JP2005314757A - 無電解めっき装置および無電解めっき方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 配線パターンが細くなることを防止しつつ、配線パターン上に無電解めっきを施すことができる無電解めっき装置および無電解めっき方法を提供することである。
【解決手段】 めっき槽10内の上部には複数の搬送ローラ11,12がそれぞれ水平方向に延びるように配置される。搬送ローラ11,12が回転することにより、フィルム状配線回路基板13は幅方向を水平方向に向けた状態で矢印Xの方向に搬送され、めっき液20中に浸漬しつつ移動する。めっき槽10内の下部にめっき液の注入口15が配置される。めっき槽10内の上部にめっき液の排出口17が配置される。注入口15と搬送ローラ11,12との間に遮蔽板19が配置される。
【選択図】 図1
【解決手段】 めっき槽10内の上部には複数の搬送ローラ11,12がそれぞれ水平方向に延びるように配置される。搬送ローラ11,12が回転することにより、フィルム状配線回路基板13は幅方向を水平方向に向けた状態で矢印Xの方向に搬送され、めっき液20中に浸漬しつつ移動する。めっき槽10内の下部にめっき液の注入口15が配置される。めっき槽10内の上部にめっき液の排出口17が配置される。注入口15と搬送ローラ11,12との間に遮蔽板19が配置される。
【選択図】 図1
Description
本発明は無電解めっき装置および無電解めっき方法に関する。
TAB(TAPE AUTOMATED BONDING)用テープキャリア等のフィルム状配線回路基板においては、配線パターンの上に無電解めっきを施すことにより、電子部品接続用端子が形成されている。
フィルム状配線回路基板(以下、配線回路基板と略記する)に無電解めっきを施す場合には、無電解めっき装置が用いられる。無電解めっき装置においては、めっき槽の中にめっき液が充填され、配線回路基板を搬送ローラで搬送しつつ、めっき液に浸漬する(特許文献1参照)。それにより、配線回路基板上に無電解めっきが施される。
一般的にめっき液中の異物を排除するために、めっき槽中にめっき液の注入口および排出口が設けられ、送液ポンプにより排出口から排出されためっき液がフィルタでろ過された後、注入口からめっき槽に戻され、めっき液が循環する。それにより、めっき液中の異物が排除される。
特開平10−50774号公報
しかしながら、上記のような無電解めっき装置を用いて錫めっきを行った場合、配線パターンが細くなる現象が生じた。
配線パターンが細くなると、電子部品の接続信頼性が低下する。また、配線の電気抵抗が大きくなるので、電子部品の機能に障害が生じる場合がある。
本発明の目的は、配線パターンが細くなることを防止しつつ、配線パターン上に無電解めっきを施すことができる無電解めっき装置および無電解めっき方法を提供することである。
本発明者は、種々の実験および検討を重ねた結果、めっき液収容部に注入口からめっき液が注入される際に、噴出流が配線回路基板の配線パターンに当たることにより配線パターンがエッチングされることを見出し、以下の本発明を案出した。
第1の発明に係る無電解めっき装置は、フィルム状配線回路基板をめっきする無電解めっき装置であって、めっき液を収容するめっき液収容部と、めっき液収容部内に配置されためっき液注入口を有し、めっき液注入口からめっき液を注入する注入手段と、フィルム状配線回路基板をめっき液収容部内に浸漬しつつ搬送する搬送手段と、めっき液注入口と搬送手段との間に配置された遮蔽部材とを備えたものである。
本発明に係る無電解めっき装置においては、めっき槽内にめっき液が充填され、搬送手段によりフィルム状配線回路基板がめっき液中に浸漬しつつ搬送される。
この場合、めっき液注入口と搬送手段との間に遮蔽部材が配置されているので、遮蔽部材によってめっき液注入口からの噴出流が拡散され、フィルム状配線回路基板に直接当たることがなくなる。それにより、フィルム状配線回路基板に形成されている配線パターンのエッチングを防ぐことができる。したがって、配線パターンが細くなることを防止しつつ、配線パターン上に無電解めっきを施すことが可能となる。
遮蔽部材は平板または多孔板からなることが好ましい。
めっき液収容部内の上部に配置されためっき液排出口を有し、排出口からめっき液を排出する排出手段と、排出手段によって排出されためっき液を注入手段に供給する供給手段とを備え、めっき液注入口はめっき液が上方に噴出されるようにめっき液収容部内の下部に配置され、搬送手段はめっき液収容部内の上部に配置され、遮蔽部材は注入口の上方かつ搬送手段の下方に配置されてもよい。
