.3μm、図1のh2 に相当する距離は3.0μm、図1のh1 /h2 に相当する比は0.77であった。
CuSO4 ・5H2 O 8.75g/l(リットル)
ロッシェル塩 37.50g/l
NaOH 11.30g/l
ホルムアルデヒド 8.5ml/l
また、実施例1と同様に試験用回路基板を作成し、これについても同様に銀のマイグレーションを観察したところ、マイグレーションの発生が一個も確認されなかった。
比較例2
実施例3において、Ag−Pd焼付導電体膜付セラミック素体13を メッキ液に15分浸漬することによりCuメッキ膜を形成した以外は同様にしてチップ状のフェライトビーズを作成し、実施例1と同様に電子顕微鏡写真を撮って調べたところ、図1のDに相当する膜厚は0.9μm、図1のLに相当する延長幅は1.2μm、図1のh1 に相当する距離は1.0μm、図1のh2 に相当する距離は1.0μm、図1のh1 /h2 に相当する比は1.0であった。
また、実施例1と同様に試験用回路基板を作成し、これについても同様に銀のマイグレーションを観察したところ、9個についてマイグレーションの発生が確認された。
実施例4
実施例3において、CuSO4 ・5H2 Oの濃度を8.75g/l(リットルの代わりに13.0g/lにした以外は同様にしてチップ状のフェライトビーズを作成し、実施例1と同様に電子顕微鏡写真を撮って調べたところ、図1のDに相当する膜厚は2.2μm、図1のLに相当する延長幅は4.1μm、図1のh1 に相当する距離は2.5μm、図1のh2 に相当する距離は2.9μm、図1のh1 /h2 に相当する比は0.86であった。
また、実施例1と同様に試験用回路基板を作成し、これについても同様に銀のマイグレーションを観察したところ、マイグレーションの発生が一個も確認されなかった。
実施例5
実施例1と同様にして外部接続電極を形成した図3に示すチップ状積層セラミックコンデンサを得た。これについても実施例1と同様に電子顕微鏡写真により調べたところ、ほぼ同様の結果が得られた。
また、このチップ状積層セラミックコンデンサを図3に示すようにはんだ付けを行なって得た実施例1と同様な試験用回路基板について、はんだ付けランド3a、3a間に実施例1と同様な条件で電圧を印加し、銀のマイグレーションを観察したところ、マイグレーションの発生が一個も確認されなかった。
比較例3
比較例1において、チップ状のフェライトビーズの代わりに実施例5で得たチップ状積層セラミックコンデンサを使用した以外は同様にして外部接続電極を形成したチップ状積層セラミックコンデンサを得た。これについても、実施例1と同様に電子顕微鏡写真を撮って調べたところ、図1のDに相当する膜厚は1.2μm、図1のLに相当する延長幅は1.6μm、図1のh1 に相当する距離は1.2μm、図1のh2 に相当する距離は1.3μm、図1のh1 /h2 に相当する比は0.92であった。
また、実施例1と同様に試験用回路基板を作成し、これについても同様に銀のマイグレーションを観察したところ、10個についてマイグレーションの発生が確認された
本発明の電子部品の外部接続電極の構造を説明する部分断面説明図である。 本発明の一実施例の電子部品であるフェライトビーズの製造工程を示す断面説明図である。 チップ状積層セラミックコンデンサの使用状態の部分断面図である。 チップ状フェライトビーズの使用状態の部分平面図である。 バレル電解メッキ装置の断面説明図である。
符号の説明
a、11 セラミック素体
b、12 下地層
c、14 中間メッキ層
d 表面層
15 メッキの表面層
16 外部接続電極

Claims (5)

  1. セラミック素体に外部接続電極を有する電子部品において、該外部接続電極は下地層と、該下地層を被覆する少なくとも1層からなる中間メッキ層と、該中間メッキ層を被覆するメッキの表面層を有し、かつ該中間メッキ層は該下地層の縁部周辺先端より該セラミック素体表面上まで延設され、該下地層は該中間メッキ層により埋設されている外部接続電極付電子部品であって、該下地層の縁部周辺先端位置におけるセラミック素体に対する垂線の中間メッキ層及び表面層の接触面までの距離が該縁部周辺先端位置から該中間メッキ層の延長幅分基端側におけるセラミック素体に対する垂線の該下地層及び中間メッキ層の接触面までの距離の0.9倍以下である外部接続電極付電子部品。
  2. 下地層は銀含有層であり、中間メッキ層はニッケル層及び銅層の少なくとも1層であり、メッキの表面層は錫含有層である請求項1に記載の外部接続電極付電子部品。
  3. 電子部品実装ランドにはんだ接続された電子部品を有する回路モジュールにおいて、該電子部品はセラミック素体に外部接続電極を有し、該外部接続電極は下地層と、該下地層を被覆する少なくとも1層からなる中間メッキ層と、該中間メッキ層を被覆する表面層を有し、かつ該中間メッキ層は該下地層の縁部周辺先端より該セラミック素体表面上まで延設され、該下地層は該中間メッキ層により埋設されている回路モジュールであって、該下地層の縁部周辺先端位置におけるセラミック素体に対する垂線の中間メッキ層及び表面層の接触面までの距離が該縁部周辺先端位置から該中間メッキ層の延長幅分基端側におけるセラミック素体に対する垂線の該下地層及び中間メッキ層の接触面までの距離の0.9倍以下である回路モジュール。
  4. 電子部品実装ランド近傍に電源ラインを有する請求項3に記載の回路モジュール。
  5. 下地層は銀含有層であり、中間メッキ層はニッケル層及び銅層の少なくとも1層であり、表面層は該中間メッキ層上の錫含有メッキ層とはんだ付け時のはんだと一体の層である請求項3又は4に記載の回路モジュール。
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