この場合、めっき液収容部内のめっき液が排出手段により排出口から排出され、注入手段に供給され、注入手段により注入口からめっき液収容部内に注入される。それにより、めっき液が循環され、めっき液中の異物が排除される。このとき、注入口の上方かつ搬送手段の下方に遮蔽部材が配置されているので、注入口から上方に噴出されためっき液の流れが遮蔽部材によって拡散され、フィルム状配線回路基板に噴出流が直接当たることがなくなる。それにより、フィルム状配線回路基板に形成されている配線パターンのエッチングを防ぐことができる。したがって、配線パターンが細くなることを防止しつつ、配線パターン上に無電解めっきを施すことが可能となる。
めっき液収容部内の下部に配置されためっき液排出口を有し、排出口からめっき液を排出する排出手段と、排出手段によって排出されためっき液を注入手段に供給する供給手段とを備え、めっき液注入口はめっき液が下方に噴出されるようにめっき液収容部内の上部に配置され、搬送手段はめっき液収容部内の下部に配置され、遮蔽部材は注入口の下方かつ搬送手段の上方になるように配置されてもよい。
この場合、めっき液収容部内のめっき液が排出手段により排出口から排出され、注入手段に供給され、注入手段により注入口からめっき液収容部内に注入される。それにより、めっき液が循環され、めっき液中の異物が排除される。このとき、注入口の下方かつ搬送手段の上方に遮蔽部材が配置されているので、注入口から下方に噴出されためっき液の流れが遮蔽部材によって拡散され、フィルム状配線回路基板に噴出流が直接当たることがなくなる。それにより、フィルム状配線回路基板に形成されている配線パターンのエッチングを防ぐことができる。したがって、配線パターンが細くなることを防止しつつ、配線パターン上に無電解めっきを施すことが可能となる。
第2の発明に係る無電解めっき方法は、めっき液注入口を有するめっき液収容部内のめっき液に配線回路基板を浸漬するとともに、めっき液注入口と配線回路基板との間に遮蔽部材を配置する工程と、めっき液注入口からめっき液を注入しつつ配線回路基板に無電解めっきを施す工程とを備えたものである。
本発明に係る無電解めっき方法においては、めっき槽内にめっき液が充填され、配線回路基板がめっき液に浸漬される。また、めっき液注入口と配線回路基板との間には遮蔽部材が配置される。
この場合、遮蔽部材によってめっき液注入口からの噴出流が拡散され、配線回路基板に直接当たることがなくなる。それにより、配線回路基板に形成されている配線パターンのエッチングを防ぐことができる。したがって、配線パターンが細くなることを防止しつつ、配線パターン上に無電解めっきを施すことが可能となる。
配線回路基板はフィルム状配線回路基板であり、フィルム状配線回路基板を搬送手段により搬送しつつめっき液に浸漬してもよい。この場合、フィルム状配線回路基板の表面全体に均一な膜厚のめっき膜を形成することができる。
本発明によれば、めっき液注入口と搬送手段との間に遮蔽部材が配置されているので、遮蔽部材によってめっき液注入口からの噴出流が拡散され配線回路基板に直接当たることがなくなる。それにより、配線回路基板に形成されている配線パターンのエッチングを防ぐことができる。したがって、配線パターンが細くなることを防止しつつ、配線パターン上に無電解めっきを施すことが可能となる。
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。
図1は本発明の第1の実施の形態に係る無電解めっき装置の模式図である。
本実施の形態では、フィルム状配線回路基板に無電解錫めっきを施す場合について説明する。
無電解めっき装置101は、箱型のめっき槽10を備える。めっき槽10の材質は、例えば、耐熱性塩化ビニルである。
めっき槽10内の上部には複数の搬送ローラ11,12がそれぞれ水平方向に延びるように上下にジグザグに配置される。搬送ローラ11,12が回転することによりフィルム状配線回路基板(以下、配線回路基板と略記する)13がめっき槽10内を矢印Xの方向に搬送される。配線回路基板13の幅は50〜300cmであることが好ましい。この配線回路基板13には銅配線パターンが形成されている。
配線回路基板13の搬送方向におけるめっき槽10の長さL1は、例えば1〜3m、めっき槽10の幅は、例えば0.5〜1m、めっき槽10の高さH1は、例えば1〜1.5mである。
めっき槽10の一方の側壁を貫通するようにめっき槽10内の下部に送液管14が搬送ローラ11,12と直交するように水平方向に配置されている。送液管14の一端はめっき槽10の外部に設けられた送液ポンプPに接続されている。送液管14には複数の注入口15が設けられている。注入口15の数は、例えば、4〜6個である。
また、めっき槽10の一方の側壁を貫通するようにめっき槽10内の上部に送液管16が配置されている。めっき槽10内の送液管16の端部は排出口17となっている。めっき槽10の外部の送液管16の端部はフィルタFに接続されている。送液ポンプPとフィルタFとは、送液管18によって連結されている。
搬送ローラ11,12と注入口15との間に遮蔽板19が配置される。すなわち、搬送ローラ11,12の下方かつ注入口15の上方に遮蔽板19が配置される。遮蔽板19は、耐酸性で錫めっきされず、温度80℃以上の耐熱性を有する材料により形成されることが好ましい。遮蔽板19の材料としては、例えば、耐熱性塩化ビニル等の耐熱性樹脂、チタン等の金属を用いることができる。遮蔽板19の形状は平板であることが好ましい。遮蔽板19の形状はV字状、山状、またはその他の形状であってもよい。遮蔽板19は多孔板であることが好ましい。多孔板の孔径は、1〜3mmであることが好ましい。遮蔽板19としては孔を有さない板を用いてもよい。遮蔽板19と注入口15との距離H2は8cm以上であることが好ましい。遮蔽板19と搬送ローラ12との距離H3は8cm以上であることが好ましい。めっき槽10内にはめっき液20が充填される。めっき槽10に充填されるめっき液20の量は、例えば、100〜500リットルである。めっき液20の温度は60〜75℃であることが好ましい。
本実施の形態に係る無電解めっき装置101においては、搬送ローラ11,12が回転することにより、配線回路基板13は幅方向を水平方向に向けた状態で矢印Xの方向に搬送され、めっき液20中に浸漬しつつ移動する。これにより、配線回路基板13に無電解錫めっきが施される。配線回路基板13がめっき液20に浸漬している時間は2〜6分であることが好ましい。
この間、送液ポンプPが作動することによりによりめっき槽10内のめっき液20が排出口17から送液管16に導入され、フィルタFでろ過された後、送液管18および送液ポンプPを通って送液管14の注入口15からめっき槽10内に戻され、めっき液20が循環する。それにより、めっき液20中の異物が排除される。
このとき、注入口15と搬送ローラ11,12との間に遮蔽板19が配置されているので、注入口15からの噴出流が遮蔽板19に当たって拡散される。それにより、噴出流が配線回路基板13に直接当たることがなくなり、銅配線パターンのエッチングを防ぐことができる。
その結果、銅配線パターンが細くなることを防止しつつ、銅配線パターン上に無電解錫めっきを施すことが可能となる。
本実施の形態では、送液管16が配線回路基板13の搬送方向における前方側の側壁を貫通するように設けられているが、送液管16が配線回路基板13の搬送方向における後方側の側壁を貫通するように設けられてもよい。また、送液管16が配線回路基板13の搬送方向における側方の側壁を貫通するように設けられてもよい。
本実施の形態では、めっき槽10がめっき液収容部に相当し、送液管14が注入手段に相当し、搬送ローラ11,12が搬送手段に相当し、遮蔽板19が遮蔽部材に相当し、送液管16が排出手段に相当し、送液ポンプPが供給手段に相当する。
図2は第2の実施の形態に係る無電解めっき装置の模式図である。
本実施の形態では、フィルム状配線回路基板に無電解錫めっきを施す場合について説明する。
本実施の形態では、フィルム状配線回路基板に無電解錫めっきを施す場合について説明する。
図2の無電解めっき装置102が図1の無電解めっき装置101と異なるのは次の点である。
搬送ローラ12が水平方向に延びるように同一高さに配置されている。搬送ローラ12が回転することにより配線回路基板13がめっき槽10内を矢印Yの方向に搬送される。
めっき槽10の一方の側壁を貫通するようにめっき槽10内の上部に送液管14が配置されている。めっき槽10の一方の側壁を貫通するようにめっき槽10内の下部に送液管16が配置されている。搬送ローラ12と注入口15との間に遮蔽板19が配置されている。すなわち、搬送ローラ12の上方かつ注入口15の下方に遮蔽板19が配置されている。
本実施の形態に係る無電解めっき装置102においては、搬送ローラ12が回転することにより、配線回路基板13は幅方向を水平方向に向けた状態で矢印Yの方向に搬送され、めっき液20中に浸漬しつつ移動する。これにより、配線回路基板13に無電解錫めっきが施される。配線回路基板13がめっき液20に浸漬している時間は2〜6分であることが好ましい。
この間、送液ポンプPが作動することによりによりめっき槽10内のめっき液20が排出口17から送液管16に導入され、フィルタFでろ過された後、送液管18および送液ポンプPを通って送液管14の注入口15からめっき槽10内に戻され、めっき液20が循環する。それにより、めっき液20中の異物が排除される。
このとき、注入口15と搬送ローラ12との間に遮蔽板19が配置されているので、注入口15からの噴出流が遮蔽板19に当たって拡散される。それにより、噴出流が配線回路基板13に直接当たることがなくなり、銅配線パターンのエッチングを防ぐことができる。
その結果、銅配線パターンが細くなることを防止しつつ、銅配線パターン上に無電解錫めっきを施すことが可能となる。
本実施の形態では、送液管16が配線回路基板13の搬送方向における前方側の側壁を貫通するように設けられているが、送液管16が配線回路基板13の搬送方向における後方側の側壁を貫通するように設けられてもよい。また、送液管16が配線回路基板13の搬送方向における側方の側壁を貫通するように設けられてもよい。
第1の実施の形態では、搬送ローラ11,12として上下にジグザグに配置されたターン型を用いているが、第2の実施の形態のように同一高さに配置された水平型を用いてもよい。また、第2の実施の形態では、搬送ローラ12として同一高さに配置された水平型を用いているが、第1の実施の形態のようにジグザグに配置されたターン型を用いてもよい。
実施例では、図1に示す構造を有する無電解めっき装置を用いて、幅42μmの銅配線パターンが形成された幅250mmの配線回路基板13に、以下の条件で無電解錫めっきを施した。
めっき槽10の材料としては耐熱性塩化ビニルを用いた。配線回路基板13の搬送方向におけるめっき槽10の長さL1は60cm、めっき槽10の幅は60cm、めっき槽10の高さH1は80cmとした。
送液管14はめっき槽10の底部に配置し、送液管14のめっき槽10内に挿入された部分の長さL2は30cm、内径は20mmとした。
図3は送液管14の平面図である。
送液管14には、直径2mmの注入口15を千鳥配置で6個設けた。注入口15のピッチPは100mmである。両側の注入口15間の間隔dは10mmである。
遮蔽板19には耐熱性塩化ビニルからなる平板を用いた。配線回路基板13の搬送方向における遮蔽板19の長さL3は50cm、遮蔽板19の幅は30cm、遮蔽板19の厚さTは5mmとした。遮蔽板19と注入口15との距離H2は8cmとした。遮蔽板19と搬送ローラ12との距離H3は20cmとした。
めっき槽10内に充填されるめっき液20の量は100リットルとした。各注入口15からそれぞれ注入されるめっき液20の注入量は毎分10リットルとした。めっき液20の温度は65℃とした。めっき液20としてはロームアンドハース電子材料株式会社製LT−34を用いた。
配線回路基板13の搬送速度は毎秒0.45mとした。配線回路基板13がめっき液20に浸漬している時間は4.5分とした。
(比較例)
比較例においては、遮蔽板19を配置しない点を除いて実施例と同じ無電解めっき装置を用いて同じ条件により配線回路基板13に無電解錫めっきを施した。
比較例においては、遮蔽板19を配置しない点を除いて実施例と同じ無電解めっき装置を用いて同じ条件により配線回路基板13に無電解錫めっきを施した。
実施例および比較例において、無電解錫めっきを施した後、銅配線パターンの幅の測定を行った。
実施例および比較例における銅配線パターンの幅の測定結果を表1に示す。
以上の結果から、無電解めっき装置において、注入口15と搬送ローラ11,12との間に遮蔽板19を配置することにより、銅配線パターンが細くなることを防止しつつ、銅配線パターン上に無電解錫めっきを施すことができることがわかった。
本発明に係るフィルム状配線回路基板は、電子機器等に利用することができる。
10 めっき槽
11,12 搬送ローラ
13 フィルム状配線回路基板
14,16,18 送液管
15 注入口
17 排出口
19 遮蔽板
20 めっき液
101,102 無電解めっき装置
P 送液ポンプ
F フィルタ
11,12 搬送ローラ
13 フィルム状配線回路基板
14,16,18 送液管
15 注入口
17 排出口
19 遮蔽板
20 めっき液
101,102 無電解めっき装置
P 送液ポンプ
F フィルタ
Claims (6)
- フィルム状配線回路基板をめっきする無電解めっき装置であって、
めっき液を収容するめっき液収容部と、
前記めっき液収容部内に配置されためっき液注入口を有し、前記めっき液注入口から前記めっき液を注入する注入手段と、
前記フィルム状配線回路基板を前記めっき液収容部内に浸漬しつつ搬送する搬送手段と、
前記めっき液注入口と前記搬送手段との間に配置された遮蔽部材とを備えたことを特徴とする無電解めっき装置。 - 前記遮蔽部材は、平板からなることを特徴とする請求項1記載の無電解めっき装置。
- 前記めっき液収容部内の上部に配置されためっき液排出口を有し、前記排出口からめっき液を排出する排出手段と、
前記排出手段によって排出されためっき液を前記注入手段に供給する供給手段とをさらに備え、
前記めっき液注入口は前記めっき液が上方に噴出されるように前記めっき液収容部内の下部に配置され、前記搬送手段は前記めっき液収容部内の上部に配置され、前記遮蔽部材は、前記注入口からの噴出流を遮蔽するように前記注入口の上方かつ前記搬送手段の下方に配置されたことを特徴とする請求項1または2記載の無電解めっき装置。 - 前記めっき液収容部内の下部に配置されためっき液排出口を有し、前記排出口からめっき液を排出する排出手段と、
前記排出手段によって排出されためっき液を前記注入手段に供給する供給手段とをさらに備え、
前記めっき液注入口は前記めっき液が下方に噴出されるように前記めっき液収容部内の上部に配置され、前記搬送手段は前記めっき液収容部内の下部に配置され、前記遮蔽部材は、前記注入口からの噴出流を遮蔽するように前記注入口の下方かつ前記搬送手段の上方に配置されたことを特徴とする請求項1または2記載の無電解めっき装置。 - めっき液注入口を有するめっき液収容部内のめっき液に配線回路基板を浸漬するとともに、前記めっき液注入口と前記配線回路基板との間に遮蔽部材を配置する工程と、
前記めっき液注入口からめっき液を注入しつつ前記配線回路基板に無電解めっきを施す工程とを備えた無電解めっき方法。 - 前記配線回路基板はフィルム状配線回路基板であり、
前記フィルム状配線回路基板を搬送手段により搬送しつつ前記めっき液に浸漬することを特徴とする請求項5記載の無電解めっき方法。
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---|---|---|---|
JP2004135027A JP2005314757A (ja) | 2004-04-30 | 2004-04-30 | 無電解めっき装置および無電解めっき方法 |
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JP (1) | JP2005314757A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016022159A1 (en) * | 2014-08-08 | 2016-02-11 | Uni-Pixel Displays, Inc. | Roll-to-roll electroless plating system for controlled substrate depth |
WO2023109011A1 (zh) * | 2021-12-16 | 2023-06-22 | 江阴纳力新材料科技有限公司 | 镀膜系统和镀膜生产线 |
WO2023109955A1 (zh) * | 2021-12-16 | 2023-06-22 | 江阴纳力新材料科技有限公司 | 镀膜方法、镀膜系统以及镀膜生产线 |
-
2004
- 2004-04-30 JP JP2004135027A patent/JP2005314757A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2016022159A1 (en) * | 2014-08-08 | 2016-02-11 | Uni-Pixel Displays, Inc. | Roll-to-roll electroless plating system for controlled substrate depth |
WO2023109011A1 (zh) * | 2021-12-16 | 2023-06-22 | 江阴纳力新材料科技有限公司 | 镀膜系统和镀膜生产线 |
WO2023109955A1 (zh) * | 2021-12-16 | 2023-06-22 | 江阴纳力新材料科技有限公司 | 镀膜方法、镀膜系统以及镀膜生产线 |
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